藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置的製作方法
2023-05-04 22:43:31 4
專利名稱：藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於晶體生長爐領域，具體涉及一種藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置。
背景技術：
目前，單晶藍寶石晶體運用於光電產業的發光二極體(LED)已經越來越廣泛。單晶藍寶石晶體需要在特定的爐體內進行生長，而晶體在整個生長的過程中都需要操作人員時不時的對爐內的生長情況進行實時的觀察，以免一旦出現異常情況，可以及時的對其進行糾正，以此來保證整個拉晶過程的順利進行。但是，由於單晶藍寶石晶體拉制過程長，其中會有氧化物在拉制過程中聚集在觀察口處及其拉晶過程中會對觀察玻璃汙染，從而會直接影響到操作人員的觀察視野，影響操作人員對爐內晶體生長情況的判斷。本專利提供的使用新型裝置就是為了改善這種情況。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是，克服現有技術存在的缺陷，提供一種藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置。該裝置其能夠有效的吹散觀察口處聚集的氧化物，避免其汙染觀察玻璃，能夠有效的保護觀察玻璃的透明度，從而能夠使操作人員清楚的觀測到爐內的晶體生長情況。為解決技術問題，本實用新型的技術方案如下提供一種藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置，包括具有開孔的觀察座；還包括一個衝洗管件和一個帶觀察孔的壓蓋，觀察座、衝洗管件和壓蓋的端部設有法蘭面且三者依次順序安裝，在衝洗管件和壓蓋的法蘭面之間還設有觀察玻璃；所述衝洗管件的側壁上設貫通的小孔，小孔與氬氣接口接通。作為一種改進，所述衝洗管件的外壁環設一個氣體通道，氣體通道與衝洗管件的內壁之間設若干貫通的小孔，所述氬氣接口經過氣體通道與小孔相通。作為一種改進，所述氣體通道具有以下結構在衝洗管件的外壁環設兩圈凸緣，以環形板條連接兩凸緣的頂部實現氣體通道的密封，所述貫通的小孔設於兩凸緣之間的衝洗管件外壁上，所述氬氣接口連接於環形板條上的開孔。作為一種改進，所述衝洗管件的法蘭面與觀察玻璃之間、觀察座的法蘭面與衝洗管件的法蘭面之間分別設置密封圈。作為一種改進，所述觀察座的法蘭面與觀察座之間的連接方式是一體式連接、螺紋連接或是卡扣式連接。作為一種改進，所述氬氣接口通過焊接方式與氣體通道連接。作為一種改進，所述氬氣接口通過管路依次連接至流量計、調節閥、儲氣瓶。作為一種改進，所述衝洗管件與壓蓋的法蘭面之間和觀察座與衝洗管件的法蘭面之間通過卡箍實現固定連接。[0013]作為一種改進,所述卡箍是KF卡箍。本實用新型的有益效果是在拉晶過程中需要觀察爐內晶體生長情況時，可以通過觀察窗觀察，同時，通過氬氣接口對爐體充氬氣，利用氬氣來冷卻觀察玻璃以及吹散附著在觀察口通道上的氧化物，盡長時間的保證觀察玻璃不被氧化及觀察通道不被堵塞，能夠更長時間清楚的觀察到爐內晶體的生長情況。
圖I為本實驗用新型的結構示意圖；圖2為氬氣進氣路線圖。圖中附圖標記I壓蓋，2觀察玻璃，3卡箍，4衝洗管件，5氬氣接口，6環形板條，7觀察座，8流量計，9手動調節閥，10小孔。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施對本實用新型進一步說明。本實用新型中的種藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置，包括具有開孔的觀察座7。還包括一個兩端帶有法蘭面的衝洗管件4，該衝洗管件4的外壁環設一氣體通道，氣體通道與衝洗管件4的內壁之間設6個貫通的小孔10，一個氬氣接口 5通過焊接方式與該氣體通道相通；氬氣接口 5通過管路依次連接至流量計8、調節閥9 (手動)、儲氣瓶。氬氣進過調節閥9與流量計8接入，通過小孔10進入爐內。調節閥9可以手動調節氬氣的進氣速度(如採用手動閥門)。氣體通道具有以下結構在衝洗管件4外壁環設兩圈凸緣，以環形板條6連接兩凸緣的頂部實現氣體通道的密封，並形成一個環形的腔體。小孔10設於兩凸緣之間，氬氣接口 5連接於環形板條6上的開孔。衝洗管件4與一個帶觀察孔的壓蓋I之間設有觀察玻璃2，且衝洗管件4與壓蓋I通過法蘭面連接，觀察座7與衝洗管件4之間也通過法蘭面相互連接。衝洗管件4的法蘭面與觀察玻璃2之間、觀察座7的法蘭面與衝洗管件4的法蘭面之間分別設置密封圈。觀察座7與其法蘭面的連接方式是卡扣式連接，也可以設計成為一體式連接或螺紋連接。衝洗管件4與壓蓋I的法蘭面之間、觀察座7與衝洗管件4的法蘭面之間通過KF卡箍實現固定連接，裝卸方便簡捷。使用方法拉晶過程中常常有氧化物汙染觀察玻璃2，影響操作人員觀察爐內晶體的生長情況。為解決這個問題，要對衝洗管件4進行氬氣衝洗。先手動調節手動調節閥9，使氣流調到合適速度，氬氣從儲氣瓶出來，順著管道，經過手動調節閥9，再經過流量計8，到達氬氣接口 5處，進入衝洗管件4的氣體通道，氬氣環走於氣體通道內，最後從多處小孔中噴入衝洗管件4內，並從觀察座7處流走，實現衝洗氧化物的目的。
權利要求1.一種藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置，包括具有開孔的觀察座；其特徵在於，還包括一個衝洗管件和一個帶觀察孔的壓蓋，觀察座、衝洗管件和壓蓋的端部設有法蘭面且三者依次順序安裝，在衝洗管件和壓蓋的法蘭面之間還設有觀察玻璃；所述衝洗管件的側壁上設貫通的小孔，小孔與氬氣接口接通。
2.根據權利要求I所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述衝洗管件的外壁環設一個氣體通道，氣體通道與衝洗管件的內壁之間設若干貫通的小孔，所述氬氣接口經過氣體通道與小孔相通。
3.根據權利要求2所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述氣體通道具有以下結構在衝洗管件的外壁環設兩圈凸緣，以環形板條連接兩凸緣的頂部實現氣體通道的密封，所述貫通的小孔設於兩凸緣之間的衝洗管件外壁上，所述氬氣接口連接於環形板條上的開孔。
4.根據權利要求I至3任意一項中所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述衝洗管件的法蘭面與觀察玻璃之間、觀察座的法蘭面與衝洗管件的法蘭面之間分別設置密封圈。
5.根據權利要求I至3任意一項中所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述觀察座的法蘭面與觀察座之間的連接方式是一體式連接、螺紋連接或是卡扣式連接。
6.根據權利要求I至3任意一項中所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述氬氣接口通過焊接方式與氣體通道連接。
7.根據權利要求I至3任意一項中所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述氬氣接口通過管路依次連接至流量計、調節閥、儲氣瓶。
8.根據權利要求I至3任意一項中所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述衝洗管件與壓蓋的法蘭面之間和觀察座與衝洗管件的法蘭面之間通過卡箍實現固定連接。
9.根據權利要求8所述的觀察口裝置，其特徵在於，所述卡箍是KF卡箍。
專利摘要本實用新型涉及晶體生長爐領域，旨在提供一種藍寶石晶體生長帶氬氣衝洗的觀察口裝置。該裝置包括具有開孔的觀察座、一個衝洗管件和一個帶觀察孔的壓蓋，觀察座、衝洗管件和壓蓋的端部設有法蘭面且三者依次順序安裝，在衝洗管件和壓蓋的法蘭面之間還設有觀察玻璃；所述衝洗管件的側壁上設貫通的小孔，小孔與氬氣接口接通。在拉晶過程中需要觀察爐內晶體生長情況時，可以通過本實用新型的觀察窗觀察，同時通過氬氣接口對爐體充氬氣，利用氬氣來冷卻觀察玻璃以及吹散附著在觀察口通道上的氧化物，盡長時間的保證觀察玻璃不被氧化及觀察通道不被堵塞，能夠更長時間清楚的觀察到爐內晶體的生長情況。
文檔編號C30B29/20GK202730305SQ201220397440
公開日2013年2月13日 申請日期2012年8月10日 優先權日2012年8月10日
發明者張俊, 朱亮, 曹建偉, 王巍, 沈興潮 申請人:上虞晶信機電科技有限公司, 浙江晶盛機電股份有限公司