校正光束圖案化的方向和位置的方法
2023-05-04 16:16:06 1
校正光束圖案化的方向和位置的方法
【專利摘要】本發明提供一種校正光束圖案化的方向和位置的方法，所述方法包含：將襯底裝載到處理腔室中；基於表示作為變形前襯底的非變形襯底的形狀的非變形襯底形狀信息創建虛擬非變形襯底模型；檢查裝載到處理腔室中的襯底的變形水平且創建虛擬變形襯底模型；計算作為圖案化區段起始側的中心點的圖案化區段起始點及作為圖案化區段結束側的中心點的圖案化區段結束點，其中通過使用非變形襯底形狀信息在變形襯底模型的每個區段上執行光束的圖案化；以及考慮到圖案化區段起始點與圖案化區段結束點之間的斜率，確定每個區段的圖案化起始襯底位置。
【專利說明】校正光束圖案化的方向和位置的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種校正光束圖案化的方向和位置的方法，尤其涉及一種在通過光束圖案化在襯底上製作特定的圖案的過程中襯底發生變形時校正光束圖案化的方向和位置的方法。
【背景技術】
[0002]噴墨和光束輻射技術用於在襯底上製作特定的圖案。
[0003]由於光束圖案化技術可以通過光束輻射在襯底的預期部分上製作特定的圖案並且具有有可能精確且快速地應用於較大區域的優勢，因此所述技術是廣泛地使用的。
[0004]一般的雷射圖案化裝置包含:處理腔室；襯底傳送單元，其安裝在處理腔室中，支撐襯底並且在處理進行的方向上水平地移動襯底；以及安裝在處理腔室的上部部分並且發射光束的模塊。來自處理腔室中的光束模塊的光束可以輻射到裝載到雷射圖案化裝置的處理腔室中的襯底，以在襯底的預期部分上執行圖案化處理。
[0005]然而，在執行圖案化處理之前襯底可能由於熱或外部物理力量而變形，並且當在這種變形襯底上執行圖案化處理時，存在無法精確地進行圖案化的局限性。
[0006]也就是說，當通過圖案化裝置中的光束輻射進行圖案化時，光束的輻射可在每個區段上正常執行，前提是裝載的襯底是具有普通形狀而沒有變形的襯底1，如圖1A中所示。然而，當在執行先前處理時襯底P已變形時，存在光束無法正確地輻射到變形的襯底上的局限性，如圖1B中所示。由於通常僅考慮變形襯底的豎直收縮/膨脹且不考慮光束的輻射(圖案化)的方向性，因此無法在精確位置上進行圖案化。
[0007](專利文獻I)韓國專利公開案號2012-0131338。
【發明內容】
[0008]為了解決上述限制，當在襯底上執行圖案化處理時，對光束的圖案化方向和圖案化位置進行校正以用於精確輻射。並且，即使襯底的形狀由於膨脹或收縮發生變形，也能正確地執行光束的輻射。並且，即使襯底的形狀發生變化，光束的輻射方向也不會出錯。
[0009]根據示例性實施例，一種校正光束圖案化的方向和位置的方法包含:將襯底裝載到處理腔室中；基於表示作為變形前襯底的非變形襯底的形狀的非變形襯底形狀信息創建虛擬非變形襯底模型；檢查裝載到處理腔室中的襯底的變形水平並且創建虛擬變形襯底模型；計算作為圖案化區段起始側的中心點的圖案化區段起始點以及作為圖案化區段結束側的中心點的圖案化區段結束點，其中通過使用非變形襯底形狀信息在變形襯底模型的每個區段上執行光束的圖案化；以及考慮到圖案化區段起始點與圖案化區段結束點之間的斜率，確定每個區段的圖案化起始襯底位置。
[0010]非變形襯底形狀信息可以是關於在施加熱或外部物理力量之前的基底襯底的形狀信息。
[0011]非變形襯底形狀信息可以包含非變形襯底的每一側的位置和長度、圖案化起始偵U、圖案化結束側、非變形襯底的對齊標記坐標和光束圖案化區段的數目中的至少一個。
[0012]非變形襯底模型的創建可以包含:檢查非變形襯底形狀信息；創建具有非變形襯底形狀信息的每一側的長度的虛擬非變形襯底模型；基於非變形襯底形狀信息的對齊標記坐標在非變形襯底模型上放置作為對齊標記的非變形對齊標記。
[0013]變形襯底模型的創建可以包含:讀取作為在裝載到處理腔室中的襯底上形成的對齊標記的變形對齊標記；
[0014]測量標記變形水平，即，非變形對齊標記與變形對齊標記之間的變形水平；以及自非變形襯底模型創建具有圖案化變形起始側和圖案化變形結束側的變形襯底模型，所述圖案化變形起始側和圖案化變形結束側是通過按標記變形水平擴張或收縮圖案化起始於的圖案化起始側和圖案化結束於的圖案化結束側而獲得的。
[0015]圖案化區段起始點的計算可以包含:將圖案化變形起始側的整個長度劃分為對應於光束圖案化區段的數目的部分並且計算每個圖案化區段起始側的位置；以及將圖案化區段起始側的每個中心點作為圖案化區段起始點進行計算。
[0016]每個區段的圖案化起始襯底位置的確定可以包含:
[0017]計算連接圖案化區段起始點和圖案化區段結束點的傾角；按所述傾角旋轉襯底平臺從而允許襯底在平行於非變形襯底模型的圖案化方向的方向上移動；以及按根據旋轉的圖案化區段起始點的變化水平和圖案化區段結束點的變化水平移動坐標值，並且確定每個區段的最後一個圖案化起始襯底位置和圖案化結束襯底位置。
[0018]按傾角旋轉襯底平臺可以包含從支撐襯底的平臺的中心點按傾角旋轉襯底平臺。
[0019]可以在光束的圖案化在其上執行的每個區段上計算圖案化區段起始點和圖案化區段結束點，並且可以在對每個區段的光束圖案化時將襯底移動到每個區段的圖案化起始襯底位置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0020]通過結合附圖進行的以下描述可以更詳細地理解示範性實施例，其中:
[0021]圖1A和圖1B示出了沒有變形的襯底和變形襯底上的光束圖案化方向。
[0022]圖2示出了根據本發明的一個實施例的校正圖案化坐標並且執行光束圖案化的襯底處理裝置。
[0023]圖3是根據本發明的一實施例的校正雷射束的圖案化方向和圖案化位置的過程的流程圖。
[0024]圖4表示如何在非變形襯底上測量圖案化區段、對齊標記和每一側的長度。
[0025]圖5示出了根據本發明的一個實施例的非變形襯底模型。
[0026]圖6示出了根據本發明的一個實施例的變形襯底上的對齊標記的變形水平。
[0027]圖7示出了根據本發明的一個實施例的變形襯底模型。
[0028]圖8示出了根據本發明的一個實施例的非變形襯底模型和變形襯底模型。
[0029]圖9示出了根據本發明的一個實施例如何計算傾角。
[0030]圖1OA和圖1OB示出了根據本發明的一個實施例如何按傾角移動平臺。
[0031]圖11A、圖1IB和圖1IC示出了根據本發明的一個實施例襯底的行進方向如何取決於每個圖案化區段而變化。
【具體實施方式】
[0032]下文中將參考附圖來更詳細描述本發明的示例性實施例。然而，本發明可通過不同的形式進行實施，且不應解釋為限於本文中所列出的各實施例。相反，提供這些實施例以使本發明更加全面且完整，並且可以將本發明的範圍完整地傳達給所屬領域的技術人員。附圖中相同的標號指代相同的組件。
[0033]圖2示出了根據本發明的一個實施例的校正圖案化坐標並且執行圖案化的襯底處理裝置。
[0034]執行光束圖案化的襯底處理裝置在襯底上掃描光束並且在襯底S上執行圖案化處理。所述襯底處理裝置包含:處理腔室100 ;襯底傳送單元110，其安裝在處理腔室100中，支撐襯底S，並且水平地向前和向後移動襯底S ；以及安裝在處理腔室100的一側並且發射光束的光束模塊200，所述光束模塊面向襯底傳送單元110。
[0035]襯底傳送單元110可包含放置襯底的襯底平臺，並且允許隨著襯底平臺的移動在襯底的表面上順序地進行光束圖案化。由於除在X和Y方向上移動之外，所述平臺也具有可旋轉配置，所以它可以旋轉。
[0036]並且，具有電荷稱合裝置(charge coupled device ;CO))傳感器的視覺攝像機(未圖示)布置在所述處理腔室中。所述視覺攝像機(未圖示)可捕獲襯底並且識別在襯底上形成的對齊標記的位置。
[0037]並且，控制單元(未圖示)檢查裝載到腔室中的襯底的變形水平，校正光束圖案化範圍，根據校正值移動襯底並且執行光束輻射。
[0038]下文簡單描述通過使用具有這種配置的襯底處理裝置的圖案化襯底的過程。首先，當襯底S被裝載到處理腔室100中並且放置在襯底傳送單元110上時，通過使用視覺攝像機(未圖示)來傳送襯底傳送單元110以與對齊標記匹配以便對齊襯底S。當完成襯底對齊時，將雷射束輻射到襯底S上。在襯底由襯底傳送單元110水平地向前和向後移動時，雷射束輻射到所述襯底上。
[0039]當輻射雷射束時，雷射束僅輻射到圖案化目標區域以執行選擇性圖案化。舉例來說，通過對光束執打能夠控制光束振湯的觸發，有可能僅將雷射束福射到在光束|吳塊下方移動的襯底的圖案化目標區域。也就是說，光束模塊簡單地具有接收到電力的就緒狀態，並且準備好執行雷射振蕩。控制單元可以將觸發信號發送到光束模塊以在襯底的圖案化目標區域被放置在光束模塊的光束輻射路徑上時執行選擇性輻射。有可能通過其他技術執行圖案化。
[0040]並且，當裝載到處理腔室中的襯底具有由於例如熱或外部物理力量等原因的變形形狀時，預設圖案化起始範圍和預設圖案化結束範圍並不精確地與變形襯底匹配，並且因此圖案化是在非預期方向上執行的。因此，本發明詳細描述了如何考慮到這種襯底變形水平並且通過參考圖3的控制單元校正圖案化方向。
[0041]圖3是根據本發明的一個實施例的校正雷射束的圖案化方向和圖案化位置的過程的流程圖。
[0042]在下文中，襯底具有四個圖案化區段，並且將描述如何在每個圖案化區段上執行光束的輻射的一個實例。也就是說，當襯底移動且其第一區段被放置於固定光束模塊下方時，輻射光束並且襯底往復移動以在第一區段上執行圖案化，並且隨後在第二區段、第三區段和第四區段上執行圖案化。除了將要在下文中描述的四個圖案化區段之外，本發明的實施例也將能夠應用於具有單個圖案化區段或多個圖案化區段的襯底。
[0043]首先，在過程S310中將圖案化目標襯底裝載到處理腔室中。由於圖案化目標襯底是在先前過程中用熱或外部物理力量製造的，因此它可能具有不同於原始襯底的變形形狀。
[0044]當將圖案化目標襯底裝載到處理腔室中時，在過程S320中，控制單元基於關於非變形襯底形狀的信息創建虛擬的非變形襯底模型，所述信息表示作為圖案化目標襯底變形之前的襯底的非變形襯底的形狀。為了創建非變形襯底模型，當將圖案化目標襯底放到處理腔室中時，控制單元首先檢查關於圖案化目標襯底的變形前襯底的信息(被稱作「非變形襯底形狀信息」)。非變形襯底形狀信息是關於在受到熱或外部物理力量影響之前或在變形出現之前的襯底的形狀信息。可根據預先存儲此類非變形襯底形狀信息的資料庫(database, DB)或通過從先前處理裝置接收關於裝載到圖案化處理腔室中的圖案化目標襯底的變形前襯底的形狀信息檢查處理腔室。
[0045]非變形襯底形狀信息包含關於非變形襯底的每一側的位置和長度、圖案化起始偵U、圖案化結束側、非變形襯底的對齊標記坐標和光束圖案化區段的數目中的至少一個的信息。如圖4中所示，非變形襯底的每一側的位置是每一側的位置坐標，並且每一側的長度包含非變形襯底的右側長度dl、左側長度d2、上側長度d3和下側長度d4。並且，圖案化起始側是光束圖案化起始於的側，且圖案化結束側是在圖案化完成之後圖案化結束於的側。舉例來說，當在襯底水平地從右側移動到左側時在圖4中執行圖案化時，右側dl變為圖案化起始側而左側d2變為圖案化結束側。並且，非變形襯底形狀信息包含形成在非變形襯底上的多個對齊標記坐標。舉例來說，當襯底被分成各自包含一個對齊標記的四個象限時，放置在第一象限上的第一對齊標記Ml具有作為非變形襯底形狀信息的第一對齊標記坐標值xUylo並且，光束圖案化區段的數目表示當襯底被分成區段以輻射光束並且執行圖案化時的區段的數目。舉例來說，如圖4中所示，當襯底被分成四個區段SI到S4並且順序執行光束輻射時，光束圖案化區段的數目是四個。
[0046]在檢查非變形襯底形狀信息之後，控制單元創建如圖5中所示的非變形襯底模型。創建了非變形襯底模型，所述非變形襯底模型是具有與從非變形襯底形狀信息中獲得的每一側的長度相同的尺寸的虛擬襯底模型。此外，基於非變形襯底形狀信息的對齊標記坐標，將對齊標記(在下文中，被稱作「非變形對齊標記」)放置在非變形襯底模型上的。因此，通過使用實際變形前襯底的非變形襯底形狀信息，控制單元創建具有與圖5中所示相同的形狀的虛擬襯底模型。
[0047]在創建非變形襯底模型之後，對裝載到處理腔室中的圖案化目標襯底的變形水平進行檢查，以在(圖3的)過程S320中創建虛擬變形襯底模型。
[0048]通過使用具有C⑶傳感器的視覺攝像機捕獲在裝載到處理腔室中的圖案化目標襯底上製成的每個對齊標記，並且從所捕獲的圖像中讀取對齊標記(在下文中，被稱作「變形對齊標記」)。將以此方式讀取的變形對齊標記的坐標與在非變形襯底模型上形成的非變形對齊標記進行比較，以測量對齊標記之間的變形水平。為了進行參考，由於對齊標記的坐標是從非變形襯底形狀信息中獲得的，所以視覺攝像機捕獲對齊標記被放置於的點。視覺攝像機的數目可與對齊標記的數目相同。
[0049]如果在先前處理裝置執行處理之後襯底由於熱或外部物理力量擴張或收縮，那麼在對齊標記之間將出現變形。
[0050]圖6是通過用視覺攝像機捕獲圖案化目標襯底的對齊標記獲得的圖像的放大視圖。由於視覺攝像機從非變形襯底形狀信息中獲得對齊標記(非變形對齊標記)將被放置於的坐標，因此所述攝像機經放置並且進行捕獲以便使在襯底變形之前刻在襯底中的非變形對齊標記的中心點放置在圖像的中心。然而，當圖案化目標襯底具有由於熱或外部物理力量的變形形狀時，對齊標記的位置也發生變化。舉例來說，如圖6中所示，當襯底的第一象限向上擴張和變形時，在第一象限上製作的第一對齊標記Ml也被放置在向上移動的部分上。刻在圖案化目標襯底中的第一對齊標記(變形的第一對齊標記)並不放置在由第一視覺攝像機caml拍攝的圖像的中心，而是具有向上移動的位置。因此，有可能測量由第一視覺攝像機caml捕獲的圖像的中心點(非變形的第一對齊標記的中心點)與變形的第一對齊標記的中心點之間的垂直距離dyl來作為標記變形水平。為了進行參考，取決於光束的長度方向，標記變形水平可受到不同測量。當假定通過採用襯底的垂直軸作為長度方向進行光束的輻射時，可將非變形對齊標記與變形對齊標記之間的垂直距離測量作為標記變形水平，並且反之，當假定通過採用襯底的水平軸作為長度方向進行光束的輻射時，可將非變形對齊標記與變形對齊標記之間的水平距離測量作為標記變形水平。
[0051]在測量在圖案化目標襯底的每個象限上製作的對齊標記的標記變形水平之後，在(圖3的)過程S330中基於標記變形水平創建變形襯底模型。從非變形襯底模型中創建變形襯底模型，所述變形襯底模型具有通過擴張或收縮圖案化起始於的圖案化起始側和圖案化結束於的圖案化結束側而獲得的圖案化變形起始側和圖案化變形結束側。
[0052]舉例來說，當第一象限I的第一對齊標記Ml的變形水平dyl是+8時，有可能將非變形襯底模型的第一象限所屬於的變形前圖案化起始側(右側)的上端增大+8 (如圖7中所示)，並且類似地，當第四象限IV的第四對齊標記M4的變形水平dy4是+3時，有可能將非變形襯底模型的第四象限IV所屬於的圖案化起始側(右側)的下端增大+3。因此，有可能創建變形圖案化起始側(在下文中，被稱作「圖案化變形起始端」)。類似地，形成第二象限II和第三象限III的圖案化結束側(左側)也可創建取決於每個標記的變形水平而變形的圖案化變形結束側。因此，如圖7中所示，有可能創建具有圖案化變形起始側和圖案化變形結束側的變形襯底模型。為了進行參考，有可能通過連接圖案化變形起始端和圖案化變形結束側的兩端而創建變形襯底模型。
[0053]在創建變形襯底模型之後，在(圖3的)過程S340中計算作為圖案化區段起始側的中心點的圖案化區段起始點以及作為圖案化區段結束側的中心點的圖案化區段結束點，其中通過使用非變形襯底形狀信息在變形襯底模型的每個區段上執行光束的圖案化。在示出非變形襯底模型和變形襯底模型的圖8中，為了描述上述過程，假定非變形襯底模型的圖案化起始側不具有變形，並且僅有第一象限I的圖案化起始側發生變形以形成變形襯底模型。也就是說，假定變形襯底模型的圖案化變形起始側從非變形襯底模型的圖案化起始側向上擴張+8並且向下擴張+3。並且，假定變形襯底模型的圖案化變形結束側具有與沒有擴張或收縮的非變形襯底模型的圖案化結束側相同的位置和尺寸。
[0054]根據非變形襯底形狀信息假定光束圖案化區段的數目是四個，並且描述計算圖8的模型中的圖案化起始點和圖案化結束點的過程。
[0055]首先，描述了如何計算圖案化起始點。
[0056]變形襯底模型的圖案化變形起始側的整個長度被均勻地分成與光束圖案化區段的數目相同的四個部分，並且通過劃分獲得的側面的每個區域被計算作為圖案化區段起始側的位置。因此，計算四個圖案化區段起始側SI'到S4'的位置。由於非變形襯底的圖案化起始側是變形的，所以變形襯底模型的每個圖案化區段起始側具有與非變形襯底模型的每個圖案化區段起始側相比較大的值。每個圖案化區段起始側的中心點被確定為對應的圖案化區段起始端的起始點(在下文中，被稱作「圖案化區段起始點」)。因此，有可能確定變形襯底模型的第一區段的圖案化起始點B1、第二區段的圖案化起始點B2、第三區段的圖案化起始點B3以及第四區段的圖案化起始點B4。
[0057]類似地，通過將圖案化變形結束側均勻地劃分為與光束圖案化區段的數目相同的四個部分，有可能根據通過劃分獲得的每個圖案化區段結束側計算圖案化區段結束點El到E4。
[0058]每個區段的起始點和結束點用於從每個區段的起始點向包含其右側和左側區段的一定範圍內輻射光束。也就是說，本發明的實施例執行從特定區段的起始點向對應區段的結束點的光束輻射。舉例來說，當光束輻射到第一區段時，襯底移動使得光束模塊的中心點從第一區段的圖案化起始點BI移動到圖案化結束點E1，並且執行光束圖案化。
[0059]為此目的，當在襯底的每個區段上執行圖案化過程時，應確定支撐襯底的襯底平臺的行進方向。為此目的，在過程S350中，考慮圖案化區段起始點與圖案化區段結束點之間的斜率來計算每個區段的圖案化起始襯底位置。
[0060]具體而言，首先計算連接圖案化區段起始點與圖案化區段結束點的傾角。參考圖8的變形襯底模型，第一區段找到將圖案化區段起始點BI連接到圖案化區段結束點El的傾斜線LI，並且隨後找到傾斜線的傾角Θ。也就是說，如圖9中所示，找到由圖案化區段起始點BI與圖案化區段結束點El之間的高度差造成的傾角Θ。
[0061]在計算傾角之後，如圖1OB中所示，襯底狀態按所計算的傾角旋轉。按傾角旋轉襯底狀態意味著從支撐襯底的平臺的中心點按傾角旋轉襯底平臺。通過此類旋轉，襯底平行於非變形襯底模型的圖案化方向而旋轉，例如，按傾角旋轉，使得襯底在垂直於光束線的方向上移動。非變形襯底模型的圖案化方向意味著當在變形之前襯底具有正常的襯底形狀時的圖案化方向。
[0062]當由於圖案化區段起始點BI和圖案化區段結束點El之間的高度差產生的傾角Θ具有正(+)值時，有可能通過順時針旋轉來移動襯底使其變為垂直於光束線，並且當傾角Θ具有負(_)值時，有可能通過逆時針旋轉來移動襯底使其變為垂直於光束線。
[0063]在通過平臺旋轉進行校正之後，通過按取決於旋轉的圖案化區段起始點和圖案化區段結束點的變化水平校正坐標值來確定每個區段的最後一個取決於區段的圖案化起始襯底位置。在襯底平臺旋轉之後，計算出的圖案化區段起始點和計算出的圖案化區段結束點應該也具有旋轉值，並且因此所述值得到校正。
[0064]舉例來說，最初放置在圖1OA的襯底平臺上的襯底的第一區段的圖案化區段起始點坐標Xa、Yb應該被校正到由於圖1OB的旋轉的旋轉起始點坐標Xa'、Yb',但是仍然具有先前計算出的位置Xa、Yb。因此，通過按由於旋轉的圖案化區段起始點的變化水平(誤差值)和圖案化區段結束點的變化水平移動坐標值，將坐標Xa'、Yb'確定為每個區段的最後一個圖案化起始襯底位置和圖案化結束襯底位置。
[0065]當基於每個區段的計算出的圖案化起始襯底位置和圖案化結束襯底位置執行每個區段的圖案化時，形成關於每個區段的雷射圖案化的從每個圖案化起始點到每個圖案化結束點的不同的圖案化方向性，並且因此有可能執行精確的圖案化而不論襯底變形如何。舉例來說，當襯底被分成在其上執行圖案化的多個區段時，當光束輻射到襯底的第一區段(如圖1lA中所示)時襯底平臺可移動而具有垂直於光束線的第一圖案化方向性LI，並且可以如圖1lB中所示確定襯底的位置，並且當第一圖案化完成之後光束輻射第二區段時襯底平臺可移動而具有垂直於光束線的第二圖案化方向性L2。類似地，當光束輻射到第三區段時，可如圖1lC中所示確定襯底位置並且襯底平臺可以移動而具有垂直於光束線的第二圖案化方向性L3。
[0066]根據本發明的實施例，即使襯底發生變形，也有可能通過使用對齊標記對襯底進行校正來防止光束的圖案化方向出錯。並且，通過防止光束的圖案化方向出錯，可以在襯底的正確部分上執行圖案化。
[0067]雖然 申請人:參考附圖和示例性實施例來描述本發明，但是本發明並不受到上述內容的限制並且由所附的權利要求書界定。因此，所屬領域的技術人員可以在不脫離所附權利要求書的技術精神的前提下實施各種變化和修改。
【權利要求】
1.一種校正光束圖案化的方向和位置的方法，所述方法包括: 將襯底裝載到處理腔室中； 基於表示作為變形前襯底的非變形襯底的形狀的非變形襯底形狀信息創建虛擬非變形襯底模型； 檢查裝載到所述處理腔室中的襯底的變形水平並且創建虛擬變形襯底模型； 計算作為圖案化區段起始側的中心點的圖案化區段起始點及作為圖案化區段結束側的中心點的圖案化區段結束點，其中通過使用所述非變形襯底形狀信息在所述變形襯底模型的每個區段上執行光束的所述圖案化；以及 考慮所述圖案化區段起始點與所述圖案化區段結束點之間的斜率，確定每個區段的圖案化起始襯底位置。
2.根據權利要求1所述的方法，其中所述非變形襯底形狀信息是關於在施加熱或外部物理力量之前的基底襯底的形狀信息。
3.根據權利要求2所述的方法，其中所述非變形襯底形狀信息包括所述非變形襯底的每一側的位置和長度、圖案化起始側、圖案化結束偵彳、所述非變形襯底的對齊標記坐標和光束圖案化區段的數目中的至少一個。
4.根據權利要求3所述的方法，其中所述非變形襯底模型的所述創建包括: 檢查所述非變形襯底形狀信息； 創建具有所述非變形襯底形狀信息的每一側的所述長度的虛擬非變形襯底模型；基於所述非變形襯底形狀信息的所述對齊標記坐標在所述非變形襯底模型上放置作為對齊標記的非變形對齊標記。
5.根據權利要求4所述的方法，其中所述變形襯底模型的所述創建包括: 讀取作為在裝載到所述處理腔室中的所述襯底上形成的對齊標記的變形對齊標記； 測量作為所述非變形對齊標記與所述變形對齊標記之間的變形水平的標記變形水平；以及 自所述非變形襯底模型創建具有圖案化變形起始側和圖案化變形結束側的變形襯底模型，所述圖案化變形起始側和所述圖案化變形結束側是通過按所述標記變形水平擴張或收縮圖案化起始於的所述圖案化起始側和圖案化結束於的所述圖案化結束側而獲得的。
6.根據權利要求5所述的方法，其中所述圖案化區段起始點的所述計算包括: 將所述圖案化變形起始側的整個長度劃分為對應於所述光束圖案化區段的數目的部分並且計算每個圖案化區段起始側的位置；以及 將所述圖案化區段起始側的每個中心點作為圖案化區段起始點進行計算。
7.根據權利要求1所述的方法，其中每個區段的所述圖案化起始襯底位置的所述確定包括: 計算連接所述圖案化區段起始點與所述圖案化區段結束點的傾角； 按所述傾角旋轉襯底平臺從而允許襯底在平行於所述非變形襯底模型的所述圖案化方向的方向上移動；以及 按根據所述旋轉的所述圖案化區段起始點的變化水平和所述圖案化區段結束點的變化水平移動坐標值，並且確定每個區段的最後一個圖案化起始襯底位置和圖案化結束襯底位置。
8.根據權利要求7所述的方法，其中所述襯底平臺按所述傾角的所述旋轉包括從支撐所述襯底的平臺的中心點按所述傾角旋轉所述襯底平臺。
9.根據權利要求7所述的方法，其中在光束的所述圖案化在其上執行的每個區段上計算所述圖案化區段起始點和所述圖案化區段結束點，並且在對每個區段的光束圖案化時將所述襯底移動到每個區段的所述圖案化起始襯底位置。
【文檔編號】G03F7/20GK104238279SQ201410253698
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月9日 優先權日:2013年6月14日
【發明者】黃成在, 金玟秀, 李容勳, 金載憲 申請人:Ap系統股份有限公司