一種二氧化錫透明導電薄膜的製備方法與流程
2023-04-26 16:05:16
本發明涉及導電薄膜領域,具體涉及一種二氧化錫透明導電薄膜的製備方法。
背景技術:
近些年透明導電氧化物薄膜一直是光電領域的熱點,其中ITO薄膜是目前研究和應用最廣泛的透明導電氧化物(TCO)薄膜,因其良好的光電特性而被廣泛應用於各種光電器件,但因原材料價格昂貴、銦資源稀少且對環境造成汙染,從而限制了它的發展和應用。
SnO2是一種對可見光透明的寬帶隙氧化物半導體,禁帶寬度3.7-4.0eV,具有正四面體金紅石結構。在摻了氟之後,SnO2薄膜具有對可見光透光性好、紫外吸收係數大、電阻率低、化學性能穩定以及室溫下抗酸鹼能力強等優點。目前製備SnO2透明導電玻璃製備的主要方法為摻F的SnO2薄膜,簡稱FTO。FTO導電玻璃為摻雜氟的SnO2透明導電玻璃(SnO2:F),簡稱為FTO。FTO玻璃被作為ITO導電玻璃的替換用品被開發利用,可被廣泛用於液晶顯示屏,光催化,薄膜太陽能電池基底、染料敏化太陽能電池、電致變色玻璃等領域。
目前FTO鍍膜玻璃生產方式主要有兩種:化學氣相沉積法(APCVD)和磁控濺射法(PVD)。由於需要摻雜F原子,因此普通的磁控濺射製備FTO,需要進行一定的改造以滿足摻雜F原子所帶來的安全隱患、設備腐蝕等問題。
技術實現要素:
本發明提供一種二氧化錫透明導電薄膜的製備方法,該製備方法普適性好、設備要求低、製備簡單、重複性好,該製備方法優化了晶體結構和表面形貌,增強導電薄膜的光電特性,提高薄膜穩定性,從而完善薄膜性能、降低反應溫度、提高控制精度、降低製備成本和適應大規模生產。
為了實現上述目的,本發明提供了一種二氧化錫透明導電薄膜的製備方法,該方法包括如下步驟:
(1)製備靶材
將原料粉氧化鉻粉與錫粉混合,摻雜的氧化鉻的質量含量為0.5%,然後對原料粉體進行球磨處理,得到粒度細而均勻的類球形顆粒;
將處理過的粉末進行裝模;
裝模後進行冷等靜壓,壓力範圍100MPa-200MPa,而後進行燒制,燒制溫度範圍為1200℃-1500℃;
燒制後得到半成品,靜置冷卻後對半成品進行機械加工,確保內外曲面光滑平整,得到靶材。
(2)處理襯底
研磨拋光並清洗玻璃襯底,備用;
(3)將上述靶材與上述襯底置於到磁控設備中,將濺射擋板旋轉到靶與襯底之間,封閉設備開啟真空。抽取設備中的氣體,使真空室內壓力達到10-3Pa以下,加熱襯底,使襯底溫度穩定在200℃,向磁控設備中通入氬氣與氧氣,氧氣與氬氣的比例為1:3,調整設備的真空閥門,使設備中壓力達到2Pa。之後開啟濺射電源,調整濺射功率為100-150W,預濺射20-30分鐘後,移開濺射擋板,開始濺射,濺射時間50-70分鐘後,將濺射擋板旋轉到靶與襯底之間,關閉濺射電源,之後關閉氧氣與氬氣閥門,重新將設備中的壓力降低到10-3Pa。將襯底的溫度提升至350-370℃,退火50-70分鐘,退火結束後,取出襯底。
優選的,在所述步驟(2)中,所述研磨拋光,可將襯底先在600目的金剛石砂輪盤上進行粗磨10min,然後在1200目的金剛石砂輪盤上進行細磨10min,再用W2.5的金剛石拋光粉進行拋光至試樣表面均勻光亮,所述超聲清洗,可將研磨拋光後的襯底按以下順序清洗,丙酮超聲清洗5min→無水乙醇超聲清洗5min→烘乾待用,所述離子源清洗,可採用霍爾離子源對襯底進行清洗5min,壓強為2×10-2Pa,襯底溫度為300℃,氬氣通量為10sccm,偏壓為-100V,陰極電流為29.5A,陰極電壓為19V,陽極電流為7A,陽極電壓為80V,以清除襯底表面的吸附氣體以及雜質,提高濺射層與襯底的結合強度以及成膜質量。
具體實施方式
實施例一
將原料粉氧化鉻粉與錫粉混合,摻雜的氧化鉻的質量含量為0.5%,然後對原料粉體進行球磨處理,得到粒度細而均勻的類球形顆粒; 將處理過的粉末進行裝模; 裝模後進行冷等靜壓,壓力範圍100MPa,而後進行燒制,燒制溫度範圍為1200℃℃; 燒制後得到半成品,靜置冷卻後對半成品進行機械加工,確保內外曲面光滑平整,得到靶材。
研磨拋光並清洗玻璃襯底,備用。所述研磨拋光,可將襯底先在600目的金剛石砂輪盤上進行粗磨10min,然後在1200目的金剛石砂輪盤上進行細磨10min,再用W2.5的金剛石拋光粉進行拋光至試樣表面均勻光亮,所述超聲清洗,可將研磨拋光後的襯底按以下順序清洗,丙酮超聲清洗5min→無水乙醇超聲清洗5min→烘乾待用,所述離子源清洗,可採用霍爾離子源對襯底進行清洗5min,壓強為2×10-2Pa,襯底溫度為300℃,氬氣通量為10sccm,偏壓為-100V,陰極電流為29.5A,陰極電壓為19V,陽極電流為7A,陽極電壓為80V,以清除襯底表面的吸附氣體以及雜質,提高濺射層與襯底的結合強度以及成膜質量。
將上述靶材與上述襯底置於到磁控設備中,將濺射擋板旋轉到靶與襯底之間,封閉設備開啟真空。抽取設備中的氣體,使真空室內壓力達到10-3Pa以下,加熱襯底,使襯底溫度穩定在200℃,向磁控設備中通入氬氣與氧氣,氧氣與氬氣的比例為1:3,調整設備的真空閥門,使設備中壓力達到2Pa。之後開啟濺射電源,調整濺射功率為100W,預濺射20分鐘後,移開濺射擋板,開始濺射,濺射時間50分鐘後,將濺射擋板旋轉到靶與襯底之間,關閉濺射電源,之後關閉氧氣與氬氣閥門,重新將設備中的壓力降低到10-3Pa。將襯底的溫度提升至350℃,退火50分鐘,退火結束後,取出襯底。
實施例二
將原料粉氧化鉻粉與錫粉混合,摻雜的氧化鉻的質量含量為0.5%,然後對原料粉體進行球磨處理,得到粒度細而均勻的類球形顆粒; 將處理過的粉末進行裝模; 裝模後進行冷等靜壓,壓力範圍200MPa,而後進行燒制,燒制溫度範圍為1500℃; 燒制後得到半成品,靜置冷卻後對半成品進行機械加工,確保內外曲面光滑平整,得到靶材。
研磨拋光並清洗玻璃襯底,備用。所述研磨拋光,可將襯底先在600目的金剛石砂輪盤上進行粗磨10min,然後在1200目的金剛石砂輪盤上進行細磨10min,再用W2.5的金剛石拋光粉進行拋光至試樣表面均勻光亮,所述超聲清洗,可將研磨拋光後的襯底按以下順序清洗,丙酮超聲清洗5min→無水乙醇超聲清洗5min→烘乾待用,所述離子源清洗,可採用霍爾離子源對襯底進行清洗5min,壓強為2×10-2Pa,襯底溫度為300℃,氬氣通量為10sccm,偏壓為-100V,陰極電流為29.5A,陰極電壓為19V,陽極電流為7A,陽極電壓為80V,以清除襯底表面的吸附氣體以及雜質,提高濺射層與襯底的結合強度以及成膜質量。
將上述靶材與上述襯底置於到磁控設備中,將濺射擋板旋轉到靶與襯底之間,封閉設備開啟真空。抽取設備中的氣體,使真空室內壓力達到10-3Pa以下,加熱襯底,使襯底溫度穩定在200℃,向磁控設備中通入氬氣與氧氣,氧氣與氬氣的比例為1:3,調整設備的真空閥門,使設備中壓力達到2Pa。之後開啟濺射電源,調整濺射功率為150W,預濺射30分鐘後,移開濺射擋板,開始濺射,濺射時間70分鐘後,將濺射擋板旋轉到靶與襯底之間,關閉濺射電源,之後關閉氧氣與氬氣閥門,重新將設備中的壓力降低到10-3Pa。將襯底的溫度提升至370℃,退火70分鐘,退火結束後,取出襯底。