一種多晶矽廢氣處理裝置製造方法
2023-04-30 19:06:36 2
一種多晶矽廢氣處理裝置製造方法
【專利摘要】本發明公開了一種多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，包括：用於存儲廢氣反應液體的溶液池；噴淋塔，其架設在所述溶液池上方，所述噴淋塔內部中空，底部與所述溶液池內的反應液體連通，頂部開設有抽氣口和可穿過第一管道的開口；第一管道，其一端連通至所述溶液池，另一端從所述開口伸入並連接著至少一個噴霧嘴，所述噴霧嘴位於所述噴淋塔內部上方；動力裝置，其設置在所述第一管道上；第二管道，其一端從所述噴淋塔的底部伸入塔內，另一端連接至廢氣產生裝置；以及真空機，其進氣口連接至所述噴淋塔頂部的抽氣口，出氣口連接到一個液封槽。
【專利說明】—種多晶矽廢氣處理裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種廢氣處理裝置，特別涉及一種多晶矽廢氣處理裝置。
【背景技術】
[0002]目前，在多晶矽的生產過程中，會產生大量的酸性廢氣，這些廢氣內含有大量有毒有害氣體，不能直接排放。現在在多晶矽生產中處理廢氣的方式一般都是採用噴淋塔噴淋，廢氣從噴淋塔空間進入，塔內噴頭噴出鹼性液體與酸性廢氣發生反應，反應後的氣體直接通過塔頂氣口排除，塔底廢液則輸送至其他處理。
[0003]這樣的處理方式有很多問題，一是廢氣反應不完全，由於廢氣是直接進入噴淋塔空間與噴淋液發生反應，廢氣無法做到與噴淋液的充分接觸。二是廢氣直接排除，由於排出的氣體內含有氫氣等易燃易爆成分，極易發生燃燒，一旦產生回火，將導致極大的事故。
【發明內容】
[0004]本發明的目的是針對上述不足，提供一種使多晶矽廢氣反應更完全，且不易產生爆燃的多晶矽廢氣處理裝置。
[0005]一種多晶矽廢氣處理裝置，包括:
[0006]用於存儲廢氣反應液體的溶液池；
[0007]噴淋塔，其架設在所述溶液池上方，所述噴淋塔內部中空，底部與所述溶液池內的反應液體連通，頂部開設有抽氣口和可穿過第一管道的開口 ；
[0008]第一管道，其一端連通至所述溶液池，另一端從所述開口伸入並連接著至少一個噴霧嘴，所述噴霧嘴位於所述噴淋塔內部上方；
[0009]動力裝置，其設置在所述第一管道上；
[0010]第二管道，其一端從所述噴淋塔的底部伸入塔內，另一端連接至廢氣產生裝置；以及真空機，其進氣口連接至所述噴淋塔頂部的抽氣口，出氣口連接到一個液封槽。
[0011]優選的所述第一管道上設有第一閥門，所述第一閥門設置在所述動力裝置的出液端。
[0012]優選的所述第三管道，其通過第二閥門連通至所述第一通道。
[0013]優選的所述噴霧嘴為兩個或兩個以上。
[0014]優選的所述噴淋塔採用玻璃鋼材質。
[0015]優選的所述動力裝置為泵。
[0016]優選的所述泵為自吸泵。
[0017]本發明所述的多晶矽廢氣處理裝置，將廢氣進口置於噴淋塔內，且位於溶液池液面下方，廢氣首先與池內石灰乳反應後再進入空間與噴淋液反應，使反應更充分。反應後產生的廢氣被抽出進入液封槽，不直接與空氣接觸，避免了回火的可能。
【專利附圖】
【附圖說明】[0018]圖1為本發明的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖對本發明做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。
[0020]優選的實施方式如圖1所示，本發明的結構示意圖，包括:石灰乳進料管11，其一端伸入溶液池I內，另一端連接外部設備；溶液池1，用於裝入反應液體石灰乳，所述溶液池I內空間安裝有噴淋塔2 ;噴淋塔2，內部中空，底端開口，開口向下靠近溶液池底，噴淋塔2兩側的支架8支撐著噴淋塔2立於溶液池I底部，噴淋塔2內部空間與溶液池外部空間通過底端開口相通；噴淋塔2頂端開有出氣口，管道進口 ；真空機5，所述真空機5進氣口連接於噴淋塔出氣口上，真空機出氣口一端連接著液封槽7 ;循環泵3，所述循環泵3進液端伸入溶液池內，出液端具有第一管道和第二管道，第一管道從噴淋塔頂端管道進口伸入並連接著噴霧嘴4，第二管道作為輸出管道；第一管道上安裝有閥門10，第二管道上安裝有閥門9 ;廢氣進管6從噴淋塔2底端開口伸入塔內。
[0021]使用時，石灰乳從石灰乳進料管11進入到溶液池I內，液位至少達到淹沒噴淋塔2底端開口，廢氣進管6出氣口必須位於石灰乳液內，打開閥門10，關閉閥門9，打開循環泵3電源，循環泵3將抽吸溶液池I內的石灰乳通過閥門10，從噴霧嘴4噴出，打開真空機5對噴淋塔2進行抽真空，開始從廢氣進管6輸入廢氣，酸性廢氣在石灰乳內首先發生中和反應，部分酸性氣體進入噴淋塔2內部空間與噴霧嘴4噴出的石灰乳液發生中和反應，反應生成的氫氣等氣體被真空機5抽出，進入液封槽7，然後從液封槽7水面進入空氣中。
[0022]儘管本發明的實施方案已公開如上，但其並不僅僅限於說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用於各種適合本發明的領域，對於熟悉本領域的人員而言，可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同範圍所限定的一般概念下，本發明並不限於特定的細節和這裡示出與描述的圖例。
【權利要求】
1.一種多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，包括: 用於存儲廢氣反應液體的溶液池； 噴淋塔，其架設在所述溶液池上方，所述噴淋塔內部中空，底部與所述溶液池內的反應液體連通，頂部開設有抽氣口和可穿過第一管道的開口 ； 第一管道，其一端連通至所述溶液池，另一端從所述開口伸入並連接著至少一個噴霧嘴，所述噴霧嘴位於所述噴淋塔內部上方； 動力裝置，其設置在所述第一管道上； 第二管道，其一端從所述噴淋塔的底部伸入塔內，另一端連接至廢氣產生裝置；以及真空機，其進氣口連接至所述噴淋塔頂部的抽氣口，出氣口連接到一個液封槽。
2.如權利要求1所述的多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，所述第一管道上設有第一閥門，所述第一閥門設置在所述動力裝置的出液端。
3.如權利要求1或2所述的多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，還包括:第三管道，其通過第二閥門連通至所述第一通道。
4.如權利要求1所述的多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，所述噴霧嘴為兩個或兩個以上。
5.如權利要求1所述的多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，所述噴淋塔採用玻璃鋼材質。
6.如權利要求1所述的多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，所述動力裝置為泵。
7.如權利要求6所述的多晶矽廢氣處理裝置，其特徵在於，所述泵為自吸泵。
【文檔編號】B01D53/40GK103721543SQ201310670146
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年12月11日 優先權日:2013年12月11日
【發明者】胡瀛 申請人:胡瀛