基於陶瓷組件的加速度傳感器的製作方法

2023-05-11 15:12:31 2

本實用新型涉及的基於陶瓷組件的加速度傳感器，屬於半導體設備領域。

背景技術：
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壓電效應是指某些電介質在沿一定方向上受到外力的作用而變形時，其內部會產生極化現象，同時在它的兩個相對表面上出現正負相反的電荷。當外力去掉後，它又會恢復到不帶電的狀態，這種現象稱為正壓電效應。當作用力的方向改變時，電荷的極性也隨之改變。相反，當在電介質的極化方向上施加電場，這些電介質也會發生變形，電場去掉後，電介質的變形隨之消失，這種現象稱為逆壓電效應。依據電介質壓電效應研製的一類傳感器稱為壓電傳感器。

由於壓電材料輸出電信號無需額外的增加電源，所以在半導體領域，尤其是傳感器領域的應用非常廣泛。

技術實現要素：
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本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種安全簡單、可以通過加速度的測試防止超速的基於陶瓷組件的加速度傳感器。

針對以上技術問題，本實用新型涉及的基於陶瓷組件的加速度傳感器，如圖1所示：具有底座和通過螺栓固定在底座上的傳感結構，所述傳感結構具有平行設置的兩片陶瓷感電片，所述陶瓷感電片之間設置有金屬導電片，所述金屬導電片連接有電流檢測模塊，所述電流檢測模塊連接有通過電流變化計算加速度的計算模塊，所述計算模塊連接有防止超速的速度測試裝置，所述陶瓷感電片上方設置有用於給陶瓷感電片提供壓力的負重塊和給負重塊提供預載荷的壓縮彈簧。

作為優選，為了提高陶瓷感電片的接收靈敏度，所述陶瓷感電片由有機感電陶瓷與無機高分子樹脂複合而成。

作為優選，為了提前防止可能的超速，所述速度測試裝置具有用於將加速度結合當前速度計算未來速度的速度計算模塊。

作為優選，為了避免電荷發生移動，提高準確度和後續處理數據的可靠性，所述陶瓷感電片與負重塊之間設有絕緣層。

作為優選，為了便於後期的封裝，所述底座上設有用於金屬導電片與電流檢測模塊連接的導線孔。

作為優選，為了便於標準化生產，提高生產效率，所述陶瓷感電片的形狀為矩形或圓形。

與現有技術相比，本實用新型的有益之處是：可以預測受測體的移動速度，進而提前加速或者減速，結構簡單，利用壓電效應，無需外接電源，安全節能，陶瓷點感片與負重塊之間設有絕緣層，有效的提高了檢測的準確性和數據處理的可靠性。

附圖說明：

下面結合附圖對本實用新型進一步說明。

圖1是基於陶瓷組件的加速度傳感器結構示意圖；

圖中：1、底座；1-1、導線孔；2、傳感結構；3、陶瓷感電片；3-1、有機感電陶瓷；3-2、無機高分子樹脂；4、金屬導電片；5、電流檢測模塊；6、計算模塊；7、速度測試裝置；7-1、速度計算模塊；8、負重塊；9、壓縮彈簧；10、絕緣層。

具體實施方式：

本實用新型涉及的基於陶瓷組件的加速度傳感器，如圖1所示：具有底座1和通過螺栓固定在底座上的傳感結構2，所述傳感結構2具有平行設置的兩片陶瓷感電片3，所述陶瓷感電片3之間設置有金屬導電片4，所述金屬導電片4連接有電流檢測模塊5，所述電流檢測模塊5連接有通過電流變化計算加速度的計算模塊6，所述計算模塊6連接有防止超速的速度測試裝置7，所述陶瓷感電片3上方設置有用於給陶瓷感電片3提供壓力的負重塊8和給負重塊8提供預載荷的壓縮彈簧9。

作為優選，為了提高陶瓷感電片的接收靈敏度，所述陶瓷感電片3由有機感電陶瓷3-1與無機高分子樹脂3-2複合而成。

作為優選，為了提前防止可能的超速，所述速度測試裝置7具有用於將加速度結合當前速度計算未來速度的速度計算模塊7-1。

作為優選，為了避免電荷發生移動，提高準確度和後續處理數據的可靠性，所述陶瓷感電片3與負重塊8之間設有絕緣層10。

作為優選，為了便於後期的封裝，所述底座1上設有用於金屬導電片4與電流檢測模塊5連接的導線孔1-1。

作為優選，為了便於標準化生產，提高生產效率，所述陶瓷感電片3的形狀為矩形或圓形。

需要強調的是：以上僅是本實用新型的使用方式的介紹與描述，並非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本實用新型技術方案的範圍內。