擴散爐多重溫度控制裝置的製作方法

2023-05-07 14:13:11

專利名稱：擴散爐多重溫度控制裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能電池生產設備，尤其是一種用於太陽能電池擴散時使 用的擴散爐多重溫度控制裝置。
背景技術：
目前製作太陽能電池片的生產工藝主要包括清洗、制絨、擴散、刻蝕、去PSG、鍍膜、 印刷電極、燒結和分類檢測這幾道工序，其中擴散工藝的PN結是太陽能電池片轉化效率的 關鍵。所謂PN結就是在高溫作用下，磷原子擴散進入摻有硼的P型矽片時失去電子，形成 帶正電荷的區域，同時矽片表面薄層失去空穴，形成了帶負電荷的區域，這樣在N型區和P 型區交界面的兩側形成了帶正，負電荷的空間電荷區，也就是PN結。目前通用的擴散爐只配有外部熱電偶，只能監測爐管壁的溫度，無法監測爐管中 間參與擴散反應的實際溫度，而在生產過程中爐管壁的溫度低於擴散反應的溫度，且在外 部監控內部溫度，對溫度波動的感應產生延遲，造成擴散溫度無法及時精確的監測。擴散溫 度是擴散工藝的重大影響因素，這種不確定擴散時是否達到設定溫度的情況，對矽片、設備 和工藝環境都會有很大的不良影響。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種製作成本低，易於操作，並且精確監控 溫度的擴散爐多重溫度控制裝置本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是一種擴散爐多重溫度控制裝 置，具有溫控熱電偶和檢測熱電偶，所述的溫控熱電偶直接插入到擴散爐的內部，所述的檢 測熱電偶設置在擴散爐的爐壁外表面。進一步的說，為了保證擴散爐內溫度的穩定性和均勻性，使太陽能電池片在爐內 擴散完全，本實用新型所述的溫控熱電偶上有3個溫度設定點，分別對擴散爐內的前、中、 後三段區域進行溫度設定。本實用新型的有益效果是，解決了背景技術中存在的缺陷，利用溫控熱偶在擴散 爐內外進行溫度控制，插入擴散爐內部的溫控熱偶可直接設定溫度，直觀的調整工藝；外部 連接的檢測熱偶可測量擴散爐壁的溫度，宏觀的檢驗擴散爐的設定溫度是否達到，從而減 少因擴散溫度不穩定均勻而導致矽片返工的情況發生，從很大程度上保證了擴散工藝的穩 定進行，同時也提高了設備利用率。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的優選實施例的結構示意圖；圖中1、溫控熱電偶；2、探測區；3、檢測熱電偶；4、懸臂槳。
具體實施方式
現在結合附圖和優選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡 化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關 的構成。如圖1所示的一種擴散爐多重溫度控制裝置，具有溫控熱電偶1和檢測熱電偶3， 所述的溫控熱電偶1插入到擴散爐的內部，所述的檢測熱電偶3設置在擴散爐的爐壁外表面。所述的溫控電熱偶1在擴散爐內外進行溫度控制，通過插入擴散爐內部的電熱偶 可直接監測到實際穩定，從而設定擴散溫度，直觀的調整工藝，外部連接的檢測熱電偶3可 測量擴散爐壁的溫度，宏觀的檢驗擴散爐的設定溫度是否達到，從而減少因擴散溫度不穩 定均勻而導致矽片返工的情況發生，提高了設備利用率，同時作為一種保護措施，檢驗爐管 外部溫度是否符合安全生產的標準。以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式
，各種舉例說明不對本實用 新型的實質內容構成限制，所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明書後可以對以前所 述的具體實施方式
做修改或變形，而不背離實用新型的實質和範圍。
權利要求1.一種擴散爐多重溫度控制裝置，其特徵在於具有溫控熱電偶(1)和檢測熱電偶 (3)，所述的溫控熱電偶⑴插入到擴散爐的內部，所述的檢測熱電偶(3)設置在擴散爐的 爐壁外表面。
2.如權利要求1所述的擴散爐多重溫度控制裝置，其特徵在於所述的溫控熱電偶(1) 和檢測熱電偶C3)上均設置有3個溫度設定點，分別對擴散爐內的前、中、後三段區域進行 溫度設定。
專利摘要本實用新型涉及一種擴散爐多重溫度控制裝置，具有溫控熱電偶和檢測熱電偶，所述的溫控熱電偶插入到擴散爐的內部，所述的檢測熱電偶設置在擴散爐的爐壁外表面。利用溫控熱偶在擴散爐內外進行溫度控制，插入擴散爐內部的溫控熱偶可直接設定溫度，直觀的調整工藝；外部連接的檢測熱偶可測量擴散爐壁的溫度，宏觀的檢驗擴散爐的設定溫度是否達到，從而減少因擴散溫度不穩定均勻而導致矽片返工的情況發生，提高了設備利用率。
文檔編號H01L31/18GK201873778SQ201020634420
公開日2011年6月22日 申請日期2010年11月30日 優先權日2010年11月30日
發明者吳文, 陳劍鋒 申請人:江蘇順風光電科技有限公司