排氣裝置以及真空設備的製作方法
2023-05-22 12:03:36
專利名稱：排氣裝置以及真空設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空排氣技術領域，特別是涉及一種排氣裝置以及真空設備。
背景技術：
目前，在幹法刻蝕等真空設備中，刻蝕前，需要通過真空泵先對真空設備進行抽真空，並通過排氣管路將氣體排出。在現有技術中，如圖1所示，在真空設備100中，所述真空泵Iio用於抽真空，所述真空泵110位於所述排氣管路120的下方，所述排氣管路120為直管型，所述真空泵110將抽出的氣體從所述排氣管路120排出。但是，在幹法刻蝕過程中，反應腔中的反應氣體會使用到六氟化硫(SF6)等特殊氣體，以對待刻膜層進行刻蝕工藝。在所述反應腔中，六氟化硫(SF6)等特殊氣體會解離為F+等離子體，以對待刻膜層進行刻蝕反應。然而，所述反應腔中通入的六氟化硫是過量的，所以，未反應F+等離子體被所述真空泵110抽出後，會順著所述排氣管路120排出，圖1中的虛線箭頭方向為氣體的排出方向。但在F+從所述排氣管路120的上方的排氣口排出前，F+會和所述排氣管路120中水汽反應產生氫氟酸液體121。因為現有的所述排氣管路120為直管型，所述氫氟酸液體121由於重力作用，會直接回流進入所述真空泵110，圖1中的實線箭頭方向為所述氫氟酸液體121的回流方向。由於所述氫氟酸液體121具有強酸性，會對所述真空泵110產生腐蝕作用，從而導致所述真空泵110使用壽命的降低。因此，如何提供一種排氣裝置，可以防止氫氟酸等液體回流進入真空泵，並且可以方便地對液體進行收集和處理，已成為本領域技術人員需要解決的問題。
實用新型內容本實用新型的目的在於，提供一種排氣裝置以及真空設備，可以防止液體回流進入真空泵，並且可以方便地對液體進行收集和處理。為解決上述技術問題，本實用新型提供一種排氣裝置，設置於真空泵與排氣管路之間，所述排氣裝置包括第一口、第二口、用於存儲液體的緩存區以及氣體傳輸管，所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通 ，所述第一口連接於所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空慄。進一步的，在所述排氣裝置中，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出並連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。進一步的，在所述排氣裝置中，所述氣體傳輸管為U形。進一步的，在所述排氣裝置中，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位於同一條直線上。進一步的，在所述排氣裝置中，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。根據本實用新型的另一面，本實用新型還提供一種真空設備，包括真空泵和與所述真空泵相連通的排氣管路，所述真空設備還包括所述的排氣裝置。進一步的，在所述真空設備中，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出並連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。進一步的，在所述真空設備中，所述氣體傳輸管為U形。進一步的，在所述真空設備中，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位於同一條直線上。進一步的，在所述真空設備中，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。與現有技術相比，本實用新型提供的排氣裝置以及真空設備具有以下優點:1、本實用新型提供一種排氣裝置以及真空設備，該排氣裝置的所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接於所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵，與現有技術相比，在所述排氣管路中形成的液體回流時，由於重力作用，所述液體會直接回流進入所述緩存區，可以防止所述液體回流進入真空泵，並且，所述排氣裝置安裝於所述真空泵與排氣管路之間，可以通過拆卸所述排氣裝置對液體進行收集和處理，方便易實施。2、本實用新型提供一種排氣裝置以及真空設備，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位於同一條直線上，使得該排氣裝置可以與現有的真空設備整合在一起，改造成本低，應用範圍 廣。3、本實用新型提供一種排氣裝置以及真空設備，該排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，使得所述排氣裝置的安裝拆卸快捷簡單，進一步地方便對液體的收集和處理，避免液體的洩露。
圖1為現有技術中的真空設備的示意圖；圖2為本實用新型一實施例的排氣裝置的示意圖；圖3為本實用新型一實施例的排氣裝置中氣體傳輸管的示意圖；圖4為本實用新型又一實施例的排氣裝置的示意圖；圖5為本實用新型另一實施例的排氣裝置的示意圖；圖6為本實用新型一實施例的真空設備的示意圖。
具體實施方式
下面將結合示意圖對本實用新型的排氣裝置以及真空設備進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對本實用新型的限制。[0027]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。本實用新型的核心思想在於，本實用新型提供一種排氣裝置，設置於真空泵與排氣管路之間，所述排氣裝置包括第一口、第二口、用於存儲液體的緩存區以及氣體傳輸管，所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接於所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵，當氣體流經所述排氣管路時，形成的液體回流，由於重力作用，所述液體直接回流進入所述緩存區，可以防止所述液體回流進入真空泵。進一步，結合上述排氣裝置，本實用新型還提供了一種真空設備，包括真空泵和與所述真空泵相連通的排氣管路，所述真空設備還包括所述的排氣裝置。以下結合圖2具體說明本實施例的排氣裝置，圖2為本實用新型一實施例的排氣裝置的示意圖。如圖2所示，所述排氣裝置200包括用於連接排氣管路的第一口 210、用於連接真空泵的第二口 220、用於存儲液體的緩存區230以及氣體傳輸管240。所述緩存區230正對所述第一口 210，使得通過所述第一口 210進入的回流液體能夠通過重力作用直接進入所述緩存區230，而不會通過所述氣體傳輸管240流到所述第二口 220，從而避免所述液體回流至所述真空泵。所述氣體傳輸管240的一端與所述第一口 210連通，所述氣體傳輸管240的另一端與所述第二口 220連通，以使得氣體可以通過所述氣體傳輸管240從所述真空泵流入所述排氣管路，所述氣體傳輸管240的結構參見圖3。所述排氣裝置200安裝於所述真空泵與排氣管路之間，可以通過拆卸所述排氣裝置200對液體進行收集和處理，方便易實施。較佳的，所述緩存區230為一端開口的直管，所述緩存區230的開口正對所述第一口 210，所述氣體傳輸管240為一彎管，所述氣體傳輸管240的一端從所述緩存區230的側壁引出並連通所述緩存區230的內腔，所述第二口 220與所述第一口 210的開口方向相反，如圖2所示，該結構的排氣裝置200結構簡單，方便製造，可以達到避免所述液體回流至所述真空泵的有益效果。但所述排氣裝置200的結構並不限於上述結構，如所述緩存區230還可以為一側開口的球體，可以增大所述液體的存儲量。並且，所述第二口 220與所述第一口 210的開口方向並不限於相反，具體根據真空泵和排氣管路的位置和方向進行設置。較佳的，所述氣體傳輸管240為U形，如圖3所示，U形的氣體傳輸管240可以很好的繞過所述緩存區230所在位置，並實現氣體的傳輸，但所述氣體傳輸管240並不限於為U形，如所述氣體傳輸管240還可以為弧形(如圖4所示)、V形(如圖5所示)等結構，亦可以實現繞過所述緩存區230的功能，亦在本實用新型的思想範圍之內。由於在現有的所述排氣管路為直通型結構，所述真空泵的出氣口與所述排氣管路直線排列，所以，為了使所述排氣裝置200可以與現有的真空設備整合在一起，所述第二口220的中心軸線與所述緩存區230的中心軸線位於同一條直線上。當然，作為一般的情況，也可以如圖4所示， 所述第二口 220的中心軸線與所述緩存區230的中心軸線不在同一直線上。[0036]進一步較佳的，參見圖2，所述排氣裝置200還包括可拆卸的波紋管250，所述氣體傳輸管240包括第一部分241和第二部分242，所述波紋管250的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管240的第一部分241和第二部分242，與所述氣體傳輸管240共同形成一個管道整體，以實現氣體的傳輸。所述波紋管250使得所述排氣裝置200的安裝拆卸快捷簡單，進一步地方便對液體的收集和處理，避免液體的洩露。其中，所述波紋管250處於所述氣體傳輸管240中的具體位置不做限制，在圖2中，所述波紋管250位於所述氣體傳輸管240的中間位置(也即第一部分241的長度和第二部分242的長度等距離)，但所述波紋管250還可以位於所述氣體傳輸管240的任一端部位置，亦可以實現方便安裝的有益效果，亦在本實用新型的思想範圍之內。在本實施例中，所述排氣裝置200可用於製備真空設備，以防止由排氣管路回流的液體進入真空泵。如圖6所示，圖6為本實用新型一實施例的真空設備的示意圖。在圖6中，所述真空設備300包括真空泵310和排氣管路320，所述真空泵310和排氣管路320之間還具有所述排氣裝置200。其中，所述第一口 210連接於所述排氣管路320的下方，所述第二口 220連接所述真空泵310。本實施例的所述真空設備300為幹法刻蝕設備，所述真空設備300在使用時，在所述反應腔中，六氟化硫(SF6)等特殊氣體會解離為F+等離子體，以對待刻膜層進行刻蝕反應。由於所述反應腔中通入的六氟化硫是過量的，所以，未反應F+等離子體被所述真空泵310抽出後，會順著所述氣體傳輸管240進入所述排氣管路320，圖5中的虛線箭頭方向為氣體的排出方向。在F+等離子體從所述排氣管路320的上方的排氣口排出前，F+會和所述排氣管路320中水汽反應產生氫氟酸液體321。所述氫氟酸液體321由於重力作用，直接回流進入所述緩存區230，從而防止氫氟酸液體321回流進入真空泵310，並且可以方便地對氫氟酸液體321進行收集和處理，圖6中的實線箭頭方向為所述氫氟酸液體321的回流方向。經實驗發現，現有技術的真空設備中，真空泵的維護周期為I次/5000小時，但採用本實用新型的所述真空設備中，真空泵的維護周期延長至I次/10000小時，可見，本實用新型的所述排氣裝置能有·效得防止所述液體回流進入真空泵。本實用新型的所述真空設備並不限於為幹法刻蝕設備，還可以用於其他各種真空設備上，其具體實施結構與思路和本實用新型的上述實施例相似，在本實用新型實施例的啟示下，這一應用的延伸對本領域普通技術人員而言是易於理解和實現的，在此不再贅述；同理，所述液體也並不限於為氫氟酸液體。綜上所述，本實用新型提供一種排氣裝置，設置於真空泵與排氣管路之間，所述排氣裝置包括第一口、第二口、用於存儲液體的緩存區以及氣體傳輸管，所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接於所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵，當氣體流經所述排氣管路時，形成的液體回流，由於重力作用，所述液體直接回流進入所述緩存區，可以防止所述液體回流進入真空泵。與現有技術相比，本實用新型提供的排氣裝置以及真空設備具有以下優點:1、本實用新型提供一種排氣裝置以及真空設備，該排氣裝置的所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接於所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵，與現有技術相比，在所述排氣管路中形成的液體回流時，由於重力作用，所述液體會直接回流進入所述緩存區，可以防止所述液體回流進入真空泵，並且，所述排氣裝置安裝於所述真空泵與排氣管路之間，可以通過拆卸所述排氣裝置對液體進行收集和處理，方便易實施。2、本實用新型提供一種排氣裝置以及真空設備，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位於同一條直線上，使得該排氣裝置可以與現有的真空設備整合在一起，改造成本低，應用範圍廣。3、本實用新型提供一種排氣裝置以及真空設備，該排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，使得所述排氣裝置的安裝拆卸快捷簡單，進一步地方便對液體的收集和處理，避免液體的洩露。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內 ，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種排氣裝置，設置於真空泵與排氣管路之間，其特徵在於，所述排氣裝置包括第一口、第二口、用於存儲液體的緩存區以及氣體傳輸管，所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接於所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵。
2.如權利要求1所述排氣裝置，其特徵在於，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出並連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。
3.如權利要求2所述排氣裝置，其特徵在於，所述氣體傳輸管為U形。
4.如權利要求2所述排氣裝置，其特徵在於，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位於同一條直線上。
5.如權利要求1-4中任意一項所述排氣裝置，其特徵在於，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。
6.一種真空設備，包括真空泵和與所述真空泵相連通的排氣管路，其特徵在於，所述真空設備還包括如權利要求1所述的排氣裝置。
7.如權利要求6所述真空設備，其特徵在於，所述緩存區為一端開口的直管，所述緩存區的開口正對所述第一口，所述氣體傳輸管為一彎管，所述氣體傳輸管的一端從所述緩存區的側壁引出並連通所述緩存區的內腔，所述第二口與所述第一口的開口方向相反。
8.如權利要求7所述真空設備，其特徵在於，所述氣體傳輸管為U形。
9.如權利要求7所述真 空設備，其特徵在於，所述第二口的中心軸線與所述緩存區的中心軸線位於同一條直線上。
10.如權利要求6-9中任意一項所述真空設備，其特徵在於，所述排氣裝置還包括可拆卸的波紋管，所述氣體傳輸管包括第一部分和第二部分，所述波紋管的兩端連接分別連接所述氣體傳輸管的第一部分和第二部分，與所述氣體傳輸管共同形成一個管道整體。
專利摘要本實用新型揭示了一種排氣裝置，設置於真空泵與排氣管路之間，所述排氣裝置包括第一口、第二口、用於存儲液體的緩存區以及氣體傳輸管，所述緩存區正對所述第一口，所述氣體傳輸管的一端與所述第一口連通，所述氣體傳輸管的另一端與所述第二口連通，所述第一口連接於所述排氣管路的下方，所述第二口連接所述真空泵。本實用新型還揭示了一種真空設備，包括真空泵、與所述真空泵相連通的排氣管路以及所述的排氣裝置。本實用新型中的所述排氣裝置可以防止液體回流進入真空泵，並且可以方便地對液體進行收集和處理。
文檔編號F04B39/00GK203130418SQ201320120568
公開日2013年8月14日 申請日期2013年3月15日 優先權日2013年3月15日
發明者申勁浩, 李建興, 何寧 申請人:成都天馬微電子有限公司, 天馬微電子股份有限公司