一種vfd雙面真空鍍膜設備的擋板機構的製作方法

2023-05-24 16:20:51

專利名稱：一種vfd雙面真空鍍膜設備的擋板機構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板機構。
(二)
背景技術：
在VFD真空鍍膜生產線的總體設計中，考慮到成木問題，大多採 用了對靶雙面鍍膜的設備結構，即釆用四塊磁控濺射陰極靶，左右兩 兩相對，可同時對兩側裝載的玻璃基片進行鍍膜，設備的生產效率提 高-—倍。同時在對耙之間要加入活動擋板(對開擋板)，來解決雙面鍍 膜時陰極靶材料相互沉積汙染問題。但是，由於真空系統熱傳導能力 差、橡膠件動密封易洩漏的特殊性，以及磁控濺射高溫丁.藝的具休耍 求，使得-般的擋板機構極易產生傳動系統動密封洩漏，無法長時間 保證夷空鍍膜生產線正常的生產和運行。
(三) 發明內容
為了克服現有VFD雙面真空鍍膜設備的擋板機構易產生傳動系統 動密封洩漏的不足，本實用新型提供--種可達到無洩露效果的VFD雙而 真空鍍膜設備的擋板機構。
本實用新型解決其技術問題的技術方案是: 一種VFD雙面真空鍍 膜設備的擋板機構，包括第一擋板和第二擋板，所述第一擋板的上端 安裝在第一上波紋管上，所述第一擋板的下端安裝在第一下波紋管上， 所述的第一上波紋管與所述的第-下波紋管對稱；所述第二擋板的上 端安裝在第二上波紋管上，所述第二擋板的下端安裝在第二 f波紋管 上，所述的第二上波紋管與所述的第二下波紋管對稱；所述第一上波
紋管的頭部設有第一上密封頭，所述的第一密封上頭與所述的第一上
波紋管圍成第一上密閉腔，所述的第一 .lr.密封頭具有第一上壓縮氣休
進氣管，所述的第一上壓縮氣體進氣管與所述的第一上密閉腔連通；
所述第一下波紋管的頭部設有第一下密封頭，所述的第一密封下頭與 所述的第一下波紋管圍成第一下密閉腔，所述的第一下密封頭具有第
，F壓縮氣休進氣管，所述的第一下壓縮氣體進氣管與所述的笫—T
密閉腔連通；所述第二上波紋管的尾部設有第二上密封頭，所述的第
二上密封頭與所述的第二上波紋管圍成第二上密閉腔，所述的第二上 密封頭具冇第二上壓縮氣體進氣管，所述的第二上壓縮氣休進氣管與
所述的第二上密閉腔連通；所述第二下波紋管的尾部設有第二下密封 頭，所述的第二下密封頭與所述的第二下波紋管圍成第二下密閉腔， 所述的第二下密封頭具有第二下壓縮氣體進氣管，所述的第二 —卜'壓縮 氣體進氣管與所述的第二下密閉腔連通；還包括第--拉簧、第二拉簧、 第三拉簧、第四拉簧，所述第一拉簧的前端和後端均連接在第一上波 紋管上，所述第二拉簧的前端和後端均連接在第一下波紋管上，所述 第三拉簧的前端和後端均連接在第二上波紋管上，所述第四拉簧的甜 端和後端均連接在第二下波紋管上。
進一步，所述的第一拉簧位於所述的第一上密閉腔內，所述的第 二拉簧位於所述的第一下密閉腔內，所述的第三拉簧位亍所述的第二 上密閉腔內，所述的第四拉簧位於所述的第二下密閉腔內。
進一步，所述的第一上壓縮氣體進氣管通過第一上密封接頭與所 述的第一上密封頭連接，所述的第一下壓縮氣體進氣管通過第一下密 封接頭與所述的第--下密封頭連接；所述的第二上壓縮氣體進氣管通過第二上密封接頭與所述的第二上密封頭連接，所述的第二下壓縮氣 體進氣管通過第二下密封接頭與所述的第二下密封頭連接。
使用時，將壓縮氣體充入第一上密閉腔，使壓縮氣體的壓力大於 第一拉簧對第一上波紋管的作用力，因波紋管具有伸縮能力，此時第
一上波紋管伸長；將壓縮氣體通過第一下密閉腔、第二上密閉腔、第
二下密閉腔，基於同樣的原理，將壓縮氣體通入第一下密閉腔、第二
上密閉腔、第二下密閉腔，第一下波紋管、第二上波紋管、第二下波
紋管也伸長，第一上波紋管、第一下波紋管、第二上波紋管、第二下
波紋管伸長後使得第一擋板和第二擋板分開。將壓縮氣體從第一上密
閉腔中放出，在第一拉簧的作用力下第一上波紋管縮短；基於同樣的
原理，將壓縮氣體從第--下密閉腔、第二上密閉腔、第二下密閉腔中
放出，第一下波紋管、第二上波紋管、第二下波紋管也縮短，第一上
波紋管、第一下波紋管、第二上波紋管、第二下波紋管縮短後第一擋
板和第二擋板又對合關閉。
本實用新型的有益效果在於由于波紋管具有伸縮能力，因此無需
膠圈作為滑動密封，故跟機構可達到無洩露效果。


圖1是本實用新型的結構示意圖。 圖2是本實用新型的局部放大圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一歩詳細說明。 參照圖l, 一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板機構，包括第一擋
板1和第二擋板2，所述第一擋板1的上端安裝在第一上波紋管3上，
所述第一擋板1的下端安裝在第一 卜—波紋管4上，所述的第一上波紋 管3與所述的第--下波紋管4對稱。所述第二擋板2的上端安裝在第 二上波紋管5」 '，所述第二擋板2的下端安裝在第二下波紋管6上， 所述的第二上波紋管5與所述的第二下波紋管6對稱。
所述第一上波紋管3的頭部設有第--上密封頭7，所述的第一密 封上頭7與所述的第一上波紋管3圍成第一上密閉腔9，所述的第一 上密封頭7具有第一上壓縮氣體進氣管8，所述的第一上壓縮氣體進 氣管8與所述的第一上密閉腔9連通，本實施例中，所述的第一上壓 縮氣體進氣管8通過第一上密封接頭10與所述的第一上密封頭7連 接。
所述第-下波紋管的頭部設有第-下密封頭，所述的第一密封下 頭與所述的第一下波紋管圍成第一下密閉腔，所述的第一下密封頭具 有第一下壓縮氣體進氣管，所述的第一下壓縮氣體進氣管與所述的第 一下密閉腔連通，本實施例中，所述的第一下壓縮氣體進氣管通過第 一下密封接頭與所述的第一下密封頭連接。
所述第二上波紋管的尾部設有第二上密封頭ll，所述的第二上密 封頭11與所述的第二上波紋管5圍成第二上密閉腔12，所述的第二 上密封頭11具有第二上壓縮氣體進氣管13，所述的第二上壓縮氣體 進氣管13與所述的第二上密閉腔12連通，本實施例中，所述的第二 上壓縮氣體進氣管13通過第二上密封接頭14與所述的第二上密封頭 ll連接。
所述第二下波紋管的尾部設有第二下密封頭，所述的第二卜'密封 頭與所述的第二下波紋管圍成第二下密閉腔，所述的第二下密封頭具 有第二下壓縮氣體進氣管，所述的第二下壓縮氣體進氣管與所述的第 二下密閉腔連通，本實施例中，所述的第二下壓縮氣體進氣管通過第 二下密封接頭與所述的第二下密封頭連接。
還包括第一拉簧15、第二拉簧16、第三拉簧17、第四拉簧18， 所述第一拉簧15的前端和後端均連接在第一上波紋管3上，所述第二 拉簧16的前端和後端均連接在第一下波紋管4上，所述第三拉簧17 的前端和後端均連接在第二上波紋管5上，所述第四拉簧18的前端和 後端均連接在第二下波紋管6上。本實施例中，所述的第一拉簧15 位於所述的第一上密閉腔9內，所述的第二拉簧16位於所述的第一下 密閉腔內，所述的第三拉簧17位於所述的第二上密閉腔12內，所述 的第四拉簧18位於所述的第二下密閉腔內。
本實用新型使用時的工作過程如前所述，由于波紋管具有伸縮能 力，因此無需膠圈作為滑動密封，故跟機構可達到無洩露效果。
權利要求1. 一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板機構，包括第一擋板和第二擋板，其特徵在於所述第一擋板的上端安裝在第一上波紋管上，所述第一擋板的下端安裝在第一下波紋管上，所述的第一上波紋管與所述的第一下波紋管對稱；所述第二擋板的上端安裝在第二上波紋管上，所述第二擋板的下端安裝在第二下波紋管上，所述的第二上波紋管與所述的第二下波紋管對稱；所述第一上波紋管的頭部設有第一上密封頭，所述的第一密封上頭與所述的第一上波紋管圍成第一上密閉腔，所述的第一上密封頭具有第一上壓縮氣體進氣管，所述的第一上壓縮氣體進氣管與所述的第一上密閉腔連通；所述第一下波紋管的頭部設有第一下密封頭，所述的第一密封下頭與所述的第一下波紋管圍成第一下密閉腔，所述的第一下密封頭具有第一下壓縮氣體進氣管，所述的第一下壓縮氣體進氣管與所述的第一下密閉腔連通；所述第二上波紋管的尾部設有第二上密封頭，所述的第二上密封頭與所述的第二上波紋管圍成第二上密閉腔，所述的第二上密封頭具有第二上壓縮氣體進氣管，所述的第二上壓縮氣體進氣管與所述的第二上密閉腔連通；所述第二下波紋管的尾部設有第二下密封頭，所述的第二下密封頭與所述的第二下波紋管圍成第二下密閉腔，所述的第二下密封頭具有第二下壓縮氣體進氣管，所述的第二下壓縮氣體進氣管與所述的第二下密閉腔連通；還包括第一拉簧、第二拉簧、第三拉簧、第四拉簧，所述第一拉簧的前端和後端均連接在第一上波紋管上，所述第二拉簧的前端和後端均連接在第一下波紋管上，所述第三拉簧的前端和後端均連接在第二上波紋管上，所述第四拉簧的前端和後端均連接在第二下波紋管上。
2. 如權利要求1所述的VFD雙面真空鍍膜設備的擋板機構，其特 徵在於所述的第一拉簧位於所述的第 -上密閉腔內，所述的第二拔 簧位於所述的第一下密閉腔內，所述的第三拉簧位於所述的第二卜.密 閉腔內，所述的第四拉簧位於所述的第二下密閉腔內。
3. 如權利要求1或2所述的VFD雙面真空鍍膜設各的擋板機構， 其特徵在於所述的第一上壓縮氣體進氣管通過第一上密封接頭與所 述的第一 t:密封頭連接，所述的第一下壓縮氣體進氣管通過笫一下密 封接頭與所述的第一下密封頭連接；所述的第二上沐:縮氣體進氣管通 過第二.匕密封接頭與所述的第二上密封頭連接，所述的第二下〗五縮氣 體進氣管通過第二下密封接頭與所述的第二下密封頭連接。
專利摘要一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板機構，包括第一擋板和第二擋板，所述第一擋板的上端和下端均安裝在波紋管上，所述第二擋板的上端和下端均安裝在波紋管上，波紋管具有密閉腔，密閉腔內設有拉簧，並且密閉腔與壓縮氣體進氣管連通。由于波紋管具有伸縮能力，因此無需膠圈作為滑動密封，故跟機構可達到無洩露效果。
文檔編號C23C14/35GK201209164SQ20082008806
公開日2009年3月18日 申請日期2008年6月5日 優先權日2008年6月5日
發明者王正品, 章浙根, 董學軍 申請人:寧波華聯電子科技有限公司