一種高真空閘板閥的製作方法
2023-04-30 21:22:36 4
專利名稱:一種高真空閘板閥的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種高真空閘板閥，包括：閥體、閥門及動力裝置，閥門由連接板、設於連接板上的主板和副板構成，主板底端與連接板固定，副板底端與連接板之間設有支撐彈簧，主板與副板之間通過至少一個鉸接軸鉸接，動力裝置連接於連接板下方；副板上設有與閥孔外圈側壁配合的密封圈，閥體的頂端設有可容納主板升降的缺口，動力裝置推動連接板向上運動至副板的密封圈與閥孔外圈的側壁緊貼。本實用新型通過主板與副板之間的鉸接結構，氣缸推動連接板向上運動之後，鉸接軸在主、副板間相對轉動，產生一個將副板向閥體壓緊的力，使閥門緊密貼合在閥體上，達到高真空密封效果。
【專利說明】一種高真空閘板閥
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種閘板閥，尤其涉及一種高真空閘板閥。
【背景技術】
[0002]閘板閥是一種很常用的截斷閥，主要用來接通或截斷流體或氣路系統中的介質，一般不運用於調節介質流量。閘板閥運用的壓力、溫度及直徑範圍非常大，尤其運用於中、大直徑的管道。例如，閘板閥被廣泛應用在MOCVD設備領域中，由於國產MOCVD設備目前仍處於起步成長階段，工藝和設備製造技術都不完善，不具備完善的功能及大規模產業化生產的能力。國產MOCVD設備涉及的閘板閥存在以下不足和缺陷:
[0003]1、一般平行式閘板閥因結構簡單，不能靠自身達到強制密封效果，閥門關閉時，可能還存在反應氣體的洩露，閘板閥密封效果差；
[0004]2、閘板閥即使達到了所需密封效果，但閥門開啟和關閉運動過程中，閥門與閥座相接觸的密封面之間存在相對滑動，容易對密封面造成擦傷，久而久之又反過來影響了密封效果；
[0005]3、閘板閥的結構功能不齊備，不具備產業化生產條件。
[0006]因此，如何設計一種密封效果好、減少密封面擦傷且生產功能完善的高真空閘板閥是業界亟待解決的技術問題。
實用新型內容
[0007]為解決上述技術問題，本實用新型提出一種能依靠自身結構達到高真空密封效果且閥門啟閉過程中密封面間無摩擦碰撞的平行式高真空閘板閥。
[0008]本實用新型採用的技術方案是，設計一種高真空閘板閥，包括:閥體，所述閥體內設有空腔，閥體的前後兩側壁平行並設有閥孔；閥門，所述閥門配合設於閥體的空腔內，閥門由連接板、設於連接板上的主板和副板構成，主板、副板分別與閥體的前、後兩側壁平行，主板底端與連接板固定，副板底端與連接板之間設有支撐彈簧，所述主板與副板之間通過至少一個鉸接軸鉸接，鉸接軸的兩端分別橫向鉸接於主板、副板上，所述鉸接軸在垂直面內轉動；動力裝置，所述動力裝置連接於連接板下方；所述副板尺寸大於閥體後側壁上的閥孔，所述副板上設有與該閥孔外圈側壁配合的密封圈，閥體的頂端設有可容納主板升降的缺口，所述動力裝置推動連接板向上運動至副板的密封圈與所述閥孔外圈的側壁緊貼。
[0009]所述副板頂面設有副滾輪，所述副滾輪可沿閥體內頂壁前後滾動；所述主板前側上設有主滾輪，所述主滾輪可沿閥體內前側壁上下滾動。
[0010]所述閥體頂部一側設有連通閥體內的氮氣吹掃進氣口。
[0011]所述主板與副板之間設有兩個平行的鉸接軸鉸接。
[0012]所述動力裝置為氣缸。
[0013]與現有技術相比，本實用新型具有以下優點:
[0014]1、通過主板與副板之間的鉸接結構，氣缸推動連接板向上運動，副板接觸到閥體頂端時，主板被繼續向閥體缺口上推動，副板與連接板之間的彈簧被壓縮，鉸接軸在主、副板間相對轉動，產生一個將副板向閥體壓緊的力，使閥門緊密貼合在閥體上，達到高真空密封效果。
[0015]2、閥門運動時，通過滾輪與閥體接觸，從而減少閥門與閥體間的磨損。
[0016]3、增加一個氮氣吹掃進氣口，保證基片的潔淨度。
【附圖說明】
[0017]下面結合實施例和附圖對本實用新型進行詳細說明，其中:
[0018]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0019]圖2是閥門關閉的第一階段示意圖；
[0020]圖3是圖2中A的局部放大圖；
[0021]圖4是閥門關閉的第二階段示意圖；
[0022]圖5是圖4中B的局部放大圖。
【具體實施方式】
[0023]如圖1所示，本實用新型提出的高真空閘板閥，包括:閥體1、閥門及動力裝置。
[0024]閥體I內設有空腔，閥體I的前後兩側壁平行並設有閥孔。閥門配合設於閥體的空腔內，閥門由連接板2、設於連接板2上的主板3和副板4構成，主板3、副板4分別與閥體I的前、後兩側壁平行，主板3底端與連接板2固定，副板4底端與連接板2之間設有支撐彈簧，在彈簧的彈力作用下，副板4可以在垂直方向上保持平衡狀態。主板3與副板4之間通過至少一個鉸接軸5鉸接，鉸接軸5的兩端分別橫向鉸接於主板3、副板4上，鉸接軸5在垂直面內轉動。副板4尺寸大於閥體I後側壁上的閥孔，副板4上設有與該閥孔外圈側壁配合的密封圈，閥體I的頂端設有可容納主板3升降的缺口 9。動力裝置連接於連接板下方。本實施例中，為了增強結構可靠性及鉸接軸5對副板4的壓力，主板3與副板4之間設有兩個平行的鉸接軸5鉸接。其中，動力裝置為氣缸10，氣缸10推動連接板2向上運動至副板4與閥孔外圈的側壁緊貼。
[0025]副板4頂面設有副滾輪6，副滾輪6可沿閥體I內頂壁前後滾動。主板3前側上設有主滾輪7，主滾輪7可沿閥體I內前側壁上下滾動。高精度滾輪使主板3、副板4在閥門開啟和關閉過程中與閥體I間通過滾輪接觸，從而避免主板3、副板4與閥體間的磨損。
[0026]閥門關閉運動時，如圖2、3所示，第一階段:在氣缸10推力作用下，連接板2帶動主、副板做上升運動，然後副板4上的副滾輪6與閥體I內腔頂壁接觸，副板4在垂直方向先達到上限位置，副板4向上運動終止。如圖4、5所示，第二階段:主板3在氣缸10推力作用下繼續做上升運動，向上伸出閥體I頂部的缺口 9，通過主、副板之間鉸鏈軸5的傳動作用，鉸鏈軸5轉動推開副板4使副板4做出水平運動，使副板4上的密封圈與閥體I緊貼達到密封效果。閥門開啟運動為閥門關閉運動的逆過程，主板3先通過氣缸10拉力做出下降運動，同時由於鉸鏈軸5的作用，使副板4做出水平運動，脫離閥體I內側壁，然後主、副板一起做下降運動，閥門開啟。
[0027]閘板閥通過副板4與閥體I貼合進行密封，副板4與閥體I進行貼合與分開時的運動為水平方向運動，所以副板4與閥體I密封面之間不存在有刮擦現象。
[0028]再進一步的，閥體I頂部一側設有連通閥體I內的氮氣吹掃進氣口 8，在出料通過閘板閥時，對石墨盤上的基片進行充氮氣吹掃以保證基片的潔淨度，提升閘板閥的實用性能，便於將閘板閥應用在大規模產業化生產中。
[0029]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種高真空閘板閥，其特徵在於包括: 閥體，所述閥體內設有空腔，閥體的前後兩側壁平行並設有閥孔； 閥門，所述閥門配合設於閥體的空腔內，閥門由連接板、設於連接板上的主板和副板構成，主板、副板分別與閥體的前、後兩側壁平行，主板底端與連接板固定，副板底端與連接板之間設有支撐彈簧，所述主板與副板之間通過至少一個鉸接軸鉸接，鉸接軸的兩端分別橫向鉸接於主板、副板上，所述鉸接軸在垂直面內轉動； 動力裝置，所述動力裝置連接於連接板下方； 所述副板尺寸大於閥體後側壁上的閥孔，所述副板上設有與該閥孔外圈側壁配合的密封圈，閥體的頂端設有可容納主板升降的缺口，所述動力裝置推動連接板向上運動至副板的密封圈與所述閥孔外圈的側壁緊貼。2.如權利要求1所述的高真空閘板閥，其特徵在於，所述副板頂面設有副滾輪，所述副滾輪可沿閥體內頂壁前後滾動； 所述主板前側上設有主滾輪，所述主滾輪可沿閥體內前側壁上下滾動。3.如權利要求2所述的高真空閘板閥，其特徵在於，所述閥體頂部一側設有連通閥體內的氮氣吹掃進氣口。4.如權利要求1所述的高真空閘板閥，其特徵在於，所述主板與副板之間設有兩個平行的鉸接軸鉸接。5.如權利要求1所述的高真空閘板閥，其特徵在於，所述動力裝置為氣缸。
【文檔編號】F16K27-04GK204284503SQ201420704271
【發明者】羅偉斌, 肖嶽南, 肖四哲 [申請人]深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司