致動器、具備其的移載頭、使用移載頭的部件安裝裝置及方法
2023-05-22 03:02:04
致動器、具備其的移載頭、使用移載頭的部件安裝裝置及方法
【專利摘要】本發明使用緊湊的移載頭而使部件安裝高速化。本發明的一種致動器，其搭載於部件安裝裝置的移載頭，且用於使多個噴嘴在一個方向上移動，其中，該致動器具有多個線性電動機，該線性電動機包括：杆，其在噴嘴沿著一個方向移動的噴嘴移動方向上延伸，以將多個磁鐵在噴嘴移動方向上排列的狀態具備多個磁鐵，且在一端連結有噴嘴；多個線圈，其以在噴嘴的移動方向上排列的狀態配置，且分別圍繞著杆；以及編碼器，其用於檢測杆的噴嘴移動方向上的位置。多個線性電動機以在與噴嘴移動方向正交的方向上排列的狀態且連結有噴嘴的杆的一端向外部露出的狀態、且以杆能夠分別在噴嘴移動方向上滑動的方式收納於一個外殼。
【專利說明】致動器、具備其的移載頭、使用移載頭的部件安裝裝置及方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及搭載於吸附部件而進行搬運的移載頭的致動器、搭載致動器的移載頭、使用移載頭的部件安裝裝置以及部件安裝方法。
【背景技術】
[0002]一直以來，已知有具有移載頭的部件安裝裝置，該移載頭具備從上方吸附部件並對該部件進行保持的多個噴嘴。通過移動噴嘴保持有部件的狀態下的移載頭，部件被搬運並安裝於基板。
[0003]例如，在專利文獻I所述的部件安裝裝置中，多個噴嘴以排列成兩列的狀態搭載於移載頭。另外，利用配置於噴嘴的鉛垂方向上方且搭載於移載頭的致動器，噴嘴分別在鉛垂方向上移動(升降)。由此，各噴嘴相對於移載頭而在鉛垂方向上選擇性地相對移動。
[0004]在先技術文獻:
[0005]專利文獻:
[0006]專利文獻1:日本特開2011-82242號公報
[0007]發明概要
[0008]發明要解決的課題
[0009]然而，近年來，為了實現部件安裝的高速化，期望增加搭載於移載頭的噴嘴的數量以及使移載頭小型化。在增加搭載於小型移載頭的噴嘴數量的情況下，需要儘可能地縮小多個噴嘴的水平方向上的間距間隔。例如，在多個噴嘴以呈直線狀地排列成兩列的狀態搭載於移載頭的情況下，需要儘可能地縮小列方向上的噴嘴的間距間隔和兩列排列的方向上的間距間隔。
[0010]但是，由於在如專利文獻I所述的移載頭那樣在噴嘴的鉛垂方向上方配置有致動器的情況下，致動器的尺寸比噴嘴的尺寸大，因此噴嘴的水平方向上的間距間隔由致動器的尺寸來決定。即，致動器的水平方向上的間距間隔被設定為噴嘴的間距間隔。其結果是，雖然儘可能地縮小噴嘴的水平方向上的間距間隔，但受到配置於噴嘴的鉛垂方向上方的致動器的限制。
【發明內容】
[0011]因此，本發明的課題在於，縮小多個噴嘴的水平方向上的間距間隔而使移載頭小型化，由此使用移載頭的部件安裝實現高速化。
[0012]解決方案
[0013]為了解決上述課題，根據本發明的第一技術方案，該致動器搭載於部件安裝裝置的移載頭，且用於使多個噴嘴沿著一個方向移動，其中，
[0014]所述致動器具有多個線性電動機，該線性電動機包括:杆，其在噴嘴沿著一個方向移動的噴嘴移動方向上延伸，以將多個磁鐵在噴嘴移動方向上排列的狀態具備多個磁鐵，且在一端連結有噴嘴；多個線圈，其以在噴嘴移動方向上排列的狀態配置，且分別圍繞著杆；以及編碼器，其用於檢測杆的噴嘴移動方向上的位置，
[0015]多個線性電動機以在與噴嘴移動方向正交的方向上排列的狀態且連結有噴嘴的杆的一端向外部露出的狀態、且以杆能夠分別在噴嘴移動方向上滑動的方式收納於一個外殼。
[0016]根據本發明的第二技術方案，提供第一技術方案所述的致動器，其中，
[0017]外殼具有用於收納各線性電動機的線圈的第一空間和與第一空間分離且用於收納各線性電動機的編碼器的第二空間。
[0018]根據本發明的第三技術方案，提供第二技術方案所述的致動器，其中，
[0019]連接外部與第一空間的開口形成於外殼。
[0020]根據本發明的第四技術方案，提供第一?第三技術方案中任一項所述的致動器，其中，
[0021]在沿著噴嘴移動方向觀察的情況下，多個線性電動機呈交錯狀地排列。
[0022]根據本發明的第五技術方案，提供一種部件安裝裝置的移載頭，其中，
[0023]所述部件安裝裝置的移載頭具備第一?第三技術方案中任一項所述的致動器。
[0024]根據本發明的第六技術方案，提供一種部件安裝裝置，其中，
[0025]所述部件安裝裝置具備第五技術方案所述的移載頭。
[0026]根據本發明的第七技術方案，提供一種部件安裝方法，該部件安裝方法通過使用吸附部件且沿著一個方向移動的多個噴嘴來進行部件安裝，其中，
[0027]準備具有致動器的移載頭，所述致動器具有多個線性電動機，該線性電動機包括:杆，其在噴嘴沿著一個方向移動的噴嘴移動方向上延伸，以將多個磁鐵在噴嘴移動方向上排列的狀態具備多個磁鐵，且在一端連結有噴嘴；多個線圈，其以在噴嘴移動方向上排列的狀態配置，且分別圍繞著杆；以及編碼器，其用於檢測杆的噴嘴移動方向上的位置，多個線性電動機以在與噴嘴移動方向正交的方向上排列的狀態且連結有噴嘴的杆的一端向外部露出的狀態、且以杆能夠分別在噴嘴移動方向上滑動的方式收納於一個外殼，
[0028]使移載頭在與噴嘴移動方向正交的方向上移動，並且藉助致動器使噴嘴在噴嘴移動方向上移動，由此來進行部件安裝。
[0029]發明效果
[0030]根據本發明，能夠縮小多個噴嘴的間距間隔而使移載頭小型化，由此使用移載頭的部件安裝能夠實現高速化。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0031]圖1是本發明的一實施方式的部件安裝裝置的移載頭的局部立體圖。
[0032]圖2是搭載於移載頭的狀態下的多個噴嘴單元的立體圖。
[0033]圖3A是第一噴嘴單元的立體圖。
[0034]圖3B是第一噴嘴單元的分解圖。
[0035]圖4A是第二噴嘴單元的立體圖。
[0036]圖4B是第二噴嘴單元的分解圖。
[0037]圖5是致動器單元的剖視圖。[0038]附圖標記說明如下:
[0039]10移載頭
[0040]12噴嘴
[0041]18線性電動機(致動器)
[0042]20外殼
[0043]24桿
[0044]26線圈
[0045]30編碼器
[0046]32磁鐵
【具體實施方式】
[0047]以下，參照【專利附圖】
【附圖說明】本發明的實施方式。
[0048]圖1是表示本發明的一實施方式的部件安裝裝置的移載頭的局部立體圖。
[0049]如圖1所示，移載頭10具有用於吸附並保持部件的多個噴嘴12。另外，移載頭10搭載於向基板等安裝部件的部件安裝裝置，並通過線性電動機等致動器(未圖示)沿著水平方向、即X軸方向以及Y軸方向(第三方向以及第二方向)移動。
[0050]在部件安裝裝置中，移載頭10利用噴嘴12來保持從供給帶等部件供給裝置(未圖示)供給來的部件，並使由噴嘴12保持的部件沿著水平方向移動以使其位於基板的規定的安裝位置的上方，使噴嘴12下降並將由該噴嘴12保持的部件安裝於基板的規定的安裝位置。
[0051]為了使噴嘴12下降，如圖1所示，移載頭10具有分別使多個噴嘴12沿著鉛垂方向、即Z軸方向(第一方向)移動的第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B。需要說明的是，本說明書中的附圖僅表示與本發明相關的構成要素。因而，附圖中並未示出移載頭10所必須的全部構成要素。
[0052]圖2是搭載於移載頭10的狀態下的多個第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B的立體圖。圖3A是第一噴嘴單元14A的立體圖，圖3B是第一噴嘴單元14A的分解圖。圖4A是第二噴嘴單元14B的立體圖，圖4B是第二噴嘴單元14B的分解圖。
[0053]如圖3A以及圖3B所示，第一噴嘴單元14A具有:噴嘴軸(第一噴嘴軸)16，其沿著Z軸方向(第一方向)延伸，且在Z軸方向的一端(下端)安裝有可裝卸的噴嘴12 ；以及致動器(第一致動器)18，其用於使噴嘴軸16沿著Z軸方向移動。
[0054]相同地，如圖4A和圖4B所示，第二噴嘴單元14B具備:噴嘴軸(第二噴嘴軸)16，其沿著Z軸方向(第一方向)延伸，且在一端(下端)安裝有可裝卸的噴嘴12 ;以及致動器(第二致動器)18，其用於使噴嘴軸16沿著Z軸方向移動。需要說明的是，在本實施方式的情況下，第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B各自的噴嘴軸16和致動器18均相同。
[0055]第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B各自的噴嘴軸16以能夠沿著Z軸方向(第一方向)移動的方式支承於移載頭10。
[0056]在本實施方式的情況下，第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B各自的致動器18為線性電動機，且 通過如圖1所示地收納於一個外殼20內而形成為一體(被保護)。由此，構成能夠使多個噴嘴12選擇性地沿著Z軸方向升降的致動器單元22。[0057]圖5是致動器單元22的剖視圖(與Z-X平面平行的剖面)。如圖3A?圖5所示，第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B的致動器18具有:杆24，其沿著噴嘴12移動的方向即Z軸方向延伸，且連結有噴嘴軸16(噴嘴12);線圈支架28，其包括用於使杆24沿著Z軸方向進退的線圈26 ;以及編碼器30，其用於檢測杆24的Z軸方向位置。
[0058]如圖5所示，致動器單元22 (即第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B)的致動器18各自的杆24具有呈沿著Z軸方向排列的狀態收納於杆24內部的多個磁鐵32。線圈支架28為圓筒形狀，且將圍繞著杆24的多個線圈26保持成沿著Z軸方向排列的狀態。通過控制在被線圈支架28保持的各線圈26中流通的電流，來控制收納有多個磁鐵32的杆24的Z軸方向位置。
[0059]用於檢測杆24的Z軸方向上的位置的編碼器30為線性編碼器，包括具備刻度的線性標尺34和通過讀取線性標尺34的刻度來檢測杆30的Z軸方向位置的杆位置檢測器件(未圖示)。編碼器30的線性標尺34被託架36保持，該託架36安裝在與安裝有噴嘴12的杆24的一端處於相反一側即杆24的另一端。編碼器30的杆位置檢測器件包括例如用於將光投射於線性標尺34的發光元件(未圖示)和用於接收來自線性標尺34的反射光的受光元件(未圖示)，且如圖1所示搭載於以與線性標尺34相對的方式配置的基板38上。需要說明的是，在本實施方式的情況下，多個致動器18的編碼器30的杆位置檢測器件搭載於共用的基板38。
[0060]如圖1和圖5所示，收納並保護多個致動器18的致動器單元22的外殼20具備沿Z軸方向排列的兩個空間40、42。兩個空間40、42為獨立的空間，在下側空間40內收納有致動器18的線圈支架28。另一方面，在上側空間42內收納有致動器18的編碼器30 (搭載有線性標尺34和杆位置檢測器件的基板38)。需要說明的是，如圖5所示，在分隔下側空間40和上側空間42的外殼20的隔壁20a形成有供致動器22的杆24通過的貫通孔20b。
[0061]通過將致動器18的線圈支架28收納於獨立的空間40內而將編碼器30收納於獨立的空間42內，編碼器30不易受到由線圈支架28保持的線圈26所產生的熱量的影響。其結果是，編碼器30能夠高精度地檢測出杆24的Z軸方向位置。
[0062]需要說明的是，為了冷卻線圈26(線圈支架28)，優選致動器單元22的外殼20具備用於使收納有線圈支架28的下側空間40與外部連通的開口 20c。由此，能夠使線圈26所產生的熱量向外部擴散，從而冷卻線圈26。在需要進一步冷卻線圈26的情況下，也可以將朝向線圈支架28輸送外部空氣的風扇(未圖示)安裝於外殼20的開口 20c。
[0063]如此，通過將用於使多個噴嘴軸16 (噴嘴12)沿Z軸方向(第一方向)升降的多個致動器(線性電動機)18收納於一個外殼20而形成為一體，與不使多個致動器18形成為一體而彼此獨立地設置於移載頭10的情況相比，能夠縮小移載頭10中的致動器18的佔有空間。此外，在將多個致動器(線性電動機)18分別獨立地設置於移載頭10的情況下，相對於各致動器18而言，需要用於保護其構成要素(例如編碼器30等)的外殼，即需要多個外殼。其結果是，因多個外殼而導致移載頭10中的致動器18的佔有空間增大。
[0064]另外，在將多個致動器(線性電動機)18收納於一個外殼20而形成為一體的情況下，與致動器18各自獨立地設置於移載頭10的情況相比，能夠縮小多個致動器18的杆24的水平方向(X軸方向以及Y軸方向)上的間距間隔。由此，能夠縮小與杆24連結的噴嘴軸16的水平方向上的間距間隔，其結果是，縮小多個噴嘴12的水平方向上的間距間隔。[0065]利用這樣的致動器單元22，移載頭10實現小型化(輕型化)，從而使高速移動成為可能，其結果是，使用移載頭10的部件安裝變得高速化。
[0066]這樣的致動器單元22的各致動器18的杆24的一端(設有編碼器30的一端的相反側的一端)以能夠沿著Z軸方向(第一方向)各自獨立地滑動動作的方式向外殼20的外部露出，並連結於噴嘴軸16的上端。
[0067]具體來說，如圖3A所示，第一噴嘴單元14A的致動器18的杆24藉助第一連結構件60而連結於噴嘴軸16。如圖3A所示，在第一噴嘴單元14A中，第一連結構件60構成為將噴嘴軸16與致動器18的杆24呈同軸狀地連結。
[0068]另一方面，如圖4A所示，第二噴嘴單元14B的致動器18的杆24藉助第二連結構件62而連結於噴嘴軸16。如圖4A所示，在第二噴嘴單元14B中，第二連結構件62構成為以向Y軸方向(第二方向)偏移的狀態將噴嘴軸16和致動器18的杆24連結起來。如此，通過使第二連結構件62的結構與第一連結構件60的結構不同，第一噴嘴單元14A與第二噴嘴單元14B不同。
[0069]對噴嘴軸16和致動器18的杆24在第一噴嘴單元14A中藉助第一連結構件60而呈同軸狀地連結、在第二噴嘴單元14B中藉助第二連結構件62以向Y軸方向偏移的狀態而連結的理由進行說明。
[0070]在使用移載頭10來安裝部件的部件安裝裝置中，為了進行高速的部件安裝，優選將多個噴嘴12搭載於移載頭10，並且將該多個噴嘴12沿著一個方向(X軸方向)而呈直線狀地排列成一列或者多列。
[0071]另外，為了使移載頭10沿著水平方向(X軸方向以及Y軸方向)高速移動，優選儘可能緊湊地構成移載頭10。因而，優選儘可能地縮小多個噴嘴12的列方向(X軸方向)上的間距間隔。
[0072]然而，如圖2所示，在噴嘴12的X軸方向(第三方向)上的尺寸比致動器18的X軸方向(第三方向)上的尺寸小，並且如第一噴嘴單元14A那樣將所有的噴嘴軸16與所有的致動器18的杆24呈同軸狀地連結的情況下，呈直線狀地沿著X軸方向排列的多個噴嘴12的X軸方向上的間距間隔由致動器18的X軸方向上的尺寸決定。即，噴嘴12的X軸方向上的間距間隔與位於噴嘴12的上方的致動器18的X軸方向上的間距間隔相同。因而，無法實現噴嘴12的X軸方向上的間距間隔較小的、緊湊的移載頭10。
[0073]因此，在本實施方式的情況下，如圖2所示，將噴嘴軸16與致動器18的杆24呈同軸狀地連結的第一噴嘴單元14A、和將噴嘴軸16與致動器18的杆24以沿Y軸方向(第二方向)偏移的狀態連結的第二噴嘴單元14B在X軸方向(第三方向)上交替排列。由此，實現了以儘可能地縮小X軸方向上的噴嘴12的間距間隔的狀態將多個噴嘴12沿著X軸方向呈直線狀地排列成兩列。
[0074]具體來說，如圖2所示，以在Y軸方向(第二方向)正側沿著X軸方向(第三方向)將多個噴嘴軸16呈直線狀地排列成一列的方式，將致動器18的杆24與噴嘴軸16呈同軸狀地連結的第一噴嘴單元14A和將致動器18的杆24與噴嘴軸16以致動器18的杆24相對於噴嘴軸16向Y軸方向(第二方向)正側偏移的狀態連結的第二噴嘴單元14B沿著X軸方向(第三方向)交替排列。
[0075]另一方面，以在Y軸方向(第二方向)負側沿著X軸方向(第三方向)將多個噴嘴軸16呈直線狀地排列成一列的方式，將致動器18的杆24與噴嘴軸16呈同軸狀地連結的第一噴嘴單元14A和將致動器18的杆24與噴嘴軸16以使致動器18的杆24相對於噴嘴軸16向Y軸方向(第二方向)負側偏移的狀態連結的第二噴嘴單元14B沿著X軸方向(第三方向)交替排列。
[0076]如此，當在各噴嘴列中沿著X軸方向(第三方向)呈直線狀地交替排列第一噴嘴單元14A的噴嘴軸16和第二噴嘴單元14B的噴嘴軸16時，如圖2所示，第一噴嘴單元14A的致動器18和第二噴嘴單元14B的致動器18在Z軸方向觀察(第一方向觀察)下呈交錯狀(之字狀)地配置。
[0077]具體來說，為了縮小多個噴嘴12的Y軸方向上的間距間隔，如圖2所示，在噴嘴12的上方且Y軸方向(第二方向)的內側，第一噴嘴單元14A的致動器18以朝向X軸方向(第三方向)的方式呈直線狀地排列成兩列，相對於該第一噴嘴單元14A的致動器18，在Y軸方向(第二方向)的兩方的外側，第二噴嘴單元14B的致動器18分別沿著X軸方向(第三方向)呈直線狀地排列成一列。另外，配置第二噴嘴單元14B的致動器18，使其在沿著Z軸方向(第一方向)觀察的情況下，與第一噴嘴單元14A的致動器18在各自的Y軸方向(第二方向)的外側重疊，並且在沿著偏移方向(Y軸方向)觀察的情況下，與第一噴嘴單元14A的致動器18重疊。
[0078]如此，通過沿著X軸方向(第三方向)交替地排列將噴嘴軸16與致動器18的杆24呈同軸狀地連結的第一噴嘴單元14A、和將噴嘴軸16與致動器18的杆24以向Y軸方向(第二方向)偏移的狀態連結的第二噴嘴單元14B，能夠在不被致動器18限制的情況下，以儘可能地縮小X軸方向上的噴嘴12的間距間隔的狀態或者儘可能地縮小沿著X軸方向(第三方向)排列成一列的致動器18的間隔的狀態將各個噴嘴12朝向X軸方向地呈直線狀地排列成兩列。由此，與僅沿著X軸方向呈直線狀地排列第一噴嘴單元14A的情況相比，能夠縮小多個噴嘴12的X軸方向上的間距間隔。另外，能夠縮小收納多個致動器18的致動器單元22的外殼20的X軸方向上的尺寸。其結果是，能夠使具有多個致動器18的移載頭10小型化，使用該移載頭10的部件安裝實現高速化。
[0079]需要說明的是，第一噴嘴單元14A的第一連結構件60和第二噴嘴單元14B的連結構件62也必然沿著X軸方向呈直線狀地排列成兩列。因而，為了儘可能地縮小噴嘴12的X軸方向上的間距間隔，也優選儘可能地縮小第一連結構件60和第二連結構件62各自的X軸方向上的尺寸。
[0080]在此，說明第一噴嘴單元14A的第一連結構件60和第二噴嘴單元14B的第二連結構件62。
[0081]如圖3A所示，在第一噴嘴單元14A中，第一連結構件60將噴嘴軸16和致動器18的杆24能夠裝卸地呈同軸狀連結。具體來說，如圖3B所示，第一連結構件60構成為固定於致動器18的杆24的致動器側連結部60a與固定於噴嘴軸16的噴嘴側連結部60b能夠在Y軸方向上分割。
[0082]例如，如圖3A和圖3B所示，在第一噴嘴單元14A中，第一連結構件60的致動器側連結部60a和噴嘴側連結部60b具備彼此能夠沿著Y軸方向卡合的形狀。另外，噴嘴側連結部60b例如被螺栓(未圖示)沿著Y軸方向固定於第一連結構件60的致動器側連結部60ao[0083]與第一噴嘴單元14A的第一連結構件60相同地，如圖4A所示，在第二噴嘴單元14B中，第二連結構件62將噴嘴軸16和致動器18的杆24以能夠裝卸且向Y軸方向偏移的狀態連結。具體來說，如圖4B所示，第二連結構件62構成為固定於致動器18的杆24的致動器側連結部62a與固定於噴嘴軸16的噴嘴側連結部62b能夠在Y軸方向上分割。
[0084]根據這樣的第一連結構件60和第二連結構件62，能夠分別在第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B中相對於致動器18的杆24而沿著Y軸方向裝卸噴嘴軸16。由此，例如，能夠在不與鄰接於第一噴嘴單元14A的X軸方向兩側的第二噴嘴單元14B發生幹涉的情況下裝卸第一噴嘴單元14A的噴嘴軸16。其結果是，使噴嘴12的更換變得容易。
[0085]需要說明的是，在本實施方式的情況下，如圖2所示，噴嘴12沿著X軸方向呈直線狀地排列成兩列。因而，與Y軸方向正側的噴嘴列相對應的第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B以能夠在Y軸方向正側卸下噴嘴軸16的姿態沿著X軸方向交替排列。另一方面，與Y軸方向負側的噴嘴列相對應的第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B以能夠在Y軸方向負側卸下噴嘴軸16的姿態沿著X軸方向交替排列。即，與Y軸方向正側的噴嘴列相對應的第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B的姿態和與Y軸方向負側的噴嘴列相對應的第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B的姿態彼此呈Z-X平面對稱。
[0086]另外，如圖3B和圖4B所示，優選第一噴嘴單元14A的第一連結構件60的噴嘴側連結部60b與第二噴嘴單元14B的第二連結構件62的噴嘴側連結部62b形狀相同。例如，在本實施方式的情況下，第一連結構件60的噴嘴側連結部60b與第二連結構件62的噴嘴側連結部62b為L字形狀的模塊。
[0087]由此，能夠將噴嘴12、噴嘴軸16以及噴嘴側連結部60b (62b)作為共用單元進行處理。由此，能夠在不區別第一噴嘴單元14A用或第二噴嘴單元14B用的情況下管理噴嘴軸16 (噴嘴12)。另外，由於能夠將噴嘴軸16安裝於第一噴嘴單元14A和第二噴嘴單元14B中的任一者，因此使得噴嘴12的更換簡單化。
[0088]進而，如上所述，在以相同形狀構成第一噴嘴單元14A的第一連結構件60的噴嘴側連結部60b與第二噴嘴單元14B的第二連結構件62的噴嘴側連結部62b的情況下，如圖2所示，優選將該噴嘴側連結部60b、62b以相同姿態沿著X軸方向呈直線狀地排列。即，為了能夠實現此結構，優選分別構成與噴嘴側連結部60b、60a卡合的致動器側連結部60a、62a。
[0089]由此，例如，能夠在不與在X軸方向兩側同第一噴嘴單元14A的第一連結構件60鄰接的第二噴嘴單元14B的第二連結構件62的噴嘴側連結部62b發生幹涉的情況下，相對於第一噴嘴單元14A的第一連結構件60的致動器側連結部60a而裝卸噴嘴側連結部60b。其結果是，能夠使噴嘴12的更換變得更加容易。
[0090]根據本實施方式，能夠通過縮小多個噴嘴12的水平方向(X軸方向以及Y軸方向)上的間距間隔而使移載頭小型化，由此，使用移載頭10的部件安裝能夠實現高速化。
[0091]以上，通過列舉上述實施方式而說明本發明，但是本發明並不限定於上述實施方式。
[0092]例如，在上述實施方式的情況下，多個噴嘴12以朝向X軸方向的方式呈直線狀地排列成兩列，但是本發明並不局限於此。例如，多個噴嘴12也可以朝向X軸方向呈直線狀地排列成一列。[0093]另外，在上述實施方式的情況下，如圖2所示，多個致動器(線性電動機)18在Z方向觀察下以配置為交錯狀的狀態收納於一個外殼20內，但是本發明並不局限於此。例如，也可以通過僅將第一噴嘴單元14A沿著X軸方向呈直線狀地排列成一列或多列而將沿著X軸方向呈直線狀地配置成一列或多列的致動器(線性電動機)18收納在一個外殼20內。廣義上說，只要本發明的線性電動機以沿著與噴嘴移動方向(例如Z軸方向)正交的方向(例如X軸方向)排列的狀態收納在一個外殼內即可。但是，在如上述實施方式那樣噴嘴較多的情況下，為了使移載頭小型化，優選多個線性電動機以在Z方向觀察下配置為交錯狀的方式收納在一個外殼內。
[0094]工業實用性
[0095]本發明能夠應用於將從上方吸附保持部件的多個噴嘴以呈直線狀地排列的狀態進行搭載的安裝頭。
【權利要求】
1.一種致動器，該致動器搭載於部件安裝裝置的移載頭，且用於使多個噴嘴沿著一個方向移動，其中， 所述致動器具有多個線性電動機，該線性電動機包括:杆，其在噴嘴沿著一個方向移動的噴嘴移動方向上延伸，以將多個磁鐵在噴嘴移動方向上排列的狀態具備多個磁鐵，且在一端連結有噴嘴；多個線圈，其以在噴嘴移動方向上排列的狀態配置，且分別圍繞著杆；以及編碼器，其用於檢測杆的噴嘴移動方向上的位置， 多個線性電動機以在與噴嘴移動方向正交的方向上排列的狀態且連結有噴嘴的杆的一端向外部露出的狀態、且以杆能夠分別在噴嘴移動方向上滑動的方式收納於一個外殼。
2.根據權利要求1所述的致動器，其中， 外殼具有用於收納各線性電動機的線圈的第一空間和與第一空間分離且用於收納各線性電動機的編碼器的第二空間。
3.根據權利要求2所述的致動器，其中， 連接外部與第一空間的開口形成於外殼。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的致動器，其中， 在沿著噴嘴移動方向觀察的情況下，多個線性電動機呈交錯狀地排列。
5.一種部件安裝裝置的移載頭，其中， 所述部件安裝裝置的移載頭具備權利要求1至4中任一項所述的致動器。
6.一種部件安裝裝置，其中， 所述部件安裝裝置具備權利要求5所述的移載頭。
7.一種部件安裝方法，該部件安裝方法通過使用吸附部件且沿著一個方向移動的多個噴嘴來進行部件安裝，其中， 準備具有致動器的移載頭，所述致動器具有多個線性電動機，該線性電動機包括:杆，其在噴嘴沿著一個方向移動的噴嘴移動方向上延伸，以將多個磁鐵在噴嘴移動方向上排列的狀態具備多個磁鐵，且在一端連結有噴嘴；多個線圈，其以在噴嘴移動方向上排列的狀態配置，且分別圍繞著杆；以及編碼器，其用於檢測杆的噴嘴移動方向上的位置，多個線性電動機以在與噴嘴移動方向正交的方向上排列的狀態且連結有噴嘴的杆的一端向外部露出的狀態、且以杆能夠分別在噴嘴移動方向上滑動的方式收納於一個外殼， 使移載頭在與噴嘴移動方向正交的方向上移動，並且藉助致動器使噴嘴在噴嘴移動方向上移動，由此來進行部件安裝。
【文檔編號】H05K13/02GK103997881SQ201410049598
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年2月13日 優先權日:2013年2月19日
【發明者】奧田修, 壁下朗, 大野英明, 深美尚樹 申請人:松下電器產業株式會社