藍寶石襯底晶片的線切割裝置製造方法
2023-05-18 19:19:46 2
藍寶石襯底晶片的線切割裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種藍寶石襯底晶片的線切割裝置，包括芯軸(1)和外套(2)；所述芯軸(1)上套裝外套(2)；所述芯軸(1)的兩端分別設置有左軸承(5)和右軸承(6)。所述的芯軸(1)和外套(2)之間通過鎖緊螺絲(3)相互固定。所述芯軸(1)和外套(2)之間設置有傳動連接鍵(4)。相對應於鎖緊螺絲(3)，分別在芯軸(1)和外套(2)上設置有相應的凹槽。本實用新型可以大大的減少本實用新型的藍寶石襯底晶片的線切割裝置生產過程中的報廢率；而通過對報廢率的控制，則可以減少該裝置生產過程中的成本。
【專利說明】藍寶石襯底晶片的線切割裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種光電子信息【技術領域】，尤其涉及一種藍寶石襯底晶片的線切割裝置。
【背景技術】
[0002]第三代半導體材料氮化鎵(GaN)基發光半導體(LED)具有響應速度快、壽命長、耐衝擊、抗震、高效節能等優異特性，具有廣闊的市場應用前景，在銀行、體育場、機場、車站以及室內外廣告牌等大屏幕動態顯示器中，它是最關鍵的器件之一。此外，GaN基藍、綠光LED還可以用於家電和信息數碼設備，如計算機和手機等的狀態顯示和背景照明等消費電子領域。其製作的白色固態光源體積小、重量輕、壽命長，掀起了照明領域新一輪的革命。
[0003]為了使氮化鎵在藍寶石襯底上均勻生長，對藍寶石襯底的機械參數，包括厚度、彎曲度、翹曲度、表面平整度等等參數的要求都非常高。而在生產過程中，需要達成這一要求則離不開高精度、高效率的晶棒切割設備。
[0004]傳統的線切割主軸裝置示意見下圖1，圖中件11的左邊設置有軸承，軸承外圈鎖緊在機臺上，件11的長斜度部分用於固定排列金剛切割線的圓筒。件12的右面同樣設置有軸承，然後固定於機臺支架上。件11和件12之間通過帶錐度的小定位孔定位，然後通過件13鎖緊。
[0005]以上所述現有藍寶石襯底晶片的線切割裝置對零件的加工要求非常高，尤其是帶錐度的定位孔的同心度要求幾乎為零誤差，極大的增加了該結構在零件生產中的機械加工難度。而由於高精度的原因，在零件生產中，報廢率也一直維持著一種較高的比例，即推高了生產成本，更是使得維修十分的困難。而在生產中，這種高精度的零件十分容易出現精度的偏差，精度偏差之後，就需要新零件來替換維修，導致這種結構的維修率又十分的高。
實用新型內容
[0006]本實用新型要解決的技術問題是提供一種結構簡單的一種藍寶石襯底晶片的線切割主軸結構。
[0007]為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種藍寶石襯底晶片的線切割裝置，包括芯軸和外套；所述芯軸上套裝外套；所述芯軸的兩端分別設置有左軸承和右軸承。
[0008]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置的改進:所述的芯軸和外套之間通過鎖緊螺絲相互固定。
[0009]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置的進一步改進:所述芯軸和外套之間設置有傳動連接鍵。
[0010]作為對本實用新型所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置的進一步改進:相對應於鎖緊螺絲，分別在芯軸和外套上設置有相應的凹槽。
[0011]本實用新型的藍寶石襯底晶片的線切割裝置僅僅設置了一個獨立芯軸，在生產製造的時候，由於並不需要進行定位孔的同心度加工，所以在加工精度的要求上並不高，降低加工精度後，可以大大的減少本實用新型的藍寶石襯底晶片的線切割裝置生產過程中的報廢率；而通過對報廢率的控制，則可以減少該裝置生產過程中的成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]下面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作進一步詳細說明。
[0013]圖1是現有結構示意圖；
[0014]圖2是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0015]實施例1、圖2給出了一種藍寶石襯底晶片的線切割裝置，包括芯軸I和外套2 ;芯軸I和外套2之間設置有傳動連接鍵4 ;芯軸I和外套2之間通過鎖緊螺絲3相互固定。芯軸I的兩端分別設置有左軸承5和右軸承6。
[0016]實際使用的時候，步驟如下:
[0017]1、檢查芯軸I和外套2的機械加工質量，檢查機械加工質量主要通過芯軸I和外套2的同軸度進行判定，如芯軸I是否與外套2的內圓同心，外套2的內外圓是否同心，這些特性均可以通過百分表檢查；
[0018]2、檢查完畢後，如果芯軸I和外套2的加工質量均符合使用要求的，就將外套2套裝在芯軸I上，並通過鎖緊螺絲3固定；
[0019]3、對裝配好的芯軸I和外套2的同心度誤差進行檢測(百分表即可)，如果檢測結果為芯軸I和外套2的同心度誤差大於0.015mm,則替換新零件重新進行步驟I和步驟2 ；如果檢測的結果為芯軸I和外套2的同心度誤差小於等於0.015mm，則進行步驟4 ；
[0020]4、將左軸承5和右軸承6分別固定到機臺以及機臺支架上，並通過相應的螺紋鎖緊；
[0021]5、開機試運轉；通過目測觀察開機試運轉的時候，本實用新型有沒有出現問題(主要是指運轉是否平穩)；
[0022]6、試運轉一切正常之後，將排列金剛切割線的圓筒固定在外套2上，進行正式的運轉。
[0023]本實用新型採用了一根芯軸I的形式，通過整根的芯軸I套裝在外套2內，與現有的傳統的錐面的連接方式有所改進，芯軸I和外套2中間設置傳動連接鍵4 (傳力平鍵)來傳遞扭力，再通過鎖緊螺絲3將芯軸I和外套2進行相應的鎖緊，則可以解決將芯軸I改進後，將整根芯軸I套裝在外套2內，容易導致芯軸I在外套2內滑動的問題，使得芯軸I和外套2在使用的過程中穩定，而相對應於鎖緊螺絲3，分別在芯軸I和外套2上設置有相應的凹槽，通過這種凹槽的設置，可以將鎖緊螺絲3隱藏於芯軸I和外套2的結構內，通過這種形式，避免應該增加了鎖緊螺絲3的設置後，鎖緊螺絲3突出的問題，最大程度的與現有技術中的藍寶石襯底晶片的線切割主軸結構保持一致，使得本實用新型與現有技術中的藍寶石襯底晶片的線切割主軸結構可以進行相應的替換，形成標準件的形式，在使用本實用新型的同時，就不必要對其他器械設備的更新。
[0024]本實用新型的芯軸I加工步驟如下:備料一車端面一鑽中心孔一車外圓一統床一熱處理一磨削。本實用新型的外套2加工步驟如下:備料一車端面一鑽內孔一車內外圓一銑床一鉗工一熱處理一磨削。
[0025]通過以上的加工步驟可以看出，本實用新型不僅僅安裝簡便，性能穩定外，生產的過程也十分的簡單，通過一般的機械加工步驟就可以分別完成芯軸I和外套2的加工，再通過其他標準件進行裝配組合，既帶來現有設備的使用性能，也將現有設備由於結構等產生的缺陷彌補，可以帶來極大的生產進步。而以上的生產步驟改進主要是因為芯軸I的改進而實現，由於現有技術中，需要在生產分過程中對中心孔進行精確的測量，而使用了本實用新型的芯軸1，則將這一最影響零件合格率的步驟去除，可以大大的增加本實用新型的芯軸I加工中的產品合格率，也大大的簡化了零件的生產過程。
[0026]最後，還需要注意的是，以上列舉的僅是本發明的一個具體實施例。顯然，本發明不限於以上實施例，還可以有許多變形。本領域的普通技術人員能從本發明公開的內容直接導出或聯想到的所有變形，均應認為是本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.藍寶石襯底晶片的線切割裝置，其特徵是:包括芯軸(I)和外套(2); 所述芯軸(I)上套裝外套(2); 所述芯軸(I)的兩端分別設置有左軸承(5)和右軸承(6)。
2.根據權利要求1所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置，其特徵是:所述的芯軸(I)和外套(2)之間通過鎖緊螺絲(3)相互固定。
3.根據權利要求2所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置，其特徵是:所述芯軸(I)和外套(2)之間設置有傳動連接鍵(4)。
4.根據權利要求3所述的藍寶石襯底晶片的線切割裝置，其特徵是:相對應於鎖緊螺絲(3)，分別在芯軸(I)和外套(2)上設置有相應的凹槽。
【文檔編號】B28D5/04GK203945510SQ201320893757
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2013年12月31日 優先權日:2013年12月31日
【發明者】胡榮傑, 唐旭, 劉浦鋒, 宋洪偉, 陳猛 申請人:上海超矽半導體有限公司