一種校準正壓漏孔的方法
2023-05-10 11:58:46
專利名稱：一種校準正壓漏孔的方法
技術領域：
本發明涉及一種校準正壓漏孔的方法，屬於真空計量技術領域。
背景技術：
在文獻「恆壓式正壓漏孔校準裝置的設計，《真空科學與技術學報》，2007年第5期，第442頁 446頁」中，介紹了一種採用恆壓法校準正壓漏孔的方法，該方法為將正壓漏孔流出的示漏氣體直接引入恆壓法正壓漏孔校準裝置的變容室中，改變活塞的位移使得變容室的容積增加而保證變容室內壓力不變的原理，得到正壓漏孔的校準。 這種方法的不足之處在於校準時，校準裝置複雜，校準裝置需要抽氣系統、校準系統、測控系統，校準裝置技術含量高、價格昂貴，對研究人員及操作人員要求較高。其次，僅採用了恆壓法直接校準正壓漏孔，恆壓法校準範圍窄。再次，不能用於現場開展大批量的校準，僅能在實驗室使用。
發明內容
本發明的目的在於提供一種校準正壓漏孔的方法，所述方法校準過程簡單易行，成本低；能夠用於不同量級的被校正壓漏孔，延伸了校準範圍；可以同時累積多臺被校正壓漏孔，節省累積時間，提高校準效率；提高了現場環境下校準的可行性。本發明的目的由以下技術方案實現一種校準正壓漏孔的方法，所述方法步驟如下步驟一、氦質譜檢漏儀預熱，分別將當地空氣引入兩臺集氣器內，然後封閉兩臺集氣器;步驟二、將氦質譜檢漏儀吸槍插入任意一臺集氣器內，通過氦質譜檢漏儀讀取當地大氣壓下集氣器內示漏氣體氦氣的本底信號Itl ；步驟三、將標準正壓漏孔及被校正壓漏孔分別放入兩臺集氣器內；其中，所述標準正壓漏孔和被校正壓漏孔為同一類型，標準正壓漏孔的漏率已知，被校正壓漏孔的漏率未知；步驟四、兩臺正壓漏孔流出的示漏氣體在集氣器內開始累積，分別記錄開始時刻tsl及tu;其中，tsl為標準正壓漏孔的開始時刻，tL1為被校正壓漏孔的開始時刻；步驟五、兩臺正壓漏孔流出的示漏氣體在集氣器內累積一段時間後，用氦質譜檢漏儀分別讀取兩個集氣器內示漏氣體累積信號Is及Iy記錄結束時刻tS2及L ;其中Is為標準正壓漏孔的示漏氣體累積信號，k為被校正壓漏孔的示漏氣體累積信號，ts2為標準正壓漏孔的結束時刻，tL2為被校正壓漏孔的結束時刻；步驟六、計算被校準正壓漏孔的漏率；漏率值與累積時間的乘積與示漏氣體信號大小成正比，根據比較法有
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其中，標準正壓漏孔的漏率為Qs，被校正壓漏孔的漏率為Ql ;則
權利要求
1.一種校準正壓漏孔的方法，其特徵在所述方法步驟如下 步驟一、氦質譜檢漏儀預熱，分別將當地空氣引入兩臺集氣器內，然後封閉兩臺集氣器； 步驟二、將氦質譜檢漏儀吸槍插入任意一臺集氣器內，通過氦質譜檢漏儀讀取當地大氣壓下集氣器內不漏氣體氦氣的本底信號1(1 ； 步驟三、將標準正壓漏孔及被校正壓漏孔分別放入兩臺集氣器內；其中，所述標準正壓漏孔和被校正壓漏孔為同一類型，標準正壓漏孔的漏率已知，被校正壓漏孔的漏率未知； 步驟四、兩臺正壓漏孔流出的示漏氣體在集氣器內開始累積，分別記錄開始時刻tsl及tL1;其中，tsl為標準正壓漏孔的開始時刻，tL1為被校正壓漏孔的開始時刻； 步驟五、兩臺正壓漏孔流出的示漏氣體在集氣器內累積一段時間後，用氦質譜檢漏儀分別讀取兩個集氣器內示漏氣體累積信號Is及Iy記錄結束時刻tS2及L ;其中Is為標準正壓漏孔的示漏氣體累積信號，k為被校正壓漏孔的示漏氣體累積信號，ts2為標準正壓漏孔的結束時刻，tL2為被校正壓漏孔的結束時刻； 步驟六、計算被校準正壓漏孔的漏率；漏率值與累積時間的乘積與示漏氣體信號大小成正比，根據比較法有QiMιλ -(u) _ i^L -Iq)0S(/S2 ~/sl) (/、.-々) 其中，標準正壓漏孔的漏率為Qs，被校正壓漏孔的漏率為Ql ;則Q _ Qs (II.-人))二;j ) ~ (4-Λ) (tLl -fLi)。
全文摘要
本發明公開了一種校準正壓漏孔的方法，屬於真空計量技術領域。所述方法步驟如下一、氦質譜檢漏儀預熱，分別將當地空氣引入兩臺集氣器內；二、通過氦質譜檢漏儀讀取集氣器內示漏氣體氦氣的本底信號I0；三、將標準正壓漏孔及被校正壓漏孔分別放入兩臺集氣器內；四、兩臺正壓漏孔流出的示漏氣體在集氣器內開始累積，分別記錄開始時刻tS1及tL1；五、兩臺正壓漏孔流出的示漏氣體在集氣器內累積一段時間後，用氦質譜檢漏儀分別讀取兩個集氣器內示漏氣體累積信號IS及IL，記錄結束時刻tS2及tL2；六、計算被校準正壓漏孔的漏率。所述方法簡單易行，成本低；能夠用於不同量級的被校正壓漏孔，延伸了校準範圍；提高了校準效率及現場環境下校準的可行性。
文檔編號G01M3/20GK102944369SQ20121045088
公開日2013年2月27日 申請日期2012年11月12日 優先權日2012年11月12日
發明者趙瀾, 馮焱, 成永軍, 張瑞芳, 盛學民, 張滌新 申請人:中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所