物品運送設備的製作方法

2023-07-08 01:59:56 1

專利名稱：物品運送設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種裝備有沿著形成行駛路徑的行駛軌道行駛自如的物品運送車的物品運送設備。
背景技術：
在上述這種物品運送設備中，作為行駛路徑，例如裝備有環狀的主路徑，和以經由多個物品運送部位的狀態裝配並相對於主路徑連接成物品運送車能夠分支及合流的副路徑，副路徑在主路徑的外側以沿著主路徑上的物品運送車的行駛方向排列的狀態裝配在主路徑的一側與另一側兩側(例如參照專利文獻I)。在裝備了該主路徑以及副路徑的設備中，有使物品從主路徑的ー側的副路徑運送到另ー側的副路徑的情況。在這種情況下，物品運送車在從ー側的副路徑合流行駛到主路徑上後沿著主路逕行駛，但必須在環狀的主路徑上行駛到裝配在主路徑的相反ー側的副路徑的分支部位，物品運送車的行駛距離延長。因此，不能高效率地進行物品運送而導致了運送能力的降低。而且，由於其它的物品運送車也在主路徑及副路徑上行駛，所以若物品運送車的行駛距離延長，則該物品運送車的行駛範圍與其它的物品運送車的行駛範圍會相互幹擾，受到其它的物品運送車的行駛的限制，從而不再能夠使物品運送車順暢地行駛。因此，根據這一點，若物品運送車的行駛距離延長，則存在導致運送能力的降低的可能性。為此，在上述專利文獻I所記載的設備中設有運送輸送機，在相對於主路徑裝配在一側的副路徑的物品運送車與相對於主路徑裝配在另ー側的副路徑的物品運送車之間自如地運送物品。這樣ー來，通過由運送輸送機進行物品運送，能夠防止物品運送車的行駛距離延長，將物品從主路徑的ー側的副路徑運送到另ー側的副路徑。即，將物品從ー側的副路徑的物品運送車向運送輸送機移載，由運送輸送機將該物品運送到相對於主路徑裝配在相反一側的另一側的副路徑。並且存在於另ー側的副路徑上的物品運送車接收由運送輸送機運送來的物品，並行駛到所希望的位置來運送物品。專利文獻1:日本國特開2006-319154號公報。在上述專利文獻I所記載的設備中，為了防止物品運送車的行駛距離延長而設置了運送輸送機，在主路徑的一側的副路徑的物品運送車與另ー側的副路徑的物品運送車之間運送物品，但作為運送物品的裝置，除了物品運送車之外還必須要設置運送輸送機，導致了結構的複雜化以及成本的増加。而且，由運送輸送機在主路徑的一側的副路徑與另ー側的副路徑之間運送物品，但該運送輸送機的運送速度有限，而不能夠提高到物品運送車的行駛速度等比較快的速度。因此，運送時間將延長，存在反而導致運送能力的降低的可能性。

發明內容
本發明是著眼於這一點而提出的，其目的在於提供ー種物品運送設備，既謀求了結構的簡單化以及成本的減少，又能夠防止運送能力的降低。
為了實現該目的，本發明所涉及的物品運送設備具備行駛路徑和沿著上述行駛路逕行駛自如的物品運送車，上述行駛路徑具有第I行駛路徑，和從上述第I行駛路徑的橫寬方向的一側橫跨上述第I行駛路逕到另ー側的第2行駛路徑，上述第2行駛路徑以相對於上述第I行駛路徑在上下方向上為不同的高度裝配在上述第2行駛路徑的橫跨上述第I行駛路徑的橫跨部位，上述物品運送車在上述第I行駛路徑上的行駛與上述物品運送車在上述第2行駛路徑上的行駛互容，上述物品運送車從上述第I行駛路徑的橫寬方向的ー側經由上述橫跨部位與上述第I行駛路徑的橫寬方向的另ー側相連續地在上述第2行駛路徑上行駛自如。根據這種結構，由於第2行駛路徑以相對於第I行駛路徑在上下方向上為不同的高度裝配在第2行駛路徑上的橫跨部位，物品運送車在第I行駛路徑上的行駛與物品運送車在第2行駛路徑上的行駛互容，所以物品運送車在第I行駛路徑上的行駛與物品運送車在第2行駛路徑上的行駛能夠相互不幹擾地獨立進行。並且由於物品運送車從第I行駛路徑的橫寬方向的一側經由橫跨部位與第I行駛路徑的橫寬方向的另ー側相連續地在第2行駛路徑上行駛自如，所以物品運送車通過在第2行駛路徑上行駛而能夠橫跨第I行駛路徑地行駛。在上述專利文獻I所記載的裝備有主路徑以及副路徑的設備中，例如能夠將主路徑作為第I行駛路徑，作為將該主路徑的ー側的副路徑與另ー側的副路徑連結在一起的行駛路徑具備橫跨主路徑的第2行駛路徑。這樣，在具備第I行駛路徑與第2行駛路徑的設備中，物品運送車通過在第2行駛路徑上行駛，不必在作為第I行駛路徑的主路徑上行駛即能夠在ー側的副路徑與另ー側的副路徑之間行駛。因此，即使不像上述專利文獻I所記載的設備那樣設置運送輸送機，由於具備橫跨第I行駛路徑的第2行駛路徑，也能夠縮短物品運送車的行駛距離，並且能夠通過物品運送車將物品從主路徑的ー側的副路徑運送到另ー側的副路徑。而且，由於能夠通過物品運送車的行駛而將物品從主路徑的ー側的副路徑運送到另ー側的副路徑，所以能夠使此時的運送速度為物品運送車的行駛速度等比較快的速度，例如，能夠以比運送輸送機的運送速度快的運送速度運送物品。如上所述，能夠實現既謀求了結構的簡單化以及成本的降低、縮短物品運送車的行駛距離，又能夠使運送速度為比較快的速度、防止運送能力的降低的物品運送設備。在本發明所涉及的物品運送設備的實施方式中，優選地是，作為上述行駛路徑裝備有第3行駛路徑，其從上述第I行駛路徑上分支井向上述第I行駛路徑合流，上述第3行駛路徑在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在上述第I行駛路徑的ー側與另ー側兩側，上述第2行駛路徑的一端部與在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在ー側的上述第3行駛路徑相連，其另一端部與在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在另ー側的上述第3行駛路徑相連，上述物品運送車在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在ー側的上述第3行駛路徑與裝配在另ー側的上述第3行駛路徑之間行駛自如。根據這種結構，在第3行駛路徑裝配在第I行駛路徑的一側和另一側兩側的這種設備中，由於第2行駛路徑構成為物品運送車在裝配在第I行駛路徑的一側的第3行駛路徑與裝配在另ー側的第3行駛路徑之間行駛自如，所以在裝配在第I行駛路徑的一側的第3行駛路徑與裝配在另ー側的第3行駛路徑之間運送物品的情況下，物品運送車通過在第2行駛路徑上行駛，能夠橫跨第I行駛路徑在裝配在一側的第3行駛路徑與裝配在另ー側的第3行駛路徑之間行駛。因此，在第3行駛路徑裝配在第I行駛路徑的一側和另一側兩側的這種設備中，能夠防止因物品運送車的行駛距離延長而產生的運送能力的降低，能夠提供有用的設備。在本發明所涉及的物品運送設備的實施方式中，優選地是，設有形成上述第I行駛路徑的第I行駛軌道，和形成上述第2行駛路徑的第2行駛軌道，上述第2行駛軌道具備第I高度軌道部位，第2高度軌道部位，以及升降軌道部位，上述第I高度軌道部位以與上述第I行駛軌道在上下方向上為相同的高度裝配在上述第I行駛路徑的橫寬方向的ー側和另ー側，上述第2高度軌道部位以與上述第I行駛軌道在上下方向上為不同的高度裝配在上述橫跨部位，上述升降軌道部位通過升降裝置而在上述第I行駛路徑的橫寬方向的ー側和另ー側與上述橫跨部位之間、在與上述第I高度軌道部位相連續的第I高度和與上述第2高度軌道部位相連續的第2高度之間升降自如。根據這種結構，通過由升降裝置使升降軌道部位位於第I高度，能夠進行物品運送車從第I高度軌道部位向升降軌道部位行駛的換乘。並且當物品運送車向升降軌道部位換乘時，通過由升降裝置使該升降軌道部位從第I高度向第2高度上升，能夠進行物品運送車從位於第2高度的升降軌道部位向第2高度軌道部位行駛的換乘。這樣，通過ー邊使升降軌道部位在第I高度和第2高度之間升降，物品運送車一邊在第I高度軌道部位與升降軌道部位之間、以及升降軌道部位與第2高度軌道部位之間行駛而換乘，物品運送車能夠以橫跨由第I行駛軌道形成的第I行駛路徑的狀態在由第2行駛軌道形成的第2行駛路徑上行駛。因此，能夠恰當地進行橫跨第I行駛路徑的第2行駛路徑上物品運送車的行駛。在本發明所涉及的物品運送設備的實施方式中，優選地是，上述第I行駛軌道以及上述第2行駛軌道裝備有左右ー對，上述升降裝置構成為通過驅動部的驅動カ使上述升降軌道部位在第I高度和第2高度之間升降自如，上述驅動部裝配在上述第I行駛路徑的橫寬方向上除了上述升降軌道部位之外還裝配上述第I高度軌道部位的ー側，處於在上下方向上收存在上述升降軌道部位在第I高度和第2高度之間升降的升降範圍內、並且在上述第2行駛路徑的橫寬方向上收存在左右ー對的上述第2行駛軌道之間的空間中的狀態。如上所述，雖然升降軌道部位在第I高度和第2高度之間升降，但在第I行駛路徑的橫寬方向上與升降軌道部位相比為裝配第I高度軌道部位的ー側，在第I高度軌道部位的上方一側或者下方ー側形成有在上下方向上與升降軌道部位在第I高度與第2高度之間升降的升降範圍相對應的空間。為此，根據上述這種結構，由於升降裝置中的驅動部裝配在第I行駛路徑的橫寬方向上除了升降軌道部位之外還裝配第I高度軌道部位的ー側，並在上下方向上收存在升降軌道部位在第I高度和第2高度之間升降的升降範圍內，所以能夠將第I高度軌道部位的上方一側或者下方一側的空間作為驅動部的設置空間有效地靈活使用。而且，由於驅動部裝配成在第2行駛路徑橫寬方向上收存在左右一對的第2行駛軌道之間的空間中，所以驅動部不會向左右一對的第2行駛軌道的外側飛出地設置。因此，能夠有效地靈活使用第I高度軌道部位的上方一側或者下方ー側的空間，並且能夠在小的空間高效率地設置驅動部。而且，在本發明所涉及的物品運送設備的實施方式中，優選地是，至少在上述升降軌道部位設有限制上述物品運送車的移動的止擋，上述止擋能夠在限制上述物品運送車通過的抵接位置與容許上述物品運送車通過的退避位置之間位移，上述止擋構成為隨著上述升降軌道部位到達上述第2高度而與由天花板一側支撐的位置變更操作部抵接，從而從上述抵接位置向退避位置位移。這樣ー來，能夠防止位於升降軌道部位的物品運送車在升降軌道部位上的移動中從升降軌道部位伸出。進而，由於止擋構成為隨著上述升降軌道部位到達上述第2高度而與由天花板一側支撐的位置變更操作部抵接，從而從抵接位置向退避位置位移，所以無需具備使止擋位移的促動器。


圖1是物品運送設備的整體俯視圖； 圖2是物品運送設備的局部側視 圖3是從物品運送車的行駛方向觀察到的物品運送車的剖視 圖4是將圖2中的局部放大後的附 圖5是將圖2中的局部放大後的附 圖6是將圖2中的局部放大後的附 圖7是副路徑間連結路徑的剖視 圖8是副路徑間連結路徑的剖視 圖9是副路徑間連結路徑的剖視圖。附圖標記說明
2 :行駛軌道，3 :物品運送車，20 :第I行駛路徑，21 :第3行駛路徑，22 :第2行駛路徑，23 :升降裝置，26 :驅動部，201 第I行駛軌道，202 :第2行駛軌道，202a 第I高度軌道部位，202b :第2高度軌道部位，202c :升降軌道部位，M :橫跨部位。
具體實施例方式基於附圖對本發明所涉及的物品運送設備的實施方式進行說明。在本實施方式中，本發明的物品運送設備作為例子而在對半導體基板進行處理的處理設備中加以利用。但是，本發明的物品運送設備也能夠適用於需要運送物品的其它的設備中。該物品運送設備如圖1所示，在天花板一側以經由多個物品處理部I的狀態設置有行駛軌道2而形成了行駛路徑S，並設有多個沿著行駛路徑S向一方向移動自如的天花板運送式的物品運送車3。在該物品運送設備中，如圖3所示，將收納了半導體基板的容器作為物品4，物品運送車3在多個物品處理部I之間運送物品4。行駛軌道2通過懸吊支撐件30以固定狀態設置在天花板部。物品運送車3如圖2所示，具備升降自如的把持部6，將物品4把持在懸吊狀態。把持部6以如下方式設置，在物品運送車3停止的狀態下，通過卷取或者放出線纜7 (並不僅限於線纜，例如也可以使用皮帯)而在上升位置和下降位置之間升降自如，其中，上升位置是接近物品運送車3的位置，下降位置是在與設置在物品運送車3的下方ー側的物品移載用的エ位8之間進行物品移載的位置。另外，在圖2中表示了把持部6從上升位置向下降位置下降的情況。エ位8由載置支撐物品4的載置臺構成。並且エ位8用於從物品運送車3上接收由物品處理部I進行規定的處理的物品4，或者向物品運送車3轉交由物品處理部I進行了規定的處理後的物品4，是與多個物品處理部I的每ー個相對應地配置的。物品運送車3在使把持部6位於上升位置的狀態下沿著行駛軌道2移動，並以停止在多個エ位8中與移載對象的エ位8相對應的停止位置的狀態使把持部在上升位置和下降位置之間升降，在與エ位8之間進行物品4的交接(即移載)。物品運送車3具備在行駛軌道2上行駛的行駛驅動部9，和由行駛驅動部9懸吊支撐成位於行駛軌道2的下方的物品支撐部10。如圖3所示，行駛軌道2在物品運送車3的橫寬方向上隔開間隔地設有左右一対，在行駛驅動部9上設有被驅動馬達11驅動旋轉而在左右一對的行駛軌道2各自的沿著水平面的上表面滾動的行走輪12，和與左右一對的行駛軌道2各自的對向的沿著上下方向的側面抵接而旋轉自如的行駛引導輪13。並且通過行駛輪12被驅動馬達11驅動而繞沿著物品運送車3的橫寬方向的軸心旋轉，繞上下軸心旋轉自如的行駛引導輪13與左右一對的行駛軌道2抵接而被引導，物品運送車3被行駛軌道2引導而行駛。在此，雖然省略了圖示，但行駛輪12在物品運送車3的橫寬方向的兩端部裝配了左右ー對，該左右ー對的行駛輪12在物品運送車3的前後方向上隔開間隔地設有兩個，合計設有四個行駛輪12。行駛引導輪13在物品運送車3的橫寬方向的兩端部各有兩個，這各兩個的行駛引導輪13在物品運送車3的前後方向上隔開間隔地設有兩個，合計設有八個行駛引導輪13。若再次參照圖3，則在物品支撐部10上設有卷繞線纜7並被升降馬達16驅動而旋轉的旋轉卷盤15，和由線纜7懸吊支撐的把持部6。把持部6具備把持件17，該把持件17由把持馬達16操作而在把持物品4的把持姿勢與解除把持的把持解除姿勢之間切換自如。並且通過由升降馬達14驅動旋轉卷盤15旋轉，把持部6及其所把持的物品4升降移動，通過由把持馬達16對把持件17進行切換操作而把持物品4或者解除相對於物品4的把持。物品運送車3上，在物品運送車3的前後方向以及橫寬方向的中央部裝配有受電線圈18，通過該受電線圈18而接受來自供電線19的驅動電力的供電。供電線19以由行駛軌道2支撐的狀態裝備有左右一対，左右ー對的供電線19配線成以在物品運送車3的橫寬方向上隔開間隔的狀態位於左右一對的行駛軌道2之間。並且通過向供電線19通入交流電流而產生磁場，通過該磁場而在受電線圈18中產生驅動電力，以非接觸狀態進行驅動電カ向物品運送車3的供電。通過從供電線19向受電線圈18供給驅動電力，物品運送車3在該驅動電カ的作用下進行行駛驅動部9的行駛以及把持部6的升降等。在該物品運送設備中，雖然物品運送車3所行駛的行駛路徑S是由行駛軌道2形成的，但如圖1所示，作為行駛路徑S，設有環狀的主路徑20(相當於第I行駛路徑)，環狀的副路徑21 (相當於第3行駛路徑)，以及連結主路徑20和副路徑21、使從物品運送車3的主路徑20向副路徑21分支行駛以及從副路徑21向主路徑20合流行駛自如的連結路徑。主路徑20是作為環狀的路徑構成的，具備對向配置的一對直線部分，和連接ー對直線部分各自的終端部與始端部的一對曲線部分。其周邊的區域被主路徑20的一對直線部分分割成三個區域，分割的區域中的第I區域是處於一對直線部分之間的內側區域，第2區域是不包含在第I區域中的兩個外側區域中的ー個，第3區域是兩個外側區域中的另ー個。副路徑21在主路徑20的外側以沿著主路徑20上的物品運送車3的行駛方向排列的狀態設有多個(在圖1中例如是三個)，在主路徑20的外側裝配在主路徑20的一側和另一側兩側。副路徑21是相對於主路徑20裝配在ー側的副路徑21和相對於主路徑20裝配在另ー側的副路徑21裝配在主路徑20的對向位置。副路徑21分別以經由多個エ位8的狀態配置成在沿離開主路徑210的方向延伸的直線部分、和沿接近主路徑20的方向延伸的直線部分位於相互對向的位置。並且副路徑21分別形成為具備一對直線部分，和連接ー對直線部分各自的終端部與始端部的一對曲線部分的環狀。在副路徑21的路徑中途，設有用於在多個エ位8的每ー個與物品運送車3之間移載物品4的目標停止位置，物品運送車3在停止在該目標停止位置的狀態下使把持部6升降而在與エ位8之間移載物品4。連結主路徑20和副路徑21的連結路徑是相對於多個副路徑21的每ー個設置的，連結路徑由從主路徑20的直線部分分支而與向離開主路徑20的方向延伸的副路徑21的直線部分相連的分支路徑，和從向接近主路徑20的方向延伸的副路徑21的直線部分的終端部向主路徑20合流的合流路徑構成。並且在主路徑20上，分支路徑的分支部位成為了與合流路徑的合流部位相比為物品運送車3行駛方向的上遊ー側。當物品運送車3從主路徑20向副路徑21分支行駛時，保持主路徑20上的行駛方向而繼續沿著副路徑21行駛。而且，當物品運送車3從副路徑21向主路徑20合流行駛時，保持副路徑21上的行駛方向繼續沿著主路徑20行駛。在該物品運送設備中，連結裝配在主路徑20的ー側的副路徑21和裝配在另ー側的副路徑21的副路徑間連結路徑22 (相當於第2行駛路徑)是與連結路徑分別設置的，從而物品運送車3不是在主路徑20上行駛，而是在裝配在主路徑20的ー側的副路徑21與裝配在另ー側的副路徑21之間行駛。副路徑間連結路徑22的一端部與相對於主路徑20裝配在ー側的副路徑21相連，另一端部與相對於主路徑20裝配在另ー側的副路徑21相連，其中途部分從主路徑20的橫寬方向(圖1中的左右方向、副路徑間連結路徑22上的物品運送車3的行駛方向)的ー側橫跨主路徑20到另ー側。在本說明書中，路徑部分橫跨主路徑20的表現意味著該路徑部分不相對於主路徑20合流或者分支，俯視時從主路徑20的橫截方向的ー側延伸到另ー側。副路徑間連結路徑22由將裝配在主路徑20的對向位置的副路徑21彼此連結在一起的直線狀的路徑構成。將相同的副路徑21彼此連結在一起的副路徑間連結路徑22設有兩個。這樣一來，將兩個副路徑間連結路徑22中的一個作為用於使物品運送車3相對於主路徑20從ー側(例如圖1中的左側)的副路徑21向另ー側(例如圖1中的右側)的副路徑21行駛的路徑，將兩個副路徑間連結路徑22中的另外ー個作為用於使物品運送車3相對於主路徑20從另ー側(例如圖1中的右側)的副路徑21向ー側(例如圖1中的左側)的副路徑21行駛的路徑。將相同的副路徑21彼此連結在一起的兩個副路徑間連結路徑22各自的始端部與ー側的副路徑21上向接近主路徑20的方向延伸的直線部分的終端部相連，終端側與另ー側的副路徑21上向離開主路徑20的方向延伸的直線部分的始端部相連。這樣ー來，如圖1中箭頭所示，當物品運送車3沿著副路徑間連結路徑22從ー側的副路徑21向另ー側的副路徑21行駛時，ー側的副路徑21上的行駛方向、副路徑間連結路徑22上的行駛方向、以及另ー側的副路徑21上的行駛方向均是相同方向，能夠順暢地沿著副路徑間連結路徑22從ー側的副路徑21向另ー側的副路徑21行駛。
副路徑間連結路徑22設成以與主路徑20的一對直線部分的每一部分正交的狀態橫跨主路徑20，橫跨主路徑20的直線部分的部位成為了橫跨部位M。並且由於該橫跨部位M，使主路徑20上物品運送車3所行駛的位置與副路徑間連結路徑22上物品運送車3所行駛的位置在上下方向上不同。即，橫跨部位M處的副路徑間連結路徑22處於橫跨部位M上比主路徑20高的位置。因此，能夠相互不幹擾地進行主路徑20上的物品運送車3的行駛和副路徑間連結路徑22上的物品運送車3的行駛。針對多個物品運送車3的行駛，遍及行駛路徑S整體地設有對多個移動體3的運行進行管理的設備管理計算機，在物品運送車3上設有臺車側控制部，基於來自設備管理計算機的運行指令信息控制物品運送車3的動作。本說明書中的計算機等控制部及以下所記載的運行管理部等屬於現有技術，具有CPU、儲存器、通信単元等，在儲存器中存儲有用於執行本說明書所記載的功能的算法。雖然省略了圖示，但在物品運送車3上設有設置在行駛軌道2的旁側等並檢測出表示與各エ位8相對應的目標停止位置的停止板的停止板檢測傳感器、設置在行駛軌道2的旁側等並檢測出表示距行駛路徑S的基準點的位置(距離)的絕對位置板的絕對位置板檢測傳感器、檢測出物品運送車3的行駛距離的行駛距離傳感器等各種傳感器。臺車側控制部基於絕對位置板檢測傳感器的檢測信息以及檢測到絕對位置板檢測傳感器後行駛距離檢測傳感器的檢測信息，把握物品運送車3的當前位置處於行駛路徑S上的何處位置，通過無線通信等向設備管理計算機發送該當前位置信息和能夠識別出是多個物品運送車3中的哪輛物品運送車的臺車號碼等臺車識別信息。設備管理計算機根據來自各臺車側控制部的當前位置信息和臺車識別信息對多個物品運送車3的每ー個的當前位置進行管理，並且對多個物品運送車3的運行進行管理。設備管理計算機構成為在從多個物品運送車3中選擇出一個運送對象的物品運送車3，並相對於該選擇出的物品運送車3從多個エ位8中指定了運送起始地以及運送目的地的エ位8的狀態下，作為運行指令信息而發送將物品4從運送起始地的エ位8向運送目的地的エ位8運送的運送指令。而且，設備管理計算機構成為在使物品運送車3從運送起始地向運送目的地行駛時，例如從多個路徑中選擇出了行駛距離最短的最短路徑，發出用於使物品運送車3以該選擇出的最短路逕行駛的運行指令信息的指令。這樣ー來，接收到運送指令的物品運送車3的臺車側控制部基於各種傳感器的檢測信息控制物品運送車3的行駛，使其行駛到所指定的運送起始地的エ位8，通過控制把持部6的升降動作及把持部6的切換動作，從運送起始地的エ位8上接受物品4。之後，臺車側控制部基於各種傳感器的檢測信息控制物品運送車3的行駛，使其行駛到所指定的運送目的地的エ位8，向運送目的地的エ位8轉交物品4。如圖1所示，設有多個某一路徑與其它的路徑合流的合流部等，由於該合流部等，存在發生物品運送車3彼此碰撞的可能性。為此，如上所述，針對行駛路徑S上的物品運送車3的運行，基本是由設備管理計算機進行管理，但與設備管理計算機另外設有運行管理部，對物品運送車3的運行進行管理，ー邊防止物品運送車3因合流部等而彼此碰撞，ー邊使物品運送車3行駛。例如，物品運送車3的臺車側控制部控制物品運送車3的行駛，在向合流部進入時，在其之前相對於運行管理部進行是否許可進入的詢問，僅在被許可進入時進入合流部。另ー方面，在從臺車側控制部有是否許可進入的詢問時，運行管理部相對於臺車側控制部發出運行指令信息的指令，許可在合流部僅有一臺物品運送車3的進入。(副路徑間連結路徑上的橫跨部位)
如上所述，副路徑間連結路徑22是橫跨主路徑20的直線部分的部位成為橫跨部位M。在本發明所涉及的物品運送設備中，如上所述，通過在該橫跨部位M，使主路徑20上物品運送車3所行駛的位置與副路徑間連結路徑22上物品運送車3所行駛的位置在上下方向上不同，能夠相互不幹擾地進行主路徑20上的物品運送車3的行駛和副路徑間連結路徑22上的物品運送車3的行駛。以下，將主路徑20作為第I行駛路徑，將副路徑間連結路徑22作為第2行駛路徑，將副路徑21作為第3行駛路徑，基於圖2以及圖4 圖9針對本發明所涉及的物品運送設備加以說明。在此，圖2是表示包含橫跨部位M的副路徑間連結路徑22的大致結構的側視圖，圖4 圖6是將圖2的主要部分放大而表示物品運送車3的行駛過程的附圖，圖7 圖9是副路徑間連結路徑22的主要部分的剖視圖。圖7是從圖2中物品運送車3的行駛方向X觀察時的剖視圖，圖8是從圖2中與物品運送車3的行駛方向X相反一側觀察時的剖視圖。如圖2所示，作為第2行駛路徑的副路徑間連結路徑22以相對於主路徑20在上方ー側高度不同地裝配在橫跨部位M，主路徑22上的物品運送車3的行駛與副路徑間連結路徑22上的物品運送車3的行駛互容。在此，圖2中，主路徑20是作為使物品運送車3沿著相對於紙面垂直的方向行駛的行駛路徑表示的，副路徑間連結路徑22是作為使物品運送車3向箭頭X的方向行駛的行駛路徑表示的。若加以說明，則作為行駛軌道2，設有形成主路徑20的第I行駛軌道201，和形成副路徑間連結路徑22的第2行駛軌道202。第I行駛軌道201在物品運送車3的橫寬方向上隔開間隔地設有左右ー對，第2行駛軌道202也如圖7以及圖8所示，在物品運送車3的橫寬方向上隔開間隔地設有左右一対。如圖1所示，第I行駛軌道201的左右ー對的直線部分相互分離，但在圖2中省略了左右ー對的直線部分之間的部分。若再次參照圖2，則形成副路徑間連結路徑22的第2行駛軌道202具備第I高度軌道部位202a，第2高度軌道部位202b，以及升降軌道部位202c，其中，第I高度軌道部位202a以在上下方向上與第I行駛軌道201相同的高度裝配在主路徑20的物品運送車3的行駛方向X的上遊ー側和下遊ー側(主路徑20的橫寬方向的ー側和另ー側)，第2高度軌道部位202b以相對於第I行駛軌道201在上方ー側高度不同的狀態(即比第I行駛軌道201更高的位置)裝配在橫跨部位M，升降軌道部位202c裝配在主路徑20的物品運送車3的行駛方向X的上遊ー側和下遊ー側與橫跨部位M之間，通過升降裝置23在與第I高度軌道部位202a相連續的第I高度(參照圖4)和與第2高度軌道部位202b相連續的第2高度(參照圖5)之間升降自如。另外，雖然省略了圖示，但作為第I行駛路徑的主路徑20以及作為第3行駛路徑的副路徑21裝配成在上下方向上為相同的高度。而且，針對連結主路徑20與副路徑21的連結路徑也裝配成與主路徑20以及副路徑21在上下方向上為相同的高度。這樣ー來，物品運送車3在通過連結路徑從主路徑20向副路徑21分支行駛之際，以及通過連結路徑從副路徑21向主路徑20合流行駛之際，不必改變其行駛的高度即能夠以相同的高度順暢地行駛。若再次參照圖2，則副路徑間連結路徑22上的橫跨部位M設定成連續地橫跨主路徑20的一對直線部分兩者。在該橫跨部位M裝配有第2高度軌道部位202c。S卩，第2高度軌道部位202c具有行駛方向X上的一側的端部和另ー側的端部，一側的端部與另ー側的端部的距離(即第2高度軌道部位202c的長度)比主路徑20的一對直線部分之間的距離大。進而，俯視時ー側的端部處於在行駛方向X上超過了主路徑20的一對直線部分的一方的位置，而另ー側的端部處於在行駛方向X上超過了主路徑20的一對直線部分的另一方的位置。並且在物品運送車3的行駛方向X上夾著橫跨部位M的兩側與橫跨部位M鄰接的部位設定成鄰接部位P。即，與第2高度軌道部位202c的ー側的端部鄰接地設有ー個鄰接部位P，與第2高度軌道部位202c的另ー側的端部鄰接地設有另一個鄰接部位P。該兩側的鄰接部位P的每一部位例如設成在物品運送車3的行駛方向X上從橫跨部位M至與副路徑21 ー側僅離開設定距離之間的部位。在此，設定距離設定成比物品運送車3的前後寬度更 長的距離，物品運送車3收存在該鄰接部位P。在該兩側的鄰接部位P的每一部位裝配有升降軌道部位202c。而且，將在物品運送車3的行駛方向X上夾著橫跨部位M的兩側比鄰接部位P更向副路徑21 —側離開的部位設定成分離部位Q。在該兩側的分離部位P的每一部位裝配有第I高度軌道部位202a。如上所述，裝配在橫跨部位M的第2高度軌道部位202b裝配在相對於第I行駛軌道201更高的位置，但第2高度軌道部位202b裝配在相對於第I行駛軌道201向上方ー側僅空出比在第2高度軌道部位202b上行駛的物品運送車3的上下寬度更長距離的間隔的高度。這樣ー來，在第I行駛軌道201上行駛的物品運送車3與在第2高度軌道部位202b上行駛的物品運送車3不會相互幹擾，物品運送車3在第I行駛軌道201上的行駛與物品運送車3在第2高度軌道部位202b上的行駛互容。其結果，能夠獨立地進行物品運送車3在第I行駛軌道201上的行駛與物品運送車3在第2高度軌道部位202b上的行駛。以下，若對使升降軌道部位202c升降的升降裝置23的結構等加以說明，則如上所述，升降軌道部位202c設在橫跨部位M上物品運送車3的行駛方向X的上遊ー側和下遊ー側兩側。物品運送車3的行駛方向X的上遊ー側的升降軌道部位202c與下遊ー側的升降軌道部位202c由於僅是物品運送車3的行駛方向X上的設置位置不同，其結構相同，所以基於圖4 圖9，僅對物品運送車3的行駛方向X的上遊ー側的升降軌道部位202c加以說明。如圖4以及圖7所示，使升降軌道部位202c在第I高度和第2高度之間升降的升降裝置23具備自由地卷取或者放出懸吊支撐升降軌道部位202c的懸吊皮帶24的卷取、放出裝置25，和用於使該卷取、放出裝置25進行卷取或者放出動作的電動馬達26 (相當於驅動部)。並且懸吊皮帶24裝備四根，各自的一端部與卷取、放出裝置25相連，其中途部位繞掛在多個旋轉引導體27上，另一端部與升降軌道部位202c相連。關於懸吊皮帶24向升降軌道部位202c上的連接，不是將懸吊皮帶24直接與升降軌道部位202c相連，而是如圖4以及圖9所示，經由連結體28與升降軌道部位202c相連。S卩，升降軌道部位202c在物品運送車3的橫寬方向上隔開間隔地具備左右一対，這左右一對的升降軌道部位202c被連結體28連結在一起。連結體28具有從左右一對的升降軌道部位202c的每一部位向上方ー側延伸的部分，和將該延伸的部分的上端部彼此連結在一起的直線部分，整體形成為コ字型。這樣ー來，通過將懸吊皮帶24與連結體28相連，卷取或者放出懸吊皮帶24，能夠保持在物品運送車3的橫寬方向上隔開間隔的狀態升降左右一對的升降軌道部位202c。並且連結體28形成物品運送車3的行駛驅動部9能夠通過的空間，並且連結左右一對的升降軌道部位202c。這樣，升降裝置23構成為通過電動馬達26的驅動カ使卷取、放出裝置25進行卷取動作或者放出動作，卷取或者放出四根升降皮帶24，使左右一對的升降軌道部位202c在第I高度(參照圖4)和第2高度(參照圖6)之間升降。在此，雖然是通過升降裝置23使升降軌道部位202c升降，但如圖4 圖6所示，為了防止在該升降中升降軌道部位202c的位置偏離或搖擺等，裝備有在上下方向上延伸的杆狀的升降引導件31。在該升降軌道部位202c上設有與升降軌道部位202c —體地升降自如的滑動體32，其以外嵌在升降引導件31上的狀態滑動自如。這樣ー來，通過滑動體32以外嵌在升降引導件31上的狀態滑動，升降軌道部位202c被升降引導件31引導而升降。如圖5以及圖7所示，升降裝置23由形成為框狀的支撐體29的上端側部位支撐。該支撐體29被懸吊支撐件30懸吊支撐在天花板部，在其下端部固定有第I高度軌道部位202a。支撐體29裝配在分離部位Q上第I高度軌道部位202a的上方ー側。並且升降裝置23中的卷取、放出裝置25以及電動馬達26等以收存在上下方向上為升降軌道部位202c在第I高度和第2高度之間升降的升降範圍內、且在副路徑間連結路徑22的橫寬方向(物品運送車3的橫寬方向)上為左右一對的第2行駛軌道202之間的空間中的狀態裝配。這樣一來，作為卷取、放出裝置25以及電動馬達26等的設置空間，能夠有效地靈活利用分離部位Q的升降軌道部位202c上方ー側的空間，並且能夠在小空間中高效率地設置卷取、放出裝置25以及電動馬達26等。對物品運送車3在副路徑間連結路徑22上的橫跨部位M上行駛時的動作進行說明。如圖2所示，在副路徑間連結路徑22上，在橫跨部位M的物品運送車3的行駛方向的上遊ー側和下遊ー側雙方裝配有升降軌道部位202c，但當物品運送車3在橫跨部位M上行駛時，作為初期狀態，上遊ー側的升降軌道部位202c位於與第I高度軌道部位202a相連續的第I高度，並且下遊ー側的升降軌道部位202c位幹與第2高度軌道部位202b相連續的第2高度。這樣ー來，如圖4所示，物品運送車3在裝配在分離部位Q上的第I高度軌道部位202a上行駛，從該第I高度軌道部位202a向裝配在鄰接部位P的位於第I高度的升降軌道部位202c換乘，並停止在升降軌道部位202c。並且如圖5所示，通過升降裝置23，物品運送車3所換乘的升降軌道部位202c從第I高度上升，如圖6所示，該物品運送車3所換乘的升降軌道部位202c上升到與裝配在橫跨部位M的第2高度軌道部位202b相連續的第2高度。之後，物品運送車3在升降軌道部位202c上行駛，從該升降軌道部位202c向裝配在橫跨部位M的第2高度軌道部位202b換乘。並且如上所述，由於第2高度軌道部位202b裝配在相對於第I行駛軌道201更高的位置，所以物品運送車3在主路徑20上的第I行駛軌道201上的行駛與物品運送車3在第2高度軌道部位202b上的行駛能夠相互獨立。這樣，在物品運送車3以物品運送車3的行駛方向X在橫跨部位M的上遊ー側依次在裝配在分離部位Q的第I高度軌道部位202a，和裝配在鄰接部位P的升降軌道部位202c上行駛後，在裝配在橫跨部位M的第2高度軌道部位202b上行駛時，與橫跨部位M的下遊一側同樣，物品運送車3以物品運送車3的行駛方向X依次在裝配在鄰接部位P的升降軌道部位202c，和裝配在分離部位Q的第I高度軌道部位202a上行駛。即，雖然省略了同吋，但物品運送車3從裝配在該橫跨部位M的第2高度軌道部位202b向裝配在鄰接部位P的位於第2高度的升降軌道部位202c換乘，通過升降裝置23使物品運送車3所換乘的升降軌道部位202c從第2位置向第I位置下降。這樣，物品運送車3從升降軌道部位202c向第I高度軌道部位202a換乘並行駛。如上所述，物品運送車3構成為從主路徑20的橫寬方向的一側的第I高度軌道部位202a以及升降軌道部位202c經由橫跨部位M的第2高度軌道部位202b與主路徑20的橫寬方向的另ー側的升降軌道部位202c以及第I高度軌道部位202a相連續地在副路徑間連結路徑22上行駛自如。並且在第2行駛軌道202上的第I高度軌道部位202a、第2高度軌道部位202b、以及升降軌道部位202c中的任一部位，如圖7以及圖8所示，裝備有由左右一對的行駛軌道202支撐的狀態的供電線19，左右ー對的供電線19配線在能夠向物品運送車3的受電線圈18供給驅動電カ的恰當位置。這樣ー來，在第I高度軌道部位202a、第2高度軌道部位202b、以及升降軌道部位202c中的任一部位，物品運送車3均能夠從左右一對的供電線19接受驅動電力的供電而恰當地行駛。關於升降軌道部位202c，雖然是在第I高度和第2高度之間升降,但使用線纜架(cableveyor) B等,無論是位於第I高度,還是位於第2高度，均能夠通過由升降軌道部位202c支撐的供電線19向物品運送車3供給驅動電力。另外，在升降軌道部位202c，當物品運送車3向下一個軌道部位換乘時，升降軌道部位202c被升降裝置23升降，在物品運送車3的行駛方向X上，成為上遊一側的升降軌道部位202c位幹與第I高度軌道部位202a相連續的第I高度，並且下遊ー側的升降軌道部位202c位幹與第2高度軌道部位202b相連續的第2高度的初期狀態。並且為了在升降軌道部位202c未位於第I高度的情況下，阻止物品運送車3從第I高度軌道部位202a向升降軌道部位202c —側行駛，在使升降軌道部位202c在第I高度和第2高度之間升降的情況下，阻止物品運送車3從升降軌道部位202c飛出，如圖4 圖6所示，裝備有限制物品運送車3的移動的止擋33a 33d。作為止擋，裝備有限制物品運送車3從第I高度軌道部位202a向升降軌道部位202c 一側移動的第I止擋33a，限制物品運送車3從升降軌道部位202c向第I高度軌道部位202a —側移動的第2止擋33b，限制物品運送車3從升降軌道部位202c向第2高度軌道部位202b —側移動的第3止擋33c，以及限制物品運送車3從第2高度軌道部位202b向升降軌道部位202c —側移動的第4止擋33d。由於這四個止擋33a 33d均是相同的結構，所以基於圖6以及圖9僅對第3止擋33c加以說明，針對其它止擋則省略了說明。第3止擋33c由板狀體構成，繞沿著物品運送車3的行進方向的水平軸心在與物品運送車3的行駛輪12抵接的抵接位置(圖9中的虛線)和從物品運送車3的行駛輪12退避的退避位置(圖9中的實線)之間擺動自如。並且第3止擋33c如圖9中的雙點劃線所示，通過位於抵接位置，與行駛輪12抵接而限制物品運送車3的移動，如圖9中的實線所示，通過位於退避位置，不與行駛輪12抵接而容許物品運送車3的移動。而且，第3止擋33c被施カ機構(例如螺旋彈簧或板簧等弾性體)施力而向抵接位置ー側復位，為了使第3止擋33c從抵接位置向退避位置進行位置變更而裝備有位置變更操作部35c。通過由位置變更操作部35c對第3止擋33c進行推壓操作，使第3止擋33c從抵接位置向退避位置進行位置變更。第3止擋33c的位置變更操作部35c裝備成從支撐升降裝置23的支撐體29向一方一側延伸，當升降軌道部位202c向第2高度上升吋，由位置變更操作部35c對第3止擋33c進行推壓操作。另外，在圖4 圖6中，針對位置變更操作部僅圖示了針對第2、第4止擋33b,33d的位置變更操作部35b、35d，針對第I止擋33a的位置變更操作部則省略了圖示。若對第I 第4止擋33a 33d的動作進行說明，則如圖4所示，當升降軌道部位202c位於第I高度時，第1、第2止擋33a、33b位於退避位置，容許物品運送車3從第I高度軌道部位202a向升降軌道部位202c移動。這樣ー來，物品運送車3能夠從第I高度軌道部位202a向位於第I高度的升降軌道部位202c換乘。此時，第3、第4止擋33c、33d位於抵接位置，限制了物品運送車3從第2高度軌道部位202b向升降軌道部位202c —側移動，防止了物品運送車3誤從第2高度軌道部位202b向升降軌道部位202c —側移動。如圖6所示，當升降軌道部位202c位於第2高度時，第3、第4止擋33c、33d位於退避位置，容許物品運送車3從升降軌道部位202c向第2高度軌道部位202b移動。這樣一來，物品運送車3能夠從位於第2高度的升降軌道部位202c向第2高度軌道部位202b換乘。此時，第1、第2止擋33a、33b位於抵接位置，限制了物品運送車3從第2高度軌道部位202b向升降軌道部位202c —側移動，防止了物品運送車3誤從第I高度軌道部位202a向升降軌道部位202c —側移動。而且，如圖5所示，在升降軌道部位202c在第I高度和第2高度之間的升降中，第I 第4止擋33a 33d全部位於抵接位置，防止了物品運送車3從升降軌道部位202c飛出及物品運送車誤向升降軌道部位202c —側移動。[其它實施方式]
(I)在上述實施方式中，例示了為了使物品運送車3在第I高度軌道部位202a和第2高度軌道部位202b之間行駛而具備在第I高度和第2高度之間升降自如的升降軌道部位202c的例子，但例如也可以取代升降軌道部位而具備在第I高度軌道部位和第2高度軌道部位之間傾斜連接的傾斜軌道部位而進行實施。在這種情況下，在與橫跨部位相比為物品運送車的行駛方向的上遊ー側，物品運送車從第I高度軌道部位向傾斜軌道部位行駛，在傾斜軌道部位上從下方ー側向上方一側逐漸上升地斜向行駛，從傾斜軌道部位向第2高度軌道部位行駛。而且，在與橫跨部位相比為物品運送車的行駛方向的下遊ー側，物品運送車從第2高度軌道部位向傾斜軌道部位行駛，在傾斜軌道部位上從上方ー側向下方一側逐漸下降地斜向行駛，從傾斜軌道部位向第I高度軌道部位行駛。(2)在上述實施方式中，在橫跨部位M，作為第2行駛路徑的副路徑間連結路徑22裝配在相對於作為第I行駛路徑的主路徑20更高的位置，但也可以相反地將作為第2行駛路徑的副路徑間連結路徑22裝配在相對於作為第I行駛路徑的主路徑20更低的位置。即，在形成第I行駛路徑的第I行駛軌道的上方ー側有空間的情況下，將第2行駛路徑裝配在相對於第I行駛路徑更高的位置更為有效，而在形成第I行駛路徑的第I行駛軌道的下方ー側有空間的情況下，將第2行駛路徑裝配在相對於第I行駛路徑更低的位置則更為有效。(3)在上述實施方式中，例示了在將作為第3行駛路徑的副路徑21裝配在作為第I行駛路徑的主路徑20的一側和另一側兩側的設備中，使連結主路徑20的ー側的副路徑21與另ー側的副路徑21的副路徑間連結路徑22作為第2行駛路徑的例子，但只要是具備相對於第I行駛路徑從該第I行駛路徑的一側橫跨到另ー側的第2行駛路徑的設備，則也能夠適用本發明所涉及的物品運送設備。 本發明的物品運送設備能夠在例如半導體的製造エ廠及設備處理等中加以利用。
權利要求
1.一種物品運送設備，其特徵在於， 具備行駛路徑和沿著上述行駛路逕行駛自如的物品運送車，上述行駛路徑具有第I行駛路徑，和從上述第I行駛路徑的橫寬方向的一側橫跨上述第I行駛路逕到另一側的第2行駛路徑， 上述第2行駛路徑以相對於上述第I行駛路徑在上下方向上為不同的高度裝配在上述第2行駛路徑的橫跨上述第I行駛路徑的橫跨部位，上述物品運送車在上述第I行駛路徑上的行駛與上述物品運送車在上述第2行駛路徑上的行駛互容，上述物品運送車從上述第I行駛路徑的橫寬方向的一側經由上述橫跨部位與上述第I行駛路徑的橫寬方向的另一側相連續地在上述第2行駛路徑上行駛自如。
2.如權利要求1所述的物品運送設備，其特徵在於， 作為上述行駛路徑裝備有第3行駛路徑，其從上述第I行駛路徑上分支並向上述第I行駛路徑合流，上述第3行駛路徑在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在上述第I行駛路徑的一側與另一側兩側，上述第2行駛路徑的一端部與在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在一側的上述第3行駛路徑相連，其另一端部與在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在另一側的上述第3行駛路徑相連，上述物品運送車在上述第I行駛路徑的橫寬方向上裝配在一側的上述第3行駛路徑與裝配在另一側的上述第3行駛路徑之間行駛自如。
3.如權利要求1所述的物品運送設備，其特徵在於， 設有形成上述第I行駛路徑的第I行駛軌道，和形成上述第2行駛路徑的第2行駛軌道，上述第2行駛軌道具備第I高度軌道部位，第2高度軌道部位，以及升降軌道部位，上述第I高度軌道部位以與上述第I行駛軌道在上下方向上為相同的高度裝配在上述第I行駛路徑的橫寬方向的一側和另一側，上述第2高度軌道部位以與上述第I行駛軌道在上下方向上為不同的高度裝配在上述橫跨部位，上述升降軌道部位通過升降裝置而在上述第I行駛路徑的橫寬方向的一側和另一側與上述橫跨部位之間、在與上述第I高度軌道部位相連續的第I高度和與上述第2高度軌道部位相連續的第2高度之間升降自如。
4.如權利要求3所述的物品運送設備，其特徵在於， 上述第I行駛軌道以及上述第2行駛軌道裝備有左右一對，上述升降裝置構成為通過驅動部的驅動力使上述升降軌道部位在第I高度和第2高度之間升降自如，上述驅動部裝配在上述第I行駛路徑的橫寬方向上除了上述升降軌道部位之外還裝配上述第I高度軌道部位的一側，處於在上下方向上收存在上述升降軌道部位在第I高度和第2高度之間升降的升降範圍內、並且在上述第2行駛路徑的橫寬方向上收存在左右一對的上述第2行駛軌道之間的空間中的狀態。
5.如權利要求3所述的物品運送設備，其特徵在於， 至少在上述升降軌道部位設有限制上述物品運送車的移動的止擋， 上述止擋能夠在限制上述物品運送車通過的抵接位置與容許上述物品運送車通過的退避位置之間位移， 上述止擋構成為隨著上述升降軌道部位到達上述第2高度而與由天花板一側支撐的位置變更操作部抵接，從而從上述抵接位置向退避位置位移。
全文摘要
本發明的目的在於提供一種能夠謀求結構的簡單化以及成本的降低，並能夠防止運送能力的降低的物品運送設備。在物品運送設備上，作為行駛路徑裝備有第1行駛路徑(20)，和從第1行駛路徑(20)的橫寬方向的一側橫跨第1行駛路徑(20)到另一側的第2行駛路徑(22)，第2行駛路徑(22)以相對於第1行駛路徑(20)在上下方向上為不同的高度裝配在第2行駛路徑(22)的橫跨第1行駛路徑(20)的橫跨部位(M)，物品運送車(3)在第1行駛路徑(20)上的行駛與物品運送車(3)在第2行駛路徑(22)上的行駛互容，物品運送車(3)構成為從第1行駛路徑(20)的橫寬方向的一側經由橫跨部位(M)與第1行駛路徑(20)的橫寬方向的另一側相連續地在第2行駛路徑(22)上行駛自如。
文檔編號H01L21/677GK103025629SQ20118003826
公開日2013年4月3日 申請日期2011年6月17日 優先權日2010年8月4日
發明者柴田優, 小川大介, 乾吉隆 申請人:株式會社大福