晶圓傳送裝置控制電路、晶圓傳送裝置以及光刻設備的製作方法
2023-07-27 06:06:51
專利名稱：晶圓傳送裝置控制電路、晶圓傳送裝置以及光刻設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體製造領域，更具體地說，本發明涉及一種晶圓傳送裝置控制電路、採用了該晶圓傳送裝置控制電路的晶圓傳送裝置、以及採用了該晶圓傳送裝置的光刻設備。
背景技術：
光刻工藝是半導體製造過程中經常採用到的一種常見工藝。隨機半導體製造技術的發展以及集成電路設計及製造的發展，光刻成像技術隨之發展，半導體器件的特徵尺寸也不斷的縮小。隨著先進封裝技術的發展，對光刻的要求(關鍵尺寸均勻性、套刻精度等)將逐漸提高，當娃片尺寸逐漸增大到200mm(8英寸)乃至300mm(12英寸)時,步進投影式光刻機在全片一致性上的優勢更明顯。諸如型號為SFllO的NIKON公司的光刻機系列之類的光刻機的主要功能是把光罩上的圖形通過曝光的形式成型在晶圓表面。在其晶圓傳送裝置中存在一個控制電路，該控制電路的功能是對晶圓傳送裝置裡面的真空信號及其供給起控制作用。在晶圓加工工藝過程中會造成晶圓翹曲，而且電壓提高更容易造成晶圓翹曲。就是因為工藝過程造成晶圓翹曲，所以晶圓在傳送過程中容易在機械臂上產生低於機臺設定的電壓信號，這樣的話機臺就會容易觸發報警一晶圓傳送真空錯誤。圖I示意性地示出了根據現有技術的晶圓傳送裝置控制電路的電路圖。如圖I所示，根據現有技術的晶圓傳送裝置控制電路包括第一電阻器R181、第二電阻器R182、第三電阻器R183、第四電阻器R184、第五電阻器R185、第六電阻器R186、第一運算放大器U24以及第二運算放大器U2。其中，所述第一電阻器R181的一端連接至第一晶圓傳送真空基準信號VACREFG，所述第一電阻器R181的另一端連接所述第一運算放大器U24的反向輸入端6 ;所述第二電阻器R182的一端連接至所述第一運算放大器U24的反向輸入端6，所述第二電阻器R182的另一端連接至所述第一運算放大器U24的輸出端；所述第三電阻器R183的一端連接至第二晶圓傳送真空基準信號VACREFS，所述第三電阻器R183的另一端連接所述第一運算放大器U24的正向輸入端5 ;所述第四電阻器R184的一端連接所述第一運算放大器U24的正向輸入端5，所述第四電阻器R184的另一端接地；所述第一運算放大器U24的輸出端連接至所述第二運算放大器U2的正向輸入端3 ;所述第二運算放大器U2的反向輸入端連接至所述第二運算放大器U2的輸出端；所述第二運算放大器U2的輸出端還連接至所述第五電阻器R185的一端，所述第五電阻器R185的另一端連接至所述第六電阻器R186的一端；所述第六電阻器R186的另一端作為所述晶圓傳送裝置控制電路的輸出端VAC。由於諸如型號為SFllO的NIKON公司的光刻機系列之類的光刻機機臺出廠對於上述用於對晶圓傳送裝置裡面的真空信號及其供給起控制作用的控制電路的電路板都做了電壓信號設定(基於通模式)，所以對於特殊的晶圓翹曲沒有考慮到。因此，希望能夠提供一種考慮了特殊的晶圓翹曲的情況並能防止由於在機械臂上、產生低於機臺設定的電壓信號而產生晶圓傳送真空錯誤的用於對晶圓傳送裝置裡面的真空信號及其供給起控制作用的晶圓傳送裝置控制電路。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是針對現有技術中存在上述缺陷，提供一種考慮了特殊的晶圓翹曲的情況並能防止由於在機械臂上產生低於機臺設定的電壓信號而產生晶圓傳送真空錯誤的用於對晶圓傳送裝置裡面的真空信號及其供給起控制作用的晶圓傳送裝置控制電路、採用了該晶圓傳送裝置控制電路的晶圓傳送裝置、以及採用了該晶圓傳送裝置的光刻設備。根據本發明的第一方面，提供了一種晶圓傳送裝置控制電路，用於控制晶圓傳送裝置內的真空信號及其供給。所述晶圓傳送裝置控制電路包括第一電阻器、第二電阻器、第三電阻器、第四電阻器、第五電阻器、第六電阻器、第一運算放大器以及第二運算放大器；其中，所述第一電阻器的一端連接至第一晶圓傳送真空基準信號，所述第一電阻器的另一端連接所述第一運算放大器的反向輸入端；所述第二電阻器的一端連接至所述第一運算放大器的反向輸入端，所述第二電阻器的另一端連接至所述第一運算放大器的輸出端；所述第三電阻器的一端連接至第二晶圓傳送真空基準信號，所述第三電阻器的另一端連接所述第一運算放大器的正向輸入端；所述第四電阻器的一端連接所述第一運算放大器正向輸入端，所述第四電阻器的另一端接地；所述第一運算放大器的輸出端連接至所述第二運算放大器的正向輸入端；所述第二運算放大器的反向輸入端連接至所述第二運算放大器的輸出端；所述第二運算放大器的輸出端還連接至所述第五電阻器的一端，所述第五電阻器的另一端連接至所述第六電阻器的一端；所述第六電阻器的另一端作為所述晶圓傳送裝置控制電路的輸出端。並且所述晶圓傳送裝置控制電路還包括可調電阻器，其中所述可調電阻器的兩個固定端分別連接至所述第五電阻器的兩端；並且其中，通過控制所述可調電阻器的阻值調節端來調節與所述第五電阻器並聯的有效電阻值的大小。優選地，在上述晶圓傳送裝置控制電路中，在晶圓傳送裝置中的機械臂上產生的真空電壓信號低於閾值電壓信號的情況下，通過控制所述可調電阻器的阻值調節端來調節與所述第五電阻器並聯的有效電阻值的大小。優選地，在上述晶圓傳送裝置控制電路中，在晶圓傳送裝置中的機械臂上產生的真空電壓信號等於或者高於閾值電壓信號的情況下，不通過控制所述可調電阻器的阻值調節端來調節與所述第五電阻器並聯的有效電阻值的大小。優選地，在上述晶圓傳送裝置控制電路中，第一電阻器R181的阻值為47k歐姆；第二電阻器R182的阻值為47k歐姆；第三電阻器R183的阻值為47k歐姆；第四電阻器R184的阻值為47k歐姆；第五電阻器R185的阻值為22k歐姆；第六電阻器R186的阻值為33k歐姆。優選地，在上述晶圓傳送裝置控制電路中，所述可調電阻器Rl的最大阻值為50k歐姆。根據本發明的第二方面，提供了一種採用了根據本發明的第一方面所述的晶圓傳送裝置控制電路的晶圓傳送裝置。根據本發明的第三方面，提供了一種採用了根據本發明的第二方面所述的晶圓傳送裝置的光刻設備。本發明可適應於電壓的降低，由此可通過降低電壓減小了晶圓加工過程中發生翹曲的可能性。並且，通過本發明的調節操作，可以防止在機械臂上產生低於機臺設定的電壓信號，從而本發明的電路可在晶圓傳送裝置中的真空電壓信號低於閾值電壓信號的情況下及時進行調節來防止晶圓傳送真空錯誤。所以，本發明提供了一種考慮了特殊的晶圓翹曲的情況並能防止由於在機械臂上產生低於機臺設定的電壓信號而產生晶圓傳送真空錯誤的晶圓傳送裝置控制電路。
結合附圖，並通過參考下面的詳細描述，將會更容易地對本發明有更完整的理解並且更容易地理解其伴隨的優點和特徵，其中圖I示意性地示出了根據現有技術的晶圓傳送裝置控制電路的電路圖。圖2示意性地示出了根據本發明實施例的晶圓傳送裝置控制電路的電路圖。需要說明的是，附圖用於說明本發明，而非限制本發明。注意，表示結構的附圖可能並非按比例繪製。並且，附圖中，相同或者類似的元件標有相同或者類似的標號。
具體實施例方式為了使本發明的內容更加清楚和易懂，下面結合具體實施例和附圖對本發明的內容進行詳細描述。圖2示意性地示出了根據本發明實施例的晶圓傳送裝置控制電路的電路圖。圖2所示的根據本發明實施例的晶圓傳送裝置控制電路用於控制晶圓傳送裝置內的真空信號及其供給.如圖2所示，根據本發明實施例的晶圓傳送裝置控制電路包括第一電阻器R181、第二電阻器R182、第三電阻器R183、第四電阻器R184、第五電阻器R185、第六電阻器R186、第一運算放大器U24以及第二運算放大器U2。其中，所述第一電阻器R181的一端連接至第一晶圓傳送真空基準信號VACREFG，所述第一電阻器R181的另一端連接所述第一運算放大器U24的反向輸入端6 ;所述第二電阻器R182的一端連接至所述第一運算放大器U24的反向輸入端6，所述第二電阻器R182的另一端連接至所述第一運算放大器U24的輸出端；所述第三電阻器R183的一端連接至第二晶圓傳送真空基準信號VACREFS，所述第三電阻器R183的另一端連接所述第一運算放大器U24的正向輸入端5 ;所述第四電阻器R184的一端連接所述第一運算放大器U24的正向輸入端5，所述第四電阻器R184的另一端接地；所述第一運算放大器U24的輸出端連接至所述第二運算放大器U2的正向輸入端3 ;所述第二運算放大器U2的反向輸入端連接至所述第二運算放大器U2的輸出端；所述第二運算放大器U2的輸出端還連接至所述第五電阻器R185的一端，所述第五電阻器R185的另一端連接至所述第六電阻器R186的一端；所述第六電阻器R186的另一端作為所述晶圓傳送裝置控制電路的輸出端VAC1V。此外，如圖2所示，根據本發明實施例的晶圓傳送裝置控制電路還包括可調電阻器R1，其中所述可調電阻器Rl的兩個固定端分別連接至所述第五電阻器R185的兩端。並且，其中通過控制所述可調電阻器Rl的阻值調節端a來調節與所述第五電阻器R185並聯、的有效電阻值的大小。在具體實施方式
中，可調電阻器Rl上的電壓信號是通過晶圓相關信息的傳送而實現的，具體地說，可觀察實時的傳送電壓來調節與所述第五電阻器R185並聯的有效電阻值的大小。也就是說，檢測相同工藝條件下所生產的晶圓的翹曲情況，然後根據此翹曲在傳送過程中產生的信號來設定。對於不同工藝產生的晶圓翹曲，在每次傳進機臺可以事先進行實驗，並觀察晶圓傳送裝置中實時的真空電壓信號是否低於設定的閾值電壓信號，如果晶圓傳送裝置中的機械臂上產生的真空電壓信號低於閾值電壓信號，則通過控制所述可調電阻器Rl的阻值調節端a來調節與所述第五電阻器R185並聯的有效電阻值的大小。如果晶圓傳送裝置中的
機械臂上產生的真空電壓信號等於或者高於閾值電壓信號，則不通過控制所述可調電阻器Rl的阻值調節端a來調節與所述第五電阻器R185並聯的有效電阻值的大小。具體地說，例如，如果晶圓傳送裝置中的機械臂上產生的真空電壓信號低於閾值電壓信號，則控制所述可調電阻器Rl的阻值調節端a，從而使所述可調電阻器Rl的與所述第五電阻器R185並聯的有效電阻值的大小變小(這樣，第五電阻器R185與可調電阻器R總體並聯阻值變小)，由此使晶圓傳送裝置中的機械臂上產生的真空電壓信號變大，從而防止在機械臂上產生低於機臺設定的電壓信號。通過本發明實施例的上述調節操作，可以防止在機械臂上產生低於機臺設定的電
壓信號。優選地，在一個具體示例中，優選的電路組件的參數為第一電阻器R181的阻值為47k歐姆；第二電阻器R182的阻值為47k歐姆；第三電阻器R183的阻值為47k歐姆；第四電阻器R184的阻值為47k歐姆；第五電阻器R185的阻值為22k歐姆；第六電阻器R186的阻值為33k歐姆。優選地，在一個具體示例中，所述可調電阻器Rl的最大阻值為50k歐姆。根據測試，如果晶圓傳送裝置控制電路自身原本的出廠設定電壓為2. 6v，則加入可調電阻後調節實現了 2. 45v的電壓。本發明上述實施例可適應於電壓的降低，由此，通過降低電壓減小了晶圓加工過程中發生翹曲的可能性。並且，上述電路可在晶圓傳送裝置中的真空電壓信號低於閾值電壓信號的情況下及時進行調節來防止晶圓傳送真空錯誤。所以，上述實施例提供了一種考慮了特殊的晶圓翹曲的情況並能防止由於在機械臂上產生低於機臺設定的電壓信號而產生晶圓傳送真空錯誤的晶圓傳送裝置控制電路。根據本發明的另一優選實施例，本發明還提供了一種採用了上述晶圓傳送裝置控制電路的晶圓傳送裝置。根據本發明的另一優選實施例，本發明還提供了一種採用了該晶圓傳送裝置的光刻設備。可以理解的是，雖然本發明已以較佳實施例披露如上，然而上述實施例並非用以限定本發明。對於任何熟悉本領域的技術人員而言，在不脫離本發明技術方案範圍情況下，都可利用上述揭示的技術內容對本發明技術方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬於本發明技術方案保護的範圍內。
權利要求
1.一種晶圓傳送裝置控制電路，用於控制晶圓傳送裝置內的真空信號及其供給，其特徵在於所述晶圓傳送裝置控制電路包括第一電阻器、第二電阻器、第三電阻器、第四電阻器、第五電阻器、第六電阻器、第一運算放大器以及第二運算放大器； 其中，所述第一電阻器的一端連接至第一晶圓傳送真空基準信號，所述第一電阻器的另一端連接所述第一運算放大器的反向輸入端；所述第二電阻器的一端連接至所述第一運算放大器的反向輸入端，所述第二電阻器的另一端連接至所述第一運算放大器的輸出端；所述第三電阻器的一端連接至第二晶圓傳送真空基準信號，所述第三電阻器的另一端連接所述第一運算放大器的正向輸入端；所述第四電阻器的一端連接所述第一運算放大器正向輸入端，所述第四電阻器的另一端接地；所述第一運算放大器的輸出端連接至所述第二運算放大器的正向輸入端；所述第二運算放大器的反向輸入端連接至所述第二運算放大器的輸出端；所述第二運算放大器的輸出端還連接至所述第五電阻器的一端，所述第五電阻器的另一端連接至所述第六電阻器的一端；所述第六電阻器的另一端作為所述晶圓傳送裝置控制電路的輸出端； 並且所述晶圓傳送裝置控制電路還包括可調電阻器，其中所述可調電阻器的兩個固 定端分別連接至所述第五電阻器的兩端；並且其中，通過控制所述可調電阻器的阻值調節端來調節與所述第五電阻器並聯的有效電阻值的大小。
2.根據權利要求I所述的晶圓傳送裝置控制電路，其特徵在於，在晶圓傳送裝置中的機械臂上產生的真空電壓信號低於閾值電壓信號的情況下，通過控制所述可調電阻器的阻值調節端來調節與所述第五電阻器並聯的有效電阻值的大小。
3.根據權利要求I或2所述的晶圓傳送裝置控制電路，其特徵在於，在晶圓傳送裝置中的機械臂上產生的真空電壓信號等於或者高於閾值電壓信號的情況下，不通過控制所述可調電阻器的阻值調節端來調節與所述第五電阻器並聯的有效電阻值的大小。
4.根據權利要求I或2所述的晶圓傳送裝置控制電路，其特徵在於，第一電阻器R181的阻值為47k歐姆；第二電阻器R182的阻值為47k歐姆；第三電阻器R183的阻值為47k歐姆；第四電阻器R184的阻值為47k歐姆；第五電阻器R185的阻值為22k歐姆；第六電阻器R186的阻值為33k歐姆。
5.根據權利要求I或2所述的晶圓傳送裝置控制電路，其特徵在於，所述可調電阻器Rl的最大阻值為50k歐姆。
6.一種採用了根據權利要求I至5所述的晶圓傳送裝置控制電路的晶圓傳送裝置。
7.一種採用了根據權利要求6所述的晶圓傳送裝置的光刻設備。
全文摘要
本發明提供了一種晶圓傳送裝置控制電路、晶圓傳送裝置以及光刻設備。用於控制晶圓傳送裝置內的真空信號及其供給的晶圓傳送裝置控制電路包括第一電阻器、第二電阻器、第三電阻器、第四電阻器、第五電阻器、第六電阻器、第一運算放大器以及第二運算放大器。所述晶圓傳送裝置控制電路還包括可調電阻器，其中所述可調電阻器的兩個固定端分別連接至所述第五電阻器的兩端；並且其中，通過控制所述可調電阻器的阻值調節端來調節與所述第五電阻器並聯的有效電阻值的大小。本發明提供了一種考慮了特殊的晶圓翹曲的情況並能防止由於在機械臂上產生低於機臺設定的電壓信號而產生晶圓傳送真空錯誤的晶圓傳送裝置控制電路。
文檔編號H01L21/677GK102751223SQ20121026199
公開日2012年10月24日 申請日期2012年7月26日 優先權日2012年7月26日
發明者張俊傑, 曹聖豪 申請人:上海宏力半導體製造有限公司