一種多次泵浦的碟片固體雷射器的製作方法
2023-05-18 07:26:36
專利名稱：一種多次泵浦的碟片固體雷射器的製作方法
技術領域：
本發明屬於雷射器技術，具體涉及一種碟片固體雷射器。
背景技術：
隨著雷射技術、器件水平和製造能力的不斷提高，固體雷射器以其自身獨特的優點成為雷射器家族中獨特的一個分支，並向著高平均功率、高光束質量、高轉換效率的方向快速發展。目前高檔工業固體雷射器的發展十分迅速，以光纖雷射器和碟片固體雷射器為代表的新一代固體雷射器成為重要發展方向。另一方面，固體雷射技術與其他高新技術相互滲透，使得固體雷射器在汽車車身外板焊接、汽車板拼焊和金屬板材切割等領域有著越來越廣泛的應用。新型碟片固體雷射器主要利用薄片狀雷射晶體作為雷射器的增益介質，採用端面或側面泵浦的方式。由於雷射晶體厚度很薄(Φ/d值很大，其中Φ為晶體的直徑，d晶體厚度)，在液體射流衝擊冷卻或高效TEC貼片冷卻技術的條件下，即使採用高功率密度的泵浦光進行泵浦，晶體內部徑向溫度梯度很小、溫升不大且晶體中熱流方向與光軸方向平行。 這種均勻分布的溫度場極大消除了晶體的熱形變和對雷射的影響，使輸出的雷射具有較好的光束質量。由於碟片固體雷射器增益介質的厚度很小，一般在0. 1 Imm之間，有效吸收長度小，因此多次泵浦技術和泵浦光斑的均勻性設計是實現碟片固體雷射器高光束質量、高轉換效率運行的核心技術之一。2003年，美國專利Meffen Erhard等提出了單拋物面和多稜鏡構成的空間旋轉多次泵浦的結構(見美國專利US6577666 B2) ；2005年，Steffen Erhard 等對上述方案進行改進提出了基於單拋物面和兩個大型稜鏡實現光束空間旋轉多次泵浦技術的方案(見美國專利US6891874B2)。2008年，朱曉教授等人提出一種基於共軛雙拋物面方案(見中國專利 ZL200810048527. 6)，傾斜雷射晶體、矯正反射鏡的多程泵浦結構實現泵浦光斑的多次傳輸，其泵浦次數與雷射晶體和矯正鏡的夾角有關。2010年，朱曉教授等對上述方案進行改進 (見PCT專利申請PCT/CN2010/07186O，提出集多次泵浦和高效冷卻為一體的新型泵浦結構，以及以此技術開發的多碟串接模塊，進一步提高共軛雙拋物面多程泵浦系統的泵浦效率和利用空間。Steffen Erhard等提出碟片雷射器的多次泵浦技術要求入射光斑為圓形準直光斑，光斑在整個拋物面空間多次旋轉傳輸，且以光軸為軸對稱分布從而實現多次泵浦。這就需要加工尺寸較大的拋物面和摺疊鏡以實現上述光線的傳輸；朱曉教授等提出共軛拋物面的多次泵浦方案對矯正鏡和碟片之間的角度關係直接決定泵浦光斑的次數，在裝配和調整方面要求比較嚴格。
發明內容
本發明的目的在於提供一種新型的多次泵浦的碟片固體雷射器，該碟片固體雷射器僅需對入射泵浦光束進行較為簡單的準直，就可以實現高功率、高效率、高光束質量的雷射輸出。本發明提供了一種多次泵浦的碟片固體雷射器，包括半導體雷射器疊陣、泵浦光束準直系統、冷卻指、雷射碟片晶體和雷射輸出鏡，雷射輸出鏡與雷射碟片晶體構成諧振腔，冷卻指用於對雷射碟片晶體進行冷卻，它還包括拋物面反射鏡、第一摺疊鏡和第二摺疊鏡，其中第一摺疊鏡和第二摺疊鏡均為180度反射，雷射碟片晶體放置在拋物面反射鏡的焦點處，第一、第二摺疊鏡均位於拋物面反射鏡的反射光路上，且分別位於雷射碟片晶體的兩側；半導體雷射器疊陣發射的泵浦光束經過泵浦光準直器準直後進入拋物面反射鏡、 第一摺疊鏡、第二摺疊鏡和雷射碟片晶體，在其中經過多次泵浦，由所述雷射諧振腔獲得雷射輸出。進一步的，第一摺疊鏡的交線和第二摺疊鏡的交線在XOY坐標系內的投影均平行 X軸，且兩投影分布在XOY坐標系的一、三象限或二、四象限，兩投影到X軸的距離不相等，其中XOY坐標系是以拋物面反射鏡的圓心為原點，以水平方向為X軸，豎直方向為Y軸建立的直角坐標系。進一步的，第一摺疊鏡的交線與第二摺疊鏡的交線不平行，兩交線均平行於由XOY 坐標系所確定的平面，兩交線在該平面內的投影中點的連線過XOY坐標系的原點，且到原點的距離相等；其中XOY坐標系是以拋物面反射鏡的圓心為原點，以水平方向為X軸，豎直方向為Y軸建立的直角坐標系；第一摺疊鏡或第二摺疊鏡上開有一泵浦光的入口，半導體雷射器疊陣發射的泵浦光束經過泵浦光準直器準直後由該入口進入拋物面反射鏡。本發明具有以下有益效果(1)本發明所述的碟片固體雷射器採用半導體雷射器疊陣泵浦的方式，效率高、壽命長，設備維護方便。(2)本發明所述的碟片固體雷射器採用拋物面反射鏡、碟片狀雷射晶體和兩個 180度反射的摺疊鏡組成的多次泵浦聚光腔，實現了可控的泵浦光的多次傳輸，泵浦光斑面積合理，功率密度分布均勻。(3)本發明所述的碟片固體雷射器在實現多次泵浦的同時降低了對半導體雷射器泵浦光的準直要求，簡化了泵浦結構，降低成本，提高了該系統的實用性。(4)本發明根據具體使用需求，可以靈活的採用不同實施方案，構建V型或其他形式雷射諧振腔以獲得大模體積或基模輸出、對多個具有增益的碟片狀雷射晶體串接以獲得更高的輸出功率。(5)本發明所述的碟片固體雷射器體積較小、機械結構和調整簡單、質量較輕，便於工業應用。
圖1平行放置的摺疊鏡的碟片固體雷射器結構圖；圖2180度反射的摺疊鏡示意圖；圖3平行放置摺疊鏡的碟片固體雷射器中拋物面鏡上光斑的分布特性；圖4旋轉放置的摺疊鏡的碟片固體雷射器結構圖5旋轉放置摺疊鏡的碟片固體雷射器中拋物面鏡上光斑的分布特性；圖6旋轉放置摺疊鏡、雙拋物面的碟片固體雷射器結構圖。
具體實施例方式本發明採用一個或多個半導體雷射器疊陣作為泵浦源，拋物面反射鏡、碟片狀雷射晶體和兩個180度反射的摺疊鏡組成多次泵浦勻化聚光腔。利用180度反射的摺疊鏡和拋物面反射聚焦的光學特性，實現可控的多次泵浦。在第一種具體實施方式
(簡稱為方案1)中，兩個180度反射的摺疊鏡位於拋物面反射鏡的反射光路上，兩個180度反射的摺疊鏡的交線相互平行，且分布在拋物面反射鏡所確定的XOY坐標系的一、三象限或二、四象限，兩交線在XOY坐標系內的投影與X軸平行且到X軸的距離存在一定的差值(I L1-L2 I乒0)。泵浦光從第一摺疊鏡上方進入拋物面反射鏡被拋物面反射鏡反射後直接泵浦到碟片雷射晶體內部，未被吸收的光線再次回到拋物面反射鏡後以平行光離開拋物面反射鏡進入第二個摺疊鏡，摺疊鏡將入射的光線以摺疊鏡的交線為對稱軸平移泵浦光，然後180度反射到拋物面反射鏡，經拋物面反射鏡反射後再次入射到雷射碟片晶體內部，此後未被吸收的光經拋物面反射鏡反射後，平行入射到第一摺疊鏡，由於兩摺疊鏡交線到坐標系X的距離存在一定的差值(|L1-L2|興0)。因此光線進入第一摺疊鏡再次完成平移和180度反射，返回到拋物面。此後上述泵浦過程不斷重複，最終完成勻化光斑的多次泵浦，泵浦光在拋物面反射鏡上形成一系列相互平行的泵浦光斑， 在碟片上形成均勻的泵浦光斑，有效提高雷射器的光光轉換效率。在第二種具體實施方式
(簡稱為方案2)中，兩個180度反射的摺疊鏡位於拋物面反射鏡的反射光路上，兩個180度反射的摺疊鏡的交線存在一定的夾角α，兩個180度反射的摺疊鏡的交線在拋物面所確定的XOY平面內的投影中點的連線過原點且到原點的距離相等。泵浦光從第一摺疊鏡上的入射孔徑處入射到拋物面反射鏡，光線被拋物面反射鏡反射後直接泵浦到碟片雷射晶體內部，未被吸收的光線再次回到拋物面反射鏡後以平行光離開拋物面反射鏡進入第二個摺疊鏡，由於第二摺疊鏡相對於第一摺疊鏡存在一定的旋轉，因此第二摺疊鏡將光線以摺疊鏡的交線為對稱軸平移泵浦光的同時相對於拋物面坐標系發生了旋轉，經反射後的光線回到拋物面反射鏡，再次入射到雷射碟片晶體內部，此後未被吸收的光經拋物面反射鏡反射後，平行入射到第一摺疊鏡，由於兩摺疊鏡的交線存在一定夾角，因此入射到第一摺疊鏡的光線避開摺疊鏡上的入射孔徑。此後光線被拋物面反射鏡鏡像和180度反射回拋物面反射鏡，光線如此往復重複上述過程，最終完成多次泵浦。泵浦光在拋物面反射鏡上兩摺疊鏡在XY坐標系投影的區域內形成圓形分布的光斑，且光斑本身存在旋轉，從而實現碟片上泵浦光斑的勻化和多次傳輸，有效提高雷射器的光光轉換效率。下面結合附圖和實例對本發明作進一步詳細的說明。如圖1所示，方案1提供的碟片固體雷射器包括拋物面反射鏡1、第一摺疊鏡2、第二摺疊鏡3、冷卻指4、雷射碟片晶體5、準直後的雷射光束6、半導體雷射器疊陣12、泵浦光束準直系統13和雷射輸出鏡14。半導體雷射器疊陣12發射的泵浦光束經過泵浦光準直器 13準直後進入拋物面反射鏡1、第一摺疊鏡2、第二摺疊鏡3和雷射碟片晶體5所構成的多次泵浦系統中，實現多次、高效、均勻的泵浦，雷射碟片晶體5與雷射輸出鏡14構成諧振腔獲得雷射輸出。拋物面反射鏡1具有反射聚焦的特性，將入射的平行光束會聚到其焦點處，拋物面鍍有對泵浦光高反射的膜層。第一摺疊鏡2和第二摺疊鏡3均為180度反射的摺疊鏡，摺疊鏡由兩部分組成，這兩部分組合完成光線的180度回歸反射，這兩部分在底面的交線稱為該摺疊鏡的交線。該摺疊鏡可為兩個直角稜鏡、兩個保羅稜鏡、也可是兩個90度夾角放置的平面鏡。如果是稜鏡，則稜鏡的斜邊面鍍有泵浦光的增透膜，兩個直角面拋光利用光線的全內反射實現光束的180度回歸反射。如果是採用兩個90度夾角放置的平面鏡，則反射光的平面需鍍有對泵浦光的高反膜。圖2給出了由兩個90度夾角放置的平面鏡組成的摺疊鏡的示意圖，其中直線AB為該摺疊鏡的交線，在多次泵浦系統的裝配中是重要裝配基準線。冷卻指4為雷射碟片晶體5的冷卻部件和支撐部分，碟片雷射晶體5焊接、粘貼或夾持在冷卻指4上，對雷射碟片晶體5進行高效的冷卻，可以採用射流衝擊冷卻的液體冷卻方式，也可以採用貼片或微通道的冷卻方式。雷射碟片晶體5厚度為0. Imm 1mm，直徑為4mm 25mm，作為雷射器的激活介質。 該晶體放置在拋物面反射鏡1的焦點處，遠離拋物面反射鏡的一面鍍有對泵浦光和輸出雷射高反射的膜層，該膜層與雷射輸出鏡14構成雷射諧振腔，另一面鍍有對泵浦光和輸出雷射的高透膜層，以減少泵浦光和輸出雷射的反射損耗。雷射碟片晶體5在安裝時可以適當
1 焦。雷射束6，7，8，9，10，11為經過半導體雷射準直系統進入多次泵浦系統後，其傳輸順序依次為6，7，8，9，10，11。半導體雷射器疊陣12作為碟片固體雷射器的泵浦源，此光束在快軸(X方向)和慢軸(Y方向)的發散角以及光斑尺寸均不同，因此需經過準直後才能應用。泵浦光束準直器13將半導體雷射器疊陣12所發出的光束進行準直，經準直後的泵浦光束X、Y方向發散角較小且相等。使得進入拋物面聚焦後的光斑尺寸達到設計的要求，從而獲得一長條形的光斑。雷射輸出鏡14為輸出耦合鏡，可以為平面鏡、也可以為曲面鏡。其與雷射碟片晶體5 —端面的雷射全反膜構成諧振腔，實現諧振放大，完成雷射輸出。本發明所述的第一種碟片固體雷射器的工作過程如下經準直的泵浦光6從第一摺疊鏡2上方入射到拋物面反射鏡1上，被拋物面反射鏡1反射至其焦點處，雷射碟片晶體放置在該拋物面反射鏡的焦點處可適當離焦，因此泵浦光入射到雷射碟片晶體內部分被吸收，未被吸收的泵浦光被晶體反射回拋物面反射鏡1，被拋物面反射鏡反射後以光束7離開拋物面反射鏡進入第二摺疊鏡3，由於第二摺疊鏡3具有180度回歸反射的特性，因此光束 7以第二摺疊鏡交線AB為對稱軸將光束7反射平移後以光束8回到拋物面反射鏡1，並再次聚焦到雷射碟片晶體內部，未被吸收的泵浦光再次被雷射晶體反射回拋物面反射鏡，由於第二摺疊鏡的平移特性，使得此次反射的光束在拋物面反射鏡的第四象限，以光束9離開拋物面反射鏡1進入第一摺疊鏡2，並在第一摺疊鏡2內完成光束的平移和180度的回歸反射，以光束10再入射到拋物面反射鏡1，此後再次進入雷射碟片晶體，未被吸收的光束再次反射回拋物面反射鏡1的第二象限，光束被拋物面反射鏡反射後，以光束11進入第二摺疊鏡3。從而光束在該多次泵浦系統中形成循環，實現雷射碟片晶體的多次泵浦。
該方案布局與光線的傳輸特性描述如下以拋物面反射鏡1的圓心為原點，以水平方向為X軸，豎直方向為Y軸，建立直角坐標系Χ0Υ。兩個180度反射的摺疊鏡2、3位於拋物面反射鏡1的反射光路上，第一摺疊鏡2的交線AB和第二摺疊鏡3交線CD在XOY坐標系內的投影與X軸平行，且分布在XOY坐標系的一、三象限或二、四象限，兩個摺疊鏡在XOY 平面內投影如圖3所示，其中A』 B』、C』 D』分別為第一摺疊鏡2的交線和第二摺疊鏡3的交線在該坐標平面的投影。A』 B』、C』 D』均與X軸平行且距離X軸的長度分別為，L1、L2，兩者的差值|L1-L2|興0。這樣才可以保證從第一摺疊鏡入射的泵浦光束經拋物面反射鏡，雷射晶體和第二摺疊鏡反射回來的光束進入第一摺疊鏡進行平行反射後再次回到多次反射系統中，實現多次平移反射。其中a為入射準直後的入射光斑，經拋物面反射鏡反射和碟片晶體反射後入射到拋物面反射鏡形成光斑b，此後摺疊鏡將光束以A』 B』對稱反射回拋物面反射鏡，在拋物面上形成光斑c，光束再次被雷射晶體反射後回到拋物面形成光斑d。此後光束進入第一摺疊鏡，以交線C』 D』對稱反射後重新入射到拋物面上形成光斑e，並再次入射到拋物面反射鏡後聚焦到碟片晶體，而未被吸收的光束返回拋物面反射鏡，形成光斑f，上述過程不斷反覆形成多次泵浦。因此，圖3中a，e，d為出入第一摺疊鏡2的光斑在拋物面反射鏡1上的光斑分布特性，b，c, f為出入第二摺疊鏡3的光斑在拋物面反射鏡上1的光斑分布特性，可見，由於兩摺疊鏡交線相互平行，故在拋物面反射鏡形成的光斑同樣平行分布，其泵浦光斑的次數受到參數N = L/ I L1-L2 I的影響，其中L如圖2所示，為摺疊鏡兩斜邊的距離。當N= 2η時(η為正整數)，每一摺疊鏡內光束傳輸2η+1次，在對應得拋物面區域形成2η+1個平行的光斑分部，碟片晶體的泵浦次數為2Χ (2η+1)次。當N = 2η+1時，摺疊鏡內存在2η+2光斑碟片晶體的泵浦次數為2Χ (2η+2)次。當2n < N 0)，兩交線在拋物面反射鏡1所確定的XOY平面內的投影中點的連線過原點且到原點的距離相等。第一摺疊鏡2 或第二摺疊鏡3上開有一泵浦光的入口 15，經準直後泵浦光由此進入多次泵浦系統中。本發明所述的第二種碟片固體雷射器工作過程如下經準直的泵浦光6從第一摺疊鏡2上的泵浦光入口 15進入拋物面反射鏡1，被該鏡面反射至其焦點處，雷射碟片晶體放置在該拋物面反射鏡的焦點處，因此入射到雷射碟片晶體內部分被吸收，未被吸收的泵浦光被晶體反射回拋物面反射鏡1，被拋物面反射鏡反射以泵浦光離開拋物面反射鏡進入第二摺疊鏡3，由於第二摺疊鏡3的交線AB相對於第一摺疊鏡2的交線CD存在以旋轉角α且具有180度回歸反射的特性，因此入射的泵浦光束以第二摺疊鏡交線AB為對稱軸將該光線反射平移後反射到拋物面反射鏡1，並再次聚焦到雷射碟片晶體內部，未被吸收的泵浦光再次被雷射晶體反射回拋物面反射鏡，由於旋轉角α 的存在回到第一摺疊鏡2的光線被轉移到摺疊鏡其他位置(離開泵浦光入口 1 被第一摺疊鏡2平移反射回拋物面，再次對雷射碟片晶體5進行泵浦，此後上述過程不斷重複實現了泵浦光的多次反射。該方案布局與光線的傳輸特性描述如下以拋物面反射鏡原點為圓心，以水平方向為X軸，豎直方向為Y軸，建立直角坐標系Χ0Υ。兩摺疊鏡的交線平行XOY平面放置，在 XOY平面內投影如圖5所示，其中A』 B』，C』 D』為第一摺疊鏡2的交線和第二摺疊鏡3的交線在該坐標平面的投影，其交線中點02，03的連線過原點，且到原點的距離相同。雷射碟片晶體的中心為坐標系的原點0，根據光學成像原理，第二摺疊鏡的交線A』 B』經拋物面1和雷射碟片晶體5在第一摺疊鏡交線C』 D』平面成像為A」 B」。A」 B」與第一摺疊鏡C』 D』與存在夾角α，該角度決定了多次泵浦光斑的次數和泵浦光斑在空間的分布特性。泵浦光斑從泵浦光入口 a入射，經拋物面反射鏡1和雷射碟片晶體5反射後以b入射至第二摺疊鏡， 由於第二摺疊鏡的180度回歸反射特性，光束b以交線A』B』對稱成像以光束c反射回拋物面反射鏡，經雷射碟片晶體反射後再次回到拋物面反射鏡的對稱區域形成光束d，反射回第一摺疊鏡，並在第一摺疊鏡內以交線C』 D』鏡像為光束e反射回拋物面反射鏡，上述過程不斷重複，最終在第一摺疊鏡對應的拋物面區域形成以交線中點02為圓心中心對稱分布的一系列光斑，其光斑在多次傳輸時相對中點02旋轉。同理，在第二摺疊鏡對應的拋物面區域形成了以交線中點03為圓心中心對稱分布的一系列光斑，其光斑在多次傳輸時相對中點03旋轉，這樣使得泵浦到雷射碟片晶體內部的光斑疊加後泵浦區域更為均勻。泵浦光斑的次數和分布特性由兩摺疊鏡交線夾角α和入射光束的位置決定，摺疊鏡中傳輸光線的次數η = πιπ/α (若α不能被π整除，先將其化為分數，m的數值為分數中分子的最小公倍數，且為整數，使其滿足整除關係)。則在摺疊鏡之間泵浦光束傳輸了 2η次，相對於碟片雷射晶體就泵浦了如次。而泵浦光斑在拋物面的位置分布最好以交角的角平分線的位置入射，這樣所有光斑已圓心為原點均勻分布。如圖6所示，在方案2的基礎上可以發現泵浦光在拋物鏡面上的分布均落在摺疊鏡在拋物面反射鏡的投影區且為圓形分布，因此，為節約拋物面的加工材料和加工成本，僅需加工兩個具有相同面型函數空間對稱分布的部分拋物面反射鏡以提供有效的反射聚焦， 在裝配時對應的裝配到相應的位置即可，其傳輸方式和工作原理與方案2相同。本發明不僅局限於上述具體實施方式
，本領域一般技術人員根據本發明公開的內容，可以採用其它多種具體實施方式
實施本發明，因此，凡是採用本發明的設計結構和思路，做一些簡單的變化或更改的設計，都落入本發明保護的範圍。
權利要求
1.一種多次泵浦的碟片固體雷射器，包括半導體雷射器疊陣(12)、泵浦光束準直系統 (13)、冷卻指G)、雷射碟片晶體( 和雷射輸出鏡(14)，雷射輸出鏡(14)與雷射碟片晶體 (5)構成諧振腔，冷卻指(4)用於對雷射碟片晶體( 進行冷卻，其特徵在於，它還包括拋物面反射鏡(1)、第一摺疊鏡( 和第二摺疊鏡(3)，其中第一摺疊鏡( 和第二摺疊鏡(3) 均為180度反射，雷射碟片晶體( 放置在拋物面反射鏡(1)的焦點處，第一、第二摺疊鏡 (2,3)均位於拋物面反射鏡(1)的反射光路上，且分別位於雷射碟片晶體(5)的兩側；半導體雷射器疊陣(1 發射的泵浦光束經過泵浦光準直器(1 準直後進入拋物面反射鏡(1)、第一摺疊鏡( 、第二摺疊鏡C3)和雷射碟片晶體(5)，在其中經過多次泵浦，由所述雷射諧振腔獲得雷射輸出。
2.根據權利要求1所述的碟片固體雷射器，其特徵在於，第一摺疊鏡(2)的交線和第二摺疊鏡C3)的交線在XOY坐標系內的投影均平行X軸，且兩投影分布在XOY坐標系的一、三象限或二、四象限，兩投影到X軸的距離不相等，其中XOY坐標系是以拋物面反射鏡(1)的圓心為原點，以水平方向為X軸，豎直方向為Y軸建立的直角坐標系。
3.根據權利要求1所述的碟片固體雷射器，其特徵在於，第一摺疊鏡(2)的交線與第二摺疊鏡(3)的交線不平行，兩交線均平行於由XOY坐標系所確定的平面，兩交線在該平面內的投影中點的連線過XOY坐標系的原點，且到原點的距離相等；其中XOY坐標系是以拋物面反射鏡(1)的圓心為原點，以水平方向為X軸，豎直方向為Y軸建立的直角坐標系；第一摺疊鏡( 或第二摺疊鏡C3)上開有一泵浦光的入口(15)，半導體雷射器疊陣 (12)發射的泵浦光束經過泵浦光準直器(1 準直後由該入口進入拋物面反射鏡(1)。
全文摘要
本發明提供了一種多次泵浦的碟片固體雷射器，它包括半導體雷射器疊陣、泵浦光束準直系統、冷卻指、雷射碟片晶體、雷射輸出鏡、拋物面反射鏡和180度反射的第一、第二摺疊鏡，雷射碟片晶體放置在拋物面反射鏡的焦點處，第一、第二摺疊鏡均位於拋物面反射鏡的反射光路上，且分別位於雷射碟片晶體的兩側；半導體雷射器疊陣發射的泵浦光束經過泵浦光準直器準直後進入拋物面反射鏡、第一摺疊鏡、第二摺疊鏡和雷射碟片晶體，經過多次泵浦，由所述雷射諧振腔獲得雷射輸出。該碟片固體雷射器實現了可控的泵浦光的多次傳輸，泵浦光斑面積合理，功率密度分布均勻，僅需對入射泵浦光束進行簡單的準直，就可以實現高功率、高效率、高光束質量的雷射輸出。
文檔編號H01S3/00GK102208748SQ20111011904
公開日2011年10月5日 申請日期2011年5月10日 優先權日2011年5月10日
發明者尚建力, 朱廣志, 朱曉, 朱長虹, 王海林, 郭飛, 齊麗君 申請人:華中科技大學