8英寸mems晶片有什麼作用（mems晶片是什麼）

2023-05-25 15:37:50 3

1.mems晶片是什麼意思

mems晶片是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米範圍內，比它更小的，在納米範圍類似的技術被稱為納機電系統。

MEMS晶片可以把外界的物理、化學信號轉換成電信號，而ASIC是把MEMS晶片產生的電信號進一步處理和傳輸到下一級電路。

2.mems晶片工藝製程

表面微加工中，採用低壓化學氣相澱積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結構單元的薄膜。表面微加工工藝採用若干澱積層來製作結構，然後釋放部件，允許它們做橫向和縱向的運動，從而形成MEMS執行器。最常見的表面微機械結構材料是LPVCD澱積的多晶矽，多晶矽性能穩定且各向同性，通過仔細控制澱積工藝可以很好的控制薄膜應力。

3.mems晶片和集成電路晶片區別

mems晶片：可以封裝更多的電路。這樣增加了每單位面積容量，可以降低成本回和增加功能，見摩爾定律，集成電路中的電晶體數量，每1.5年增加一倍。

集成電路：所有元件在結構上已組成一個整體，使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方答面邁進了一大步。