一種智能節能的半導體研磨裝置的製作方法

2023-05-20 14:42:28 4

本實用新型屬於半導體研磨裝置技術領域，具體涉及一種智能節能的半導體研磨裝置。

背景技術：

在生產半導體的過程中，需要對半導體進行研磨拋光，目前的半導體研磨裝置，使用的電能來源不清潔，清潔能源供應不充足和智能化程度低。

因此，發明一種智能節能的半導體研磨裝置顯得非常必要。

技術實現要素：

本實用新型的目的在於提供一種智能節能的半導體研磨裝置，以解決上述背景技術中提出目前的半導體研磨裝置，使用的電能來源不清潔，清潔能源供應不充足和智能化程度低的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種智能節能的半導體研磨裝置,包括研磨裝置本體、第一電動機、研磨液儲存桶、第一電動伸縮杆、第一研磨石、研磨載料臺、第三電動機、鋼化玻璃窗、安全防護門、第二研磨石、折頁、第二電動伸縮杆、軸承、第二電動機、注料漏鬥、支撐柱、風能發電機、太陽能電池板、電氣箱、第一頻率控制器、第二頻率控制器、第一變速控制器、第二變速控制器、第三變速控制器、滴定管和開關閥門，所述研磨裝置本體的左上端與第一電動機固定連接；所述第一電動機的轉動端通過軸承與第一電動伸縮杆的氣缸端固定連接；所述第一電動伸縮杆的伸縮杆端部與第一研磨石的中間固定連接；所述研磨裝置本體的右上端與第二電動機固定連接；所述第二電動機的轉動端通過軸承與第二電動伸縮杆的氣缸端固定連接；所述第二電動伸縮杆的伸縮杆端部與第二研磨石的中間固定連接；所述研磨裝置本體的中上端與研磨液儲存桶固定連接；所述研磨液儲存桶的下端與滴定管的上端連接；所述研磨裝置本體的內部下端與第三電動機固定連接；所述第三電動機的轉動端通過軸承與研磨載料臺中間固定連接；所述研磨裝置本體的右端設置有安全防護門；所述安全防護門通過折頁與研磨裝置本體鉸接；所述裝置本體的右上端通過支撐柱與太陽能電池板固定連接；所述裝置本體的左上端通過支撐柱與風能發電機固定連接；所述裝置本體的下端與電氣箱固定連接；所述電氣箱的內部從左到右依次固定有第一頻率控制器、第二頻率控制器、第一變速控制器、第二變速控制器和第三變速控制器；所述第一頻率控制器與第一電動伸縮杆電性連接；所述第二頻率控制器與第二電動伸縮杆電性連接；所述第一變速控制器與第一電動機電性連接；所述第二變速控制器與第二電動機電性連接；所述第三變速控制器與第三電動機電性連接。

進一步，所述研磨液儲存桶的上端設置有注料漏鬥。

進一步，所述滴定管的上端設置有開關閥門。

進一步，所述安全防護門上設置有鋼化玻璃窗。

進一步，所述支撐柱的下端通過連接法蘭與研磨裝置本體固定連接。

進一步，所述風能發電機採用的是家用W水平軸式風能發電機。

本實用新型的技術效果和優點：該智能節能的半導體研磨裝置，通過設置風能發電機和太陽能電池板同時給裝置提供清潔的電能，使得節能環保，並且能夠保證清潔能源的充分供應；通過設置第一頻率控制器控制第一電動伸縮杆，使得第一電動伸縮杆有頻率的定時伸縮，並帶動第一研磨石伸到半導體上，第二頻率控制器控制第二電動伸縮杆有頻率的定時伸縮，並帶動第二研磨石伸到半導體上；通過設置第一變速控制器控制第一電動機的轉動速度，第二變速控制器控制第二電動機的轉動速度，第三變速控制器控制第三電動機的轉動速度，使得裝置的自動化程度高，可以通過調節相應電動機的轉速，來提高工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中：1-裝置本體；2-第一電動機；3-研磨液儲存桶；4-第一電動伸縮杆；5-第一研磨石；6-研磨載料臺；7-第三電動機；8-鋼化玻璃窗；9-安全防護門；10-第二研磨石；11-折頁；12-第二電動伸縮杆；13-軸承；14-第二電動機；15-注料漏鬥；16-支撐柱；17-風能發電機；18-太陽能電池板；19-電氣箱；20-第一頻率控制器；21-第二頻率控制器；22-第一變速控制器；23-第二變速控制器；24-第三變速控制器；25-滴定管；26-開關閥門。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。

本實用新型提供了如圖1所示的一種智能節能的半導體研磨裝置,包括研磨裝置本體1、第一電動機2、研磨液儲存桶3、第一電動伸縮杆4、第一研磨石5、研磨載料臺6、第三電動機7、鋼化玻璃窗8、安全防護門9、第二研磨石10、折頁11、第二電動伸縮杆12、軸承13、第二電動機14、注料漏鬥15、支撐柱16、風能發電機17、太陽能電池板18、電氣箱19、第一頻率控制器20、第二頻率控制器21、第一變速控制器22、第二變速控制器23、第三變速控制器24、滴定管25和開關閥門26，所述研磨裝置本體1的左上端與第一電動機2固定連接；所述第一電動機2的轉動端通過軸承13與第一電動伸縮杆4的氣缸端固定連接；所述第一電動伸縮杆4的伸縮杆端部與第一研磨石5的中間固定連接；所述研磨裝置本體1的右上端與第二電動機14固定連接；所述第二電動機14的轉動端通過軸承13與第二電動伸縮杆12的氣缸端固定連接；所述第二電動伸縮杆12的伸縮杆端部與第二研磨石10的中間固定連接；所述研磨裝置本體1的中上端與研磨液儲存桶3固定連接；所述研磨液儲存桶3的下端與滴定管25的上端連接；所述研磨裝置本體1的內部下端與第三電動機7固定連接；所述第三電動機7的轉動端通過軸承13與研磨載料臺6中間固定連接；所述研磨裝置本體1的右端設置有安全防護門9；所述安全防護門9通過折頁11與研磨裝置本體1鉸接；所述裝置本體1的右上端通過支撐柱16與太陽能電池板18固定連接；所述裝置本體1的左上端通過支撐柱16與風能發電機17固定連接；所述裝置本體1的下端與電氣箱19固定連接；所述電氣箱19的內部從左到右依次固定有第一頻率控制器20、第二頻率控制器21、第一變速控制器22、第二變速控制器23和第三變速控制器24；所述第一頻率控制器20與第一電動伸縮杆4電性連接；所述第二頻率控制器21與第二電動伸縮杆12電性連接；所述第一變速控制器22與第一電動機2電性連接；所述第二變速控制器23與第二電動機14電性連接；所述第三變速控制器24與第三電動機7電性連接。

進一步，所述研磨液儲存桶3的上端設置有注料漏鬥15。

進一步，所述滴定管25的上端設置有開關閥門26。

進一步，所述安全防護門9上設置有鋼化玻璃窗8。

進一步，所述支撐柱16的下端通過連接法蘭與研磨裝置本體1固定連接。

進一步，所述風能發電機17採用的是家用600W水平軸式風能發電機。

工作原理：該智能節能的半導體研磨裝置，通過設置風能發電機17和太陽能電池板18同時給裝置提供清潔的電能，使得節能環保，並且能夠保證清潔能源的充分供應；通過設置第一頻率控制器20控制第一電動伸縮杆4，使得第一電動伸縮杆4有頻率的定時伸縮，並帶動第一研磨石5伸到半導體上，第二頻率控制器21控制第二電動伸縮杆12有頻率的定時伸縮，並帶動第二研磨石10伸到半導體上；通過設置第一變速控制器22控制第一電動機2的轉動速度，第二變速控制器23控制第二電動機14的轉動速度，第三變速控制器24控制第三電動機7的轉動速度，使得裝置的自動化程度高，可以通過調節相應電動機的轉速，來提高工作效率。

利用本實用新型所述技術方案，或本領域的技術人員在本實用新型技術方案的啟發下，設計出類似的技術方案，而達到上述技術效果的，均是落入本實用新型的保護範圍。