光罩儲存器的製作方法
2023-05-18 14:24:36 1
專利名稱：光罩儲存器的製作方法
技術領域：
本實用新型是關於一種光罩儲存器，尤其指一種適用於可儲存複數光罩的光罩儲 存器。
背景技術：
一般的光罩、或圓片等半導體物料多數存放於盒體中保存，且為避免上述物料於 儲存時，受到氧化或汙染，因此必須在非氧化性氣體，亦即在惰性氣體的環境中保存。由於 半導體物料盒無法完全密閉，一般的光罩盒在大氣環境下儲存一段時間後，盒體內部氧氣 的含量即會慢慢增加，因此惰性氣體充填後的光罩盒其儲存期間並不長，仍必須不斷的於 一段時間內重複充填惰性氣體，方能確保光罩盒體內的潔淨環境。目前儲存光罩的光罩盒其容量可分為兩種型式，一為單片式，一為多片式。傳統的 多片式光罩盒大多是針對某些特殊機臺的應用而設計，並非用來保存光罩用，故無充填惰 性氣體的設計。至於公知單片式的光罩盒，其為了解決汙染、及霾化(haze)問題，多數單片 式的光罩盒儲具有氮氣(N2)或超潔淨氣體(XCDA =Xtra Clean Dry Air)等惰性氣體的充 填功能。請參閱圖1，是公知單片式光罩儲存器的剖視圖，光罩儲存器90具有一底座91、及 一箱體93，底座91貫設有一進氣孔911、及一排氣孔912，充填的氣體可為氮氣(N2)或超潔 淨氣體(XCDA)，光罩95則承置於底座91上。上述公知光罩儲存器90受限於其既有的結構，其底座91的進氣孔911及排氣孔 912皆位於光罩95下緣，故充填的惰性氣體大部分在光罩95下緣流動，較不均勻，而光罩 95上緣則很難再到充足的惰性氣體保護，並非十分理想。本實用新型人緣因於此，本於積極實用新型的精神，亟思一種可以解決上述問題 的光罩儲存器，幾經研究實驗終至完成本實用新型。
實用新型內容本實用新型的目的在於一種光罩儲存器，以改進公知技術中存在的缺陷。為實現上述目的，本實用新型提供的光罩儲存器，其包括一底座，貫設有一第一通孔、及一第二通孔，該第一通孔與一氣體供應裝置相通；一架體，承置於該底座上，包括有複數中空立柱，每一中空立柱開設有一直向氣 道、及與該直向氣道連通的複數橫向氣道，並橫向凸伸複數肋片，該複數直向氣道分別對應 與該二通孔連通；以及一箱體，蓋合於該底座並覆蓋該架體。所述的光罩儲存器，其中該底座的該第一通孔並固設有一過濾網。所述的光罩儲存器，其中每一橫向氣道開設於該肋片上。所述的光罩儲存器，其中每一橫向氣道開設於相鄰肋片之間。所述的光罩儲存器，其中該架體包括有一用以連結該複數中空立柱的橫板。
3[0016]所述的光罩儲存器，其中包括有一進氣管路、及一氣體分配器，該進氣管路依序連 通該第一通孔、該氣體分配器、及該氣體供應裝置。所述的光罩儲存器，其中包括有一與該氣體分配器電連接的可用以定時控制該氣 體分配器開閉的控制器。所述的光罩儲存器，其中包括有一溼度量測器、及一回收管路，該回收管路依序連 通該第二通孔、及該氣體分配器，該溼度量測器固設於該回收管路、並與該控制器電連接， 該控制器依該溼度量測器偵測的溼度而控制該氣體分配器開閉。所述的光罩儲存器，其中該回收管路並與一氣體回收裝置連通。所述的光罩儲存器，其中該氣體供應裝置為氮氣氣體供應裝置。本實用新型提供的光罩儲存器能同時儲存複數光罩，且能結合層流的氣道結構， 使每一片光罩的上緣及下緣皆能獲得惰性氣體充分的保護。
圖1是公知光罩儲存器的剖視圖。圖2是本實用新型第一較佳實施例的立體圖。圖3是圖2的部分放大剖視圖。圖4是本實用新型第一較佳實施例的剖視圖。圖5是本實用新型第一較佳實施例的應用系統示意圖。圖6是本實用新型第二較佳實施例的中空立柱剖視圖。圖7是本實用新型第二較佳實施例的剖視圖。圖8是本實用新型第二較佳實施例的應用系統示意圖。附圖中主要組件符號說明1光罩儲存器，10底座，11第一通孔，12第二通孔，13第一卡合槽，14第二卡合槽， 15過濾網，16過濾網，2光罩儲存器，20架體，21中空立柱，211直向氣道，212橫向氣道，22 肋片，25橫板，30箱體，31第一凹槽，32第二凹槽，40進氣管路，41進氣管路，42進氣管路， 44氣體分配器，46氣體供應裝置，47進氣管路，48進氣管路，49控制器，52氣體分配器，54 溼度量測器，56氣體回收裝置，57回收管路，58回收管路，59控制器，71中空立柱，711直向 氣道，712橫向氣道，72肋片，75橫板，80光罩，90光罩儲存器，91底座，911進氣孔，912排 氣孔，93箱體，95光罩。
具體實施方式
本實用新型是有關於一種光罩儲存器，用以儲存複數光罩，包括有一底座、一架 體、及一箱體。其中，底座貫設有一第一通孔、及一第二通孔，第一通孔是與一氣體供應裝置 相通。架體則承置於底座上，架體具有複數中空立柱，每一中空立柱開設有一直向氣道、及 與直向氣道連通的複數橫向氣道，且每一中空立柱並橫向凸伸複數肋片，該些肋片是用以 分別承置支撐該些光罩，複數直向氣道並分別對應與底座的二通孔連通。至於箱體是蓋合 於底座上並覆蓋住架體。由此，本實用新型能同時儲存複數光罩，且能結合層流的氣道結構，使每一片光罩 的上緣及下緣皆能獲得惰性氣體充分的保護。[0034]此外，上述底座的第一通孔與第二通孔可固設一過濾網，用以過濾氣體供應裝置 中的微粒，以提升進入光罩儲存器的充填氣體的潔淨度。另外，上述架體的每一中空立柱的每一橫向氣道可開設於該肋片上，也可開設於 相鄰肋片之間，並對應相互朝內，可增加層流的均勻效果。再者，上述架體可還包括有一橫板，橫板可用以連結固定該二中空立柱，使整體架 體成單一結構件。此外，本實用新型於充填氣體時，可還包括有一進氣管路、及一氣體分配器，進氣 管路依序連通底座的第一通孔、氣體分配器、及氣體供應裝置，可手控氣體供應裝置的開 閉，以控制光罩儲存器的氣體充填時間。又，本實用新型於充填氣體時也可還包括一與氣體分配器電連接的控制器，控制 器可用以定時自動控制氣體分配器開閉，以定時自動控制光罩儲存器的氣體充填時間。另外，本實用新型於充填氣體時，可還包括有一溼度量測器、及一回收管路，回收 管路依序連通底座的第二通孔、及氣體分配器，溼度量測器是固設於回收管路上，溼度量測 器並與控制器電連接，使控制器可依溼度量測器所偵測的溼度而控制氣體分配器開閉，即 可依回收管路的溼度值而自動控制光罩儲存器的氣體充填時間。又，上述回收管路可與一 氣體回收裝置連通，可重複使用該氣體，節省成本。再者，上述氣體供應裝置可為氮氣(N2)或超潔淨氣體(XCDA)的氣體供應裝置。
以下結合附圖作詳細說明。請參閱圖2、圖3、及圖4，其分別為本實用新型第一較佳實施例的立體圖、部分放 大剖視圖、及剖視圖。本實施例是有關於一種光罩儲存器，可用以儲存複數光罩，光罩儲存 器1包括有一底座10、一架體20、及一箱體30。如圖所示，底座10上貫設有二第一通孔11、及二第二通孔12，底座10的側邊並設 有一第一卡合槽13、及一第二卡合槽14，架體20承置於底座10上，架體20具有四中空立 柱21、及一橫板25，橫板25連結該四中空立柱21，使整體架體20成一結構件。且每一中 空立柱21開設有一直向氣道211、及與該直向氣道211連通的複數橫向氣道212，每一中空 立柱21並橫向凸伸複數肋片22，該複數肋片22是用以分別承置該複數光罩80，亦即，每一 光罩80的四個角落各有一肋片22支撐。又，四中空立柱21的直向氣道211分別兩兩對應 與第一通孔11、及第二通孔12連通(圖4僅繪示一第一通孔11及一第二通孔12示意)。 箱體30具有一第一凹槽31、及一第二凹槽32，箱體30蓋合於底座10並覆蓋架體20，箱體 30的第一凹槽31與第二凹槽32則分別與底座10的第一卡合槽13與第二卡合槽14相對 應卡合固定。在本實施例中，第一通孔11並固設有一過濾網15，第二通孔12也固設有一過濾網 16，該二過濾網15、16可提升進入光罩儲存器1的充填氣體的潔淨度。如圖3所示，在本實施例中，每一中空立柱21的橫向氣道212開設於其所對應的 肋片22上，並對應相互朝內，可增加層流的均勻效果。由此，本實施例的光罩儲存器1能同時儲存複數光罩80，且能結合層流的氣道結 構，使每一片光罩80的上緣及下緣皆能獲得惰性氣體充分的保護。請再參閱圖5，是本實用新型第一較佳實施例的應用系統示意圖，本實施例的光罩 儲存器1是與一氣體分配器44及一氣體供應裝置46相連，亦即氣體供應裝置46的出口經
5由進氣管路40連接至氣體分配器44的入口，而氣體分配器44的出口則分別經由進氣管路 42,41連接至光罩儲存器1的第一通孔11與第二通孔12，且氣體分配器44電連接一控制 器49，控制器49可用以定時控制氣體分配器44開閉，以定時自動控制光罩儲存器1的氣體 充填時間。在本實施例中，氣體供應裝置46所提供的氣體為氮氣(N2),且光罩儲存器1的底 座10的第一通孔11與第二通孔12皆作為進氣孔。請再參閱圖6、及圖7，其分別為本實用新型第二較佳實施例的中空立柱剖視圖、 及剖視圖。本實施例與第一實施例的結構大致相同，其差異僅在於本實施例的每一中空立 柱71的每一橫向氣道712開設於相鄰肋片72之間，而非如第一實施例將橫向氣道212開設 於肋片22上。換言之，本實施例的每一橫向氣道712也如同第一實施例皆與直向氣道711 相通，本實施例也可達到增加層流的均勻效果。如圖7所示，本實施例的光罩儲存器2也具有一橫板75，橫板75連結該四中空立 柱71，而使整體架體成一結構件。另本實施例的底座10的第一通孔11作為進氣孔，而第二 通孔12則作為排氣孔，其也裝設有一過濾網16。由此，本實施例的光罩儲存器2也如同第一實施例，能同時儲存複數光罩80，且能 結合層流的氣道結構，使每一片光罩80的上緣及下緣皆能獲得惰性氣體充分的保護。請再參閱圖8，是本實用新型第二較佳實施例的應用系統示意圖，本實施例的光罩 儲存器2與一氣體分配器52、一氣體供應裝置46、及一氣體回收裝置56相連，亦即氣體供 應裝置46的出口經由進氣管路47連接至氣體分配器52的入口，而氣體分配器52的出口 則經由進氣管路48連接至光罩儲存器2的第一通孔11，光罩儲存器2的第二通孔12則經 由回收管路58連接至氣體分配器52的入口，氣體分配器52的出口再經由回收管路57連 接至氣體回收裝置56，且回收管路58上並固設有一溼度量測器54。氣體分配器52與溼度量測器54皆連接至一控制器59，控制器59可依該溼度量測 器54偵測的溼度而控制該氣體分配器52開閉，亦即當光罩儲存器2的溼度高於某一特定 值，控制器59即可自動控制氣體分配器52對光罩儲存器2充填氣體。本實施例不僅如同第一實施例能同時儲存複數光罩80，且也能結合層流的氣道結 構，使每一片光罩80的上緣及下緣皆能獲得惰性氣體充分的保護。且氣體回收裝置56可 回收該惰性氣體，可重複使用，亦具節省成本的功效。上述實施例僅為了方便說明而舉例而已，本實用新型所主張的權利範圍自應以申 請的權利要求範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。
權利要求一種光罩儲存器，其特徵在於，包括一底座，貫設有一第一通孔、及一第二通孔，該第一通孔與一氣體供應裝置相通；一架體，承置於該底座上，包括有複數中空立柱，每一中空立柱開設有一直向氣道、及與該直向氣道連通的複數橫向氣道，並橫向凸伸複數肋片，該複數直向氣道分別對應與該二通孔連通；以及一箱體，蓋合於該底座並覆蓋該架體。
2.如權利要求1所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中該底座的該第一通孔並固設有 一過濾網。
3.如權利要求1所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中每一橫向氣道開設於該肋片上。
4.如權利要求1所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中每一橫向氣道開設於相鄰肋片 之間。
5.如權利要求1所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中該架體包括有一用以連結該復 數中空立柱的橫板。
6.如權利要求1所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中包括有一進氣管路、及一氣體分 配器，該進氣管路依序連通該第一通孔、該氣體分配器、及該氣體供應裝置。
7.如權利要求6所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中包括有一與該氣體分配器電連 接的可用以定時控制該氣體分配器開閉的控制器。
8.如權利要求7所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中包括有一溼度量測器、及一回 收管路，該回收管路依序連通該第二通孔、及該氣體分配器，該溼度量測器固設於該回收管 路、並與該控制器電連接，該控制器依該溼度量測器偵測的溼度而控制該氣體分配器開閉。
9.如權利要求8所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中該回收管路並與一氣體回收裝 置連通。
10.如權利要求1所述的光罩儲存器，其特徵在於，其中該氣體供應裝置為氮氣氣體供應裝置。
專利摘要一種光罩儲存器，包括有一底座、一架體、及一箱體。其中，底座貫設有複數通孔，其中一通孔與一氣體供應裝置相通。架體承置於底座上，架體具有複數中空立柱，每一中空立柱開設有一直向氣道、及與直向氣道連通的複數橫向氣道，每一中空立柱並橫向凸伸複數肋片，複數直向氣道並分別對應與底座的複數通孔連通，箱體是蓋合於底座上並覆蓋住架體。由此，本實用新型能同時儲存複數光罩，且能結合層流的氣道結構，使每一片光罩的上緣及下緣皆能獲得惰性氣體充分的保護。
文檔編號H01L21/673GK201673896SQ201020216328
公開日2010年12月15日 申請日期2010年6月1日 優先權日2010年6月1日
發明者吳功, 張偉祥, 黃元裕 申請人:臺灣富創得工程股份有限公司