一種模塊化基板載物臺及其應用設備的製作方法
2023-05-01 21:57:26 1
專利名稱：一種模塊化基板載物臺及其應用設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及液晶顯示器的製造技術，尤其涉及一種模塊化基板載物臺及其應用設備。
背景技術：
薄膜場效應電晶體液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-IXD)的製造過程可以分為三個階段第一階段、陣列(Array)工藝在一張較大的基板上形成若干獨立的TFT像素陣列電路，每個像素陣列電路的區域對應一個液晶顯示屏(panel)；第二階段、貼膜(cell)工藝在TFT基板上塗布液晶，覆蓋彩色濾光片，拼合成LCD面板並切割成獨立的液晶顯示屏；第三階段、為液晶顯示屏安裝背光源，偏振片以及周邊電路，形成完整的TFT-IXD。在製造工藝的過程中，絕大部分設備都設有可以上下運動的支撐架結構的載物臺。當基板被機械手送至設備中時，支撐架會升起並撐住基板。現有技術中，採用這種配備支撐架結構的整體載物臺會存在以下幾個缺點1、整體的載物臺必須依靠支撐架來承載基板以便取送，機械手取送基板的過程都需要很長時間，大部分時間都會花費在支撐架上下起落的時間；2、經過長期使用，載物臺的表面或者部分就會出現異常，一旦有損壞就必須整體更換，不可能針對局部進行修復，整體更換載物臺會花費較大的財力和物力；3、整體的載物臺在使用當中，不容易對載物臺的下方和死角處進行清理，會導致堆積大量灰塵，而在TFT製造行業中灰塵是最大的敵人，不僅影響品質還會對設備的正常運行造成較大影響；4、限制了載物臺的載入方向，只能從一個方向上交換基板，限制了機械手的安放位置。
實用新型內容有鑑於此，本實用新型的主要目的在於提供一種模塊化基板載物臺及其應用設備，能夠解決整體載物臺必須依靠支撐架來承載基板等待取送的問題，進而解決了使用支撐架承載基板所帶來的諸多不便。為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的本實用新型提供了一種模塊化基板載物臺，所述載物臺包括基臺；根據基板取送裝置的需要安裝於基臺上的多個承載模塊，所述多個承載模塊的上表面處於同一平面內。其中，所述承載模塊的形狀、數量和安裝位置根據基板取送裝置的結構、以及取送基板的運動軌跡確定。其中，所述承載模塊的形狀採用頂端平整的各種柱狀；所述多個承載模塊對稱的安裝在基臺的四周。[0014]其中，所述承載模塊間有間隔，所述間隔大於所述基板取送裝置的取送部位的最大截面尺寸。其中，每個承載模塊設置有對自身高度進行校準的螺絲結構。本實用新型還提供了一種應用模塊化基板載物臺的設備，所述設備包括載物臺； 所述載物臺包括基臺；根據基板取送裝置的需要安裝於基臺上的多個承載模塊，所述多個承載模塊的上表面處於同一平面內。其中，所述承載模塊的形狀、數量和安裝位置根據基板取送裝置的結構、以及取送基板的運動軌跡確定。其中，所述承載模塊的形狀採用頂端平整的各種柱狀；所述多個承載模塊對稱的安裝在基臺的四周。其中，所述承載模塊間有間隔，所述間隔大於所述基板取送裝置的取送部位的最大截面尺寸。 其中，每個承載模塊設置有對自身高度進行校準的螺絲結構。本實用新型所提供的模塊化基板載物臺及其應用設備，所述載物臺包括基臺，並在基臺上根據基板取送裝置的需要安裝有多個承載模塊，所述多個承載模塊的上表面處於同一平面內，使得機械臂可以從四個方向進出承載模塊的間隙完成基板的取送，這樣在流水線作業的過程中，基板的取送不再受到載物臺的限制；如果承載模塊發生損壞，可以僅對損壞的特定承載模塊進行更換，這樣能夠降低維護的費用和複雜度；不必有等待支撐架的升起和降落時間，因此減少了取送基板的時間。這種結構對於清潔設備內部的灰塵來說有很大的幫助，使得載物臺的清理更加方便，進而能減少灰塵、提高產品的品質。
圖1本實用新型一種模塊化基板載物臺結構示意圖。附圖標記說明11-基臺；12-承載模塊。
具體實施方式
本實用新型的基本思想是在基臺上根據基板取送裝置的需要安裝多個承載模塊，所述多個承載模塊的上表面處於同一平面內。下面通過附圖及具體實施例對本實用新型做進一步的詳細說明。圖1為本實用新型一種模塊化基板載物臺結構示意圖，如圖1所示，所述載物臺包括基臺11，並在基臺11上根據基板取送裝置的需要安裝有多個承載模塊12，所述多個承載模塊12的上表面處於同一平面內。具體的，所述基臺11的材質可以是大理石。所述在基臺11上根據基板取送裝置的需要安裝有多個承載模塊12為根據基板取送裝置的結構、以及取送基板的運動軌跡，選擇承載模塊12的形狀、數量和安裝位置，並安裝在基臺11上。其中，所述承載模塊12的形狀採用頂端平整的各種柱狀，例如圓柱體、 長方體、正方體等。在實際應用中，所述多個承載模塊12至少要對稱的安裝在基臺11的四周。所述承載模塊12的形狀、數量和安裝位置都需要根據基板取送裝置的需要進行選擇，並且還需要保證基板能夠平穩的放置在多個承載模塊12上。以圖1為例，一共有16個承載模塊12，以 4行4列的排列方式安裝在基臺11上，並且相鄰的承載模塊12間具有等寬的間隙。其中， 承載模塊12間的間隙足以使得基板取送裝置正常工作，示例性的，如果基板取送裝置與基板接觸的部位叫做取送部位，那麼，承載模塊12間的間隙大於所述基板取送裝置的取送部位的最大截面尺寸。例如機械臂能夠正常進出。所述多個承載模塊12的上表面處於同一平面內可以利用螺絲結構對每個承載模塊12的高度進行校準，從而解決了放置基板時平衡度的問題。本模塊化的基板載物臺由於沒有涉及支撐架結構，對基板進行取送時基板取送裝置直接伸入伸出即可，不必有等待支撐架的升起和降落時間，因此減少了取送基板的時間。需要特別說明的是，圖1中並未體現用於校正基板位置的夾緊(clamp)結構、吹基板的氣孔、以及真空吸附裝置。在圖1中，基板取送裝置以機械臂為例，圖1中箭頭所示方向為機械臂的出入口。由圖1中可以看出，機械臂可以從四個方向進出承載模塊12的間隙完成基板的取送，這樣在流水線作業的過程中，基板的取送不再受到載物臺的限制。進一步的，如果承載模塊12發生損壞，可以僅對損壞的特定承載模塊進行更換， 這樣能夠降低維護的費用和複雜度。再進一步的，多個承載模塊12為了方便機械臂的進出設有間隙，這種結構對於清潔設備內部的灰塵來說有很大的幫助，使得載物臺的清理更加方便。由於在模塊間的縫隙是有氣流通過，因此可以增加離子吹風可以降低靜電擊穿的現象。進一步地，本實用新型實施例還提供一種應用模塊化基板載物臺的設備，該設備包括前述實施例中圖1所示的載物臺。這裡，所述應用設備可以為TFT-LCD製造過程中所有需要載物臺承載基板的設備。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，並非用於限定本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種模塊化基板載物臺，其特徵在於，所述載物臺包括基臺；根據基板取送裝置的需要安裝於基臺上的多個承載模塊，所述多個承載模塊的上表面處於同一平面內。
2.根據權利要求1所述的載物臺，其特徵在於，所述承載模塊的形狀、數量和安裝位置根據基板取送裝置的結構、以及取送基板的運動軌跡確定。
3.根據權利要求2所述的載物臺，其特徵在於，所述承載模塊的形狀採用頂端平整的各種柱狀；所述多個承載模塊對稱的安裝在基臺的四周。
4.根據權利要求2所述的載物臺，其特徵在於，所述承載模塊間有間隔，所述間隔大於所述基板取送裝置的取送部位的最大截面尺寸。
5.根據權利要求1、2、3或4所述的載物臺，其特徵在於，每個承載模塊設置有對自身高度進行校準的螺絲結構。
6.一種應用模塊化基板載物臺的設備，其特徵在於，所述設備包括載物臺；所述載物臺包括基臺；根據基板取送裝置的需要安裝於基臺上的多個承載模塊，所述多個承載模塊的上表面處於同一平面內。
7.根據權利要求6所述的設備，其特徵在於，所述承載模塊的形狀、數量和安裝位置根據基板取送裝置的結構、以及取送基板的運動軌跡確定。
8.根據權利要求7所述的設備，其特徵在於，所述承載模塊的形狀採用頂端平整的各種柱狀；所述多個承載模塊對稱的安裝在基臺的四周。
9.根據權利要求7所述的設備，其特徵在於，所述承載模塊間有間隔，所述間隔大於所述基板取送裝置的取送部位的最大截面尺寸。
10.根據權利要求6、7、8或9所述的設備，其特徵在於，每個承載模塊設置有對自身高度進行校準的螺絲結構。
專利摘要本實用新型公開了一種模塊化基板載物臺，所述載物臺包括基臺；根據基板取送裝置的需要安裝於基臺上的多個承載模塊，所述多個承載模塊的上表面處於同一平面內。本實用新型還公開了一種應用模塊化基板載物臺的設備，應用上述載物臺和設備，使得在流水線作業的過程中基板的取送不再受到載物臺的限制；如果承載模塊發生損壞，可以僅對損壞的特定承載模塊進行更換，這樣能夠降低維護的費用和複雜度；這種結構對於清潔設備內部的灰塵來說有很大的幫助，使得載物臺的清理更加方便。
文檔編號H01L21/683GK202217652SQ20112026728
公開日2012年5月9日 申請日期2011年7月26日 優先權日2011年7月26日
發明者唐濤, 曹宇, 魏廣偉, 黃雄天 申請人:北京京東方光電科技有限公司