板狀被處理體的冷卻裝置和安裝有該裝置的熱處理系統的製作方法

2023-07-06 02:56:31

專利名稱：板狀被處理體的冷卻裝置和安裝有該裝置的熱處理系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及對基板等板狀被處理體(以下，簡稱為"被處理體") 進行冷卻的裝置和能夠從加熱至冷卻一貫地進行的熱處理系統。
背景技術：
為了對玻璃基板等板狀的被處理體進行加熱處理，使用一種裝置， 其利用機械手將預先對被處理體塗敷規定的溶液並使其乾燥後的被處 理體放置在裝載段上，然後利用被導入加熱處理室內的熱風進行加熱
處理(燒制)。這種裝置被應用於液晶顯示器(LCD: Liquid Crystal Display)、等離子體顯示器(PDP: Plasma Display)、有機EL顯示器 等平板顯示器(FPD)的製作中。
被以上述方式進行過加熱處理後的的被處理體需要進行冷卻，歷 來，通過放置進行冷卻，但這種方法存在耗費時間過多的缺點。因此， 向其強制地吹風，在短時間內進行冷卻。
例如，日本專利公開公報"特開2002-71936號"公開了一種被處 理體的冷卻裝置。在該裝置中，分別設置對被處理體進行加熱的加熱 處理槽和進行冷卻的冷卻槽，將加熱處理結束後的被處理體從加熱處 理槽搬送至冷卻槽進行冷卻。這種裝置的優點是，當不空留時間連續 進行加熱處理時，由於不使加熱處理槽的溫度降低就能夠進行冷卻， 因此能夠防止用於加熱處理槽中的能量的浪費。
當為分別設置加熱處理槽和冷卻槽的系統時，如果不能使各個槽 中的處理工序的速度相等，則全體的加熱、冷卻處理的效率變差。而 且，當冷卻槽中的冷卻時間過長時，每單位時間能夠冷卻的被處理體 的個數變少，冷卻槽的處理速度變慢，因此，為了處理大量的被處理 體不得不使冷卻槽大型化。
另外，如上述專利公開公報所示，被處理體的冷卻是通過間隔一 定距離排列被處理體，將冷卻用的空氣從一側供向被處理體之間，並
使其向另一側流動來進行的。因此，由於在另一側的流動變弱，並且 另一側的空氣溫度變高，所以，另一側的冷卻需要時間，至冷卻完成 為止的時間有變長的傾向。
特別是當被處理體為基板等精密電子零件時，由於不能利用包含 雜質的空氣冷卻，所以必須使用帶有HEPA (高效率空氣微粒high
efficiency particulate air)過濾器的風扇等使冷卻用的空氣流動。為此， 由於供給的空氣的流速慢，供給量少，所以冷卻時間變長。
並且，必需將加熱處理後的高溫的被處理體搬入該裝置中，冷卻 後再將它搬出。如果在保持打開冷卻槽的搬入部、搬出部的狀態下進 行冷卻，則冷卻空氣從該開放部分向外部流出，所以另一側的空氣流 動變慢，該部分的冷卻不充分，因此必需使冷卻時間較長。

發明內容
本發明的目的是提供一種能夠對被實施加熱處理後的被處理體高 效率地進行冷卻的板狀被處理體的加熱冷卻一貫系統。
用於達成上述目的第一方式包括被處理體的配置部；和在配置的 被處理體的兩面中的至少任一側配置的冷卻部，上述冷卻部具備內側 板、外側板和風扇，在內側板和外側板之間設置有中間空間，並使內 側板為被處理體一側，在配置被處理體的整個區域上配置有多個連通 內側板和外側板、且利用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和 貫通內側板的第二通孔，通過使風扇動作形成從外側板的外部通過第 一通孔進入內側板的內部，然後從第二通孔通過中間空間到達外部的 空氣的流動，由此進行被處理體的冷卻。
根據第一方式，通過利用風扇強制地使空氣流在配置於配置被處 理體的整個區域的多個第一通孔和第二通孔中流動，能夠在整體上均 勻地冷卻被處理體。
第二方式包括被處理體的配置部；和在配置的被處理體的兩面中 的至少任一側配置的冷卻部，上述冷卻部具備內側板、外側板和風扇， 在內側板和外側板之間設置有中間空間，並使內側板為被處理體一側， 在被處理體的整個配置區域上配置有多個連通內側板和外側板、且利 用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和貫通內側板的第二通孔，
通過使風扇動作形成從外部通過中間空間後從第二通孔進入內側板的 內部，然後通過第一通孔到達外側板的外部的空氣的流動，由此進行 被處理體的冷卻。
根據第二方式，形成連通內側板和外側板且利用隔斷中間空間的 筒狀體形成的第一通孔、和貫通內側板的第二通孔，第一通孔和第二 通孔在配置被處理體的整個區域配置有多個，通過使風扇動作形成從 外部通過中間空間後從第二通孔進入內側板的內部，然後通過第一通 孔到達外側板的外部的氣流，由此進行被處理體的冷卻，因此能夠在 整體上均勻地進行被處理體的冷卻。
第三方式的特徵在於，在第一或第二方式中，在配置部設置有多 個支撐銷，將被處理體載置在支撐銷上加以配置。
根據第三方式，因為將被處理體載置在多個支撐銷上進行冷卻， 所以在冷卻時難以防礙氣流，能夠簡單地進行被處理體的配置。
在第四方式中，包括配置在被處理體的下側的作為冷卻部的下側 冷卻部，還能夠在上述下側冷卻部的內側板的上側固定多個支撐銷。
第五方式的特徵在於，在第三或第四方式中，支撐銷能夠伸縮或 上下運動，通過支撐銷的伸縮或上下運動能夠改變冷卻部與被處理體 的距離。
根據第五方式，因為支撐銷能夠伸縮或上下運動，且利用支撐銷 的伸縮或上下運動能夠改變冷卻部與被處理體的距離，因此能夠根據 需要改變用於冷卻的氣流的速度，提高被處理體的搬入搬出的作業效
"第六方式的特徵在於，在方式一 五中還交替地排列配置有第一 通孔和第二通孔。
根據第六方式，因為交替地排列配置第一通孔和第二通孔，所以 能夠使用於冷卻的氣流穩定。
在第7方式中，第一通孔和第二通孔的配置為棋盤眼狀。此處，
所謂第一通孔和第二通孔的配置為棋盤眼狀是指，第一通孔和第二通 孔的配置在橫豎方向排列，在橫和豎的排列的任一個中，第一通孔和 第二通孔均交替排列。
第八方式的特徵在於，在第一 第七方式中，相對的兩面開放。根據第八方式，因為相對的兩面開放，所以配置部能夠從任一面 搬入被處理體，而從另一面搬出被處理體。
在第九方式中，利用進行被處理體的加熱處理的加熱處理裝置、 第一 第八方式的被處理體冷卻裝置、和取出被進行過加熱處理的被 處理體後將其搬入上述被處理體冷卻裝置的搬入裝置構成熱處理系 統。
發明的效果
本發明的被處理體冷卻裝置雖然小型，但是能夠高效率地進行被 處理體的冷卻。


圖1為表示本發明的第一實施方式的被處理體冷卻裝置的立體圖。
圖2為圖1所示的被處理體冷卻裝置的一部分剖開的立體圖。
圖3為表示圖1所示的被處理體冷卻裝置的內側板和風扇的說明圖。
圖4為圖1所示的被處理體冷卻裝置的A-A截面圖。
圖5為本發明的第二實施方式的被處理體冷卻裝置的截面圖。
圖6為本發明的第三實施方式的被處理體冷卻裝置的截面圖。
圖7為本發明的第四實施方式的被處理體冷卻裝置的截面圖。
符號說明
1、 2、 3、 4被處理體冷卻裝置
5熱處理系統
8被處理體冷卻組件
10冷卻部
11被處理體配置部
20上側冷卻部
21內側板
22外側板
23中間空間
25第二通孔
28第一通孔29風扇
30下側冷卻部 31內側板 32外側板 33中間空間 35第二通孔 38第一通孔 39風扇 43、 53支撐銷 90被處理體
具體實施例方式
以下，對本發明的實施例進行說明。
如圖1、圖2所示，第一實施方式的被處理體冷卻裝置1具有由上 側冷卻部20與下側冷卻部30構成的冷卻部10、和在上側冷卻部20 與下側冷卻部30之間形成的被處理體配置部11。板狀的被處理體90 配置在配置部11上，通過位於被處理體90的兩面上的上側冷卻部20 和下側冷卻部30進行冷卻。
上側冷卻部20具有內側板21和外側板22。被處理體90位於內側 板21的下表面一側。在內側板21與外側板22之間存在中間空間23。 內側板21和外側板22為大小大致相同的長方形狀，相對的邊21a、21b、 22a、 22b與側板40、 41接合。
如圖2所示，內側板21具有貫通被處理體配置部11側和中間空 間23側的通孔24和25。通孔24為圓形的孔且與筒狀體26連通。另 外，通孔25為正方形狀(以下，稱為第二通孔)。
在外側板22上設置有貫通中間空間23與外部的通孔27。該通孔 27為圓形，設置在與內側板21的通孔24對應的位置上。通孔27與筒 狀體26連通，兩者作為一體形成第一通孔28。
該第一通孔28通過筒狀體26與中間空間23之間隔斷，連接外部 與被處理體配置部ll。在第一通孔28內配置風扇29。
第一通孔28和第二通孔25形成有多組，在橫豎方向交替地並排
配置，如圖3所示，整體為棋盤眼狀。而且，第一通孔28和第二通孔 25配置在配置被處理體90的整個區域上。因此，能夠利用上側冷卻部 20在整體上對被處理體90進行冷卻。
風扇29位於第一通孔28的內部，利用風扇29在該通孔28內產 生氣流。在上側冷卻部20上設置有多個第一通孔28，各個通孔28中 設置有風扇29。如圖4所示，氣流全部向著被處理體配置部11，利用 通孔28內的風扇29，在上側冷卻部20的全部區域中使空氣從外部流 向被處理體配置部11。
下側冷卻部30與上側冷卻部20的結構相同，如圖l、圖2所示， 具有內側板31、外側板32，內側板31以位於被處理體90—側的方式 配置。並且，在內側31和外側板32之間形成有中間空間33。
內側板31和外側板32為長方形狀，大小大致相同，相對的邊31a、 31b、 32a、 32b與側板40、 41接合。這樣，上側冷卻部20的內側板
21、 下側冷卻部30的內側板31和側板40、41形成一個被包圍的空間， 在該空間中形成有被處理體配置部11。並且，關於被處理體配置部11， 配置的被處理體90的板面(上面，下面)以外的相對的二個面開放， 並具有開放面lla、 llb。如圖1的箭頭所示，能夠從開放面lla、 lib 進行被處理體90的搬入或搬出。
中間空間23、 33也分別由各自的內側板21、 31、各自的外側板
22、 32和側板40、 41包圍，與被處理體配置部11相同的一側開放， 具有開放面23a、 23b、 33a、 33b。
在下側冷卻部30的內側板31上具有貫通被處理體配置部11 一側 與中間空間33 —側的圓形的通孔34和正方形的通孔35，通孔35作為 第二通孔發揮作用。
在外側板32上設置有貫通中間空間33和外部的圓形的通孔37。 通孔37設置在與內側板31的通孔34對應的位置上，通孔34和通孔 37經筒狀體36連通，成為第一通孔38。在第一通孔38中配置有風扇 39。
第一通孔38和第二通孔35形成有多個，它們在橫豎方向交替地 並排配置，成為棋盤眼狀，該配置與第一通孔28和第二通孔25—致。 設置在下側冷卻部30的第一通孔38中的風扇39也與設置在上側
冷卻部20中的風扇29相同，均能夠在第一通孔38內產生氣流。如圖 4所示，第一通孔38內的氣流方向在所有風扇39中均相同，為被處理 體配置部ll的方向。結果，由上側冷卻部20和下側冷卻部30的全部 風扇29、 39產生的氣流的方向均為朝向被處理體配置部11的方向。
這樣，在本實施方式的冷卻部10中，當風扇29、 39動作時，產 生從第一通孔28， 38朝向被處理體配置部11的氣流，外側板22、 32
外側的外部空氣流向被處理體配置部11。
在下側冷卻部30的內側板31的上側，即，在被處理體配置部ll 一側配置有用於載置被處理體90的支撐銷43，並被固定在內側板31 的上側。支撐銷43避開內側板31的通孔34和通孔35形成有多個， 且長度相同。因此，載置在支撐銷43上的被處理體卯與內側板31平 行配置，被處理體90與內側板31的間隔在整個區域中大致相同。
另外，由於支撐銷43的前端部分較尖，所以與被處理體90成為 近似於點接觸的狀態，使得與被處理體90的接觸部分較少，並且，在 冷卻時氣體與更大的面積接觸，能夠提高冷卻性。
配置的被處理體90位於冷卻部10的上側冷卻部20和下側冷卻部 30之間。由於風扇29、 39的動作，外部空氣從上側冷卻部20的第一 通孔28、下側冷卻部30的第一通孔38流向被處理體配置部11，朝向 被處理體90的上表面、下表面流動，與該被處理體90的上表面、下 表面衝擊。
如圖4所示，獲取被處理體90的熱量後溫度上升的空氣從第二通 孔25、 35流向中間空間23、 33。由於第一通孔28、 38和第二通孔25、 35相鄰配置，為互相被夾住的位置關係，所以空氣幾乎不流向被處理 體配置部11的開放部分lla、 llb，主要流向中間空間23、 33 。進一 步，空氣流向中間空間23、 33的開放面23a、 23b、 33a、 33b並被排 出。
接著，對被處理體冷卻裝置1的使用方法進行說明。 在本實施方式的被處理體冷卻裝置1中，還同時使用圖中沒有顯
示的加熱處理裝置、搬入裝置、和搬出裝置。利用這些裝置構成熱處
理系統5。
由被處理體冷卻裝置1冷卻的被處理體90被上述加熱處理裝置在高溫下進行加熱處理，被搬入裝置從加熱處理裝置移動至被處理體冷 卻裝置1的被處理體配置部11，冷卻後，由搬出裝置從被處理體冷卻 裝置1搬出。
關於加熱處理裝置、搬入裝置、和搬出裝置，能夠使用公知的裝 置。例如，作為加熱處理裝置能夠使用利用電加熱器等的烘烤裝置
(oven)，另外，作為搬入裝置、搬出裝置，能夠使用機械手式臂。 從開放面lla進行搬入裝置的搬入。如圖2、圖4所示，該搬入的
剛完成加熱處理的被處理體90被載置在支撐銷43上。使風扇29、 39
動作，將比外側板22、 32更位於外側的外部的空氣供向內部，由此對
被處理體90進行冷卻。
由於外部空氣被供向被處理體90的全部區域，因此不會存在如現
有技術那樣，當空氣沿被處理體90的表面流動時下遊側的冷卻能力下
降的問題，從而能夠進行均勻的冷卻。
冷卻至規定溫度以下的被處理體卯由搬出裝置從開放面lib搬
出，之後，另一個被處理體90被搬入並被依次冷卻。關於風扇29、 39
的動作，既可以只在進行冷卻的情況下使其動作，也可以使其一直動作。
在本實施方式的被處理體冷卻裝置1中，在設置在相互相對的位 置上的開放面lla、 11b處進行被處理體90的搬入搬出。因此，能夠令 熱處理系統5中的被處理體冷卻裝置1的前後的工序的配置為直線狀， 甚至容易令整體的配置為直線狀。
也能夠僅使用開放面11a、llb中的任一個進行被處理體90的搬入 搬出。在這種情況下，優選將不用於被處理體90的搬入搬出的另一個 開放面lla、 llb封閉。
在熱處理系統5中使用的被處理體冷卻裝置1的數目既可以是一 臺，也可以是多臺。該臺數能夠由進行冷卻的時間和每單位時間進行 冷卻的被處理體90的個數決定。如後所述，能夠使用配置有多臺結構 與被處理體冷卻裝置1相同的被處理體冷卻組件8的被處理體冷卻裝 置4。也能夠利用該被處理體冷卻裝置4形成熱處理系統5。
風扇29、 30能夠配置在其它位置。例如，也能夠如圖5所示的第 二實施方式的被處理體冷卻裝置2那樣，採用將風扇29、 39配置在第二通孔25、 35的中間空間23、 33—側，而不設置在第一通孔28、 38 中的結構。然後，利用該被處理體冷卻裝置2的風扇29、 39，能夠產 生從被處理體配置部11流向中間空間23、 33的氣流。由此，第二通 孔25、 35的被處理體配置部11 一側附近的壓力降低，為此，外部的 空氣從第一通孔28、 38流向被處理體配置部11，產生與被處理體冷卻 裝置1同樣的空氣流動，從而能夠進行被處理體90的冷卻。
而且，冷卻部10雖然在被處理體90的兩面上設置有上側冷卻部 20和下側冷卻部30，也可以只在任一面上設置。例如，如圖6所示的 第3實施方式的被處理體冷卻裝置3那樣，也能夠採用只設置上側冷 卻部20的結構。而且，本實施方式的上側冷卻部20雖然與第一實施 方式的被處理體冷卻裝置1相同，但也能夠採用與第二實施方式的被 處理體冷卻裝置2為相同的結構的裝置。
在被處理體冷卻裝置3中設置有多個用於載置被處理體90的支撐 銷53，該支撐銷53能夠伸縮。而且，通過使支撐銷53伸縮，能夠改 變冷卻部IO (上側冷卻部20)與被處理體90的距離。
當使支撐銷53伸出時，上側冷卻部20和被處理體90的距離接近， 能夠使從外部供給的冷卻用的空氣流動加快。並且，因為能夠增大被 處理體90的下側的間隙，所以能夠使搬入被處理體90的作業變得容 易。
在被處理體冷卻裝置3中設置傳送滾輪50，該傳送滾輪50能夠進 行冷卻後的被處理體卯的搬入、搬出。傳送滾輪50具有軸部51和滾 子部52。轉動軸部51，使得滾子部52轉動，由此，滾子部52上的被 處理體90移動，從而進行被處理體90的搬入、搬出。
因為本實施方式的被處理體冷卻裝置3的支撐銷53能夠伸縮，所 以在冷卻後，使支撐銷53縮回至被處理體90與滾子部52接觸的程度， 由此，能夠使得在冷卻時滾子部52與被處理體卯不接觸，在搬送時 使被處理體90可靠地與滾子52接觸。
並且，如果能夠使載置在支撐銷53上的被處理體90上下運動， 則支撐銷53即使不能夠伸縮也可。在這種情況下，通過使支撐銷53 自身上下運動，能夠改變上側冷卻部20與被處理體90的距離，使被 處理體90與滾子部52為接觸或不接觸狀態。例如，使位於支撐銷53的下側且固定支撐銷53的板部件60升降， 由此能夠通過板部件60的升降使支撐銷53上下運動。
在被處理體冷卻裝置1、 2、 3中，冷卻用的空氣從外部向被處理 體配置部11流入，這種流入在第一通孔28、 38的外側板22、 32 —側， 在被處理體冷卻裝置1、 2、 3的整體的上表面和下表面。因此，能夠 在該面上配置過濾器等，使從外部流入的空氣成為雜質少的空氣。並 且，通過在過濾器與外側板22、 32之間設置間隙來配置過濾器，能夠 採用面積大的過濾器，能夠使通過過濾器時的阻力較小。
在開放面23a 、 23b、 33a、 33b上設置用於排氣的裝置，能夠強 制地排出因被處理體卯的冷卻而被加熱的空氣。例如，作為該用於排 氣的裝置，能夠使用橫流扇等。
在被處理體冷卻裝置l、 2、 3中，通過使風扇29、 39動作，形成 以下氣流進行被處理體90的冷卻，g卩，從外側板22的外部通過第一 通孔28、 38進入內側板21、 31的內部的被處理體配置部11，再從第 二通孔25、 35通過中間空間23、 33到達外部的氣流，但也可以使風 扇29、 39逆旋轉，產生與上述氣流相反的流動，從而進行被處理體90 的冷卻。具體而言，形成從外部通過中間空間23、 33，再從第二通孔 25、 28進入內側板的內部的被處理體配置部11，然後通過第一通孔， 流向外側板22、 32的外部的流動，由此進行被處理體90的冷卻。而 且，在這種情況下，被處理體冷卻裝置l、 2、 3能夠採用相同的結構。
另外，能夠使用圖7所示的第4實施方式的被處理體冷卻裝置4， 進行被處理體90的冷卻。被處理體冷卻裝置4包括多個被處理體冷卻 組件8，能夠利用各個被處理體冷卻組件8冷卻被處理體90。該被處 理體冷卻組件8使用與上述被處理體冷卻裝置1為相同結構的裝置， 設置有上側冷卻部20和下側冷卻部30。利用上側冷卻部20和下側冷 卻部30對被處理體90進行冷卻。並且，被處理體90配置在支撐銷43 上。
被處理體冷卻裝置4還包括排氣部61、配管部62、排氣管(duct) 63、冷卻裝置65，強制地對因被處理體90的冷卻而被加熱的空氣進行 排氣，成為能夠進行冷卻的結構。排氣部61設置在被處理體冷卻組件 8 (被處理體冷卻裝置1)的上側冷卻部20、下側冷卻部30的開放面
23b、 33b—側。排氣部61的內部為空洞狀，通過開放面23b、 33b與 內部空間23、 33連接。
各排氣部61與配管部62連接合流，並與排氣管63連接。而且， 排氣管63與冷卻裝置65連接。冷卻裝置65為能夠冷卻空氣的裝置。 本實施方式的冷卻裝置65為水冷型。當使排氣管63工作時，能夠吸 引配管部62的空氣向冷卻裝置65移動。因此，因被處理體90的冷卻 而被加熱的高溫的空氣從內部空間23、 33通過配管部62、排氣管63 進入冷卻裝置65，被冷卻裝置65冷卻，冷卻後的空氣被從排出口 65a 排出。
從排出口 65a排出的空氣能夠被再次利用於被處理體90的冷卻 中。因此，即使在潔淨室等中使用被處理體冷卻裝置4的情況下，也 能夠反覆使用清潔度高的空氣，還能夠防止室溫上升。
在被處理體冷卻裝置4的本體部66中，與各個被處理體冷卻組件 8對應地形成有搬入搬出部66a，能夠從該搬入搬出部66a進行被處理 體90的搬入搬出。
這樣，因為在被處理體冷卻裝置4中具有多個被處理體冷卻組件 8，所以能夠同時進行多個被處理體90的冷卻。並且，因為能夠集中 排出因冷卻被處理體90而被加熱的空氣，且能夠利用冷卻裝置65對 其進行冷卻，所以能夠防止周圍的溫度升高。
權利要求
1.一種被處理體冷卻裝置，其特徵在於，包括配置作為冷卻對象的被處理體的配置部；和在配置的被處理體的兩面中的至少一側配置的冷卻部，所述冷卻部具備內側板、外側板和風扇，在內側板和外側板之間設置有中間空間，並使內側板為被處理體一側，在配置被處理體的整個區域上配置有多個連通內側板和外側板、且利用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和貫通內側板的第二通孔，通過使風扇動作形成從外側板的外部通過第一通孔進入內側板的內部，然後從第二通孔通過中間空間到達外部的空氣的流動，由此進行被處理體的冷卻。
2. —種被處理體冷卻裝置，其特徵在於，包括 配置作為冷卻對象的被處理體的配置部；和在配置的被處理體的兩面中的至少一側配置的冷卻部，所述冷卻部具備內側板、外側板和風扇， 在內側板和外側板之間設置有中間空間，並使內側板為被處理體在配置被處理體的整個區域上配置有多個連通內側板和外側板、 且利用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和貫通內側板的第二 通孔，通過使風扇動作形成從外部通過中間空間後從第二通孔進入內 側板的內部，然後通過第一通孔到達外側板的外部的空氣的流動，由 此進行被處理體的冷卻。
3. 如權利要求1或2所述的被處理體冷卻裝置，其特徵在於在被處理體配置部設置有多個支撐銷，在該支撐銷上載置有被處 理體。
4. 如權利要求3所述的被處理體冷卻裝置，其特徵在於在被處理體的下側設置有下側冷卻部，在該下側冷卻部的內側板的上表面固定有多個支撐銷。
5. 如權利要求3或4所述的被處理體冷卻裝置，其特徵在於 支撐銷能夠伸縮或上下運動，通過支撐銷的伸縮或上下運動能夠改變冷卻部與被處理體的距離。
6. 如權利要求1 5中任一項所述的被處理體冷卻裝置，其特徵在於第一通孔和第二通孔交替地排列配置。
7. 如權利要求6所述的被處理體冷卻裝置，其特徵在於 第一通孔和第二通孔的配置為棋盤眼狀。
8. 如權利要求1 7中任一項所述的被處理體冷卻裝置，其特徵在於被處理體配置部的相對的兩面開放。
9. 一種熱處理系統，其特徵在於，包括 進行被處理體的加熱處理的加熱處理裝置； 權利要求1 8中任一項所述的被處理體冷卻裝置；和取出被進行過加熱處理的被處理體後將其搬入所述被處理體冷卻 裝置的搬入裝置。
全文摘要
本發明提供板狀被處理體的冷卻裝置和安裝有該裝置的熱處理系統。板狀被處理體冷卻裝置(1)包括板狀被處理體(90)的配置部(11)和由上側冷卻部(20)與下側冷卻部(30)構成的冷卻部。上側冷卻部(20)和下側冷卻部(30)配置在被處理體配置部(11)的上下，並設置有內側板(21、31)、外側板(22、32)和風扇(29、39)。在整個區域上形成有連通內側板(21、31)和外側板(22、32)、且利用筒狀體(26、36)而形成的第一通孔(28、38)，和貫通內側板(21、31)的第二通孔(25、35)。使風扇(29、39)動作，使外部空氣通過第一通孔(28、38)後冷卻被處理體90，然後使其從第二通孔(25、35)通過中間空間(23、33)後排向外部。
文檔編號F27D15/00GK101338976SQ20081013031
公開日2009年1月7日 申請日期2008年7月4日 優先權日2007年7月6日
發明者神田敏朗 申請人:愛斯佩克株式會社