功率晶片的智能化加工成套裝備的製作方法

2023-05-18 20:22:57

本發明涉及一種工業製造設備，更具體地說，涉及一種用於對功率晶片實現自動化加工作業的專用設備。

背景技術：

由於功率晶片的結構小巧，並且引腳長度較長，使得對功率晶片的自動化加工難度較大。

現在都是依靠人工作業實現對功率晶片上引腳的折彎、剪切等作業。不僅勞動量大，而且加工精度得不到保障。

技術實現要素：

本發明的目的在於提供了一種功率晶片的智能化加工成套裝備用於實現功率晶片引腳的全自動折彎、剪切和搬運，實現無人化作業、工作效率高、成型精度高；本發明功率晶片的智能化加工成套裝備由供料機構將功率晶片通過軌道輸送至步進送料機構，由折彎機構和剪切機構分別完成功率晶片引腳的折彎和剪切，由機械手將功率晶片從步進送料機構上抓取到轉盤機構上，由轉盤機構對功率晶片的姿態進行調整後，由機械手將功率晶片從轉盤機構上取出。

一種功率晶片的智能化加工成套裝備，包括：工作檯、用於提供功率晶片的供料機構、對所述功率晶片的引腳實現折彎的折彎機構、對所述引腳實現剪切的剪切機構、對所述功率晶片實現搬運的步進送料機構、用於抓取所述功率晶片的機械手、用於調節所述功率晶片的姿態的轉盤機構，所述供料機構固連於所述工作檯，所述供料機構的軌道連接到所述步進送料機構，所述步進送料機構的側邊設置有所述折彎機構和剪切機構，所述機械手連接所述步進送料機構和轉盤機構。

優選地，供料機構包括：料夾、推料氣缸、推桿、軌道、分割器、功率晶片、料夾座、料夾蓋，所述分割器固連於所述工作檯，所述分割器的轉盤上固連有所述料夾座、料夾蓋，所述料夾固連於所述料夾座、料夾蓋；所述分割器的中部設置有推料氣缸，所述推料氣缸的活塞杆的末端固連有推桿，所述軌道固連於所述分割器的外殼，所述推桿朝向所述軌道所述在方向，所述料夾座上設置有和所述推桿相匹配的推料孔。

優選地，所述料夾的數量為八個。

優選地，所述步進送料機構包括：送料氣缸、送料滑塊、送料導軌、棘爪、彈簧、鉸鏈、載料臺，所述送料導軌固連於所述工作檯，所述送料滑塊活動連接於所述送料導軌；所述送料滑塊的一端固連於所述送料氣缸的活塞杆的末端，所述送料氣缸的氣缸體固連於所述工作檯；所述棘爪通過所述鉸鏈活動連接於所述送料滑塊，在所述棘爪和所述送料滑塊之間設置有所述彈簧；所述載料臺的上部設置有蓋板，所述功率晶片放置於所述載料臺和蓋板之間。

優選地，所述步進送料機構上設置有：備料工位、折彎工位、剪切工位、出料工位，所述棘爪的數量為四個。

優選地，所述彈簧處於受壓狀態。

優選地，所述折彎機構包括：一號氣缸、上模、下模、一號支架，所述一號氣缸的活塞杆的末端固連於所述上模，所述一號氣缸的氣缸體固連於所述一號支架，所述上模活動連接於所述一號支架；所述下模位於所述上模的下部並固連於所述一號支架。

優選地，所述剪切機構包括：二號氣缸、二號支架、豎直導軌、上下滑塊、切刀、預緊塊、託板、預緊彈簧，所述二號氣缸的氣缸體固連於所述二號支架，所述豎直導軌豎直布置於所述二號支架，所述上下滑塊活動連接於所述豎直導軌，所述二號氣缸的活塞杆的末端固連於所述上下滑塊；所述切刀固連於所述上下滑塊，所述預緊塊活動連接於所述上下滑塊，在所述預緊塊和所述上下滑塊之間設置有所述預緊彈簧；在所述上下滑塊的下部設置有所述託板，所述託板固連於所述二號支架。

優選地，所述機械手包括：一號手爪、二號手爪、抬升氣缸、伺服電機、絲杆、直線導軌、水平滑板、橫杆、機械手支架，所述伺服電機和直線導軌固連於所述機械手支架，所述絲杆活動連接於所述機械手支架，所述伺服電機的輸出軸通過聯軸器固連於所述絲杆的一端；所述水平滑板活動連接於所述直線導軌，所述水平滑板上設置有和所述絲杆相匹配的螺母；所述抬升氣缸的氣缸體固連於所述水平滑板，所述抬升氣缸的活塞杆的末端固連於所述橫杆；在所述橫杆的一端設置所述一號手爪，在另一端設置所述二號手爪。

優選地，所述轉盤機構包括：齒輪、齒條、轉角氣缸、吸盤、導向塊，所述齒輪活動連接於所述工作檯，所述齒輪和齒條相匹配；所述轉角氣缸的氣缸體固連於所述工作檯，所述轉角氣缸的活塞杆的末端固連於所述齒條，所述齒條活動連接於所述導向塊；所述齒輪的上部設置所述吸盤。

和傳統技術相比，本發明功率晶片的智能化加工成套裝備具有以下積極作用和有益效果：

本發明功率晶片的智能化加工成套裝備，實現了所述功率晶片的自動供料，所述功率晶片輸送至所述步進送料機構後，由所述折彎機構對所述引腳實現折彎，接著由所述剪切機構對所述引腳實現剪切，最後輸出加工完成的所述功率晶片，實現對所述引腳的全自動、無人化折彎和剪切，工作效率高、加工精度高。

所述料夾的數量為八個，所述功率晶片預先裝滿所有的所述料夾。所述料夾通過所述料夾座和料夾蓋固連於所述轉盤。所述轉盤在所述分割器的驅動下進行轉動，每次轉動的角度為四十五度角。在任意時刻，總有一個所述料夾和所述軌道相匹配。所述推料氣缸的活塞杆的末端固連有推桿，所述推桿朝向所述軌道所述在方向，所述料夾座上設置有和所述推桿相匹配的推料孔。所述推料氣缸的氣缸體固連於所述外殼。

所述推料氣缸的活塞杆伸出，所述推桿進入所述推料孔後，推動位於所述料夾的最下部的所述功率晶片進入所述軌道中，所述功率晶片沿著所述軌道滑至所述步進送料機構的所述備料工位。

開始，所述送料氣缸的活塞杆處於縮回狀態。所述棘爪在所述彈簧的推力作用下而貼於所述送料滑塊。接著所述送料氣缸的活塞杆伸出，所述棘爪推動所述功率晶片進給一段距離，使所述功率晶片從所述備料工位移動到所述折彎工位。

接著，所述送料氣缸的活塞杆縮回，所述棘爪在退回的過程中，接觸到所述功率晶片後而壓縮所述彈簧，使得所述棘爪可以退回到原位。從而使所述棘爪分別對應於所述備料工位、折彎工位、剪切工位、出料工位。接著又有一個所述功率晶片進入所述備料工位。

接著，所述折彎機構對所述引腳實現折彎作業。而後，所述送料氣缸的活塞杆伸出，使所述棘爪推動所述功率晶片進給一段距離。使原本處於所述折彎工位的所述功率晶片到達所述剪切工位，使原本處於所述備料工位的所述功率晶片到達所述折彎工位。接著，所述送料氣缸的活塞杆縮回，所述棘爪退回到原位。

接著，所述剪切機構對所述引腳實現剪切作業。而後，所述送料氣缸的活塞杆伸出，使所述棘爪推動所述功率晶片進給一段距離。使原本處於所述剪切工位的所述功率晶片到達所述出料工位，使原本處於所述折彎工位的所述功率晶片到達所述剪切工位，使原本處於所述備料工位的所述功率晶片到達所述折彎工位。接著，所述送料氣缸的活塞杆縮回，所述棘爪退回到原位。

周而復始地，所述送料氣缸不斷的伸出、縮回，實現對所述引腳的不斷折彎、剪切、輸出。

以下描述所述折彎機構的工作過程。所述功率晶片位於所述折彎工位，所述引腳位於所述上模和下模之間。所述一號氣缸的活塞杆的末端固連於所述上模，所述上模活動連接於所述一號支架，所述一號氣缸的活塞杆伸出驅動所述上模向所述下模所在方向運動，所述上模和下模合攏，實現對所述引腳的擠壓變形。

以下描述所述剪切機構的工作過程。所述功率晶片位於所述剪切工位，所述引腳位於所述切刀和託板之間。所述二號氣缸的氣缸體固連於所述二號支架，所述豎直導軌豎直布置於所述二號支架，所述上下滑塊活動連接於所述豎直導軌，所述二號氣缸的活塞杆的末端固連於所述上下滑塊，所述二號氣缸的活塞杆伸出，所述預緊塊和切刀向所述引腳方向運動。由於所述預緊塊比所述切刀先接觸到所述引腳，所述預緊塊在所述預緊彈簧的推力作用下，所述預緊塊和託板實現對所述引腳的夾緊固定。接著，所述切刀繼續向下運動，所述切刀的向下衝擊力實現了對所述引腳的剪切作業。

所述絲杆活動連接於所述機械手支架，所述伺服電機的輸出軸通過聯軸器固連於所述絲杆的一端，所述伺服電機驅動所述絲杆進行轉動。所述水平滑板活動連接於所述直線導軌，所述水平滑板上設置有和所述絲杆相匹配的螺母，所述伺服電機驅動所述絲杆轉動，所述絲杆驅動所述水平滑板沿所述直線導軌滑動。所述抬升氣缸的氣缸體固連於所述水平滑板，所述抬升氣缸的活塞杆的末端固連於所述橫杆，所述抬升氣缸用於實現所述橫杆、一號手爪和二號手爪的上升或者下降。在所述橫杆上設置有兩個手爪，包括：所述一號手爪和二號手爪可以提高工作效率。

以下描述所述機械手的工作過程。所述抬升氣缸的活塞杆處於縮回狀態，所述伺服電機驅動所述滑板向所述步進送料機構所在方向運動。使所述一號手爪位於所述吸盤的上部，同時，所述二號手爪位於所述出料工位的上部。接著，所述抬升氣缸的活塞杆伸出，所述橫杆下降，所述一號手爪接觸到位於所述吸盤上的所述功率晶片，所述二號手爪接觸到位於所述出料工位處的所述功率晶片。所述一號手爪和二號手爪通過真空吸附的方式吸取住所述功率晶片。接著，所述抬升氣缸的活塞杆縮回，所述水平滑板向遠離所述步進送料機構所在的方向運動，兩個所述功率晶片被所述機械手搬運的一段距離。直到，所述二號手爪位於所述吸盤的上部，所述一號手爪到達下一道自動化工位處。

所述齒輪活動連接於所述工作檯，所述齒條活動連接於所述導向塊，所述齒輪和齒條相匹配。所述轉角氣缸驅動所述齒條沿所述導向塊做直線運動，所述齒條驅動所述齒輪和吸盤轉動，使所述功率晶片轉動一定的角度。所述吸盤通過真空吸附的方式固定所述功率晶片，防止所述功率晶片在所述吸盤上發生滑動。

附圖說明

圖1、2、3是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的結構示意圖；

圖4、5是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的供料機構的結構示意圖；

圖6、7是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的步進送料機構的結構示意圖；

圖8是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的折彎機構的結構示意圖；

圖9、10、11是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的剪切機構的結構示意圖；

圖12是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的機械手和轉盤機構的結構示意圖。

1 工作檯、2 供料機構、3 折彎機構、4 剪切機構、5 步進送料機構、6 料夾、7 推料氣缸、8 推桿、9 導軌、10 分割器、11 功率晶片、12 料夾座、13 料夾蓋、14 推料孔、15 送料氣缸、16 送料滑塊、17 送料導軌、18 棘爪、19 彈簧、20 鉸鏈、21 載料臺、22 備料工位、23 折彎工位、24 剪切工位、25 出料工位、26 一號氣缸、27 上模、28 下模、29 引腳、30 二號氣缸、31 支架、32 豎直導軌、33 上下滑塊、34 切刀、35 預緊塊、36 託板、37 預緊彈簧、38 外殼、39 轉盤、40 蓋板、41 一號支架、42 轉盤機構、43 一號手爪、44 二號手爪、45 抬升氣缸、46 伺服電機、47 絲杆、48 直線導軌、49 水平滑板、50 橫杆、51 齒輪、52 齒條、53 轉角氣缸、54 吸盤、55 導向塊。

具體實施方式

下面將結合附圖對本發明作進一步地詳細說明，但不構成對本發明的任何限制，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。如上所述，本發明提供了一種功率晶片的智能化加工成套裝備，用於實現功率晶片引腳的全自動折彎、剪切和搬運，實現無人化作業、工作效率高、成型精度高；本發明功率晶片的智能化加工成套裝備由供料機構將功率晶片通過軌道輸送至步進送料機構，由折彎機構和剪切機構分別完成功率晶片引腳的折彎和剪切，由機械手將功率晶片從步進送料機構上抓取到轉盤機構上，由轉盤機構對功率晶片的姿態進行調整後，由機械手將功率晶片從轉盤機構上取出。

圖1、2、3是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的結構示意圖，圖4、5是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的供料機構的結構示意圖，圖6、7是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的步進送料機構的結構示意圖，圖8是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的折彎機構的結構示意圖，圖9、10、11是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的剪切機構的結構示意圖，圖12是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的機械手和轉盤機構的結構示意圖。

本發明功率晶片的智能化加工成套裝備，包括：工作檯1、用於提供功率晶片11的供料機構2、對所述功率晶片11的引腳29實現折彎的折彎機構3、對所述引腳29實現剪切的剪切機構4、對所述功率晶片11實現搬運的步進送料機構5、用於抓取所述功率晶片11的機械手56、用於調節所述功率晶片11的姿態的轉盤機構42，所述供料機構2固連於所述工作檯1，所述供料機構2的軌道9連接到所述步進送料機構5，所述步進送料機構5的側邊設置有所述折彎機構3和剪切機構4，所述機械手56連接所述步進送料機構5和轉盤機構42。

更具體地，供料機構2包括：6料夾、推料氣缸7、推桿8、軌道9、分割器10、功率晶片11、料夾座12、料夾蓋13，所述分割器10固連於所述工作檯1，所述分割器10的轉盤39上固連有所述料夾座12、料夾蓋13，所述料夾6固連於所述料夾座12、料夾蓋13；所述分割器10的中部設置有推料氣缸7，所述推料氣缸7的活塞杆的末端固連有推桿8，所述軌道9固連於所述分割器10的外殼38，所述推桿8朝向所述軌道9所述在方向，所述料夾座12上設置有和所述推桿8相匹配的推料孔14。

更具體地，所述料夾6的數量為八個。

更具體地，所述步進送料機構5包括：送料氣缸15、送料滑塊16、送料導軌17、棘爪18、彈簧19、鉸鏈20、載料臺21，所述送料導軌17固連於所述工作檯1，所述送料滑塊16活動連接於所述送料導軌17；所述送料滑塊16的一端固連於所述送料氣缸15的活塞杆的末端，所述送料氣缸15的氣缸體固連於所述工作檯1；所述棘爪18通過所述鉸鏈20活動連接於所述送料滑塊16，在所述棘爪18和所述送料滑塊16之間設置有所述彈簧19；所述載料臺21的上部設置有蓋板40，所述功率晶片11放置於所述載料臺21和蓋板40之間。

更具體地，所述步進送料機構5上設置有：備料工位22、折彎工位23、剪切工位24、出料工位25，所述棘爪18的數量為四個。

更具體地，所述彈簧19處於受壓狀態。

更具體地，所述折彎機構3包括：一號氣缸26、上模27、下模28、一號支架41，所述一號氣缸26的活塞杆的末端固連於所述上模27，所述一號氣缸26的氣缸體固連於所述一號支架41，所述上模27活動連接於所述一號支架41；所述下模28位於所述上模27的下部並固連於所述一號支架41。

更具體地，所述剪切機構4包括：二號氣缸30、二號支架31、豎直導軌32、上下滑塊33、切刀34、預緊塊35、託板36、預緊彈簧37，所述二號氣缸30的氣缸體固連於所述二號支架31，所述豎直導軌32豎直布置於所述二號支架31，所述上下滑塊33活動連接於所述豎直導軌32，所述二號氣缸30的活塞杆的末端固連於所述上下滑塊33；所述切刀34固連於所述上下滑塊33，所述預緊塊35活動連接於所述上下滑塊33，在所述預緊塊35和所述上下滑塊33之間設置有所述預緊彈簧37；在所述上下滑塊33的下部設置有所述託板36，所述託板36固連於所述二號支架31。

更具體地，所述機械手56包括：一號手爪43、二號手爪44、抬升氣缸45、伺服電機46、絲杆47、直線導軌48、水平滑板49、橫杆50、機械手支架57，所述伺服電機46和直線導軌48固連於所述機械手支架57，所述絲杆47活動連接於所述機械手支架57，所述伺服電機46的輸出軸通過聯軸器固連於所述絲杆47的一端；所述水平滑板49活動連接於所述直線導軌48，所述水平滑板49上設置有和所述絲杆47相匹配的螺母；所述抬升氣缸45的氣缸體固連於所述水平滑板49，所述抬升氣缸45的活塞杆的末端固連於所述橫杆50；在所述橫杆50的一端設置所述一號手爪43，在另一端設置所述二號手爪44。

更具體地，所述轉盤機構42包括：齒輪51、齒條52、轉角氣缸53、吸盤54、導向塊55，所述齒輪51活動連接於所述工作檯1，所述齒輪51和齒條52相匹配；所述轉角氣缸53的氣缸體固連於所述工作檯1，所述轉角氣缸53的活塞杆的末端固連於所述齒條52，所述齒條52活動連接於所述導向塊55；所述齒輪51的上部設置所述吸盤54。

以下結合圖1至10，進一步描述本發明功率晶片的智能化加工成套裝備的工作原理和工作過程：

本發明功率晶片的智能化加工成套裝備，實現了所述功率晶片11的自動供料，所述功率晶片11輸送至所述步進送料機構5後，由所述折彎機構3對所述引腳29實現折彎，接著由所述剪切機構4對所述引腳29實現剪切，最後輸出加工完成的所述功率晶片，實現對所述引腳29的全自動、無人化折彎和剪切，工作效率高、加工精度高。

所述料夾6的數量為八個，所述功率晶片11預先裝滿所有的所述料夾6。所述料夾6通過所述料夾座12和料夾蓋13固連於所述轉盤39。所述轉盤39在所述分割器10的驅動下進行轉動，每次轉動的角度為四十五度角。在任意時刻，總有一個所述料夾6和所述軌道9相匹配。所述推料氣缸7的活塞杆的末端固連有推桿8，所述推桿8朝向所述軌道9所述在方向，所述料夾座12上設置有和所述推桿8相匹配的推料孔14。所述推料氣缸7的氣缸體固連於所述外殼38。

所述推料氣缸7的活塞杆伸出，所述推桿8進入所述推料孔14後，推動位於所述料夾6的最下部的所述功率晶片11進入所述軌道9中，所述功率晶片11沿著所述軌道9滑至所述步進送料機構5的所述備料工位22。

開始，所述送料氣缸15的活塞杆處於縮回狀態。所述棘爪18在所述彈簧19的推力作用下而貼於所述送料滑塊16。接著所述送料氣缸15的活塞杆伸出，所述棘爪18推動所述功率晶片11進給一段距離，使所述功率晶片11從所述備料工位22移動到所述折彎工位23。

接著，所述送料氣缸15的活塞杆縮回，所述棘爪18在退回的過程中，接觸到所述功率晶片11後而壓縮所述彈簧19，使得所述棘爪18可以退回到原位。從而使所述棘爪18分別對應於所述備料工位22、折彎工位23、剪切工位24、出料工位25。接著又有一個所述功率晶片11進入所述備料工位22。

接著，所述折彎機構3對所述引腳29實現折彎作業。而後，所述送料氣缸15的活塞杆伸出，使所述棘爪18推動所述功率晶片11進給一段距離。使原本處於所述折彎工位23的所述功率晶片11到達所述剪切工位24，使原本處於所述備料工位22的所述功率晶片11到達所述折彎工位23。接著，所述送料氣缸15的活塞杆縮回，所述棘爪18退回到原位。

接著，所述剪切機構4對所述引腳29實現剪切作業。而後，所述送料氣缸15的活塞杆伸出，使所述棘爪18推動所述功率晶片11進給一段距離。使原本處於所述剪切工位24的所述功率晶片11到達所述出料工位25，使原本處於所述折彎工位23的所述功率晶片11到達所述剪切工位24，使原本處於所述備料工位22的所述功率晶片11到達所述折彎工位23。接著，所述送料氣缸15的活塞杆縮回，所述棘爪18退回到原位。

周而復始地，所述送料氣缸15不斷的伸出、縮回，實現對所述引腳29的不斷折彎、剪切、輸出。

以下描述所述折彎機構3的工作過程。所述功率晶片11位於所述折彎工位23，所述引腳29位於所述上模27和下模28之間。所述一號氣缸26的活塞杆的末端固連於所述上模27，所述上模27活動連接於所述一號支架41，所述一號氣缸26的活塞杆伸出驅動所述上模27向所述下模28所在方向運動，所述上模27和下模28合攏，實現對所述引腳29的擠壓變形。

以下描述所述剪切機構4的工作過程。所述功率晶片11位於所述剪切工位24，所述引腳29位於所述切刀34和託板36之間。所述二號氣缸30的氣缸體固連於所述二號支架31，所述豎直導軌32豎直布置於所述二號支架31，所述上下滑塊33活動連接於所述豎直導軌32，所述二號氣缸30的活塞杆的末端固連於所述上下滑塊33，所述二號氣缸30的活塞杆伸出，所述預緊塊35和切刀34向所述引腳方向運動。由於所述預緊塊35比所述切刀34先接觸到所述引腳29，所述預緊塊35在所述預緊彈簧37的推力作用下，所述預緊塊35和託板36實現對所述引腳29的夾緊固定。接著，所述切刀34繼續向下運動，所述切刀34的向下衝擊力實現了對所述引腳29的剪切作業。

所述絲杆47活動連接於所述機械手支架57，所述伺服電機46的輸出軸通過聯軸器固連於所述絲杆47的一端，所述伺服電機46驅動所述絲杆47進行轉動。所述水平滑板49活動連接於所述直線導軌48，所述水平滑板49上設置有和所述絲杆47相匹配的螺母，所述伺服電機46驅動所述絲杆47轉動，所述絲杆47驅動所述水平滑板49沿所述直線導軌48滑動。所述抬升氣缸45的氣缸體固連於所述水平滑板49，所述抬升氣缸45的活塞杆的末端固連於所述橫杆50，所述抬升氣缸45用於實現所述橫杆50、一號手爪43和二號手爪44的上升或者下降。在所述橫杆50上設置有兩個手爪，包括：所述一號手爪43和二號手爪44可以提高工作效率。

以下描述所述機械手56的工作過程。所述抬升氣缸45的活塞杆處於縮回狀態，所述伺服電機46驅動所述滑板49向所述步進送料機構5所在方向運動。使所述一號手爪43位於所述吸盤54的上部，同時，所述二號手爪44位於所述出料工位25的上部。接著，所述抬升氣缸45的活塞杆伸出，所述橫杆50下降，所述一號手爪43接觸到位於所述吸盤54上的所述功率晶片11，所述二號手爪44接觸到位於所述出料工位25處的所述功率晶片11。所述一號手爪43和二號手爪44通過真空吸附的方式吸取住所述功率晶片11。接著，所述抬升氣缸45的活塞杆縮回，所述水平滑板49向遠離所述步進送料機構5所在的方向運動，兩個所述功率晶片11被所述機械手56搬運的一段距離。直到，所述二號手爪44位於所述吸盤54的上部，所述一號手爪43到達下一道自動化工位處。

所述齒輪51活動連接於所述工作檯1，所述齒條52活動連接於所述導向塊55，所述齒輪51和齒條52相匹配。所述轉角氣缸53驅動所述齒條52沿所述導向塊55做直線運動，所述齒條52驅動所述齒輪51和吸盤54轉動，使所述功率晶片11轉動一定的角度。所述吸盤54通過真空吸附的方式固定所述功率晶片11，防止所述功率晶片11在所述吸盤54上發生滑動。

最後，應當指出，以上實施例僅是本發明功率晶片的智能化加工成套裝備較有代表性的例子。顯然，本發明不限於上述實施例，還可以有許多變形。凡是依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均應認為屬於本發明的保護範圍。