鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構的製作方法

2023-05-13 05:26:01 1

專利名稱：鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於多晶矽生產線的設備，特別是一種新型的鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構。
背景技術：
三氯氫矽合成生產過程中，管線堵塞是常見的問題，也是造成生成裝置不能長周期穩定運行的重要原因。為解決這一問題，必須對現有三氯氫矽合成生產工藝進行優化。三氯氫矽合成工序中，鼓泡塔釜是對四氯化矽進行除雜處理，進行除雜處理後，鼓泡塔釜的出口管線部分容易出現堵塞，而且頻率較高。現有的四氯化矽衝洗管線為鼓泡塔釜錐底反衝管線，在鼓泡塔釜出口管線堵塞時並不能對堵塞管線進行衝洗，因此會造成整套設備檢修頻率和生產成本的增加，且對整套生產系統長的周期穩定運行不利，所以有必要對該反衝管線進行優化設計。

實用新型內容本實用新型為解決上述技術問題提供了一種新型的鼓泡塔釜出口四氯化矽衝洗管線結構，可以優化三氯氫矽合成生產工藝，避免由於管道堵塞不能及時疏通而造成的生產成本增加，且有效降低設備檢修成本。本實用新型的技術方案如下鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構，包括與鼓泡塔釜底部相連的用於釜液排放的釜液排放管線，釜液排放管線的側面連接有用於對鼓泡塔釜錐部進行反衝洗的四氯化矽衝洗管線，四氯化矽衝洗管線至少包括兩個調節閥，釜液排放管線上位於四氯化矽衝洗管線下端設置有用於對鼓泡塔釜液位進行自動控制的調節閥組，調節閥組與鼓泡塔釜液位聯鎖，其特徵在於在四氯化矽衝洗管線和釜液排放管線之間還設置有用於對釜液排放管線及閥組部分進行衝洗的釜液排放管衝洗管線，釜液排放管衝洗管線的一端連接於四氯化矽衝洗管線的兩個調節閥之間，釜液排放管衝洗管線的另一端連接於調節閥組的最上端的調節閥下面，即釜液排放管衝洗管線對這個調節閥下端的調節閥組進行衝洗；所述釜液排放管衝洗管線上設置有一個調節閥。本實用新型的原理是利用乾淨的高壓四氯化矽對易堵塞的釜液排放管線進行定期的衝洗，使得釜液中的矽粉及金屬氯化物不易附著於管壁上造成堵塞。本實用新型的有益效果如下本實用新型通過新增管線和閥門，優化了三氯氫矽合成工藝路線，減少了管線堵塞的頻率，使得管線的疏通更為快速方便；且在管線堵塞時，能通過新增的衝洗管線快速疏通管線，利用乾淨的高壓四氯化矽對堵塞管線進行衝洗，將管壁上附著物衝洗掉，從而實現了縮短管線清堵時間，且能有效延長系統運行周期，降低生產成本。

[0010]圖1為本實用新型的結構示意圖其中，附圖標記為1鼓泡塔釜，2四氯化矽衝洗管線，3釜液排放管衝洗管線，4調節閥組，5釜液排放管線。
具體實施方式
現有衝洗管線不能對調節閥組部分管線進行衝洗。為了實現對閥組部分管線的衝洗，現在從衝洗管線上接分支管線到調節閥與調節閥前手閥間的管線上，如圖1所示。鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構，包括與鼓泡塔釜1底部相連的用於釜液排放的釜液排放管線5，釜液排放管線5的側面連接有用於對鼓泡塔釜1錐部進行反衝洗的四氯化矽衝洗管線2，四氯化矽衝洗管線2至少包括兩個調節閥，釜液排放管線5上位於四氯化矽衝洗管線2下端設置有用於對鼓泡塔釜1液位進行自動控制的調節閥組4，調節閥組4與鼓泡塔釜1液位聯鎖，在四氯化矽衝洗管線2和釜液排放管線5之間還設置有用於對釜液排放管線5及調節閥組4部分進行衝洗的釜液排放管衝洗管線3。釜液排放管衝洗管線3的一端連接於四氯化矽衝洗管線2的兩個調節閥之間；同時釜液排放管衝洗管線3的另一端連接於調節閥組4的最上端的調節閥下面，即釜液排放管衝洗管線對這個調節閥下端的調節閥組進行衝洗；所述釜液排放管衝洗管線3上設置有一個調節閥。利用乾淨的高壓四氯化矽對易堵塞的釜液排放管線進行定期的衝洗，使得釜液中的矽粉及金屬氯化物不易附著於管壁上造成堵塞。
權利要求1.鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構，包括與鼓泡塔釜(1)底部相連的用於釜液排放的釜液排放管線(5)，釜液排放管線(5)的側面連接有用於對鼓泡塔釜(1)錐部進行反衝洗的四氯化矽衝洗管線(2)，四氯化矽衝洗管線(2)至少包括兩個調節閥，釜液排放管線 (5)上位於四氯化矽衝洗管線(2)下端設置有用於對鼓泡塔釜(1)液位進行自動控制的調節閥組(4)，調節閥組(4)與鼓泡塔釜(1)液位聯鎖，其特徵在於在四氯化矽衝洗管線(2) 和釜液排放管線(5)之間還設置有用於對釜液排放管線(5)及調節閥組(4)部分進行衝洗的釜液排放管衝洗管線(3)，釜液排放管衝洗管線(3)的一端連接於四氯化矽衝洗管線(2) 的兩個調節閥之間，釜液排放管衝洗管線(3)的另一端連接於調節閥組(4)的最上端的調節閥下面。
2.根據權利要求1所述的鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構，其特徵在於所述釜液排放管衝洗管線(3)上設置有一個調節閥。
專利摘要本實用新型屬於多晶矽生產線的設備，特別是鼓泡塔釜出口的四氯化矽衝洗管線結構，包括與鼓泡塔釜底部相連的釜液排放管線，用於釜液的排放；與釜液排放管線側面相連的四氯化矽衝洗管線，用於對鼓泡塔釜錐部進行反衝洗；釜液排放管線上設置有調節閥組，調節閥與鼓泡塔釜液位聯鎖，用於對鼓泡塔釜液位進行自動控制；在四氯化矽衝洗管線和釜液排放管線之間設置有釜液排放管衝洗管線，用於對釜液排放管線及閥組部分的衝洗；本實用新型通過新增管線和閥門，優化了三氯氫矽合成工藝路線，減少了管線堵塞頻率，使得管線疏通更為快速方便；在管線堵塞時，能通過新增衝洗管線快速疏通管線，從而縮短了管線清堵時間，能有效延長系統運行周期，降低生產成本。
文檔編號C01B33/107GK202246103SQ20112038883
公開日2012年5月30日 申請日期2011年10月13日 優先權日2011年10月13日
發明者劉科, 夏志科, 徐軍, 陳子龍, 陳少華 申請人:天威四川矽業有限責任公司