泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極的製作方法

2023-05-18 07:54:36 2

專利名稱：泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極的製作方法
技術領域：
泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極技術領域[0001]本實用新型涉及熔體籽晶法單晶生長爐設備，尤其涉及一種泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極。
背景技術：
[0002]LED產業的迅猛發展促進藍寶石襯底晶體的需求，相應帶動了泡生法藍寶石晶體生長爐的發展。目前很多企業應用的泡生法晶體爐都是以俄羅斯泡生爐為藍本，其加熱體鎢絲預製成桶形鳥籠狀結構，鎢絲兩端通過上部兩個對合安裝的中空水冷半環電極分別連接電源正負極，通電後形成泡生爐熱場，這種電極結構的鳥籠狀鎢絲加熱體排布方式，不僅製作麻煩，而且局部損壞導致整體報廢，尤其是下部熱場存在熱節和冷節，形不成晶體生長所要求的絕對軸對稱的溫度場。實用新型內容[0003]為了克服現有泡生法藍寶石晶體生長爐技術的不足，本實用新型提供一種由空芯的環狀導電體以及空芯導電管柱共同構成水冷電極，其中兩個直立式空芯導電管柱分別用於進水和出水，兩個獨立的電極分別與直流電源的正極和負極連接，形成兩個配對的水冷電極，加熱鎢絲經空間排列後兩頭分別安裝於上下兩個空芯水冷電極的環上，通電後形成絕對軸對稱的溫度場分布。[0004]本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是一種泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，所述由兩個空芯的環狀導電體以及空芯導電管柱共同構成水冷電極，且兩個水冷電極在高度方向上下固定。[0005]作為本實用新型的進一步改進，所述空芯的環狀導電體結構相同，大小相同或不同，且截面形狀可以是矩形或者圓形。[0006]作為本實用新型的進一步改進，所述環狀導電體的空芯部分和導電管柱的空芯部分相通且可以通水。[0007]作為本實用新型的進一步改進，所述空芯導電管柱其高度可以相同，也可以不同。[0008]作為本實用新型的進一步改進，所述環狀導電體和導電管柱的材質是銅合金。[0009]本實用新型產生的有益效果是，製作簡單，不易損壞，水冷電極及附屬加熱鎢絲具有安裝更換方便，成本低的特點；尤其是通過加熱鎢絲的合理布局，可以形成完全軸對稱的溫度場分布，營造非常有利的晶體生長條件。


[0010]
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。[0011]圖1是本實用新型實施例的結構圖。[0012]圖2是本實用新型水冷電極的截面圖。[0013]附圖標記說明1.水冷電極圓環，2.空心導電管柱，具體實施方式
[0014] 在圖1、圖2實施例中，一種泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，將導電率高的金屬製成兩個空芯的水冷電極圓環(1)，並在每個環上焊接兩對同樣材質的空心導電管柱 O)，用於連接電源和冷卻水進出，即形成水冷電極。水冷電極圓環(1)內表面設置有安裝鎢絲髮熱體的螺紋孔，鎢絲髮熱體兩端通過螺紋孔分別連接於上下兩個水冷電極圓環(1) 內表面構成通電迴路。
權利要求1.泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，其特徵在於由空芯的環狀導電體以及空芯導電管柱共同構成水冷電極，其中兩個直立式空芯導電管柱分別用於進水和出水，兩個獨立的電極分別與直流電源的正極和負極連接，形成兩個配對的水冷電極。
2.根據權利要求1所述的泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，其中所述空芯的環狀導電體結構相同，大小相同或不同，且截面形狀可以是矩形或者圓形。
3.根據權利要求1所述的泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，其中所述環狀導電體的空芯部分和導電管柱的空芯部分相通且可以通水。
4.根據權利要求1所述的泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，其中所述空芯導電管柱其高度可以相同，也可以不同。
5.根據權利要求1所述的泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，其中所述環狀導電體和導電管柱的材質是銅合金。
專利摘要本實用新型公布了一種泡生法藍寶石晶體生長爐水冷電極，其採用兩個空芯的環狀導電體上下排列構成泡生爐的兩個電極，每個電極上焊接兩個直立式空芯導電管柱，用於進水和出水；加熱鎢絲經空間排列後兩頭分別安裝於上下兩個空芯水冷電極的環上，通電後提供晶體生長所需要的熱場；該水冷電極具有安裝維護方便，形成的熱場軸向完全對稱，以形成最佳的晶體生長條件。
文檔編號C30B29/20GK202247003SQ201120389880
公開日2012年5月30日 申請日期2011年10月13日 優先權日2011年10月13日
發明者劉世全, 徐家慶 申請人:劉世全