可自動補充mo源的裝置製造方法
2023-05-20 05:54:41 1
可自動補充mo源的裝置製造方法
【專利摘要】本發明提供一種可自動補充MO源的裝置，包括MO源鋼瓶，所述MO源鋼瓶上設置有進氣管和出氣管，MO源鋼瓶的左側設置有MO源儲罐，所述進氣管分支路連接在MO源儲罐上，所述MO源儲罐通過氣管連接在惰性氣體儲存罐上，所述MO源儲罐與惰性氣體儲存罐之間設置有真空泵，所述MO源鋼瓶內部設置有液位探頭，通過液位探頭控制MO源儲罐的開啟，所述出氣管分支路連接在MO源儲罐上。通過MO源儲罐對MO源鋼瓶進行補料，並且通過液位探頭對MO源鋼瓶內部的MO源殘留量，並自動進行補料，解決了MO源連續供應難的問題。
【專利說明】可自動補充MO源的裝置
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及一種充裝裝置，尤其涉及一種可自動對MO源鋼瓶進行充MO源的裝置。【背景技術】
[0002]MO源在MOCVD設備中使用非常特殊，物料在使用時需要保持恆溫(±0.1 °C )，恆壓(土 ltorr)，穩定氣體流量(土 I seem)。MO源存儲在鋼瓶(一般稱為MO源鋼瓶)中，惰性氣體(一般用氫氣或者氮氣)通過深入鋼瓶內部的管道進入MO源鋼瓶中，經過MO源時產生鼓泡效應，MO源在鼓泡過程中大量蒸發，形成MO源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來。MO源鋼瓶中MO源消耗完後，需要將MO源鋼瓶拆卸並更換I個新的MO源鋼瓶。
[0003]現有使用方法缺點:
1.由於MO源具有可燃性和遇空氣自燃的特性，因此MO源鋼瓶拆裝過程需要對管道系統進行充分置換，並且需要對管道接頭進行氦質譜檢漏。操作過程繁瑣，持續時間較長，且操作不當會有著火等風險。[0004]2.更換新的MO源鋼瓶後，需要在恆溫水浴槽中進行充分的熱交換，需要較長時間才能夠使MO源鋼瓶的溫度達到恆定。隨著MOCVD (金屬有機化學氣相沉積技術)外延技術發展，設備大型化已經成為必然趨勢，隨之而來的原材料供應問題越來越突出。MO源(金屬有機化合物)作為其中最重要的原材料，持續穩定的MO供應是提高MOCVD設備使用效率的
重要手段。
[0005]目前，能夠檢索到的文獻資料均沒有關於MO源連續供應解決方案的公開報導。
【發明內容】
[0006]本發明的目的是提供一種可自動對MO源鋼瓶進行充MO源的裝置，通過MO源儲罐對MO源鋼瓶進行補料，並且通過液位探頭對MO源鋼瓶內部的MO源殘留量，並自動進行補料，解決了 MO源連續供應難的問題。
[0007]本發明提供一種可自動補充MO源的裝置，包括MO源鋼瓶，所述MO源鋼瓶上設置有進氣管和出氣管，MO源鋼瓶的左側設置有MO源儲罐，所述進氣管分支路連接在MO源儲罐上，所述MO源儲罐通過氣管連接在惰性氣體儲存罐上，所述MO源儲罐與惰性氣體儲存罐之間設置有真空泵，所述MO源鋼瓶內部設置有液位探頭，通過液位探頭控制MO源儲罐的開啟，所述出氣管分支路連接在MO源儲罐上。
[0008]進一步改進在於:所述MO源儲罐與進氣管、出氣管通過三通接頭進行連接。
[0009]進一步改進在於:所述惰性氣體儲存罐與真空泵之間設置有氣體純化器，將惰性氣體儲存罐純化後使用。
[0010]進一步改進在於:所述惰性氣體儲存罐罐口處設置有流量監測器，防止惰性氣體儲存罐中的氣體用完無法工作。
[0011]進一步改進在於:所述惰性氣體儲存罐中的氣體也供氣動裝置使用。
[0012]所述MO源儲罐可同時對三組MO源鋼瓶進行充裝，在對三組MO源鋼瓶進行充裝時，需設置一備用MO源儲罐，防止因充裝量過大造成的MO源不足。
[0013]本發明的有益效果:1、通過增加液位探頭，滿足了 MO源監控計量問題，客戶可以直觀的了解到MO源的使用現狀。
[0014]2、三通管接頭的設計，可以在不需要改造現有MO源鋼瓶，同時能夠解決MO源補充接口問題。
[0015]3、將充裝系統與MOCVD設備聯動，通過監控MOCVD設備狀態及液位探頭狀態，自動判定是否能夠補源並自動補源。
【專利附圖】
【附圖說明】[0016]圖1是本發明的示意圖。
[0017]其中:1-MO源鋼瓶，2-進氣管，3-出氣管，4-M0源儲罐，5-惰性氣體儲存罐，6-真空泵，7-液位探頭，8-三通接頭，9-氣體純化器，10-流量監測器。
【具體實施方式】
[0018]為了加深對本發明的理解，下面將結合實施例對本發明作進一步詳述，該實施例僅用於解釋本發明，並不構成對本發明保護範圍的限定。
[0019]如圖1所示,本實施例提供了一種可自動補充MO源的裝置,包括MO源鋼瓶I,所述MO源鋼瓶I上設置有進氣管2和出氣管3，M0源鋼瓶I的左側設置有MO源儲罐4，所述進氣管2分支路連接在MO源儲罐4上，所述MO源儲罐4通過氣管連接在惰性氣體儲存罐
5上，所述MO源儲罐4與惰性氣體儲存罐5之間設置有真空泵6，所述MO源鋼瓶I內部設置有液位探頭7，通過液位探頭7控制MO源儲罐4的開啟，所述出氣管3分支路連接在MO源儲罐4上。所述MO源儲罐4與進氣管2、出氣管3通過三通接頭8進行連接。所述惰性氣體儲存罐5與真空泵6之間設置有氣體純化器9，將惰性氣體儲存罐5純化後使用。所述惰性氣體儲存罐5罐口處設置有流量監測器10，防止惰性氣體儲存罐5中的氣體用完無法工作。所述惰性氣體儲存罐5中的氣體也供氣動裝置使用。所述MO源儲罐4可同時對三組MO源鋼瓶I進行充裝。
【權利要求】
1.一種可自動補充MO源的裝置，包括MO源鋼瓶(1)，所述MO源鋼瓶(I)上設置有進氣管(2)和出氣管(3)，其特徵在於:M0源鋼瓶(I)的左側設置有MO源儲罐(4)，所述進氣管(2)分支路連接在MO源儲罐(4)上，所述MO源儲罐(4)通過氣管連接在惰性氣體儲存罐(5)上，所述MO源儲罐(4)與惰性氣體儲存罐(5)之間設置有真空泵(6)，所述MO源鋼瓶(I)內部設置有液位探頭(7)，通過液位探頭(7)控制MO源儲罐(4)的開啟，所述出氣管(3)分支路連接在MO源儲罐(4)上。
2.如權利要求1所述的可自動補充MO源的裝置，其特徵在於:所述MO源儲罐(4)與進氣管(2)、出氣管(3)通過三通接頭(8)進行連接。
3.如權利要求1所述的可自動補充MO源的裝置，其特徵在於:所述惰性氣體儲存罐(5)與真空泵(6)之間設置有氣體純化器(9)，將惰性氣體儲存罐(5)純化後使用。
4.如權利要求1或3所述的可自動補充MO源的裝置，其特徵在於:所述惰性氣體儲存罐(5 )罐口處設置有流量監測器(10 )，防止惰性氣體儲存罐(5 )中的氣體用完無法工作。
5.如權利 要求1或3所述的可自動補充MO源的裝置，其特徵在於:所述惰性氣體儲存罐(5)中的氣體也供氣動裝置使用。
【文檔編號】C23C16/455GK103924219SQ201410168894
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月25日 優先權日:2014年4月25日
【發明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司