成膜方法及取向膜形成方法

2023-05-13 08:00:11

專利名稱：成膜方法及取向膜形成方法
技術領域：
本發明涉及成膜方法及取向膜形成方法。
技術背景液晶顯示裝置在元件基板和對置基板之間隔著密封件封入液晶。並 且，在元件基板及對置基板的液晶相接的面上形成有用於對液晶進行取向 的取向膜。取向膜形成在元件基板及對置基板的大致整個面上，其形成方 法之一包括噴墨法。噴墨法是將噴出到基板上的液滴彼此相互結合，在基 板上形成取向膜的圖案。然而，噴出到基板上的液滴有時不能在基板上均 勻擴展，例如，收縮而產生條紋，或者靠向其他液滴而產生凸起等，難以 形成均勻的取向膜。為此，提出了一種利用由噴墨法噴出的液滴，形成均勻的薄膜的成膜 方法(專利文獻l)。專利文獻l具備噴墨法所使用的具有多個噴嘴的頭，沿Y方向驅動基板時，在基板上，以X方向上分別4r的間隔在Y方向上 分別連續塗敷直徑為r的溶液點。從所述頭與最初塗敷的一方的第一點鄰 接地塗敷第二點，接著與第二點鄰接地塗敷第三點，然後與第三點鄰接地 塗敷第四點，並使第四點與另一方的第一點鄰接，由此塗敷溶液。此時， 使第一點的大小為小、第二點的大小為中、第三點的大小為大，並且使第 四點的大小為中，從而能夠實現沿X方向膜厚的均勻化。即，能夠防止如 果是相同大小的點，則相鄰的點彼此牽連，先前與點鄰接而塗敷的一側相 比後來塗敷點的一側膜厚容易變厚。專利文獻l:特開2005 — 721號公報可是，專利文獻1無法防止先前在Y方向上連續塗敷的點彼此相互在 Y方向上牽連、在X方向上收縮的情況。另外，也無法防止後來與先前的 點鄰接地塗敷的點靠向先前的點的情況。進而，在X方向上需要改變所塗敷的點的大小，無法避免頭的構造及控制裝置的複雜化。 發明內容本發明為了解決上述問題而實現，其目的在於提供一種使噴出到基板 上的多個液滴恰當地結合來形成均勻的膜厚的液狀膜的成膜方法及取向 膜形成方法。本發明的成膜方法，通過液滴噴出單元使功能液狀體成為液滴並將其 噴出到相對移動的基板上，在所述基板上形成液狀膜，在所述基板上在所 述液滴不相互接觸的多個第一位置分別滴落配置了第一液滴後，在所述滴 落配置的各第一液滴之間的第二位置滴落配置第二液滴，使所述第二液滴 與鄰接的多個第一液滴接觸，形成液狀膜。根據本發明的成膜方法，將第二液滴配置在鄰接的多個第一液滴之 間，使第二液滴與鄰接的多個第一液滴接觸。因此，在基板上先行滴落配 置的第一液滴不相互接觸地配置，所以不會產生第一液滴彼此牽連、收縮 而產生條紋、或被引靠而產生凸起。進而，由於第一液滴之間配置的第二 液滴與周圍的第一液滴大致均勻地相接，所以只與任一方的第一液滴牽 連、收縮而產生條紋、或被引靠而產生凸起的顧慮很少。因此，能夠在基 板上恰當地形成均勻膜厚的液狀膜。該成膜方法適宜為，所述第一位置等間隔設置，所述第二位置設置在 由鄰接的四個第一位置形成的四角形狀的範圍內，在該第二位置配置第二 液滴。根據該成膜方法，在由第一位置形成的四角形狀的範圍內設置第二位 置。因此，能夠按照可以補充完整配置在第一位置的第一液滴所形成的間 隙的方式，設置第二位置。其結果，配置在第二位置的第二液滴能夠與鄰 接的第一液滴恰當地接觸結合，在基板上形成均勻膜厚的液狀膜。該成膜方法可以為，所述第二液滴在由鄰接的四個第一位置形成的四 角形狀的範圍內配置多個。根據該成膜方法，第二液滴在由鄰接的四個第一位置形成的四角形狀 的範圍內配置多個。因此，第二液滴的液量增加，能夠容易地使第一液滴 和第二液滴接觸。另外，能夠減少液滴噴出單元在基板上相對移動的次數，所以能夠快速成膜。該成膜方法可以為，形成第一液滴的液滴和形成第二液滴的液滴為相 同噴出量。根據該成膜方法，形成第一液滴和第二液滴的液滴為相同噴出量。因 此，能夠簡化形成第一液滴和第二液滴的液滴噴出單元的構成。本發明的取向膜形成方法，通過液滴噴出單元使取向膜形成材料成為 液滴並將其噴出到相對移動的液晶顯示裝置用基板上，在所述液晶顯示裝 置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法具有如下工序在所述液晶 顯示裝置用基板上在所述液滴不相互接觸的多個第一位置分別滴落配置 了第一液滴後，在所述滴落配置的各第一液滴之間的第二位置滴落配置第 二液滴，使所述第二液滴與鄰接的多個第一液滴接觸，形成取向膜。根據本發明的取向膜形成方法，不會產生第一液滴彼此牽連、收縮而 產生條紋、或被引靠而產生凸起。進而，第二液滴只與任一方的第一液滴 牽連、收縮而產生條紋、或被引靠而產生凸起的顧慮很少。因此，能夠在 液晶顯示裝置用基板上恰當地形成均勻膜厚的取向膜。本發明的成膜方法，從按照通過與基板的相對掃描對該基板描繪規定 間距的掃描軌跡的方式配置的多個噴嘴，噴出功能液狀體作為液滴，從而 在所述基板上形成液狀膜，所述成膜方法具有以在所述基板上不相互接 觸的方式從所述噴嘴噴出多個所述液滴的第一噴出工序；和對所述第一噴 出工序中配置的液滴之間的位置，從所述噴嘴噴出與該液滴相互接觸的其 他所述液滴的第二噴出工序，在所述第一噴出工序中從各所述噴嘴噴出的 所述液滴在掃描方向上以規定間隔配置，在所述第二噴出工序中從相互鄰 接的掃描軌跡所涉及的噴嘴噴出的所述液滴，配置在相互相對於掃描方向 不同的位置。根據本發明的成膜方法，第一噴出工序中噴出的液滴不相互接觸地配 置，所以不會產生液滴彼此牽連、收縮而產生條紋、或被引靠而產生凸起。 進而，由於第二噴出工序中噴出的液滴與周圍的液滴相接，所以只與任一 個液滴牽連的顧慮很少。因此，能夠在基板上恰當地形成均勻膜厚的液狀 膜。該成膜方法適宜為，在所述第二噴出工序中從相互鄰接的掃描軌跡所涉及的噴嘴噴出的所述液滴，配置在相互相對於掃描方向相差所述規定間 隔的大致一半間隔量的位置。根據該成膜方法，第二噴出工序中噴出的液滴與周圍的液滴大致均勻 地相接，所以能夠在基板上更恰當地形成均勻膜厚的液狀膜。該成膜方法可以為，所述規定間距及所述規定間隔是配置在所述基板上的狀態下的所述液滴的直徑的1 2倍。根據該成膜方法，規定間距及間隔是第一噴出工序中噴出的液滴的 1 2倍以下，所以第二噴出工序中噴出的液滴與鄰接的液滴恰當地接觸， 能夠在基板上形成均勻膜厚的液狀膜。本發明的取向膜形成方法，從按照通過與液晶顯示裝置用基板的相對 掃描對該基板描繪規定間距的掃描軌跡的方式配置的多個噴嘴，噴出取向 膜形成材料作為液滴，從而在所述液晶顯示裝置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法具有以在所述液晶顯示裝置用基板上不相互接觸的方式從所述噴嘴噴出多個所述液滴的第一噴出工序；和對所述第一噴出工序 中配置的液滴之間的位置，從所述噴嘴噴出與該液滴相互接觸的其他所述 液滴的第二噴出工序，在所述第一噴出工序中從各所述噴嘴噴出的所述液 滴在掃描方向上以規定間隔配置，在所述第二噴出工序中從相互鄰接的掃 描軌跡所涉及的噴嘴噴出的所述液滴，配置在相互相對於掃描方向不同的 位置。根據本發明的取向膜形成方法，第一噴出工序中噴出的液滴不相互接 觸地配置，所以不會產生液滴彼此牽連、收縮而產生條紋、或被引靠而產 生凸起。進而，由於第二噴出工序中噴出的液滴與周圍的液滴相接，所以 只與任一個液滴牽連的顧慮很少。因此，能夠在液晶顯示裝置用基板上恰 當地形成均勻膜厚的取向膜。


圖1是表示液晶顯示裝置的立體圖；圖2是表示從圖1的A-A線觀察的液晶顯示裝置的剖視圖； 圖3是表示滴噴出裝置的立體圖； 圖4是表示液滴噴頭的立體圖；7圖5是表示液滴噴頭的側視圖；圖6是用於說明目標位置的說明圖；圖7是表示為了形成圖案而在基板表面對應附設的區塊的示意圖； 圖8是對第一實施方式的對置基板上配置的液滴進行說明的圖，(a) 是表示在往動的掃描中第一噴嘴列配置了液滴的狀態的圖，(b)是表示在往動的掃描中第二噴嘴列配置了液滴的狀態的圖，(c)是表示在復動的掃描中第二噴嘴列配置了液滴的狀態的圖，(d)是表示在復動的掃描中第一噴嘴列配置了液滴的狀態的圖；圖9是第一實施方式中配置的取向膜形成材料的示意圖； 圖IO是用於說明液滴噴出裝置的電氣構成的電氣框圖；圖11是對第二實施方式的對置基板上配置的液滴進行說明的圖，(a) 是表示第一噴嘴列配置了液滴的狀態的圖，(b)是表示第二噴嘴列配置了 液滴的狀態的圖，(c)是表示第二噴嘴列配置的液滴擴展的狀態的圖。圖中Fb， Fbl， Fb2， Fb3， Fb4 —液滴；Z—液狀膜； IO —液晶顯示裝置；13 —液晶面板；14一元件基板；15 —對置基板；17 — 液晶；24、 27 —取向膜；26 —對置電極；30 —液滴噴出配置；31 —基座； 33 —基板載置臺；34 —載置面；37 —滑架；38 —墨罐；41 —液滴噴頭；51 一控制裝置。
具體實施方式
(第一實施方式)以下，結合圖1 圖10，對將本發明具體化的第一實施方式進行說明。 首先，對具有通過本發明的成膜方法形成的取向膜的液晶顯示裝置10進 行說明。圖1是液晶顯示裝置IO的立體圖，圖2是圖1的A-A線剖視圖。圖1中，在液晶顯示裝置10的下側，具備邊緣照明型背光燈12，該 背光燈12具有LED等光源11且形成為四角板狀。在背光燈12的上方， 具備形成為與背光燈12大致相同尺寸的四角板狀的液晶面板13。而且， 從光源11射出的光朝向液晶面板13照射。液晶面板13具備相對置的作為液晶顯示裝置用基板的元件基板14和 作為液晶顯示裝置用基板的對置基板15。這些元件基板14和對置基板15如圖2所示，通過由光硬化性樹脂構成的四角框狀的密封件16貼合。而 且，在這些元件基板14和對置基板15之間的間隙中封入有液晶17。在元件基板14的下面(背光燈12側的側面)貼合有偏光板或相位差 板等光學基板18。光學基板18將來自背光燈12的光轉換成直線偏光並射 向液晶17。在元件基板14的上面(對置基板15側的側面元件形成面 14a)排列形成有在一方向(X箭頭方向)大致全寬上延伸的多個掃描線 Lx。各掃描線Lx分別與元件基板14的一側配置的掃描線驅動電路19電 連接，並且來自掃描線驅動電路19的掃描信號以規定的定時輸入。另外， 在元件形成面14a上排列形成有在Y箭頭方向大致全寬上延伸的多個數據 線Ly。各數據線Ly分別與元件基板14的另一側配置的數據線驅動電路 21電連接，並且來自數據線驅動電路21的基於顯示數據的數據信號以規 定的定時輸入。在元件形成面14a上掃描線Lx與數據線Ly交叉的位置， 形成有與對應的掃描線Lx及數據線Ly連接且排列成矩陣狀的多個像素 22。各像素22分別具備TFT等未圖示的控制元件及由透明導電膜等構成 的光透過性的像素電極23。圖2中，在各像素22的上側整體上層疊有實施了基於摩擦(rubbing) 處理等的取向處理的取向膜24。取向膜24是由取向性聚醯亞胺等取向性 高分子構成的薄膜圖案，在對應的像素電極23附近，將液晶17的取向設 定成規定的取向。該取向膜24由噴墨法形成。即，取向膜24是通過將取 向性高分子溶解在規定的溶劑中的作為功能液狀體的取向膜形成材料F (參照圖5)以液滴Fb(參照圖5)的方式噴出到各像素22的上側整體上， 並使滴落的液滴Fb乾燥而形成。在所述對置基板15的上面配置有將與來自所述光學基板18的光正交 的直線偏光的光向外方(圖2中的上方)射出的偏光板25。另一方面，在 對置基板15的下面(元件基板14側的側面)層疊有與各像素電極23相 對置地形成的由光透過性的導電膜構成的對置電極26。對置電極26與所 述數據線驅動電路21電連接，並被賦予來自該數據線驅動電路21的規定 的公共電位。在對置電極26的下面整體上層疊有實施了基於摩擦處理等 的取向處理的取向膜27。該取向膜27與所述取向膜24相同，由噴墨法形 成，在所述對置電極26附近，將液晶17的取向設定成規定的取向。並且，根據線依次掃描逐一地以規定的定時選擇各掃描線Lx，將各 像素22的控制元件分別僅在選擇期間中設成接通狀態。於是，向與各控 制元件對應的各像素電極23輸出來自對應的數據線Ly的基於顯示數據的 數據信號。若向各像素電極23輸出數據信號，則根據各像素電極23與對 置電極26之間的電位差，對應的液晶17的取向狀態被調製。g卩，按各像 素22調製來自光學基板18的光的偏光狀態。並且，根據調製後的光是否 通過偏光板25，基於顯示數據的圖像顯示在液晶面板13的上側。其次，結合圖3 5，對用於形成上述取向膜27 (取向膜24)的作為 液滴噴出F的液滴噴出裝置30進行說明。圖3中，液滴噴出裝置30具備形成為長方體形狀的基座31，並且在 該基座31的上面，形成有沿其長度方向(X箭頭方向)延伸的一對引導 槽32。在該基座31的上方，設置有與基座31上設置的X軸馬達MX(參 照圖10的左上方)的輸出軸驅動連結的作為移動單元的基板載置臺33， 並且該基板載置臺33沿著所述引導槽32以規定的速度(輸送速度Vx) 沿X箭頭方向及逆X箭頭方向往復移動(被沿著X箭頭方向掃描)。在基板載置臺33的上面形成有能夠載置以對置電極26為上側的對置 電極15的載置面34，將被載置狀態的對置基板15相對於基板載置臺33 定位固定。再有，本實施方式中，為了便於說明，設置成在載置面34上 載置對置基板15的構成，不過，也可以構成為對劃分形成有多個組件的 樣品玻璃(mother glass)基板進行載置的構成，其中，所述組件為形成有 對置電極26的對置基板15。另外，並不限定於此，也可以構成為對以所 述各像素電極23為上側的元件基板14或劃分形成有多個作為元件基板14 的組件的樣品玻璃基板進行載置的構成。另外，能夠在載置面34上定位 固定各種尺寸的基板。在基座31的Y箭頭方向兩側，配置有形成為門型的導向部件35，並 且在該導向部件35上形成有沿Y箭頭方向延伸的上下一對導軌36。另外， 導向部件35具備與設置在導向部件35上的Y軸馬達MY (參照圖10的 左下方)的輸出軸驅動連結的滑架37，並且該滑架37沿著導軌36在Y 箭頭方向及逆Y箭頭方向往復移動(被沿Y箭頭方向進給)。在滑架37 的內部配置有收容所述取向膜形成材料F (參照圖5)的墨罐38，並且該墨罐38內的取向膜形成材料F被導出到滑架37的下方搭載的液滴噴頭 41。圖4是從下方(對置基板15側)觀察滑架37 (液滴噴頭41)的概略 立體圖，圖5是從Y箭頭方向側觀察液滴噴頭41的概略側視圖。圖4中，在滑架37的下側(圖4中的上側)配置有沿Y箭頭方向延 伸的長方體形狀的框體40，在其安裝面40b上設置有沿Y箭頭方向延伸 的形成為長方體形狀的液滴噴頭(以下，簡稱為噴頭)41。在噴頭41的 下側(圖4中的上側)配置有噴嘴板42，並且在該噴嘴板42的對置基板 15側(圖4中的上側)形成有與安裝面40b平行的噴嘴形成面42a。在該噴嘴形成面42a上相互平行地形成有沿Y箭頭方向延伸的2條第 一噴嘴列NL1和第二噴嘴列NL2，第二噴嘴列NL2從第一噴嘴列NL1沿 X箭頭方向離開間隔NLW來配置。再有，在本實施方式中，間隔NLW的 值為2毫米，不過間隔NLW的值並不限定於此。第一噴嘴列NL1沿Y箭頭方向以等間距NW排列形成有分別作為噴 出口的多個(180個)噴嘴N1。另外，第二噴嘴列NL2也與第一噴嘴列 NL1同樣，沿Y箭頭方向以等間距NW排列形成有分別作為噴出口的多 個C180個)噴嘴N2。進而，若從X箭頭方向觀察第一噴嘴列NL1和第二噴嘴列NL2，則 噴嘴Nl和噴嘴N2以在Y箭頭方向上相互偏離間距NW的一半間距(以 下，稱為半間距)NW2的狀態配置在噴嘴形成面42a上。在本實施方式 中，從X箭頭方向觀察，第一噴嘴列NL1的鄰接的各噴嘴N1之間的間距 NW及第二噴嘴列NL2的鄰接的各噴嘴N2之間的間距NW均為140微米， 各噴嘴Nl和與之鄰接的各噴嘴N2之間的半間距NW2為70微米。因此， 若從X箭頭方向觀察第一噴嘴列NL1和第二噴嘴列NL2，則總共360個 兩噴嘴N1、 N2成為以半間距NW2的間隔即70微米的間隔排列的狀態。圖5中，第一噴嘴列的各噴嘴Nl (第二噴嘴列NL2的各噴嘴N2也 一樣)，沿著噴嘴形成面42a (安裝面40b)的法線方向即噴出方向A貫通 形成在噴嘴板42上。在各噴嘴Nl (N2)的噴出方向A的相反側，形成有與所述墨罐38 連通的腔室43，將來自墨罐38的取向膜形成材料F供給到對應的噴嘴Nl(N2)。在各腔室43的噴出方向A的相反側，貼付有可在噴出方向A及 其相反方向振動的振動板44，使腔室43內的容積擴大或縮小。在振動板 44的上側配置有與各噴嘴N1 (N2)對應的多個壓電元件PZ1 (PZ2)。各 壓電元件PZ1 (PZ2)收縮或伸張，使對應的振動板44在噴出方向A及其 相反方向振動。在振動板44振動時，各腔室43的容積擴大或縮小，各噴嘴N1 (N2) 內的彎液面(meniscus)(取向膜形成材料F的界面)振動。各噴嘴Nl (N2) 內的彎液面振動時，規定重量的取向膜形成材料F從對應的噴嘴N1 (N2) 以規定的外徑即規定的噴出量所構成的液滴Fb噴出。噴出的各液滴Fb沿 著噴出方向A飛行飛行距離L，滴落配置在從正下方通過的形成有對置電 極26的對置基板15上。再有，在本實施方式中，將與第一噴嘴列NL1的各噴嘴N1的噴出方 向A對應的位置分別稱作滴落位置PF1。另外，將與第二噴嘴列NL2的 各噴嘴N2的噴出方向A對應的位置分別稱作滴落位置PF2。另外，從各噴嘴N1、 N2噴出的液滴Fb的噴出量由壓電元件PZ1、 PZ2的驅動量控制，其驅動量由輸出給壓電元件PZ1、 PZ2的後述的壓電 元件驅動信號C0M1、 COM2 (參照圖10)控制。再有，本實施方式的壓電元件驅動信號COMl、 COM2根據預先通過 試驗等設定的波形數據WD1、 WD2 (參照圖IO)生成，並且設定成使彎 液面順暢地振動，噴出規定的噴出量的液滴Fb。進而，在本實施方式中，從各噴嘴N1、 N2噴出的液滴Fb的噴出量 設定成相同，並且滴落到對置基板15上的作為第一液滴的液滴Fbl的直 徑設定成規定的直徑(滴落直徑R1)。並且，在本實施方式中，設定波形 數據WD1、 WD2,使得滴落直徑R1為80微米。而且，液滴噴出裝置30通過在對置基板15上滴落配置滴落直徑Rl 為80微米的液滴Fbl，在對置基板15上形成作為取向膜27的液狀膜Z (參照圖9)。在此，結合圖6 圖9，對使用液滴噴出裝置30用於在對置基板15 上形成作為取向膜27的液狀膜Z的液滴的配置方法進行說明。使對置基板15在噴頭41的正下方往復一次，在其往動(沿X箭頭方向移動)及復動(沿逆X箭頭方向移動)時分別噴出液滴Fb後，向新的 位置進給(feed)滑架37，使對置基板15再次往復移動一次，與所述同 樣噴出液滴Fb。以後，通過反覆進行同樣的動作，在對置基板15上形成 作為取向膜27的液狀膜Z。為了便於說明，將基於第一噴嘴列NL1的各噴嘴N1的液滴Fb在對 置基板15上的噴出位置稱為作為第一位置及第二位置的第一噴嘴列目標 噴出位置P1。另外，將基於第二噴嘴列NL2的各噴嘴N2的液滴Fb在對 置基板15上的噴出位置稱為作為第一位置及第二位置的第二噴嘴列目標 噴出位置P2。圖6表示往動時的第一噴嘴列目標噴出位置Pl和第二噴嘴列目標噴 出位置P2。如圖6所示，基於第一噴嘴列NL1的各噴嘴N1的各第一噴 嘴列目標噴出位置Pl是在X箭頭方向滴落配置的相鄰的各液滴Fbl不相 互接觸的位置。同樣，基於第二噴嘴列NL2的各噴嘴N2的各第二噴嘴列 目標噴出位置P2是在X箭頭方向滴落配置的相鄰的各液滴Fbl不相互接 觸的位置。而且，將X箭頭方向的相鄰的第一噴嘴列目標噴出位置P1的間隔設 為噴出間隔W。同樣，X箭頭方向的相鄰的第二噴嘴列目標噴出位置P2 的間隔與相鄰的第一噴嘴列目標噴出位置Pl的間隔相同，設為噴出間隔 W。另外，如圖6所示，第二噴嘴列目標噴出位置P2相對於在X箭頭方 向相鄰的第一噴嘴列目標噴出位置Pl,是在X箭頭方向上偏離所述噴出 間隔W的一半間隔W2 (=W/2)的位置。因此，在使對置基板15往動，驅動噴頭41來噴出液滴Fb時(第一 次通過)，分別配置到各第一噴嘴列目標噴出位置P1的液滴Fbl和分別配 置到各第二噴嘴列目標噴出位置P2的液滴Fbl，如圖8 (b)所示，分別 配置在分離的位置。其結果，配置到各位置P1、 P2的液滴Fbl不相互重 疊，不會有另一方的液滴Fbl靠向一方向的液滴Fbl而成為一個塊的顧慮 (第一噴出工序)。然後，在進行往動(X箭頭方向)，將液滴FM滴落配置在圖6所示 的第一噴嘴列目標噴出位置Pl和第二噴嘴列目標噴出位置P2後，使對置基板15復動，將液滴Fbl配置在新設定的第一噴嘴列目標噴出位置P1和 第二噴嘴列目標噴出位置P2。在此，復動時的第一噴嘴列目標噴出位置Pl是往動時在X箭頭方向 上設定的相鄰的第一噴嘴列目標噴出位置Pl的中間位置。同樣，復動時 的第二噴嘴列目標噴出位置P2是往動時在X箭頭方向上設定的相鄰的第 二噴嘴列目標噴出位置P2的中間位置。因此，將復動時的X箭頭方向上 相鄰的第一噴嘴列目標噴出位置P1的間隔設為噴出間隔W。同樣，復動 時的X箭頭方向上相鄰的第二噴嘴列目標噴出位置P2的間隔與復動時的 相鄰的第一噴嘴列目標噴出位置P1的間隔相同，設為噴出間隔W。然後，使對置基板15復動，驅動噴頭41來噴出液滴Fb(第二次通過)。 第二次通過中噴出液滴Fb時，分別配置到各第一噴嘴列目標噴出位置Pl 的作為第二液滴的液滴Fb2和分別配置到各第二噴嘴列目標噴出位置P2 的液滴Fb2，如圖8 (d)所示，分別配置在先前滴落配置的各液滴FM之 間(第二噴出工序)。因此，第二次通過中配置的各液滴Fb2與第一次通過中配置的鄰接的 四方的液滴Fbl接合。此時，由於第二次通過中配置的各液滴Fb2與鄰接 的四方的液滴Fbl接合，所以不會被引向任一方。其結果，如圖9所示， 在其位置上與先前的液滴Fbl接合而形成平坦的液狀膜Z。接著，結合圖IO，對如上所述構成的液滴噴出裝置30的電氣構成進 行說明。圖IO中，控制裝置51具備CPU、 RAM、 ROM等。而且，控制裝置 51按照RAM或ROM等所存儲的各種數據及各種程序，使基板載置臺33 進行掃描，對滑架37進行進給，並且對噴頭41的各壓電元件PZ1、 PZ2 進行驅動控制。在控制裝置51上連接有輸入裝置52、 X軸馬達驅動電路53、 Y軸馬 達驅動電路54及第一和第二噴頭驅動電路55、 56。輸入裝置52具有啟動開關、停止開關等操作開關，向控制裝置51輸 入各種操作信號。另外，輸入裝置52將與對置基板15上形成的液滴Fbl 的滴落直徑R1有關的信息以規定形式的滴落直徑信息Ir輸入到控制裝置 51。然後，將滴落直徑信息Ir從輸入裝置52輸入到控制裝置51。於是，控制裝置51接收來自輸入裝置52的滴落直徑信息Ir，在所述 的往動時(第一次通過)和復動時(第二次通過)，分別運算噴出到對置 基板15上的液滴Fb的第一及第二噴嘴列目標噴出位置Pl、 P2。然後， 控制裝置51根據該第一及第二噴嘴列目標噴出位置P1、 P2，生成基於第 一噴嘴列NL1的噴嘴N1的位圖數據BMDla、 BMDlb和基於第二噴嘴列 NL2的噴嘴N2的位圖數據BMD2a、 BMD2b。位圖數據BMDla是對往動時的對置基板15上的各第一噴嘴列目標噴 出位置P1分別對應了各位的值(0或1)的數據，是根據各位的值規定各 壓電元件PZ1的接通或斷開的數據。而且，位圖數據BMDla被規定成 每當對應的第一噴嘴列目標噴出位置Pl在各噴嘴Nl的正下方通過，就會 噴出液滴Fb。位圖數據BMDlb是對復動時的對置基板15上的各第一噴嘴列目標噴 出位置P1分別對應了各位的值(0或1)的數據，是根據各位的值規定各 壓電元件PZ1的接通或斷開的數據。而且，位圖數據BMDlb被規定成 每當對應的第一噴嘴列目標噴出位置P1在各噴嘴N1的正下方通過，就會 噴出液滴Fb。位圖數據BMD2a是對往動時的對置基板15上的各第二噴嘴列目標噴 出位置P2分別對應了各位的值(0或1)的數據，是根據各位的值規定各 壓電元件PZ2的接通或斷開的數據。而且，位圖數據BMD2a被規定成 每當對應的第二噴嘴列目標噴出位置P2在各噴嘴N2的正下方通過，就會 噴出液滴Fb。位圖數據BMD2b是對復動時的對置基板15上的各第二噴嘴列目標噴 出位置P2分別對應了各位的值(0或1)的數據，是根據各位的值規定各 壓電元件PZ2的接通或斷開的數據。而且，位圖數據BMD2b被規定成 每當對應的第二噴嘴列目標噴出位置P2在各噴嘴N2的正下方通過，就會 噴出液滴Fb。X軸馬達驅動電路53響應來自控制裝置51的與X軸馬達驅動電路 53對應的驅動控制信號，使用於使基板載置臺33往復移動的X軸馬達 MX正轉或反轉。在該X軸馬達驅動電路53上連接有X軸馬達旋轉檢測 器MEX，從而被輸入來自X軸馬達旋轉檢測器MEX的檢測信號。X軸馬達驅動電路53根據來自X軸馬達旋轉檢測器MEX的檢測信號，對基 板載置臺33 (對置基板15)的移動方向及移動量進行運算，並且生成與 基板載置臺33的當前位置相關的信息作為載置臺位置信息SPI。然後，控 制裝置51接收來自X軸馬達驅動電路53的載置臺位置信息SPI，輸出各 種信號。Y軸馬達驅動電路54響應來自控制裝置51的與Y軸馬達驅動電路 54對應的驅動控制信號，使用於使滑架37往復移動的Y軸馬達MY正轉 或反轉。在該Y軸馬達驅動電路54上連接有Y軸馬達旋轉檢測器MEY， 從而被輸入來自Y軸馬達旋轉檢測器MEY的檢測信號。Y軸馬達驅動電 路54根據來自Y軸馬達旋轉檢測器MEY的檢測信號，對滑架37的移動 方向及移動量進行運算，並且生成與滑架37的當前位置相關的信息作為 滑架位置信息CPI。然後，控制裝置51接收來自Y軸馬達驅動電路54的 滑架位置信息CPI，輸出各種信號。詳述時，控制裝置51在對置基板15侵入滑架37的正下方之前，生 成噴出控制信號SIl、 SI2。即，控制裝置51根據載置臺位置信息SPI及 滑架位置信息CPI，生成基於與對置基板15的掃描量(往動或復動)對應 的位圖數據BMDla、 BMDlb、 BMD2a、 BMD2b而與規定的時鐘信號同 步的噴出控制信號SIl、 SI2。然後，控制裝置51在每次使基板載置臺33 沿X箭頭方向(往動)或逆X箭頭方向(復動)掃描時，之前都要將生 成的噴出控制信號SI1、SI2分別依次串行傳送至第一及第二噴頭驅動電路 55、 56。另外，每當噴嘴N1的各滴落位置PF1分別位於對應的第一噴嘴列目 標噴出位置P1時，控制裝置51都會根據載置臺位置信息SPI，生成用於 將基于波形數據WD1的壓電元件驅動信號C0M1輸出至壓電元件PZ1的 信號(噴出定時信號LP1)。然後，控制裝置51將生成的噴出定時信號LP1 依次輸出至第一噴頭驅動電路55。壓電元件驅動信號C0M1是用於確定從噴嘴N1噴出的液滴Fb的噴 出量的信號，基于波形數據WD1而生成。波形數據WD1是用於確定相對 於滴落配置到對置基板15上的液滴Fbl及液滴Fb2的滴落直徑R1的各個 液滴Fbl、 Fb2的噴出量的波形數據，預先通過試驗等設定。在本實施方式中，波形數據WD1是確定滴落直徑Rl為80微米的液滴FM及液滴Fb2 的噴出量的波形數據。第一噴頭驅動電路55分別與對應第一噴嘴列NL1的各噴嘴Nl設置 的壓電元件PZ1連接。第一噴頭驅動電路55被供給來自控制裝置51的波 形數據WD1、噴出控制信號SIl及噴出定時信號LP1。第一噴頭驅動電路 55接收來自控制裝置51的噴出控制信號SI1,分別對應各壓電元件PZ1 將該噴出控制信號SI1依次進行串行/並行轉換。然後，第一噴頭驅動電路55每當接收來自控制裝置51的噴出定時信 號LP1時，根據串行/並行轉換的噴出控制信號SIl，將基于波形數據WDl 的壓電元件驅動信號C0M1供給至各壓電元件PZ1。 g卩，第一噴頭驅動電 路55每當在第一噴嘴列目標噴出位置PI通過第一噴嘴列NL1的各噴嘴 Nl的正下方時，都會向對應的噴嘴N1的壓電元件PZ1供給壓電元件驅 動信號COMl。同樣，每當各噴嘴N2的各滴落位置PF2分別位於對應的第二噴嘴列 目標噴出位置P2時，控制裝置51都會根據載置臺位置信息SPI，生成用 於將基于波形數據WD2的壓電元件驅動信號COM2輸出至壓電元件PZ2 的信號(噴出定時信號LP2)。然後，控制裝置51將生成的噴出定時信號 LP2依次輸出至第二噴頭驅動電路56。壓電元件驅動信號COM2是用於確定從噴嘴N2噴出的液滴Fb的噴 出量的信號，基于波形數據WD2而生成。波形數據WD2是用於確定相對 於滴落配置到對置基板15上的液滴Fbl及液滴Fb2的滴落直徑R1的各個 液滴Fbl、 Fb2的噴出量的波形數據，預先通過試驗等設定。在本實施方 式中，波形數據WD2是確定滴落直徑Rl為80微米的液滴Fbl及液滴Fb2 的噴出量的波形數據。第二噴頭驅動電路56分別與對應第二噴嘴列NL2的各噴嘴N2設置 的壓電元件PZ2連接。第二噴頭驅動電路56被供給來自控制裝置51的波 形數據WD2、噴出控制信號SI2及噴出定時信號LP2。然後，第二噴頭驅 動電路56通過與第一噴頭驅動電路55同樣的方法，每當在第二噴嘴列目 標噴出位置P2通過第二噴嘴列NL2的各噴嘴N2的正下方時，都會向對 應的噴嘴N2的壓電元件PZ2供給壓電元件驅動信號COM2。接著，對使用上述的液滴噴出裝置30在對置基板15上形成取向膜27 的方法進行說明。為了便於說明，如圖7所示，在對置基板15的上面中，至少在形成 圖案的範圍內，對應設置假想的多個區塊B。這些多個區塊B排列成在X 箭頭方向及Y箭頭方向上確定的陣列狀。在此，多個區塊B各自沿X箭 頭方向的長度為70微米，沿Y箭頭方向的長度為70微米。再有，X箭頭 方向和Y箭頭方向是相互正交的方向。多個區塊B分別是液滴Fb滴落而配置的區域。在本實施方式中，在 某一個區塊B上配置液滴Fb時，將液滴Fb配置成其區塊B的中心與所 配置的液滴Fb的中心大體一致。另外，多個區塊B的X箭頭方向的間距 對應於從X箭頭方向觀察的各噴嘴Nl和各噴嘴N2之間的距離即半間距 NW2。同樣，多個區塊B的Y箭頭方向的間距對應於噴出間隔W的一半 距離即間隔W2。再有，圖7中，為了便於說明，描繪了24個(-4X6)區塊B，不 過，實際的區塊B的數目並不限定於此數。而且，在本實施方式中，將2區塊X2區塊所確定的4個區塊B的集 合定義為區塊群BG。而且，為了便於說明，且為了分別識別一個區塊群 BG中的4個區塊B，對這些4個區塊B，分別以文字"B"和2位的後綴 所構成的符號(例如，Bll)進行表示。在此，後綴的右側的數值表示區 塊群BG中沿Y箭頭方向的位置，為"1"或"2"的整數。另一方面，後 綴的左側的數值表示區塊群BG中沿X箭頭方向的位置，為"1"或"2" 的整數。而且，例如，在關注各區塊群BG的區塊Bll時，在對置基板15的 表面上，各區塊Bll排列成在X箭頭方向及Y箭頭方向上確定的陣列狀。 具體而言，各區塊Bll無論是在X箭頭方向、或Y箭頭方向、或者它們 的合成方向U上均為周期性布置。在本實施方式中，在X箭頭方向上相 鄰的兩個區塊Bll的中心間的距離均為140微米。另外，在Y箭頭方向 上相鄰的兩個區塊Bll的中心間的距離均為140微米。進而，在X箭頭 方向和Y箭頭方向的合成方向U上相鄰的區塊Bll的中心間距離均為大 致198.0微米。再有，X箭頭方向和Y箭頭方向的合成方向U是區塊B的對角線方向。首先，如圖3所示，在基板載置臺33上載置對置基板15。此時，基 板載置臺33配置在比滑架37更靠逆X箭頭方向側，滑架37配置在導向 部件35的最靠逆Y箭頭方向。從該狀態開始，操作輸入裝置52，向控制裝置51輸入滴落直徑信息 Ir。於是，控制裝置51根據滴落直徑信息Ir生成往動時的位圖數據BMDla、 BMD2a並進行儲存。若生成各位圖數據BMDla、 BMD2a，則控制裝置51驅動控制Y軸 馬達MY，使滑架37配置移動(進給)。然後，驅動控制X軸馬達MX， 使對置基板15僅沿X箭頭方向移動(掃描)。此時，將對置基板15通過 各噴嘴N1的正下方時的各噴嘴N1在對置基板15上的通過軌跡分別設定 為作為掃描軌跡的掃描路徑DL1 (參照圖6)。另外，將各噴嘴N2在對置 基板15上的通過軌跡分別設定為作為掃描軌跡的掃描路徑DL2 (參照圖 6)。而且，在對置基板15被沿X箭頭方向輸送(往動)時，控制裝置51 在對應的第一噴嘴列目標噴出位置Pl沿各掃描路徑DL1通過各噴嘴Nl 的正下方時，從各噴嘴N1噴出液滴Fb。另外，控制裝置51在對應的第 二噴嘴列目標噴出位置P2沿各掃描路徑DL2通過各噴嘴N2的正下方時， 從各噴嘴N2噴出液滴Fb。圖8(a)表示在各第一噴嘴列目標噴出位置Pl配置了液滴Fb的狀態。 圖8 (b)表示在各第二噴嘴列目標噴出位置P2配置了液滴Fb的狀態。另外，第一噴嘴列NL1和第二噴嘴列NL2在X箭頭方向上分離間隔 NLW (2毫米)。因此，向目標噴出位置P1 (區塊B21)供給液滴Fb之後 各噴嘴N2通過位於相同區塊群BG的目標噴出位置P2 (區塊B12)的正 上方，是在基板載置臺33從所述目標噴出位置P1沿X箭頭方向移動(掃 描)間隔NLW+間隔W2 (=2毫米+ 70微米)後進行的。此時，從X箭頭方向觀察，各噴嘴N1和鄰接的各噴嘴N2之間離開 半間距NW2 (70微米)(參照圖4)，各第一噴嘴列目標噴出位置P1和鄰 接的各第二噴嘴列目標噴出位置P2之間也離開半間距NW2(70微米)(參 照圖6)。其結果，在本實施方式中，由於相同區塊群BG內的第一噴嘴列目標 噴出位置Pl和第二噴嘴列目標噴出位置P2的距離大致為99微米，所以 各目標噴出位置Pl、 P2上形成的滴落直徑Rl為80微米的液滴Fbl配置 在相互不相接的位置。若基於往動的液滴Fbl的滴落配置結束，則控制裝置51暫時使基板 載置臺33 (對置基板15)停止。接著，控制裝置51生成使對置基板15 (基板載置臺33)復動時的各 位圖數據BMDlb、 BMD2b。若生成各位圖數據BMDlb、 BMD2b，則控制裝置51驅動控制Y軸 馬達MY，使對置基板15僅沿逆X箭頭方向移動。然後，在對置基板15被沿逆X箭頭方向輸送(復動)時，控制裝置 51在對應的第一噴嘴列目標噴出位置Pl沿各掃描路徑DL1通過各噴嘴 Nl的正下方時，從各噴嘴N1噴出液滴Fb。另外，控制裝置51在對應的 第二噴嘴列目標噴出位置P2沿各掃描路徑DL2通過各噴嘴N2的正下方 時，從各噴嘴N2噴出液滴Fb。圖8 (c)表示在各第二噴嘴列目標噴出位 置P2配置了液滴Fb的狀態。圖8 (b)表示在各第一噴嘴列目標噴出位 置P1配置了液滴Fb的狀態。第二噴嘴列目標噴出位置P2 (圖8 (c)中由P3表示)，即滴落到區 塊B22上的液滴Fb所形成的液滴Fb2與四方的即區塊B12及區塊B21上 配置的液滴Fbl接觸。 .區塊B22的液滴Fb2例如僅與一方向的液滴Fbl接觸時，有時也與接 觸的液滴Fbl牽連而中心位置移動，不過，由於大致同時與四方接觸，所 以能夠與接觸的液滴Fbl相互平衡良好地牽連而恰當地形成液面。再有， 在角部及緣部的作為第二位置的目標噴出位置P3 (區塊B22)配置的液滴 Fb2隻與二方向或三方向的區塊B12或區塊B21配置的液滴Fbl接觸，不 過，無論是哪種情況，都與需要形成取向膜27的範圍的液滴Fbl接觸， 所以能夠恰當地形成液面。另外，第一噴嘴列NL1和第二噴嘴列NL2在X箭頭方向上分離間隔 NLW(2毫米)。因此，噴嘴N2向一個區塊群BG內的目標噴出位置P3 噴出液滴Fb後，對置基板15沿逆X箭頭方向移動2毫米一70微米時，噴嘴Nl開始向相同區塊群BG內的第一噴嘴列目標噴出位置PI (圖8(d) 中由P4表示)噴出各液滴Fb。因此，從噴嘴N1噴出的各液滴Fb如圖8 (d)所示，依次滴落到沿 X箭頭方向離開噴出間隔W的作為第二位置的目標噴出位置P4 (區塊 Bll)o若滴落到目標噴出位置P4(區塊B11)的液滴Fb在對置基板15的上 面形成滴落直徑R1 (=80微米)的液滴Fb2，則大致同時與四方的即區 塊B12及區塊B21上配置的液滴Fbl接觸。區塊Bll的液滴FM例如僅 與一方向的液滴Fbl接觸時，有時也與接觸的液滴FM牽連而中心位置移 動，不過，由於大致同時與四方接觸，所以能夠與接觸的液滴Fbl相互平 衡良好地牽連而恰當地形成液面。再有，在角部及緣部的目標噴出位置P4 (區塊Bll)配置的液滴Fb2 只與二方向或三方向的區塊B12或區塊B21配置的液滴Fbl接觸，不過， 無論是哪種情況，都與需要形成取向膜27的範圍的液滴Fbl接觸，所以 能夠恰當地形成液面。若基於復動的液滴Fb2的滴落配置結束，則控制裝置51暫時使基板 載置臺33 (對置基板15)停止。然後，控制裝置51將滑架37進給到新 的位置。滑架37進給之後，控制裝置51與所述同樣，在其各個時期生成 往動時的位圖數據BMDla、BMD2a、復動時的位圖數據BMDlb、BMD2b， 反覆向對置基板15配置液滴Fbl及液滴Fb2，如圖9所示，在對置基板 15上形成平坦的液狀膜Z。對於對置基板15而言，完成在對置電極26的上面形成由取向膜形成 材料F構成的液狀膜Z後，通過燒成等使取向膜形成材料F所含有的溶劑 千燥，形成取向膜27。根據本實施方式，能夠獲得如以下的效果。 (1)根據本實施方式，使噴出間隔W大於滴落直徑Rl。因此，能 夠將滴落到各目標噴出位置P1、 P2的液滴Fbl不相互接觸地配置。其結 果，配置到各目標噴出位置P1、 P2的液滴Fbl不會牽連、收縮而產生條 紋、或被引靠而產生凸起。另外，各目標噴出位置P3、 P4分別在X箭頭 方向上從目標噴出位置P1、 P2偏離間隔W2，在Y箭頭方向上偏離半間距NW2，所以配置到各目標噴出位置P3、 P4的液滴Fb2大致均勻地與周 圍的液滴Fbl接觸。其結果，不會有液滴Fb2隻與任一方的液滴Fbl牽連、 收縮而產生條紋、或被引靠而產生凸起的顧慮。由此，能夠恰當地在基板 上形成均勻膜厚的膜。(2) 根據本實施方式，液滴FM由從噴嘴Nl依次噴出配置的液滴 Fb和從噴嘴N2依次噴出配置的液滴Fb形成。因此，通過液滴噴出裝置 30能夠容易地形成不相互接觸的液滴Fbl。另外，液滴Fb2由從噴嘴N2 依次噴出配置的液滴Fb和從噴嘴Nl依次噴出配置的液滴Fb形成。因此， 通過液滴噴出裝置30能夠容易地形成與液滴Fbl接觸的液滴Fb2。其結 果，能夠在基板上容易地形成更加均勻的膜厚的取向膜27。(3) 根據本實施方式，在兩個第一噴嘴列目標噴出位置P1和兩個第 二噴嘴列目標噴出位置P2所形成的四角形狀的範圍的中央設定有各目標 噴出位置P3、P4。因此，能夠使液滴Fb2儘量均勻地與基板上的液滴Fbl 接觸。其結果，能夠在基板上形成更加均勻的膜厚的取向膜27。(4) 根據本實施方式，將目標噴出位置P1的液滴Fbl的間距NW之 間由目標噴出位置P2的液滴Fbl補充完整。因此，能夠向基板上更加細 致地噴出相互不牽連的液滴Fbl。進而，將目標噴出位置P3的液滴Fb2 的間距NW之間由目標噴出位置P4的液滴Fb2補充完整。因此，能夠在 基板上更加細緻地使液滴Fbl與液滴Fb2接觸。其結果，能夠在基板上形 成更加均勻的膜厚的取向膜27。(5) 根據本實施方式，液滴Fb設為同一噴出量。因此，能夠簡化從 各噴嘴N1、 N2噴出液滴Fb的液滴噴頭41的構成，另外，還能夠容易地 進行用於從各噴嘴N1、 N2噴出液滴的控制。(6) 根據本實施方式，噴出由取向膜形成材料F構成的液滴Fb。因 此，能夠在對置基板15上恰當地形成膜厚均勻的取向膜27。(7) 根據本實施方式，在液晶顯示裝置10的對置基板15上形成了 取向膜27。因此，能夠恰當地形成液晶顯示裝置10。(第二實施方式)以下，結合圖ll，對將本發明具體化的第二實施方式進行說明。再有，第一實施方式是在往動及復動中，即在兩次通過中，向對置基板15上噴出液滴Fb，形成作為取向膜27的液狀膜Z，與之相對，第二實 施方式中，在往動或復動中，即在一次通過中，形成作為取向膜27的液 狀膜Z，在這一點上不同。隨之，第二噴嘴列目標噴出位置P2的間隔不 同。艮P，第一噴嘴列NL1和第二噴嘴列NL2在X箭頭方向上分離間隔 NLW (2毫米)。因此，先行噴出液滴Fb的噴嘴例如在使對置基板15往 動時，使第一噴嘴列NL1的噴嘴N1與第一實施方式同樣，如圖ll (a) 所示，向第一噴嘴列目標噴出位置Pl先行滴落配置液滴Fbl。然後，將 後續的第二噴嘴列NL2的噴嘴N2用的第二噴嘴列目標噴嘴位置P2如圖 11 (b)所示，在X箭頭方向上鄰接的第一噴嘴列目標噴出位置P1之間設 定兩個。具體而言，第二實施方式的兩個第二噴嘴列目標噴嘴位置P2是 以第一實施方式的第二噴嘴列目標噴嘴位置P2為中心向X箭頭方向及逆 X箭頭方向偏倚距離a的作為第二位置的噴出位置P5、P6。本實施方式中， 將距離a設定為5微米。另外，第二實施方式中，設定液滴Fb的噴出量，使得在第一噴嘴列 目標噴出位置P1及第二噴嘴列目標噴嘴位置P2配置的作為第一液滴的液 滴Fb3的滴落直徑R2為90微米。因此，噴出位置P5和距該噴出位置P5 最近的第一噴嘴列目標噴出位置P1之間的距離為95.5微米，在該噴出位 置P5和該目標噴出位置Pl配置滴落直徑R2 (90微米)的各液滴Fb3時， 所述各液滴Fb3不相互接觸。同樣，噴出位置P6和距該噴出位置P6最近 的第一噴嘴列目標噴出位置Pl之間的距離為95.5微米，在該噴出位置P6 和該目標噴出位置P1配置滴落直徑R2 (90微米)的各液滴Fb3時，所述 各液滴Fb3不相互接觸。若運算各噴出位置P5及各噴出位置P6的位置坐標，則控制裝置51 生成用於從噴嘴列NL2噴出液滴Fb的位圖數據BMD5並進行存儲。位圖數據BMD5是與對置基板15上的各噴出位置P5及各噴出位置 P6分別對應了各位的值(0或1)的數據，是根據各位的值，規定各壓電 元件PZ2的接通或斷開的數據。即，位圖數據BMD5通過合成各噴出位 置P5及各噴出位置P6而生成。而且，位圖數據BMD5被規定成每當對應的各噴出位置P5及各噴出位置P6通過各噴嘴N2的正下方時都會噴 出液滴Fb。艮口，本實施方式中，根據位圖數據BMDla從噴嘴Nl噴出液滴Fb， 根據位圖數據BMD5從噴嘴N2噴出液滴Fb。接著，對使用上述的液滴噴出裝置30形成取向膜27的方法進行說明。首先，如圖3所示，在基板載置臺33上載置對置基板15。從該狀態開始，操作輸入裝置52，向控制裝置51輸入滴落直徑信息 Ir。於是，控制裝置51生成基於滴落直徑信息Ir的位圖數據BMDla、BMD5 並進行儲存，並配置移動滑架37。若將各噴嘴N1的掃描路徑DL1置於對 應的第一噴嘴列目標噴出位置P1上，將各噴嘴N2的掃描路徑DL2置於 對應的各噴出位置P5、 P6上，則控制裝置51開始向X箭頭方向輸送(掃 描)基板載置臺33 (對置基板15)。若對置基板15相對於噴頭41被沿X箭頭方向掃描，則第一噴嘴列目 標噴出位置P1通過第一噴嘴列NL1的各噴嘴N1的正下方。每當第一噴 嘴列目標噴出位置P1通過第一噴嘴列NL1的各噴嘴N1的正下方時，從 噴嘴N1噴出的各液滴Fb都會如圖11 (a)所示，依次滴落配置到沿X箭 頭方向離開噴出間隔W(二140微米)的第一噴嘴列目標噴出位置P1 (區 塊B21)(第一噴出工序)。另外，第一噴嘴列NL1和第二噴嘴列NL2在X箭頭方向上分離間隔 NLW(2毫米)。因此，在噴嘴N1向一個區塊群BG內的第一噴嘴列目標 噴出位置Pl噴出液滴Fb後，對置基板15沿X箭頭方向掃描規定間隔， 相同區塊群BG內的噴出位置P5及噴出位置P6通過第二噴嘴列NL2的正 下方時，如圖ll(b)所示，從該噴嘴N2噴出各液滴Fb(第二噴出工序)。再有，從第一噴嘴列目標噴出位置P1到相同區塊B內的噴出位置P5 (第二噴嘴列目標噴出位置P2)的X箭頭方向的間隔W5是從間隔W2 去掉距離a (二5微米)的長度(=65微米)。另外，從第一噴嘴列目標 噴出位置P1到相同區塊B內的噴出位置P6(第二噴嘴列目標噴出位置P2) 的X箭頭方向的間隔W6是在間隔W2上加上距離a的長度(=75微米)。艮口，首先，向第一噴嘴列目標噴出位置P1 (區塊B21)供給液滴Fb。 之後，向位於相同區塊群BG的噴出位置P5 (區塊B12內)配置來自各噴嘴N2的液滴Fb是在基板載置臺33從所述第一噴嘴列目標噴出位置Pl 沿X箭頭方向移動(掃描)間隔NLW+間隔W5 (=2毫米+ 65微米) 之後進行的。另外，同樣，向位於相同區塊群BG的噴出位置P6 (區塊 12內)配置來自各噴嘴N2的液滴Fb是在基板載置臺33從所述第一噴嘴 列目標噴出位置P1沿X箭頭方向移動(掃描)間隔NLW+間隔W6 (= 2毫米+ 75微米)之後進行的。艮P，控制裝置51在噴出位置P5或噴出位置P6通過各噴嘴N2的正 下方的時機，向各壓電元件PZ2供給與波形數據WD2對應的壓電元件驅 動信號COM2。若向噴出位置P5滴落配置液滴Fb3，然後向噴出位置P6滴落配置液 滴Fb3，則與已經配置到噴出位置P5的液滴Fb3接觸結合。接觸結合的噴出位置P5的液滴Fb3和噴出位置P6的液滴Fb3形成作 為一個第二液滴的液滴Fb4。由於合併了兩噴出位置P5、 P6的兩液滴Fb3 的中心位置為第一實施方式中的第二噴嘴列目標噴出位置P2，所以液滴 Fb4以第一實施方式中的第二噴嘴列目標噴出位置P2 (區塊B12)為中心 而形成。結合後不久的液滴Fb4的直徑大體為滴落直徑R2 (=90微米) 上加上長度2a ( = 10微米)的值，不過，液滴Fb4的重量(液量)在該 直徑下變為不穩定的重量，所以液滴Fb4的直徑較大擴展。結果，如圖11 (c)所示，擴展的液滴Fb4大致同時與四方的即配置 於區塊B21的液滴Fb3接觸。區塊B12的液滴Fb4例如僅與一方向的液 滴Fb3接觸時，有時也與接觸的液滴Fb3牽連而其中心位置移動，不過， 由於大致同時與四方接觸，所以能夠與接觸的液滴Fb3相互平衡良好地牽 連而恰當地形成液面。再有，在角部及緣部的形成於區塊B12的液滴Fb4 只與二方向或三方向的區塊B21上配置的液滴Fb3接觸，不過，無論是哪 種情況，都與需要形成取向膜27的範圍的液滴Fb3接觸，所以能夠恰當 地形成液面。若進行往動使得結束向各目標噴出位置Pl及各噴出位置P5、 P6滴落 配置液滴Fb，則控制裝置51對X軸馬達MX進行停止控制，停止向X 箭頭方向輸送基板載置臺33 (對置基板15)。接著，控制裝置51使滑架37沿Y箭頭反向移動(進給)，通過同樣的方法，重複向對置基板15滴落配置液滴Fb。然後，對於對置基板15而言，結束在對置基板15的上面形成由取向 膜形成材料F構成的液狀膜Z後，通過燒成等，使取向膜形成材料F所包 含的溶劑乾燥，形成取向膜27。根據本實施方式，在所述第一實施方式的效果的基礎上，還能夠獲得 以下的效果。(1)根據本實施方式，在相同區塊B12上，從噴嘴N2配置兩個液 滴Fb3，使該兩個液滴Fb3接觸結合，形成液滴Fb4，並使該液滴Fb4與 噴嘴Nl所形成的液滴Fb3接觸。因此，僅通過使液滴噴頭41掃描一次， 就能夠在對置基板15上使液滴Fb3和液滴Fb4結合形成液狀膜Z。其結 果，能夠更快地在對置基板15上形成由取向膜形成材料F構成的液狀膜Z， 並形成取向膜27。再有，上述實施方式也可以如下變更。 上述實施方式中，通過液滴噴出裝置30在對置基板15上形成了取 向膜27。但是，並不限定於此，也可以形成元件基板14或對置基板15 的其他膜或層，還可以形成成膜工序中的抗蝕層等。 上述實施方式中，在液晶顯示裝置10的對置基板15上形成了取向 膜27。但是，並不限定於此，基板可以是任一種基板。例如，作為液晶顯 示裝置以外的電光裝置，可以是有機場致發光裝置、電泳顯示裝置等的基 板。 上述實施方式中，噴頭41具備在X箭頭方向上平行的兩個噴嘴列 NL1、 NL2。但是，並不限定於此，噴嘴列也可以是一個。此時，在第一實施方式中，使基板載置臺33沿X箭頭方向掃描，向 所有的目標噴出位置P1噴出液滴Fb，並使滑架37沿Y箭頭方向進給間 隔W2後，使基板載置臺33沿逆X箭頭方向掃描，向目標噴出位置P2噴 出液滴Fb。然後，使基板載置臺33沿X箭頭方向掃描，向所有的目標噴 出位置P3噴出液滴Fb，並使滑架37沿逆Y箭頭方向進給間隔W2後， 使基板載置臺33沿逆X箭頭方向掃描，向目標噴出位置P4噴出液滴Fb 即可。另外，第二實施方式中，使基板載置臺33沿X箭頭方向掃描，向所有的目標噴出位置P1噴出液滴Fb，並使滑架37沿Y箭頭方向進給間隔 W2後，使基板載置臺33沿逆X箭頭方向掃描，向噴出位置P5、 P6噴出 液滴Fb即可。 上述實施方式中，噴頭41具備在X箭頭方向上平行的兩個噴嘴列 NL1、 NL2。但是，並不限定於此，噴嘴列也可以多於兩個。 上述實施方式中，噴嘴列NL1、 NL2分別由噴頭驅動電路55、 56 噴出控制。但是，並不限定於此，兩噴嘴列N1、 N2也可以由同一噴頭驅 動電路噴出控制，或者由更多的噴頭驅動電路噴出控制。 上述實施方式中，目標噴出位置Pl和目標噴出位置P2在X箭頭 方向上偏離噴出間隔W的一半間隔W2。但是，並不限定於此，也可以小 於X箭頭方向的間隔W2。即，只要間隔能夠起到如下效果即可，即，在 第一實施方式中，後來配置的液滴Fb2與先前配置的液滴Fbl恰當地接觸， 同樣，在第二實施方式中，後來配置的液滴Fb4與先前配置的液滴Fb3恰 當地接觸。
權利要求
1、一種成膜方法，通過液滴噴出單元使功能液狀體成為液滴並將其噴出到相對移動的基板上，在所述基板上形成液狀膜，在所述基板上在所述液滴不相互接觸的多個第一位置分別滴落配置了第一液滴後，在所述滴落配置的各第一液滴之間的第二位置滴落配置第二液滴，使所述第二液滴與鄰接的多個第一液滴接觸，形成液狀膜。
2、 根據權利要求1所述的成膜方法，其特徵在於，所述第一位置等間隔設置，所述第二位置設置在由鄰接的四個第一位置形成的四角形狀的範圍 內，在該第二位置配置第二液滴。
3、 根據權利要求2所述的成膜方法，其特徵在於， 所述第二液滴在由鄰接的四個第一位置形成的四角形狀的範圍內配置多個。
4、 根據權利要求1 3中任一項所述的成膜方法，其特徵在於， 形成第一液滴的液滴和形成第二液滴的液滴為相同噴出量。
5、 一種取向膜形成方法，通過液滴噴出單元使取向膜形成材料成為 液滴並將其噴出到相對移動的液晶顯示裝置用基板上，在所述液晶顯示裝 置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法包括如下工序在所述液晶顯示裝置用基板上在 所述液滴不相互接觸的多個第一位置分別滴落配置了第一液滴後，在所述 滴落配置的各第一液滴之間的第二位置滴落配置第二液滴，使所述第二液 滴與鄰接的多個第一液滴接觸，形成取向膜。
6、 一種成膜方法，從按照通過與基板的相對掃描對該基板描繪規定 間距的掃描軌跡的方式配置的多個噴嘴，噴出功能液狀體作為液滴，從而 在所述基板上形成液狀膜，所述成膜方法包括第一噴出工序，以在所述基板上不相互接觸的方式從所述噴嘴噴出多個所述液滴；和第二噴出工序，對所述第一噴出工序中配置的液滴之間的位置，從所述噴嘴噴出與該液滴相互接觸的其他所述液滴；在所述第一噴出工序中，從各所述噴嘴噴出的所述液滴在掃描方向上 以規定間隔配置，在所述第二噴出工序中，從相互鄰接的掃描軌跡所涉及的噴嘴噴出的 所述液滴，配置在相互相對於掃描方向不同的位置。
7、 根據權利要求6所述的成膜方法，其特徵在於，在所述第二噴出工序中，從相互鄰接的掃描軌跡所涉及的噴嘴噴出的 所述液滴，配置在相互相對於掃描方向相差所述規定間隔的大致一半間隔 量的位置。
8、 根據權利要求6或7所述的成膜方法，其特徵在於， 所述規定間距及所述規定間隔是配置在所述基板上的狀態下的所述液滴的直徑的1 2倍。
9、 一種取向膜形成方法，從按照通過與液晶顯示裝置用基板的相對 掃描對該基板描繪規定間距的掃描軌跡的方式配置的多個噴嘴，噴出取向 膜形成材料作為液滴，從而在所述液晶顯示裝置用基板上形成取向膜，所述取向膜形成方法包括-第一噴出工序，以在所述液晶顯示裝置用基板上不相互接觸的方式從 所述噴嘴噴出多個所述液滴；和第二噴出工序，對所述第一噴出工序中配置的液滴之間的位置，從所 述噴嘴噴出與該液滴相互接觸的其他所述液滴；在所述第一噴出工序中，從各所述噴嘴噴出的所述液滴在掃描方向上 以規定間隔配置，在所述第二噴出工序中，從相互鄰接的掃描軌跡所涉及的噴嘴噴出的 所述液滴，配置在相互相對於掃描方向不同的位置。
全文摘要
本發明提供一種使噴出到基板上的多個液滴恰當地結合來形成均勻膜厚的液狀膜的成膜方法及取向膜形成方法。液滴噴出裝置以不相互接觸的方式將液滴(Fb1)配置在分別在X箭頭方向上與鄰接的液滴(Fb1)的間隔為大於噴出間隔(W)的間隔的各目標噴出位置(P1、P2)。接著，液滴噴出裝置將液滴(Fb2)配置在分別在X箭頭方向上從目標噴出位置(P1、P2)偏離了噴出間隔(W)的一半間隔的各目標噴出位置(P3、P4)。因此，配置在各目標噴出位置(P3、P4)的液滴(Fb2)與先前配置的鄰接的液滴(Fb1)大致均勻地接觸。其結果，不會產生液滴(Fb2)只與任一方的液滴(Fb1)牽連、收縮而產生條紋、或被引靠而產生凸起，能夠在基板上形成均勻膜厚的液狀膜。
文檔編號B05C5/02GK101239350SQ200810009479
公開日2008年8月13日 申請日期2008年2月3日 優先權日2007年2月5日
發明者濱佳和, 石田紘平, 鈴木克己 申請人:精工愛普生株式會社