一種用掃描蒸鍍制膜設備的製作方法
2023-04-29 21:49:46
專利名稱：一種用掃描蒸鍍制膜設備的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於一種用掃描蒸鍍制膜設備。
背景技術：
薄膜光伏電池，包括CIGS光伏電池可替代單晶矽材料用作太陽能發電，晶體矽材 料作為光伏發電材料價格昂貴，製作難度大，成本高，難以推廣使用。最新的科學顯示可以 用在玻璃或其他材料的基板上用電子槍蒸鍍方法鍍數層金屬和非金屬薄膜來替代晶體矽 材料用作太陽能發電，這種新材料價格低廉，利於推廣使用。用電子槍蒸鍍方法鍍數層金屬 薄膜在基板上，要求薄膜必須厚度均勻，但目前的設備難以達到這樣的要求。傳統的電子槍 蒸鍍設備包括一個真空腔體，真空腔體內下端固定設置若干個電子槍，待鍍的基板置於電 子槍上端，完成電子槍蒸鍍制膜。這種傳統的設備不能保證基板上薄膜厚度的均勻，往往造 成靠近電子槍的基板上薄膜厚，反之，則薄。而薄膜厚度的不均勻使玻璃基板光電轉換率大 幅下降，質量一致性差，難以在市場上推廣使用。
發明內容本實用新型的目的是設計一種用掃描蒸鍍制膜設備，使電子槍在移動狀態下進行 噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質量好，價格低，可大幅度提高基板光電轉換率，大幅延長其 使用壽命的優點。 為此，本實用新型採用電子槍位於擺動裝置上，電子槍在移動狀態下進行噴鍍。所 述的擺動裝置是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空腔體內，掃描 支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T 字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤 下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、減速器、傳送 輪、傳送帶和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位於掃 描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過減 速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。 所述的擺動裝置是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空 腔體內，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺 盤，呈中空T字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側；傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、 減速器、傳送輪、傳送帶所構成，傳動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃 描支架轉動。 所述的擺動裝置是掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位於真空腔體內其上設 有擺盤，位於真空腔體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管軸接，掃描支架另一 端位於真空腔體外並與直線導軌滑配，位於真空腔體外的掃描支架側端與滾珠絲杆螺接； 擺盤，呈中空T字形，位於真空腔體內的掃描支架內側上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密 封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍。
3[0007] 所述的擺動裝置是掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位於真空腔體內其上設 有擺盤，位於真空腔體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管軸接，掃描支架另一 端位於真空腔體外並與直線導軌滑配，位於真空腔體外的掃描支架側端與滾珠絲杆螺接； 擺盤，呈中空T字形，位於真空腔體內的掃描支架內側上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密 封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的 電機、電機輪、傳送帶、傳送輪、受傳送輪帶動的滾珠絲杆和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送 帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位於掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送 帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動的滾珠絲 杆帶動掃描支架左右移動。上述結構設計達到了本實用新型的目的。 本實用新型的優點使電子槍在移動狀態下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質量 好，價格低，可大幅度提高基板光電轉換率，經本實用新型蒸鍍的基板光電轉換率較高，並 大幅延長其使用壽命，利於在市場上推廣使用。
圖1是本實用新型的結構示意圖 圖2是圖1的A-A剖面局部結構示意圖 圖3是本實用新型的結構示意圖 圖4是圖3的A-A剖面局部結構示意圖 圖5是本實用新型的使用狀態結構示意圖 圖6是本實用新型的另一實施例結構示意圖
具體實施方案 如圖1至圖6所示，一種用掃描蒸鍍制膜設備，主要由多個電子槍7，機架1和真空
腔體2所組成。電子槍位於擺動裝置上，電子槍在移動狀態下進行噴鍍。 如圖1和圖2所示，所述的擺動裝置由掃描支架、擺盤和傳動裝置構成。該裝置為
掃描支架、擺盤均旋轉擺動。 掃描支架3，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空腔體內，掃描支架與 真空腔體之間通過磁流體16密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪13。掃描支架上端的 真空腔體內設有加熱器9，用於保障真空腔體內的蒸鍍溫度。位於真空腔體內上端兩側的基 板框8，用於夾持基板10並受位於真空腔體外的輸送軸11傳動，輸送軸由電機帶動。 擺盤6，呈中空T字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架通過磁 流體12密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪15，擺盤上端設有電子槍。位於掃描支架的上 端兩側的擺盤為兩個擺盤，每個擺盤上設一個或數個電子槍。 傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機20、減速器19、傳送輪、傳送帶14和傳動擺盤 的電機5、傳送輪4和傳送帶。傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位於掃描支架內。傳動擺 盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪15，每個擺盤下端各設一組傳動擺盤的裝置。傳 動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。在真空腔體下端的支 架上還設有電子槍電源盒18，其內的電子槍電源通過電子槍導線17與擺盤上的電子槍連 接。支架用於支撐真空腔體。[0020] 所述的電子槍的數量為一個或數個，電子槍位於擺盤上端。所述的擺盤呈正反 90° 180°範周內轉動。所述的掃描支架呈正反90。 180°範周內轉動。所述的位於 擺盤上的電子槍呈十字分布。 如圖3和圖4所示，該結構與如圖1和圖2所示結構不同的是在掃描支架的大帶 輪下端設有一個電刷滑環21，以方便各電子槍電源通過各電子槍導線與擺盤上的電子槍連 接。顯然在每個擺盤的擺盤輪下端亦可設有一個電刷滑環，以方便各電子槍電源通過各電 子槍導線與擺盤上的電子槍連接。這樣亦可使掃描支架和擺盤在任意範周內轉動。其餘結 構相同，故不再累述。 如圖5所示，是本實用新型的使用狀態結構示意圖，在真空腔體內，可根據需要在 掃描支架一端設一個擺盤裝置。 使用時，傳動裝置帶動掃描支架呈正反90。 180°範周內轉動，同時使擺盤呈 正反90° 180°範周內轉動，使其上的數個電子槍亦移動，電子槍在移動狀態下進行噴 鍍，保證了噴鍍膜的均勻性。 顯然，在上述實施例中掃描支架、擺盤均旋轉擺動。在上述實施例中可令掃描支架 擺動，而擺盤固定不轉；或反之。噴鍍膜的均勻性效果相同。 如掃描支架擺動，而擺盤固定不轉時，採用 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空腔體內，掃描支架與 真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪； 擺盤，呈中空T字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤固定在掃描支架的 上端兩側； 傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構成，傳動掃描支架 的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。其餘結構相同，故不再累述。 亦可去掉擺盤裝置及相關的傳動裝置，多個電子槍直接固定在掃描支架兩端，擺 動的掃描支架配合移動的玻璃基板亦可達到噴鍍膜均勻的目的。故不再累述。 或如掃描支架固定不轉，而擺盤擺動時，採用 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空腔體內，掃描支架固 定在真空腔體內； 擺盤，呈中空T字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架通過磁 流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍； 傳動裝置，由傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶所構成，傳動擺盤的電機、傳送輪 和傳送帶位於掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪。其餘結構相 同，故不再累述。 如圖6所示，所述的擺動裝置還可以包括掃描支架、擺盤和傳動裝置。該裝置為橫 向左右擺動。 掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位於真空腔體內其上設有擺盤，位於真空腔 體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管28軸接。掃描支架另一端位於真空腔體 外並與直線導軌22滑配。位於真空腔體外的掃描支架側端與滾珠絲杆26螺接。 擺盤，呈中空T字形，位於真空腔體內的掃描支架內側上端，擺盤與掃描支架通過 磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍。
5[0037] 傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機23、電機輪24、傳送帶25、傳送輪27、受傳送
輪帶動的滾珠絲杆和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶。傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶
位於掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪。傳動掃描支架的電機
通過電機輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動的滾珠絲杆帶動掃描支架左右移動。 使用時，傳動裝置帶動掃描支架在直線導軌上橫向左右擺動，同時使擺盤呈正反
90° 180°範周內轉動，使其上的數個電子槍亦移動，電子槍在移動狀態下進行噴鍍，保
證了噴鍍膜的均勻性。 總之，本實用新型使電子槍在移動狀態下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質量 好，價格低，可大幅度提高基板光電轉換率，經本實用新型蒸鍍的基板光電轉換率較高，並 大幅延長其使用壽命，利於在市場上推廣使用。
權利要求一種用掃描蒸鍍制膜設備，主要由多個電子槍、機架和真空腔體所組成，其特徵在於電子槍位於擺動裝置上，電子槍在移動狀態下進行噴鍍。
2. 按權利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特徵在於所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空腔體內，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架通過磁流體 密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶和傳動擺盤的電機、傳送 輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位於掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送 輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架 轉動。
3. 按權利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特徵在於所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空腔體內，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪； 擺盤，呈中空T字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側；傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構成，傳動掃描支架的電 機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。
4. 按權利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特徵在於所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位於真空腔體內； 擺盤，呈中空T字形，位於呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，由傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶所構成，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳 送帶位於掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪。
5. 按權利要求1所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特徵在於所述的擺動裝置是 掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位於真空腔體內其上設有擺盤，位於真空腔體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管軸接，掃描支架另一端位於真空腔體外並與直 線導軌滑配，位於真空腔體外的掃描支架側端與滾珠絲杆螺接；擺盤，呈中空T字形，位於真空腔體內的掃描支架內側上端，擺盤與掃描支架通過磁流 體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、電機輪、傳送帶、傳送輪、受傳送輪帶動的滾珠 絲杆和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位於掃描支架 內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳 送帶、傳送輪和受傳送輪帶動的滾珠絲杆帶動掃描支架左右移動。
6. 按權利要求2或3或4或5所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特徵在於所述的 電子槍的數量為一個或數個，電子槍位於擺盤上端。
7. 按權利要求2或3或4或5所述的一種用掃描蒸鍍制膜設備，其特徵在於所述的 位於擺盤上的電子槍呈十字分布。
專利摘要本實用新型屬於一種用掃描蒸鍍制膜設備，採用電子槍位於擺動裝置上，電子槍在移動狀態下進行噴鍍。本實用新型使電子槍在移動狀態下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質量好，價格低，可大幅度提高基板光電轉換率，大幅延長其使用壽命的優點。
文檔編號C23C14/30GK201459232SQ20092010915
公開日2010年5月12日 申請日期2009年6月22日 優先權日2009年6月22日
發明者馮煥培, 王軍, 黎志欣 申請人:北京京運通科技股份有限公司