多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機及坩堝塗覆方法

2023-05-11 23:12:06 1

專利名稱：多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機及坩堝塗覆方法
技術領域：
本發明涉及一種多晶矽鑄錠用坩堝塗覆設備和坩堝塗覆方法，屬於多晶矽製備技術領域。
背景技術：
目前，多晶矽鑄錠用坩堝內的氮化矽塗層是採用人工噴塗方式塗覆，這種工作方式不僅效率很低，而且現場作業環境惡劣，勞動強度大，對工人的身心健康均造成不良影響，塗覆質量容易受個人技術和生產情緒的制約，良品率無法保證。而坩堝塗覆不勻會造成後續程序中出現矽料粘堝等問題，影響生產效率、生產安全和產品質量。

發明內容
為了克服上述現有技術的不足之處，本發明提供一種多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機及坩堝塗覆方法，用自動或半自動旋轉塗覆，取代人工噴塗方式，保證塗覆均勻，解決矽料粘堝等問題，節約時間，提高生產效率。本發明是通過如下技術方案實現的一種多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機，它包括底座， 底座上固定有支撐部，支撐部上端有鉸支座，鉸支座上鉸接有轉軸支架，轉軸支架內穿入轉軸，轉軸與轉軸支架之間裝有軸承，所述的轉軸的一端伸出所述的轉軸支架外可拆卸的固定有坩堝，所述的轉軸的另一端連接有動力源；所述的轉軸支架靠近坩堝的一端與所述的底座之間裝有液壓支柱，液壓支柱的一端與所述的轉軸支架鉸接，液壓支柱的另一端與所述的底座鉸接。所述的坩堝為有密封蓋的方形盒體。所述的支撐部為固定支柱。所述的動力源是電機。一種多晶矽鑄錠坩堝塗覆方法，包括如下步驟步驟一、首先布置好可上下轉動的轉軸支架，然後將坩堝安裝到轉軸支架內的轉軸上，固定坩堝並清理坩堝內壁，準備好後，用液壓支柱將轉軸支架調整至垂直狀態，使坩堝開口朝上；步驟二、將準備好的足量的漿料倒入坩堝內，蓋上密封蓋將坩堝封閉，然後啟動動力裝置使轉軸旋轉，帶動坩堝沿垂直軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的底部塗覆均勻；步驟三、旋轉30秒 90秒後，使轉軸停止，用液壓支柱將轉軸支架調整至水平狀態，然後啟動動力裝置使轉軸旋轉，帶動坩堝沿水平軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的側面塗覆均勻；步驟四、旋轉90秒 180秒後，使轉軸停止，將轉軸支架由水平狀態向下傾斜，打開坩堝密封蓋，使剩餘漿料自動流出；然後調整轉軸支架角度，將坩堝取下，完成塗覆過程。步驟二中，倒入坩堝內的漿料的高度為2 3釐米。
步驟二和步驟三中，所述轉軸的轉速為每分鐘8 12轉。本發明的有益效果是可實現多晶矽鑄錠用坩堝自動或半自動旋轉塗覆，取代傳統的人工噴塗方式，解決漿料塗覆不勻產生的矽料粘堝等問題，節約時間，提高生產效率， 保證產品質量，改善現場環境衛生，保護員工身心健康，減少勞動強度。


下面根據附圖和實施例對本發明進一步說明。圖1是本發明結構示意圖；圖2是圖1的左視圖；圖3是圖1的俯視圖；圖4是本發明立體圖。1.底座，1-1.支撐部，2.動力源，3.轉軸支架，4.鉸支座，5.轉軸，6.坩堝，7.液
壓支柱。
具體實施例方式如圖1、圖2、圖3、圖4所示，一種多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機，它包括底座1，底座1 上固定有支撐部1-1，支撐部1-1上端有鉸支座4，鉸支座4上鉸接有轉軸支架3，轉軸支架 3內穿入轉軸5，轉軸5與轉軸支架3之間裝有軸承，所述的轉軸5的一端伸出所述的轉軸支架3外可拆卸的固定有坩堝6，可採用螺釘、插裝或卡合固定，所述的轉軸5的另一端連接有動力源2，動力源為電機、小型發動機或手搖曲柄等，可根據實際需要選用；所述的轉軸支架3靠近坩堝6的一端與所述的底座1之間裝有液壓支柱7，液壓支柱7的活塞杆端部與所述的轉軸支架3鉸接，液壓支柱7的缸體末端與所述的底座1鉸接。所述的坩堝6為有密封蓋的方形盒體。所述的支撐部1-1為固定支柱。其工作過程為將坩堝6安裝到轉軸支架3內的轉軸5上，固定坩堝並清理坩堝內壁，準備好後，控制液壓支柱7將轉軸支架3調整至垂直狀態，使坩堝開口朝上；然後將漿料倒入坩堝內，蓋上密封蓋將坩堝封閉，然後啟動動力源或採用人工曲柄搖轉使轉軸5旋轉， 帶動坩堝沿垂直軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的底部塗覆均勻；旋轉一定時間後，使轉軸停止，控制液壓支柱7將轉軸支架3調整至水平狀態，使轉軸5旋轉，帶動坩堝沿水平軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的側面塗覆均勻；旋轉一定時間後，使轉軸停止，將轉軸支架3由水平狀態向下傾斜3 5度，打開坩堝密封蓋，使剩餘漿料自動流出；然後將坩堝取下，完成塗覆過程。多晶矽鑄錠坩堝塗覆方法實施例(一 )多晶矽鑄錠坩堝塗覆方法實施例一，包括如下步驟步驟一、首先布置好可上下轉動的轉軸支架3，然後將坩堝6安裝到轉軸支架3內的轉軸5上，固定坩堝並清理坩堝內壁，準備好後，用液壓支柱7將轉軸支架3調整至垂直狀態，使坩堝開口朝上；步驟二、將準備好的足量的漿料倒入坩堝內，蓋上密封蓋將坩堝封閉，然後啟動動力裝置使轉軸5旋轉，帶動坩堝沿垂直軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的底部塗覆均勻；
步驟三、旋轉45秒後，使轉軸停止，用液壓支柱7將轉軸支架3調整至水平狀態， 然後啟動動力裝置使轉軸5旋轉，帶動坩堝沿水平軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的側面塗覆均勻；步驟四、旋轉120秒後，使轉軸停止，將轉軸支架3由水平狀態向下傾斜3度，打開坩堝密封蓋，使剩餘漿料自動流出；然後調整轉軸支架3角度，將坩堝取下，完成塗覆過程。步驟二中，倒入坩堝內的漿料的高度為2釐米。步驟二和步驟三中，所述轉軸5的轉速為每分鐘12轉。( 二)多晶矽鑄錠坩堝塗覆方法實施例二，包括如下步驟步驟一、首先布置好可上下轉動的轉軸支架3，然後將坩堝6安裝到轉軸支架3內的轉軸5上，固定坩堝並清理坩堝內壁，準備好後，用液壓支柱7將轉軸支架3調整至垂直狀態，使坩堝開口朝上；步驟二、將準備好的足量的漿料倒入坩堝內，蓋上密封蓋將坩堝封閉，然後啟動動力裝置使轉軸5旋轉，帶動坩堝沿垂直軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的底部塗覆均勻；步驟三、旋轉60秒後，使轉軸停止，用液壓支柱7將轉軸支架3調整至水平狀態， 然後啟動動力裝置使轉軸5旋轉，帶動坩堝沿水平軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的側面塗覆均勻；步驟四、旋轉180秒後，使轉軸停止，將轉軸支架3由水平狀態向下傾斜5度，打開坩堝密封蓋，使剩餘漿料自動流出；然後調整轉軸支架3角度，將坩堝取下，完成塗覆過程。步驟二中，倒入坩堝內的漿料的高度為3釐米。步驟二和步驟三中，所述轉軸5的轉速為每分鐘10轉。使用本發明的多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機及坩堝塗覆方法，可實現自動或半自動旋轉塗覆，取代傳統的人工噴塗方式，解決漿料塗覆不勻產生的矽料粘堝等問題，節約時間， 提高生產效率，保證產品質量，減少勞動強度。
權利要求
1.一種多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機，其特徵在於它包括底座(1)，底座(1)上固定有支撐部(1-1)，支撐部(1-1)上端有鉸支座G)，鉸支座(4)上鉸接有轉軸支架(3)，轉軸支架 (3)內穿入轉軸(5)，轉軸(5)與轉軸支架(3)之間裝有軸承，所述的轉軸(5)的一端伸出所述的轉軸支架C3)外可拆卸的固定有坩堝(6)，所述的轉軸(5)的另一端連接有動力源 (2)；所述的轉軸支架C3)靠近坩堝(6)的一端與所述的底座(1)之間裝有液壓支柱(7)， 液壓支柱(7)的一端與所述的轉軸支架C3)鉸接，液壓支柱(7)的另一端與所述的底座(1) 鉸接。
2.根據權利要求1所述的多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機，其特徵在於所述的坩堝(6)為有密封蓋的方形盒體。
3.根據權利要求1所述的多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機，其特徵在於所述的支撐部(1-1) 為固定支柱。
4.根據權利要求1所述的多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機，其特徵在於所述的動力源(2) 是電機。
5.一種多晶矽鑄錠坩堝塗覆方法，其特徵是包括如下步驟步驟一、首先布置好可上下轉動的轉軸支架(3)，然後將坩堝(6)安裝到轉軸支架(3) 內的轉軸( 上，固定坩堝並清理坩堝內壁，準備好後，用液壓支柱(7)將轉軸支架(3)調整至垂直狀態，使坩堝開口朝上；步驟二、將準備好的足量的漿料倒入坩堝內，蓋上密封蓋將坩堝封閉，然後啟動動力裝置使轉軸(5)旋轉，帶動坩堝沿垂直軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的底部塗覆均勻；步驟三、旋轉30秒 90秒後，使轉軸停止，用液壓支柱(7)將轉軸支架C3)調整至水平狀態，然後啟動動力裝置使轉軸( 旋轉，帶動坩堝沿水平軸線勻速旋轉，漿料隨著坩堝的旋轉將坩堝的側面塗覆均勻；步驟四、旋轉90秒 180秒後，使轉軸停止，將轉軸支架(3)由水平狀態向下傾斜，打開坩堝密封蓋，使剩餘漿料自動流出；然後調整轉軸支架C3)角度，將坩堝取下，完成塗覆過程。
6.根據權利要求5所述的多晶矽鑄錠坩堝塗覆方法，其特徵在於步驟二中，倒入坩堝內的漿料的高度為2 3釐米。
7.根據權利要求5所述的多晶矽鑄錠坩堝塗覆方法，其特徵在於步驟二和步驟三中， 所述轉軸(5)的轉速為每分鐘8 12轉。
全文摘要
本發明公開了一種多晶矽鑄錠用坩堝塗覆機及坩堝塗覆方法，屬於多晶矽製備技術領域。坩堝塗覆機包括底座、支撐部，支撐部上端鉸接轉軸支架，轉軸支架內有轉軸，轉軸的一端可拆卸的固定有坩堝，轉軸的另一端連接有動力源；轉軸支架與底座之間裝有液壓支柱。坩堝塗覆方法包括安裝和清理坩堝、倒漿料、垂直旋轉塗覆坩堝底部、水平旋轉塗覆坩堝側面、倒出漿料餘料、取下坩堝等步驟。使用本發明坩堝塗覆機及坩堝塗覆方法，可實現坩堝自動或半自動旋轉塗覆，取代傳統的人工噴塗方式，解決漿料塗覆不勻產生的矽料粘堝等問題，節約時間，提高生產效率，保證產品質量，減少勞動強度。
文檔編號B05C11/08GK102423743SQ20111035169
公開日2012年4月25日 申請日期2011年10月24日 優先權日2011年10月24日
發明者曹新聞 申請人:曹新聞