輝光放電電流隔離取樣器的製作方法

2023-07-27 17:19:31 2

專利名稱：輝光放電電流隔離取樣器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及數據的採樣技術，特別提供了一種輝光放電電流隔離取樣器。
在輝光放電陰極濺射時，不同樣品(基體不同)即使是電壓和氣壓相同時，放電電流也不相同，因此記錄輝光放電電流數值，而且要求精確是一個十分重要而且相當關鍵的環節。過去使用普通模擬指針式直流毫安表測量輝光放電電流有如下弊病1.儀表的精度低，給測量帶來誤差。2.人工讀數給測量帶來誤差。3.頻繁變化的輝光放電電流，人工讀數及表指示跟不上電流變化而出現漏檢情況，給分析帶來不能夠彌補損失。正是基於上述原因，需要用計算機來進行數據處理，與計算機的聯接需要處理下述三個技術問題1.將2000伏特的直流輝光放電電源產生的輝光放電電流用計算機進行數據處理；2.將0-100毫安的直流輝光放電電流變為計算機要求的毫伏級電壓信號。3.送入計算機的毫伏電壓信號與輝光放電電流保持寬範圍的線性。
本實用新型的目的在於提供一種使取樣信號與輝光放電電流保持寬範圍線性的輝光放電電流隔離取樣器。
本實用新型提供了一種輝光放電電流隔離取樣器，其特徵在於由電阻R1構成的信號轉換電路接放大器IC1，經電流擴展三極體G射級輸出，再經電位器W2，接光電耦合器IC2，輸出端接IC3放大器再經W3電位器取樣輸出。本實用新型具有良好的輸出輸入線性，與計算機聯結可以精確地測量輝光放電電流，實現高壓電流與計算機的隔離，
以下結合附圖通過實施例詳述本實用新型。
附

圖1電氣原理圖實施例2000伏直流高壓電源產生的輝光放電電流經過輸出低電位端接的R1電阻進入輸入放大級IC1，放大後的電壓經過電流擴展三極體G，由射級輸出經電位器W2進入光電耦合器IC2，由光敏三極體部分輸出送入輸出取樣級IC3，經W3電位器取出計算機需要的毫伏電壓送入計算機採樣處理數據，參見附圖1。
D1、D2為輸入保護二極體，當輸入電壓超過1伏時，D1與D2二極體導通，使輸入電壓被箝位在二個二報被嵌位在兩個二極體管壓降之和的電壓值上，D1為2AP9，D2為IN914。
C9為輸入電壓保護電容，因電容兩端電壓不能突變，所以一旦輸入電壓突然增高，C9的存在，使IC1的輸入電壓有一緩衝保護。
電位器功能W1輸入電壓調節電位器，當輝光放電電流為0-100毫安時，IC1的輸入電壓可以在＜1V(伏特)之內。
W2光電耦合器二極體輸入電流調節，調節電流為1.5-7毫安時，保證輸出電壓與輸入電壓為寬範圍線性。
W3輸出電壓調節電位器，調節W3使輸入輝光放電電流為0-100毫安時，取出計算機要求的毫伏值電壓。
W4輸出級IC3增益調節電位器。
W5輸出級IC3調零電位器。
W6光電耦合器的光敏三極體部分調零電位器。
該裝置有兩組各自獨立的直流穩壓電源，一組為+12伏電源供給IC1及G兩部份電路電源，另一組為±15伏電源，供給IC2，IC3兩部分電源，RD為電源過流保護，熔斷器，K為電源開關。D3為電源給電指示發光二極體。
附圖1.輝光放電電流隔離取樣器電氣原理圖；2.輝光放電電流隔離取樣器元器件表。
權利要求1.一種輝光放電電流隔離取樣器，其特徵在於由電阻R1構成的信號轉換電路接放大器IC1，經電流擴展三極體G射級輸出，再經電位器W2，接光電耦合器IC2，輸出端接IC3放大器再經W3電位器取樣輸出。
2.按權利要求1所述輝光放電電流隔離取樣器，其特徵在於在放大器IC1前接入二個串聯的嵌位二極體D1、D2。
專利摘要一種輝光放電電流隔離取樣器,其特徵在於:由電阻R
文檔編號G01R19/165GK2285478SQ9623894
公開日1998年7月1日 申請日期1996年10月31日 優先權日1996年10月31日
發明者徐奐光 申請人:中國科學院金屬研究所