一種旋轉靶材的研磨製具的製作方法
2023-05-01 14:02:31 1
一種旋轉靶材的研磨製具的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及旋轉靶材製造設備【技術領域】，尤其是涉及一種旋轉靶材的研磨製具，其包括制具本體，待研磨的旋轉靶材套設在制具本體上，所述制具本體包括一膨脹管、一支撐杆、一鎖緊螺母和兩個膨脹頭，所述膨脹管套設在支撐杆上，所述兩個膨脹頭分別套設在支撐杆上且分別位於膨脹管的兩端，所述兩個膨脹頭的一端均設有圓錐臺，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別套設於膨脹管的兩端內，所述支撐杆的一端設有固定其中一個膨脹頭的定位軸肩，支撐杆的另一端設有與鎖緊螺母相配的螺紋，所述鎖緊螺母旋入支撐杆另一端並擠推另一膨脹頭時，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別壓入膨脹管的兩端內。
【專利說明】一種旋轉靶材的研磨製具
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及旋轉靶材製造設備【技術領域】，尤其是涉及一種旋轉靶材的研磨製具。
技術背景
[0002]目前，低成本、大面積、高效率地製備薄膜逐漸成為鍍膜領域的發展方向，與之相應的是對大尺寸、高質量的濺射靶材的需求。與傳統平面靶材相比，旋轉靶材可以進行360°的旋轉，可以使旋轉靶材的利用率達到80%，而平面靶材的利用率僅為20%至30% ;並且採用旋轉靶材的濺射設備中的氣體分布均勻，可以使製備的薄膜具有較好的均勻性；同時旋轉靶材還可以實現較高的濺射速率。
[0003]旋轉靶材是磁控的靶材，靶材做成圓筒型的，裡面裝有靜止不動的磁體，以慢速轉動。旋轉靶材在完成等離子噴塗後，其外表面需要進行拋光，由於旋轉靶材是典型的薄壁、細長、自重大的難加工件，拋光過程中塗層極易開裂，傳統的拋光方法有手動拋光和氣動拋光，但手動拋光效率低，勞動強度大且拋光不均勻，採用氣動拋光，跳動大，容易把塗層過量磨掉或導致塗層厚度不均，因此拋光的效果不理想。為解決上述問題，現階段較常用的是採用研磨工藝，考慮到旋轉靶材的結構和材質，研製一種與旋轉靶材配合更緊密、定位更穩且不傷到旋轉靶材的研磨製具是至關重要的。
【發明內容】
[0004]本實用新型的目的在於針對現有技術的不足，提供一種配合更緊密、定位更穩且不傷到旋轉靶材的研磨製具。
[0005]為實現上述目的，本實用新型採用以下技術方案:
[0006]一種旋轉靶材的研磨製具，其包括制具本體，待研磨的旋轉靶材套設在制具本體上，所述制具本體包括一膨脹管、一支撐杆、一鎖緊螺母和兩個膨脹頭，所述膨脹管套設在支撐杆上，所述兩個膨脹頭分別套設在支撐杆上且分別位於膨脹管的兩端，所述兩個膨脹頭的一端均設有圓錐臺，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別套設於膨脹管的兩端內，所述支撐杆的一端設有固定其中一個膨脹頭的定位軸肩，支撐杆的另一端設有與鎖緊螺母相配的螺紋，所述鎖緊螺母旋入支撐杆另一端並擠推另一膨脹頭時，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別壓入膨脹管的兩端內。
[0007]所述膨脹管內徑小於圓錐臺大頭端外徑且大於圓錐臺小頭端外徑。
[0008]所述膨脹管上沿軸向開設有膨脹縫。
[0009]所述膨脹管為尼龍膨脹管。
[0010]所述膨脹頭由尼龍材料成型。
[0011]所述膨脹頭的另一端為所述圓錐臺大頭端等徑延伸的圓柱體。
[0012]本實用新型的工作原理是:在使用時，將待研磨的旋轉靶材套設在制具本體上，將其中一個膨脹頭套設在支撐杆的一端並使其圓柱體端面抵在定位軸肩上，將膨脹管套設在支撐杆上，再將另一膨脹頭套設在支撐杆的另一端，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別套設於膨脹管的兩端內，最後將鎖緊螺母旋入支撐杆的另一端，旋轉時鎖緊螺母擠推另一膨脹頭向定位軸肩方向移動，在鎖緊螺母和定位軸肩的共同作用下，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別壓入膨脹管的兩端內，使膨脹管沿徑向向外膨脹變形，從而膨脹管與旋轉靶材過盈配合固定。在拆卸時，反向旋轉鎖緊螺母使之向支撐杆的另一端移動並旋下鎖緊螺母，從而膨脹管與兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端脫離接觸，膨脹頭在自身內應力的作用下恢復原狀並與旋轉靶材脫離接觸，然後向外拔出支撐杆。
[0013]本實用新型採用以上結構，鎖緊螺母旋入支撐杆另一端並擠推另一膨脹頭時，在鎖緊螺母和定位軸肩的共同作用下，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別壓入膨脹管的兩端內，使膨脹管沿徑向向外膨脹變形，從而膨脹管與旋轉靶材過盈配合固定；所述膨脹管上沿軸向開設有膨脹縫，使膨脹管變形效果更好，與旋轉靶材的配合更緊密、定位更穩；所述膨脹管為尼龍膨脹管，所述膨脹頭由尼龍材料成型，此設計使得該研磨製具不易傷到旋轉靶材。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]現結合附圖對本實用新型作進一步闡述:
[0015]圖1為本實用新型旋轉靶材的研磨製具的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]如圖1所示,一種旋轉祀材的研磨製具,其包括制具本體,待研磨的旋轉祀材套設在制具本體上，所述制具本體包括一膨脹管1、一支撐杆2、一鎖緊螺母3和兩個膨脹頭4，所述膨脹管I套設在支撐杆2上，所述兩個膨脹頭4分別套設在支撐杆2上且分別位於膨脹管I的兩端，所述兩個膨脹頭4的一端均設有圓錐臺41，兩個膨脹頭4的圓錐臺41小頭端分別套設於膨脹管I的兩端內，所述支撐杆2的一端設有固定其中一個膨脹頭的定位軸肩21，支撐杆2的另一端設有與鎖緊螺母3相配的螺紋22，所述鎖緊螺母3旋入支撐杆2另一端並擠推另一膨脹頭時，兩個膨脹頭4的圓錐臺41小頭端分別壓入膨脹管I的兩端內。
[0017]所述膨脹管I內徑小於圓錐臺41大頭端外徑且大於圓錐臺41小頭端外徑。
[0018]所述膨脹管I上沿軸向開設有膨脹縫11。
[0019]所述膨脹管I為尼龍膨脹管。
[0020]所述膨脹頭4由尼龍材料成型。
[0021]所述膨脹頭4的另一端為所述圓錐臺41大頭端等徑延伸的圓柱體42。
[0022]本實用新型在使用時，先將其中一個膨脹頭4套設在支撐杆2的一端，並使膨脹頭4的圓柱體42端面抵在固定的定位軸肩21上，再將所述膨脹管I套設在支撐杆2上，將待研磨的旋轉靶材套設在制具本體的膨脹管I上，所述膨脹管I的外徑小於旋轉靶材的內徑，再將另一個膨脹頭4套設在支撐杆2的另一端，兩個膨脹頭4的圓錐臺41小頭端分別套設於膨脹管I的兩端內，最後將鎖緊螺母3旋入支撐杆2的另一端，在旋轉鎖緊螺母3時，鎖緊螺母3擠推另一膨脹頭向定位軸肩21方向移動，因此在鎖緊螺母3和定位軸肩21的共同作用下，兩個膨脹頭4的圓錐臺41小頭端分別壓入膨脹管I的兩端內，使膨脹管I沿徑向向外膨脹變形，從而膨脹管I與旋轉靶材過盈配合固定。在拆卸時，反向旋轉鎖緊螺母3使之向支撐杆2的另一端移動並旋下鎖緊螺母3，同時施力在與鎖緊螺母3相抵的另一膨脹頭的圓柱體42端，使膨脹管I與兩個膨脹頭4的圓錐臺41小頭端脫離接觸，膨脹頭4在自身內應力的作用下恢復原狀並與旋轉靶材脫離接觸，然後向外拔出支撐杆2。
[0023]本實用新型採用以上結構，鎖緊螺母3旋入支撐杆2另一端並擠推另一膨脹頭4時，在鎖緊螺母3和定位軸肩21的共同作用下，兩個膨脹頭4的圓錐臺41小頭端分別壓入膨脹管I的兩端內，使膨脹管I沿徑向向外膨脹變形，從而膨脹管I與旋轉靶材過盈配合固定；所述膨脹管I上沿軸向開設有膨脹縫11，使膨脹管I變形效果更好，與旋轉靶材的配合更緊密、定位更穩；所述膨脹管I為尼龍膨脹管，所述膨脹頭4由尼龍材料成型，此設計使得該研磨製具不易傷到旋轉靶材。
[0024]以上描述不應對本實用新型的保護範圍有任何限制。
【權利要求】
1.一種旋轉靶材的研磨製具，包括制具本體，待研磨的旋轉靶材套設在制具本體上，其特徵在於:所述制具本體包括一膨脹管、一支撐杆、一鎖緊螺母和兩個膨脹頭，所述膨脹管套設在支撐杆上，所述兩個膨脹頭分別套設在支撐杆上且分別位於膨脹管的兩端，所述兩個膨脹頭的一端均設有圓錐臺，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別套設於膨脹管的兩端內，所述支撐杆的一端設有固定其中一個膨脹頭的定位軸肩，支撐杆的另一端設有與鎖緊螺母相配的螺紋，所述鎖緊螺母旋入支撐杆另一端並擠推另一膨脹頭時，兩個膨脹頭的圓錐臺小頭端分別壓入膨脹管的兩端內。
2.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的研磨製具，其特徵在於:所述膨脹管內徑小於圓錐臺大頭端外徑且大於圓錐臺小頭端外徑。
3.根據權利要求1或2所述的一種旋轉靶材的研磨製具，其特徵在於:所述膨脹管上沿軸向開設有膨脹縫。
4.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的研磨製具，其特徵在於:所述膨脹管為尼龍膨脹管。
5.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的研磨製具，其特徵在於:所述膨脹頭由尼龍材料成型。
6.根據權利要求1或5所述的一種旋轉靶材的研磨製具，其特徵在於:所述膨脹頭的另一端為所述圓錐臺大頭端等徑延伸的圓柱體。
【文檔編號】B24B41/06GK204076008SQ201420562858
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年9月26日 優先權日:2014年9月26日
【發明者】王維綱, 侯則良, 林傑 申請人:福建省諾希新材料科技有限公司