藍寶石晶體生長用可調節保溫系統的製作方法

2023-05-03 19:30:41

專利名稱：藍寶石晶體生長用可調節保溫系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及藍寶石晶體生長爐領域，尤其涉及一種生長爐保溫系統。
背景技術：
使用泡生法或泡生法改良方法，如冷心放肩微提拉法生長大尺寸藍寶石晶體時，保證了大尺寸晶體生長，整個過程結晶遺傳特性良好，材料品質優良.通過高精度的能量控制配臺微量提拉，使得在整個晶體生長過程中明顯的熱擾動，缺陷萌生的機率較其他方法明顯降低.熱場更均勻，從而保證單品生長成功率。由於冷心放肩微提拉法生長工藝的調整、改進，晶體不被提出坩堝，在晶體仍處於熱態時.可精確控制它的冷卻速度，減少熱應力；但是現有的生長爐無法滿足此類要求，以及各爐臺之間的不可控差別等因素，生產過程中對於熱場的調節是必須的。然而通常所使用的保溫系統在加工完成後無法再進行較大的改動，不能滿足實際生產要求。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，通過可靈活調節的上部隔熱屏、鎢桶、氧化鋯底座、下隔熱屏，使該保溫系統能夠滿足保溫系統易調整的要求。本實用新型是這樣實現的:一種藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，包括上部隔熱屏、保溫筒、側部隔熱屏、坩堝隔熱屏、下部隔熱屏、底板和外桶體，所述底板設置在外桶體內，所述坩堝託盤安裝在鍋位調節託盤上，所述鍋位調節託盤通過支柱安裝在底板上，坩堝託盤上設置坩堝，坩堝隔熱屏設置在坩堝的頂部；所述保溫筒安裝在底板上，所述側部隔熱屏豎直設置在底板上包住保溫筒，所述上部隔熱屏安裝在外桶體頂部，下部隔熱屏安裝在底板的上表面，上部隔熱屏、保溫筒和下部隔熱屏一起包住坩堝，所述外桶體底部安裝有氧化鋯底座，所述底板通過井字架安裝在氧化鋯底座上，所述氧化鋯底座由底盤內圈、底盤中圈和底盤外圈三圈構成，所述底盤中圈和底盤外圈支撐井字架，底盤內圈活動安裝。所述的保溫筒為鎢筒。所述的保溫筒由上筒、中筒和下筒三部分活動拼裝而成。所述上部隔熱屏包括上屏鑰盤、隔熱片組和連接柱，所述連接柱頂端通過固定螺母安裝在上屏鑰盤上，隔熱片組設置在連接柱的下部，上屏鑰盤與隔熱片組之間的連接柱外套裝有套筒。所述下部隔熱屏由鎢隔熱片和鑰隔熱片組合而成，所述鎢隔熱片設置在下部隔熱屏的頂面和底面，鑰隔熱片設置在下部隔熱屏的中間，鎢隔熱片的厚度大於鑰隔熱片的厚度。本實用新型藍寶石晶體生長用可調節保溫系統通過可靈活調節的上部隔熱屏、鎢桶、氧化鋯底座、下隔熱屏，使該保溫系統能夠滿足泡生法及其改良方法生長藍寶石晶體的實際生產中，因工藝改動、爐臺差別所需要的保溫系統易調整的要求。
圖1為本實用新型藍寶石晶體生長用可調節保溫系統結構示意圖；圖2為上部隔熱屏立體結構示意圖；圖3為上部隔熱屏截面示意圖；圖4為保溫筒結構示意圖；圖5為氧化鋯底座結構示意圖。圖中:1上部隔熱屏、2保溫筒、3氧化鋯底座、4側部隔熱屏、5坩堝隔熱屏、6下部隔熱屏、7底板、8井字架、9外桶體、10鍋位調節託盤、11支柱、12坩堝託盤、13坩堝、21上筒、22中筒、23下筒、31底盤內圈、32底盤中圈、33底盤外圈、41固定螺母、42上屏鑰盤、43隔熱片、44套筒、45連接柱。
具體實施方式
下面結合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應理解，這些實施例僅用於說明本實用新型而不用於限制本實用新型的範圍。此外應理解，在閱讀了本實用新型表述的內容之後，本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落於本申請所附權利要求書所限定的範圍。實施例1如圖1、5所示，一種藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，包括上部隔熱屏1、保溫筒2、側部隔熱屏4、坩堝隔熱屏5、下部隔熱屏6、底板7和外桶體9，所述底板7設置在外桶體9內，所述坩堝託盤12安裝在鍋位調節託盤10上，所述鍋位調節託盤10通過支柱11安裝在底板7上，坩堝託盤12上設置坩堝13，坩堝隔熱屏5設置在坩堝13的頂部；所述保溫筒2安裝在底板7上，所述側部隔熱屏4豎直設置在底板7上包住保溫筒2，所述上部隔熱屏I安裝在外桶體9頂部，下部隔熱屏6安裝在底板7的上表面，上部隔熱屏1、保溫筒2和下部隔熱屏6 —起包住坩堝13，所述外桶體9底部安裝有氧化鋯底座3，所述底板7通過井字架8安裝在氧化鋯底座3上，所述氧化鋯底座3由底盤內圈31、底盤中圈32和底盤外圈33三圈構成，所述底盤中圈32和底盤外圈33支撐井字架8，底盤內圈31活動安裝，底盤內圈31可以根據使用者的實際需要安裝或去除。如圖4所示，在本實用新型中，所述的保溫筒2為鎢筒，所述的保溫筒2由上筒21、中筒22和下筒23三部分活動拼裝而成，上筒21和中筒22可以根據實際使用的需要安裝或去除，實現調節保溫要求的目的。如圖2、3所示，所述上部隔熱屏I包括上屏鑰盤42、隔熱片組43和連接柱45，所述連接柱45頂端通過固定螺母41安裝在上屏鑰盤42上，隔熱片組43設置在連接柱45的下部，上屏鑰盤42與隔熱片組43之間的連接柱45外套裝有套筒44 ;隔熱片組43中的隔熱片數量可以自由調節，實現調節保溫要求的目的。在本實施例中，所述下部隔熱屏6由鎢隔熱片和鑰隔熱片組合而成，所述鎢隔熱片設置在下部隔熱屏6的頂面和底面，鑰隔熱片設置在下部隔熱屏6的中間，鎢隔熱片的厚度大於鑰隔熱片的厚度，生產中可通過對鑰隔熱片數量的調節，實現對熱場的調節。
權利要求1.一種藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，包括上部隔熱屏(I)、保溫筒(2)、側部隔熱屏(4)、坩堝隔熱屏(5)、下部隔熱屏(6)、底板(7)、外桶體(9)、鍋位調節託盤(10)和坩堝託盤(12)，所述底板(7)設置在外桶體(9)內，所述坩堝託盤(12)安裝在鍋位調節託盤(10)上，所述鍋位調節託盤(10)通過支柱(11)安裝在底板(7)上，坩堝託盤(12)上設置坩堝(13)，坩堝隔熱屏(5)設置在坩堝(13)的頂部；所述保溫筒(2)安裝在底板(7)上，所述側部隔熱屏(4)豎直設置在底板(7)上包住保溫筒(2)，所述上部隔熱屏(I)安裝在外桶體(9)頂部，下部隔熱屏(6)安裝在底板(7)的上表面，上部隔熱屏(I)、保溫筒(2)和下部隔熱屏(6) —起包住坩堝(13)，其特徵是:所述外桶體(9)底部安裝有氧化鋯底座(3)，所述底板(7)通過井字架(8)安裝在氧化鋯底座(3)上，所述氧化鋯底座(3)由底盤內圈(31)、底盤中圈(32)和底盤外圈(33)三圈構成，所述底盤中圈(32)和底盤外圈(33)支撐井字架(8)，底盤內圈(31)活動安裝。
2.如權利要求1所述的藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，其特徵是:所述的保溫筒(2)為鶴筒。
3.如權利要求2所述的藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，其特徵是:所述的保溫筒(2)由上筒(21)、中筒(22)和下筒(23)三部分活動拼裝而成。
4.如權利要求廣3中任意一權利要求所述的藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，其特徵是:所述上部隔熱屏(I)包括上屏鑰盤(42)、隔熱片組(43)和連接柱(45)，所述連接柱(45)頂端通過固定螺母(41)安裝在上屏鑰盤(42)上，隔熱片組(43)設置在連接柱(45)的下部，上屏鑰盤(42)與隔熱片組(43)之間的連接柱(45)外套裝有套筒(44)。
5.如權利要求廣3中任意一權利要求所述的藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，其特徵是:所述下部隔熱屏出)由鎢隔熱片和鑰隔熱片組合而成，所述鎢隔熱片設置在下部隔熱屏(6)的頂面和底面，鑰隔熱片設置在下部隔熱屏(6)的中間，鎢隔熱片的厚度大於鑰隔熱片的厚度。
專利摘要本實用新型涉及藍寶石晶體生長爐領域，尤其涉及一種藍寶石晶體生長用可調節保溫系統。一種藍寶石晶體生長用可調節保溫系統，所述保溫筒安裝在底板上，所述側部隔熱屏豎直設置在底板上包住保溫筒，所述上部隔熱屏安裝在外桶體頂部，下部隔熱屏安裝在底板的上表面，上部隔熱屏、保溫筒和下部隔熱屏一起包住坩堝，所述外桶體底部安裝有氧化鋯底座，所述底板通過井字架安裝在氧化鋯底座上，所述底盤中圈和底盤外圈支撐井字架，底盤內圈活動安裝。本實用通過可靈活調節的上部隔熱屏、鎢桶、氧化鋯底座、下隔熱屏，使該保溫系統能夠滿足泡生法及其改良方法生長藍寶石晶體的實際生產中，因工藝改動、爐臺差別所需要的保溫系統易調整的要求。
文檔編號C30B17/00GK202936511SQ20122044001
公開日2013年5月15日 申請日期2012年8月31日 優先權日2012年8月31日
發明者邱秋松, 周凱平 申請人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司