壓力調整裝置的製作方法
2023-05-13 18:08:06 3
專利名稱：壓力調整裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種調整裝置，特別是指ー種壓カ調整裝置。
背景技術：
生產エ業中，一些電子產品對環境有較高的要求，如設備前端模組(EFEM，Equipment Front End Module)中，首要的問題就是保證高度潔淨,如果潔淨不能保證的話就很可能汙染晶片，導致生產的損失，而要保證高潔淨度的ー個重要因素就是要與使用環境有一個足夠的正壓差，傳統的EFEM採用單層孔板結構，就提說，也就是在最下端平行於水平面的出風ロ處放置單層孔板，或是在晶片傳送平面與電控部分之間的水平面上放置單層孔板，由於單層孔板的出風ロ面積不可調，所說就無法滿足不同環境下的正壓差。
實用新型內容鑑於以上內容，有必要提供一種可調節正壓差值的壓カ調整裝置。ー種壓カ調整裝置，包括ー收容室，所述收容室具有一底部，並在所述底部上設有若干與外界連通的通風孔，所述收容室內裝設有獨立送風單元及調整結構，所述調整結構具有上側和下側，所述調整結構設有若干通孔作為出風孔，所述調整結構的上側連通所述獨立送風單元，所述調整結構的下側連通所述底部，所述調整結構的上側與其下側間由於所述獨立送風單元的風流由上側流經所述通孔至下側形成一正壓差值，調整所述調整結構以改變所述調整結構形成的出風ロ面積而改變所述正壓差值的大小。在ー實施方式中，所述調整結構包括相互平行的上孔板及下孔板，所述正壓差值的大小能夠通改變所述上孔板與下孔板在平行於所述上孔板和下孔板所在方向的相對位置來改變。在ー實施方式中，所述上孔板與所述下孔板疊加在一起，並通過ー鎖固件鎖入所述上孔板及下可板。在ー實施方式中，所述上孔板與所述下孔板結構相同，井分別設有上通孔及下通孔。在ー實施方式中，所述獨立送風單元的風向垂直於所述上孔板及所述下孔板，並能夠穿過所述上孔板上的上通孔及下孔板上的下通孔。在ー實施方式中，所述上通孔及所述下通孔交錯形成所述出風ロ，且所述出風ロ的面積能夠通過改變所述上通孔及所述下通孔交錯的面積而改變。在ー實施方式中，調整結構與所述獨立送風單元所述之間形成ー傳輸空間，與所述收容室的底部之間設有電控部分。在ー實施方式中，所述上孔板及所述下孔板分別沿相背的方向移動從而能夠減小所述出風ロ面積而增大所述正壓差值。在ー實施方式中，所述上孔板及所述下孔板沿相向的方向移動從而能夠增大所述出風ロ面積而減小所述正壓差值。[0013]在ー實施方式中，所述上孔板及所述下孔板均呈矩形。與現有技術相比，上述壓カ調整裝置中，獨立送風單元的風向由所述調整結構的上側至下側，並形成一正壓差值，通過調整所述調整結構而改變其上的出風ロ面積來改變正壓差值的大小，很方便。
圖I是本實用新型壓カ調整裝置的一較佳實施方式的一示意圖。圖2是圖I中沿B-B方向的一俯視圖。圖3是圖2中上位孔的ー示意圖。圖4是圖2中下位孔的ー示意圖。主要元件符號說明
獨立送風單元~
機械手2
預對準機3
電控部分4
上孔板5
下孔板6
收容室7
傳輸空間內8
調整結構9
底壁10
通風ロ11如下具體實施方式
將結合上述附圖進一步說明本實用新型。
具體實施方式
請參閱圖1，在本實用新型的一較佳實施方式中，ー種壓カ調整裝置包括有ー收容室7、ー裝設在所述收容室7內的獨立送風單元I及ー裝設在所述收容室7內的調整結構9。所述調整結構9具有相対的上側及下側。所述獨立送風單元I位於所述調整結構9的上方，並與所述調整結構9的上側之間形成ー傳輸空間8。在ー實施方式中，所述傳輸空間8可用以一晶片的傳輸，可設有ー對晶片進行預對準的預對準機3及對晶片進行傳送的機械手2。所述調整結 構9的下側與所述收容室7的底部10之間可以是ー電控部分4。在ー實施方式中，所述電控部分4用以對晶片的傳輸和定位進行控制。所述收容室7的底壁部10還設有若干的通風孔11(見圖2)。在ー實施方式中，所述通風孔11用以連接外界
的無塵室。請參照圖2-4，所述調整結構9包括有一上孔板5及一下孔板6。所述上孔板5與所述下孔板6相互平行疊加在一起，並通過ー鎖固件鎖入所述上孔板5及所述下孔板6，所述上板板5及所述下孔板6可相互的移動。所述上孔板5設有若干的上通孔，所述下孔板6設有若干的下通孔。在ー實施方式中，所述上孔板5與所述下孔6的結構相同。通過改變所述上孔板5的上通孔與所述下孔板6的下通孔交錯的面積，可以改變傳輸空間8向下的出風ロ大小，即所述出風ロ面積可通過改變所述上通孔及所述下通孔的相對位置而改變。在ー實施方式中，所述上孔板5及所述下孔板6分別設有用以安裝所述機械手2和預對準機3的安裝孔。在壓カ調整裝置運用於一設備前端模組(EFEM,Equipment Front End Module)內部中時，當EFEM內部的獨立送風單元I提供風量，風向自上向下，穿過上孔板5的上通孔和下孔板6的下通孔，這樣，所述傳輸空間8就形成ー單向垂直流潔淨環境，所述電控部分4形成一亂流潔淨環境。這時，所述傳輸空間8與所述電控部分4形成一正壓差。當需要增加所述正壓差值時，驅使所述上孔板5及所述下孔板6分別沿相背的方向移動，以減小上孔板5的上通孔與所述下孔板6的下通孔交錯的面積(即出風ロ的面積)，從而增大所述傳輸空間8內的壓力，便可增大正壓差值。當需要減小所述正壓差值時，驅使所述上孔板5及所述下孔板6相向移動，以增大上孔板5的上通孔與所述下孔板6的下通孔交錯的面積(即出風ロ的面積)，從而減小所述傳輸空間8內的壓カ，便可減小正壓差值。
權利要求1.一種壓力調整裝置，包括一收容室，所述收容室具有一底部，並在所述底部上設有若干與外界連通的通風孔，其特徵在於所述收容室內裝設有獨立送風單元及調整結構，所述調整結構具有上側和下側，所述調整結構設有若干通孔作為出風孔，所述調整結構的上側連通所述獨立送風單元，所述調整結構的下側連通所述底部，所述調整結構的上側與其下側間由於所述獨立送風單元的風流由上側流經所述通孔至下側形成一正壓差值，調整所述調整結構以改變所述調整結構形成的出風口面積而改變所述正壓差值的大小。
2.如權利要求I所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述調整結構包括相互平行的上孔板及下孔板，所述正壓差值的大小能夠通改變所述上孔板與下孔板在平行於所述上孔板和下孔板所在方向的相對位置來改變。
3.如權利要求2所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述上孔板與所述下孔板疊加在一起，並通過一鎖固件鎖入所述上孔板及下可板。
4.如權利要求3所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述上孔板與所述下孔板結構相同，並分別設有上通孔及下通孔。
5.如權利要求4所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述獨立送風單元的風向垂直於所述上孔板及所述下孔板，並能夠穿過所述上孔板上的上通孔及下孔板上的下通孔。
6.如權利要求5所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述上通孔及所述下通孔交錯形成所述出風口，且所述出風口的面積能夠通過改變所述上通孔及所述下通孔交錯的面積而改變。
7.如權利要求I所述的壓力調整裝置，其特徵在於調整結構與所述獨立送風單元所述之間形成一傳輸空間，與所述收容室的底部之間設有電控部分。
8.如權利要求2所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述上孔板及所述下孔板分別沿相背的方向移動從而能夠減小所述出風口面積而增大所述正壓差值。
9.如權利要求8所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述上孔板及所述下孔板沿相向的方向移動從而能夠增大所述出風口面積而減小所述正壓差值。
10.如權利要求9所述的壓力調整裝置，其特徵在於所述上孔板及所述下孔板均呈矩形。
專利摘要一種壓力調整裝置，包括一收容室，所述收容室具有一底部，並在所述底部上設有若干與外界連通的通風孔，所述收容室內裝設有獨立送風單元及調整結構，所述調整結構具有上側和下側，所述調節結構設有若干通孔作為出風孔，所述調整結構的上側連通所述獨立送風單元，所述調整結構的下側連通所述底部，所述調整結構的上側與其下側間由於所述獨立送風單元的風流由上側流經所述通孔至下側形成一正壓差值，調整所述調整結構以改變所述調整結構形成的出風口面積而改變所述正壓差值的大小。
文檔編號H01L21/67GK202394851SQ201120561370
公開日2012年8月22日 申請日期2011年12月29日 優先權日2011年12月29日
發明者周道, 張鵬, 徐方, 曲道奎, 李學威, 溫燕修, 邊弘曄, 鄭鋆 申請人:瀋陽新松機器人自動化股份有限公司