一種超細鋁合金導體及其製備方法與流程
2023-04-26 11:01:41 2
本發明屬於金屬材料領域，涉及一種鋁合金導體及其製備方法，尤其涉及一種超細鋁合金導體及其製備方法。
背景技術：
鍵合絲常用於連接如射頻功率電晶體等微電子器件的晶片，是半導體分立器件和集成電路封裝必須的基礎材料，廣泛應用於半導體分立器件(電晶體、二極體、三極體、發光二極體、LED等)和集成電路的封裝。
作為晶片與框架之間的引線，為實現穩定、可靠的連接，鍵合絲須具備以下主要特性：鍵合絲應具有較大的單位體積導電率，焊接點電阻應儘量小，焊接點在晶片和晶片中所佔用的空間和焊接所需要的間隙也應儘量小；鍵合絲應具有良好的強度、延展性和抗蠕變特性、焊接性能和抗腐蝕性能。
現有鍵合絲主要有金絲、銅絲和鋁絲三種。
金絲化學性能穩定；焊性能好，鍵合工藝簡單，但是其機械性能差，在高端封裝日趨高密度、小體積的情況下，易出現歪絲、塌絲等問題。耐溫度衝擊性能差，且對表面清潔度很敏感，溫度高時，會由於硬而脆的金鋁中間相化合物發生合金裂化的問題引起脫鍵，易造成元件劣化；同時高昂的價格大幅提高了封裝成本。
銅絲的導電性能和導熱性能好；Cu/Al金屬間化合物的生長速率也比Au/Al金屬間化合物的生長速率慢很多，由金屬間化合物生長引起的焊點失效等可靠性問題較輕，但是Cu-Al合金層的生長會從下部切開鍵合點導致線斷裂。銅絲硬度高，需要很高的焊接力，在配合過程中易對晶片形成損傷；在形球過程中銅球表面易形成銅氧化物，氧化後焊接難度大；在塑料封裝中銅鋁連接處於潮溼的空氣中有腐蝕傾向，在封裝後銅絲易收到塑料材料中滷化物的腐蝕。
鋁絲所用鋁材料成本低、價格低廉、資源豐富；採用焊法可在常溫下鍵合，對元件熱影響小；與裸晶片鋁膜電極鍵合是形成Al-Al系統，無金屬間化合物和腐蝕問題；但是鋁絲在大功率器件和焊接面積較小的區域不能滿足要求，且生產效率低、成品率低。
集成電路及半導體器件向封裝多引線化、高集成度和小型化發展，因此要求採用線徑更細、電學性能更好的鍵合絲進行窄間距、長距離的鍵合，研製同時具有優良導電性能、焊接性能、機械性能、耐腐蝕性能、抗蠕變性能和裝配性能的超細鍵合絲意義重大。
在本發明完成之前，尚未見到用與本發明製備方法相同的超細鋁合金導體產品，也未見到有與本發明相同的超細鋁合金導體的製備方法在文獻中有記載。
技術實現要素：
為了克服現有技術的不足，本發明旨在提供一種超細鋁合金導體以及超細鋁合金導體的製備方法。
本發明的實施例的具體設計思路如下：採用多元素進行合金化，形成多組元共同作用的鋁合金成分配比體系；進行鋁中間合金顆粒化製備添加，綜合運用高溫快速熔鋁、電磁攪拌、在線精煉等技術，實現鋁中間合金的快速熔化、合金化元素均勻分布；對結晶器分區加熱，並在結晶器中加裝電磁裝置來驅動鋁合金熔體產生渦流，實現震蕩細化晶核和晶粒，快速形成具有軸向連續柱狀晶粒組織的坯料，採用連鑄連軋法製得鋁合金杆；通過多道次大變形量的拉制與熱處理工藝，使合金組織中晶粒取向沿成型方向高度集中，在成型方向上形成織構；Sc、Ce等元素吸附其它合金元素，形成複合析出相，降低各元素在鋁中的固溶度。生成的納米級複合第二相與鋁基體高度共格，沿導體長度方向均勻彌散分布，在大量高彌散分布的納米第二相的作用下，可以顯著細化晶粒，抑制再結晶，減小晶界與晶內的電極電位差，提高合金強度，改善塑性和耐腐蝕性能，並同時提高蠕變門檻應力值，顯著提高鋁合金導體的抗蠕變性能。採用Sc和Ce元素，細化焊接熔化區的晶粒和化合物，抑制熱影響區的再結晶，使其由基體的亞晶組織直接過渡到焊接處的鑄態區，使本應具有再結晶組織的焊接過渡區或熱影響區不具有再結晶組織，顯著降低鋁合金導體的熱裂縫敏感性，提高鋁合金可焊性與焊縫強度以及抗應力腐蝕性。由於合金元素以納米尺度第二相分布，而非固溶在鋁晶格中，顯著降低由於合金元素的加入而引起的鋁晶格畸變，顯著降低了晶格缺陷對電子的散射。同時納米級的第二相彌散分布基本不會降低鋁的有效導電截面。獲得耐腐蝕性能優異、蠕變抗力大，並且在長度方向上具有優異的強度和導電性能的鋁合金導體。
根據本發明的一方面，一種超細鋁合金導體，所述鋁合金導體按重量百分比包含如下元素：鐵Fe 0.13％-0.60％，矽Si 0.10％-0.50％，銅Cu 0.16％-0.40％，鈧Sc 0.001％-0.5％，鈰Ce 0.001％-0.15％，鎂Mg 0.01％-0.1％，硼B 0.001％-0.04％，餘量為鋁Al。
根據本發明的示例性實施例，所述超細鋁合金導體的直徑為0.005mm-0.08mm；所述超細鋁合金導體的強度為150MPa-250MPa，延伸率≥2.5％，導電率≥61.5％IACS。
根據本發明的另一方面，一種超細鋁合金導體的製備方法，包括：
步驟一：鋁中間顆粒製備
將鋁中間合金錠熔化，連鑄得到鋁中間合金杆，然後切斷製成直徑為8mm-12mm、長度為30mm的圓柱體顆粒，顆粒重量為6g-14g；
步驟二：配料
按重量百分比：鐵Fe 0.13％-0.60％，矽Si 0.10％-0.50％，銅Cu 0.16％-0.40％，鈧Sc 0.001％-0.5％，鈰Ce 0.001％-0.15％，鎂Mg 0.01％-0.1％，硼B 0.001％-0.04％，餘量為鋁Al，進行配料，以製備鋁錠和鋁中間合金顆粒；
步驟三：鋁錠快速熔化
採用快速熔鋁子母爐，利用1200℃的高溫爐氣和前爐鋁熔體浸沒所述鋁錠，實現快速熔化，得到750℃鋁熔體；
步驟四：保溫、精煉
轉移所述鋁熔體至傾動式保溫爐，電磁攪拌處理10min-12min；然後靜置30min，除渣並將鋁熔體升溫至780℃；
步驟五：合金化
採用氣動加料射槍將中間合金顆粒均勻射到保溫爐內鋁熔體中，實現鋁中間合金的快速熔化和均勻分布；對保溫爐中鋁熔體保溫30min，進行電磁攪拌10min-12min；利用在線式精煉爐進行精煉處理，除渣處理；靜置20min；
步驟六：澆注
採用120目超細剛玉過濾板對在線式精煉爐處理後的鋁合金熔體進行過濾，去除直徑10μm以上的雜質，並使其使流入上澆包，通過流量控制器後流入下澆包；
步驟七：定向凝固
長方體結晶器的外部設有2個電磁線圈，覆蓋結晶器外圍；結晶器的入口、中部、出口處分別安裝3個環狀冷卻器和測溫儀，控制結晶器軸向溫度分布為：入口處655℃-665℃，中間640℃-650℃，出口600℃-630℃，對鋁合金熔體定向凝固；
步驟八：連鑄連軋
連鑄，連鑄溫度為655℃-665℃，連鑄錠溫度為450℃-500℃；在線加熱：鑄錠溫度480-520℃；連軋，粗軋溫度為460℃-500℃，終軋溫度290℃-320℃；得到Φ9.5mm的鋁合金杆；
步驟九：粗拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將軋製得到的杆材拉製成直徑為0.9mm-1.8mm的鋁合金線；
步驟十：中拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將1.8mm的鋁合金線拉製成0.5mm-0.8mm的鋁合金線；
步驟十一：熱處理
在真空狀態下對0.5mm-0.8mm的鋁合金線進行熱處理，熱處理溫度為350℃，熱處理時間為2.5h；
步驟十二：小拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將熱處理後的鋁合金線拉製成直徑為0.15mm的鋁合金細線；
步驟十三：精拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將直徑為0.15mm的鋁合金線拉製成直徑為0.005mm-0.08mm的鋁合金導體。
與現有技術相比，本發明的超細鋁合金導體在成型方向上具有高密度絲織構，從而具有優異的導電性能和機械性能；通過合金化元素細化焊接區域組織的晶粒，顯著降低鋁合金導體的熱裂縫敏感性，提高鋁合金可焊性與焊縫強度以及抗應力腐蝕性，同時降低焊接點的電阻；利用大量高彌散分布的、與鋁基體高度共格納米第二相，顯著細化晶粒，抑制再結晶，提高蠕變門檻應力值，顯著提高鋁合金導體的抗蠕變性能，從而顯著增加其鍵合可靠性，大幅提高其服役壽命；根據本發明實施例的超細鋁合金導體，其直徑可達0.005mm，顯著降低鍵合絲在微電子器件內的佔用空間，大幅降低鍵合絲引起的重量增加，同時大幅降低鍵合和封裝成本。
具體實施方式
為使本發明技術方案和優點更加清楚，通過以下幾個具體實施例對本發明作進一步詳細描述。顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。
實施例1：
超細鋁合金導體的製備過程如下：
步驟一：鋁中間顆粒製備
將鋁中間合金錠熔化，連鑄得到鋁中間合金杆，然後切斷製成直徑為8mm-12mm、長度為30mm的圓柱體顆粒，顆粒重量為6g-14g；
步驟二：配料
按重量百分比：鐵Fe 0.13％，矽Si 0.2％，銅Cu 0.16％，鈧Sc 0.001％，鈰Ce 0.001％，鎂Mg 0.05％，硼B 0.001％，餘量為鋁Al，進行配料，製備鋁錠和鋁中間合金顆粒；
步驟三：鋁錠快速熔化
採用快速熔鋁子母爐，利用1200℃的高溫爐氣和前爐鋁熔體浸沒所述鋁錠，實現快速熔化，得到750℃鋁熔體；
步驟四：保溫、精煉
轉移所述鋁熔體至傾動式保溫爐，電磁攪拌處理10min；靜置30min，除渣並將鋁熔體升溫至780℃；
步驟五：合金化
採用氣動加料射槍將中間合金顆粒均勻射到爐內鋁熔體中，實現鋁中間合金的快速熔化和均勻分布；對保溫爐中熔體保溫30min，進行電磁攪拌10min；精煉處理，除渣處理；靜置20min；
步驟六：澆注
採用120目超細剛玉過濾板對在線式精煉爐處理後的鋁合金熔體進行過濾，去除直徑10μm以上的雜質，並使其使流入上澆包，通過流量控制器後流入下澆包；
步驟七：定向凝固
長方體結晶器的外部設有2個電磁線圈，覆蓋結晶器外圍；結晶器的入口、中部、出口處分別安裝3個環狀冷卻器和測溫儀，控制結晶器軸向溫度分布為：入口處655℃，中間640℃，出口600℃。
步驟八：連鑄連軋
連鑄，連鑄溫度為655℃，連鑄錠溫度為450℃；在線加熱：鑄錠溫度480℃；連軋，粗軋溫度為460℃，終軋溫度290℃；得到Φ9.5mm的鋁合金杆；
步驟九：粗拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將軋製得到的杆材拉製成直徑為1.8mm的鋁合金線；
步驟十：中拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將1.8mm的鋁合金線拉製成0.8mm的鋁合金線；
步驟十一：熱處理
在真空狀態下對0.8mm的鋁合金線進行熱處理，熱處理溫度為350℃，熱處理時間為2.5h；
步驟十二：小拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將熱處理後的鋁合金線拉製成直徑為0.15mm的鋁合金細線；
步驟十三：精拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將0.15mm的鋁合金線拉製成0.02mm的鋁合金導體。
根據本實施例製得的0.02mm的鋁合金導體，抗拉強度為150MPa，延伸率為3％，導電率為62.5％IACS。
實施例2：
超細鋁合金導體的製備過程如下：
步驟一：鋁中間顆粒製備
將鋁中間合金錠熔化，連鑄得到鋁中間合金杆，然後切斷製成直徑為8mm-12mm、長度為30mm的圓柱體顆粒，顆粒重量為6g-14g；
步驟二：配料
按重量百分比：鐵Fe 0.32％，矽Si 0.3％，銅Cu 0.32％，鈧Sc 0.1％，鈰Ce 0.008％，鎂Mg 0.1％，硼B 0.005％，餘量為鋁Al，進行配料，製備鋁錠和鋁中間合金顆粒；
步驟三：鋁錠快速熔化
採用快速熔鋁子母爐，利用1200℃的高溫爐氣和前爐鋁熔體浸沒所述鋁錠，實現快速熔化，得到750℃鋁熔體；
步驟四：保溫、精煉
轉移所述鋁熔體至傾動式保溫爐，電磁攪拌處理12min；靜置30min，除渣並將鋁熔體升溫至780℃；
步驟五：合金化
採用氣動加料射槍將中間合金顆粒均勻射到爐內鋁熔體中，實現鋁中間合金的快速熔化和均勻分布；對保溫爐中熔體保溫30min，進行電磁攪拌12min；精煉處理，除渣處理；靜置20min；
步驟六：澆注
採用120目超細剛玉過濾板對在線式精煉爐處理後的鋁合金熔體進行過濾，去除直徑10μm以上的雜質，並使其使流入上澆包，通過流量控制器後流入下澆包；
步驟七：定向凝固
長方體結晶器的外部有2個電磁線圈，覆蓋結晶器外圍；結晶器的入口、中部、出口處分別安裝3個環狀冷卻器和測溫儀，控制結晶器軸向溫度分布為：入口處655℃，中間640℃，出口610℃。
步驟八：連鑄連軋
連鑄，連鑄溫度為655℃，連鑄錠溫度為465℃；在線加熱：鑄錠溫度490℃；連軋，粗軋溫度為470℃，終軋溫度295℃；得到Φ9.5mm的鋁合金杆；
步驟九：粗拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將軋製得到的杆材拉製成直徑為1.5mm的鋁合金線；
步驟十：中拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將1.5mm的鋁合金線拉製成0.7mm的鋁合金線；
步驟十一：熱處理
在真空狀態下對0.7mm的鋁合金線進行熱處理，熱處理溫度為350℃，熱處理時間為2.5h；
步驟十二：小拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將熱處理後的鋁合金線拉製成直徑為0.15mm的鋁合金細線；
步驟十三：精拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將0.15mm的鋁合金線拉製成0.01mm的鋁合金導體。
根據本實施例製得的0.01mm的鋁合金導體，抗拉強度為180MPa，延伸率為3.5％，導電率為62.5％IACS。
實施例3：
超細鋁合金導體的製備過程如下：
步驟一：鋁中間顆粒製備
將鋁中間合金錠熔化，連鑄得到鋁中間合金杆，然後切斷製成直徑為8mm-12mm、長度為30mm的圓柱體顆粒，顆粒重量為6g-14g；
步驟二：配料
按重量百分比：鐵Fe 0.25％，矽Si 0.10％，銅Cu 0.22％，鈧Sc 0.002％，鈰Ce 0.002％，鎂Mg 0.02％，硼B 0.001％，餘量為鋁Al，進行配料，製備鋁錠和鋁中間合金顆粒；
步驟三：鋁錠快速熔化
採用快速熔鋁子母爐，利用1200℃的高溫爐氣和前爐鋁熔體浸沒所述鋁錠，實現快速熔化，得到750℃鋁熔體；
步驟四：保溫、精煉
轉移所述鋁熔體至傾動式保溫爐，電磁攪拌處理10min；靜置30min，除渣並將鋁熔體升溫至780℃；
步驟五：合金化
採用氣動加料射槍將中間合金顆粒均勻射到爐內鋁熔體中，實現鋁中間合金的快速熔化和均勻分布；對保溫爐中熔體保溫30min，進行電磁攪拌10min；精煉處理，除渣處理；靜置20min；
步驟六：澆注
採用120目超細剛玉過濾板對在線式精煉爐處理後的鋁合金熔體進行過濾，去除直徑10μm以上的雜質，並使其使流入上澆包，通過流量控制器後流入下澆包；
步驟七：定向凝固
長方體結晶器的外部有2個電磁線圈，覆蓋結晶器外圍；結晶器的入口、中部、出口處分別安裝3個環狀冷卻器和測溫儀，控制結晶器軸向溫度分布為：入口處660℃，中間645℃，出口600℃。
步驟八：連鑄連軋
連鑄，連鑄溫度為660℃，連鑄錠溫度為475℃；在線加熱：鑄錠溫度500℃；連軋，粗軋溫度為480℃，終軋溫度300℃；得到Φ9.5mm的鋁合金杆；
步驟九：粗拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將軋製得到的杆材拉製成直徑為0.9mm的鋁合金線；
步驟十：中拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將0.9mm的鋁合金線拉製成0.5mm的鋁合金線；
步驟十一：熱處理
在真空狀態下對0.5mm的鋁合金線進行熱處理，熱處理溫度為350℃，熱處理時間為2.5h；
步驟十二：小拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將熱處理後的鋁合金線拉製成直徑為0.15mm的鋁合金細線；
步驟十三：精拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將0.15mm的鋁合金線拉製成0.005mm的鋁合金導體。
根據本實施例製得的0.01mm的鋁合金導體，抗拉強度為230MPa，延伸率為3.5％，導電率為62.8％IACS。
實施例4：
超細鋁合金導體的製備過程如下：
步驟一：鋁中間顆粒製備
將鋁中間合金錠熔化，連鑄得到鋁中間合金杆，然後切斷製成直徑為8mm-12mm、長度為30mm的圓柱體顆粒，顆粒重量為6g-14g；
步驟二：配料
按重量百分比：鐵Fe 0.60％，矽Si 0.3％，銅Cu 0.32％，鈧Sc 0.1％，鈰Ce 0.008％，鎂Mg 0.1％，硼B 0.005％，餘量為鋁Al，進行配料，製備鋁錠和鋁中間合金顆粒；
步驟三：鋁錠快速熔化
採用快速熔鋁子母爐，利用1200℃的高溫爐氣和前爐鋁熔體浸沒所述鋁錠，實現快速熔化，得到750℃鋁熔體；
步驟四：保溫、精煉
轉移所述鋁熔體至傾動式保溫爐，電磁攪拌處理10min；靜置30min，除渣並將鋁熔體升溫至780℃；
步驟五：合金化
採用氣動加料射槍將中間合金顆粒均勻射到爐內鋁熔體中，實現鋁中間合金的快速熔化和均勻分布；對保溫爐中熔體保溫30min，進行電磁攪拌10min；精煉處理，除渣處理；靜置20min；
步驟六：澆注
採用120目超細剛玉過濾板對在線式精煉爐處理後的鋁合金熔體進行過濾，去除直徑10μm以上的雜質，並使其使流入上澆包，通過流量控制器後流入下澆包；
步驟七：定向凝固
長方體結晶器的外部設有2個電磁線圈，覆蓋結晶器外圍；結晶器的入口、中部、出口處分別安裝3個環狀冷卻器和測溫儀，控制結晶器軸向溫度分布為：入口處665℃，中間640℃，出口620℃。
步驟八：連鑄連軋
連鑄，連鑄溫度為665℃，連鑄錠溫度為500℃；在線加熱：鑄錠溫度520℃；連軋，粗軋溫度為500℃，終軋溫度20℃；得到Φ9.5mm的鋁合金杆；
步驟九：粗拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將軋製得到的杆材拉製成直徑為1.2mm的鋁合金線；
步驟十：中拉制
採用碳化物鍍層拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將1.8mm的鋁合金線拉製成0.6mm的鋁合金線；
步驟十一：熱處理
在真空狀態下對0.6mm的鋁合金線進行熱處理，熱處理溫度為350℃，熱處理時間為2.5h；
步驟十二：小拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將熱處理後的鋁合金線拉製成直徑為0.15mm的鋁合金細線；
步驟十三：精拉制
採用金剛石拉絲模具，模具的潤滑油入口處採用高壓噴射潤滑油，潤滑油採用壓力過濾器，過濾潤滑油中的直徑在5μm以上的鋁顆粒；將0.15mm的鋁合金線拉製成0.01mm的鋁合金線。
根據本實施例製得的0.01mm的鋁合金導體，抗拉強度為250MPa，延伸率為2.5％，導電率為61.5％IACS。
以上所述的具體實施方式，對本發明的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本發明的具體實施方式而已，並不用於限定本發明的保護範圍，凡在本發明的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。