公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置製造方法
2023-05-16 13:29:51 1
公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置製造方法
【專利摘要】本發明公開了一種公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置，安裝於公轉式旋轉乾燥機水平旋轉軸的兩端位於矽片盒的外側，包括：安裝於外殼體內的內殼體；安裝於內殼體底部的電動機；連接電動機的傳動機構；穿設於所述傳動機構的傳動螺杆上的配重塊；安裝於傳動機構的傳動螺杆旁側的用於檢測配重塊位置的位置傳感器；固定於內殼體頂上，外殼體內的質量補償塊；平衡裝置控制器，使所述電動機通過傳動機構控制所述傳動螺杆上的配重塊移動。本發明安裝於公轉式旋轉乾燥機水平旋轉軸上，通過對旋轉軸兩端垂直方向實施配重，改善了現有公轉式旋轉乾燥機因為矽片放置位置/數量的差異導致在高速旋轉過程中機械振動增大，旋轉不穩定的情況。
【專利說明】公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體製造領域，特別是涉及一種公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置。
【背景技術】
[0002]公轉式旋轉乾燥機是通過對旋轉軸兩端的兩盒矽片高速旋轉，來實現對矽片的乾燥。由於矽片在矽片盒中矽片數量和放置位置的不同，造成旋轉軸兩端質量和重心位置的差異。這些差異導致了在高速旋轉過程中，機械振動增大，旋轉不穩定。
[0003]現有公轉式旋轉乾燥機技術利用槓桿原理，只能對旋轉軸水平方向的質量差加以平衡，但無法克服因為矽片放置位置的差異而帶來的垂直方向重心高度差；現有公轉式旋轉乾燥機主要包括(如圖1A所示):一箱體內裝有水平旋轉軸，與水平旋轉軸垂直的旋轉軸，旋轉軸連接驅動馬達，PLC (可編程邏輯控制器)通過變頻器連接所述馬達，FA (設備取入部，檢查矽片位置/數量將信息傳送給設備控制電腦)通過EC (設備控制電腦)連接PLC ；現有公轉式旋轉乾燥機無法克服因為矽片放置位置/數量的差異而帶來的垂直方向重心高度差(如圖1B所示，圖中G表示負載的重心位置)，這些差異導致了在高速旋轉過程中，機械振動增大，旋轉不穩定。
【發明內容】
[0004]本發明要解決的技術問題是提供一種安裝於公轉式旋轉乾燥機水品旋轉軸上的垂直重心調節裝置，通過對旋轉軸兩端垂直方向實施配重，調整配重塊的垂直位置，公轉式旋轉乾燥機旋轉軸兩端的重心處於同一旋轉平面上，保證高速旋轉的穩定；改善了現有公轉式旋轉乾燥機因為矽片放置位置/數量的差異導致在高速旋轉過程中機械振動增大，旋轉不穩定的情況。
[0005]為解決上述技術問題，本發明的公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置，包括:
[0006]安裝於外殼體內的內殼體；
[0007]安裝於內殼體底部的電動機；
[0008]連接電動機的傳動機構；
[0009]穿設於所述傳動機構的傳動螺杆上的配重塊；
[0010]安裝於傳動機構的傳動螺杆旁側的用於檢測配重塊位置的位置傳感器(位置傳感器起報警作用，用於監測配重塊是否移動出限定位置);
[0011]固定於內殼體頂上，外殼體內的質量補償塊；
[0012]平衡裝置控制器，接收公轉式旋轉乾燥機可編程邏輯控制器輸出的裝載矽片位置和數量信息，計算出所述電動機的步進數，使所述電動機通過傳動機構控制所述傳動螺杆上的配重塊移動；
[0013]所述傳動機構包括:連接所述電動機和傳動皮帶輪的傳動皮帶,套設在所述傳動螺杆上傳動皮帶輪，固定在所述內殼體底部的基座，垂直安裝於所述基座上的傳動螺杆。[0014]其中，所述傳動螺杆為具有外螺紋的空心圓柱結構，高330mm，空心圓柱內直徑為8mm,外直徑為10_。
[0015]其中，所述配重塊質量為1300克。
[0016]其中，所述配重塊是具有一個通孔的長方體，所述通孔具有與所述傳動螺杆外螺紋配合的內螺紋。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]下面結合附圖與【具體實施方式】對本發明作進一步詳細的說明:
[0018]圖1A是現有公轉式旋轉乾燥機的結構示意圖。
[0019]圖1B是現有公轉式旋轉乾燥機垂直方向重心高度差的示意圖，G表示負載的重心位置；
[0020]圖2是本發明公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置實施例的結構示意圖；
[0021]圖3是本發明實施例安裝在公轉式旋轉乾燥機旋轉軸上的示意圖；
[0022]圖4是本發明工作原理示意圖一；
[0023]圖5是本發明工作原理示意圖二 ；
[0024]附圖標記說明
[0025]I是外殼體
[0026]2是內殼體
[0027]3是電動機
[0028]4是傳動螺杆
[0029]5是配重塊
[0030]6是位置傳感器
[0031]8是平衡裝置控制器
[0032]9是可編程邏輯控制器
[0033]10是傳動皮帶
[0034]11是基座
[0035]12是傳動皮帶輪
[0036]13是公轉式旋轉乾燥機水平旋轉軸
[0037]14是矽片盒
[0038]15是垂直重心調節裝置
[0039]A-A是配重塊運動的方向
[0040]C是負載I
[0041]D是負載2
[0042]E是能放置25矽片的矽片盒第13片矽片的位置
[0043]G是重心
[0044]Gl是放置η片矽片的總重量
[0045]G2是配置塊質量(等於25片矽片的總質量1300克)
[0046]L是12片矽片總垂直高度
[0047]LI放置η片矽片的垂直重心高度[0048]L2是配置塊垂直重心高度
[0049]X是η片矽片重心G的高度
【具體實施方式】
[0050]如圖2所示，本發明的公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置，包括:
[0051]安裝於外殼體I內的內殼體2 ；
[0052]安裝於內殼體2底部的電動機3 ；
[0053]連接電動機3的傳動機構；
[0054]穿設於所述傳動機構的傳動螺杆4上的配重塊5 ；
[0055]安裝於傳動機構的傳動螺杆4旁側的用於檢測配重塊5位置的位置傳感器6 (位置傳感器起報警作用，用於監測配重塊是否移動出限定位置)；
[0056]固定於內殼體2頂上，外殼體I內的質量補償塊7，質量補償塊7的作用是調節整個垂直重心調節裝置在靜平衡時(無矽片負載時)的重心，使垂直重心調節裝置在靜平衡時重心處在一定的迴轉平面上，這個迴轉平面與垂直重心調節裝置的安裝位置相關；靜平衡時，以矽片盒能放置25片矽片為例，使垂直重心調節裝置自身的重心處於矽片盒第13片矽片的處置位置處。
[0057]平衡裝置控制器8，接收公轉式旋轉乾燥機可編程邏輯控制器9輸出的裝載矽片位置和數量信息(公轉式旋轉乾燥機矽片盒中裝載矽片的位置、數量)，計算出所述電動機3的步進數，使電動機3通過傳動機構控制傳動螺杆4上的配重塊移動5 ；
[0058]所述傳動機構包括:連接電動機3和傳動皮帶輪12的傳動皮帶10，套設在傳動螺杆4上傳動皮帶輪12，固定在內殼體2底部的基座11，垂直安裝於基座11上的傳動螺杆4。
[0059]本實施例中，傳動螺杆4為具有外螺紋的空心圓柱結構，高330mm,空心圓柱內直徑為8_，外直徑為10_ ;配重塊5是具有一個通孔的長方體，通孔具有與傳動螺杆外螺紋配合的內螺紋，配重塊5質量為1300克。
[0060]如圖3所示，本發明實施例安裝在公轉式旋轉乾燥機旋轉軸上。
[0061]如圖4、圖5所示，以實施例為例本發明的工作原理:公轉式旋轉乾燥機的矽片盒能放置25片矽片，令垂直高度的O點位置處於第13片矽片的位置，則12片矽片總垂直高度為L，設要放入矽片數量為η片，從第a片開始連續擺放，則η片矽片重心G的垂直位置為:x=[L-(a-l)L/12]-l/2*(n*L/12);其中，η ≤25，L ≤ 165mm, a ^ 24 ;通過矽片的垂直位置計算配重塊移動距離，使旋轉軸兩端的矽片和配重塊整體重心位置處在同一旋轉平面上，即垂直高度O點的位置；設矽片的總質量為Gl，Gl=n片*52克每片；垂直重心的高度為LI ；取配重塊質量G2為25片矽片的總質量=1300克；垂直重心高度為L2 ;計算出配重塊重心高度位置，便可得到配重塊所需要移動的距離；根據配重塊所需要移動的距離，平衡裝置控制器換算出電動機所要輸出的步進數，從而驅動配重塊移動到所指定的位置L2=G1*L1/G2,使公轉式旋轉乾燥機旋轉軸兩端的重心處於同一旋轉平面上。
[0062]以上通過【具體實施方式】和實施例對本發明進行了詳細的說明，但這些並非構成對本發明的限制。在不脫離本發明原理的情況下，本領域的技術人員還可做出許多變形和改進，這些也應視為本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.一種公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置，安裝於公轉式旋轉乾燥機水平旋轉軸的兩端位於矽片盒的外側，其特徵是，包括: 安裝於外殼體內的內殼體； 安裝於內殼體底部的電動機； 連接電動機的傳動機構； 穿設於所述傳動機構的傳動螺杆上的配重塊； 安裝於傳動機構的傳動螺杆旁側的用於檢測配重塊位置的位置傳感器； 固定於內殼體頂上，外殼體內的質量補償塊； 平衡裝置控制器，接收公轉式旋轉乾燥機可編程邏輯控制器輸出的裝載矽片位置和數量信息，計算出所述電動機的步進數，使所述電動機通過傳動機構控制所述傳動螺杆上的配重塊移動； 所述傳動機構包括:連接所述電動機和傳動皮帶輪的傳動皮帶，套設在所述傳動螺杆上傳動皮帶輪，固定在所述內殼體底部的基座，垂直安裝於所述基座上的傳動螺杆。
2.如權利要求1所述的公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置，其特徵是:所述傳動螺杆為具有外螺紋的空心圓柱結構，高330mm,空心圓柱內直徑為8mm,外直徑為10mm。
3.如權利要求1所述的公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置，其特徵是:所述配重塊質量為1300克。
4.如權利要求1所述的公轉式旋轉乾燥機垂直重心調節裝置，其特徵是:所述配重塊是具有一個通孔的長方體，所述通孔具有與所述傳動螺杆外螺紋配合的內螺紋。
【文檔編號】F26B25/00GK103629913SQ201210291210
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2012年8月16日 優先權日:2012年8月16日
【發明者】蔡亮, 陳威, 嶽豐 申請人:上海華虹宏力半導體製造有限公司