等離子處理設備的製作方法

2023-07-16 04:50:46 3

專利名稱：等離子處理設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種等離子處理設備。
背景技術：
等離子處理設備廣泛應用於等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子塗覆、等離子灰 化和表面活化、改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤溼能力，使多種材料能夠進行 塗覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機汙染物、油汙或油脂。目前的等離子處 理設備在工作過程中，其電源的輸出終端溫度持續升高，不但影響了電源的使用壽命，還影 響了整個處理腔體內的溫度，間接影響了等離子處理的均勻性。

實用新型內容本實用新型的目的在於針對現有技術的缺陷，提供一種能夠延長電源的使用壽命 並且能改善處理均勻性的等離子處理設備。為解決上述技術問題，本實用新型採用了以下的技術方案設計一種等離子處理 設備，包括具有處理腔體的殼體、位於所述處理腔體內的電極板以及用於將電壓施加於所 述電極板的電源，所述電源具有與其形成電連接的輸出終端，此外，所述等離子處理設備還 包括了用於冷卻所述輸出終端的輸出終端冷卻系統，該系統包括儲存導熱流體的導熱流體 容器、連接所述導熱流體容器與所述輸出終端的管道、使所述導熱流體循環流經所述輸出 終端的流體泵以及使所述導熱流體保持在預設溫度的流體溫度調節器。與現有技術相比，本實用新型通過輸出終端冷卻系統使電源輸出終端的溫度保持 在預設溫度(例如常溫)，從而延長了電源的使用壽命，且解決了因電源輸出而產生高溫的 問題，間接保證了處理腔體內溫度的恆定，提高了產品處理均勻性，改善了處理效果。

圖1是本實用新型的一種等離子處理設備的立體圖。圖2是圖1所示等離子處理設備的前視圖。圖3是圖1所示等離子處理設備除去殼體部分的立體圖。圖4是圖3所示部分的的另一視角的立體圖。圖5是圖3所示部分的前視圖。圖6是圖5的A局部放大圖。
具體實施方式
如圖1至圖6所示，本實用新型的等離子處理設備1包括具有處理腔體2的殼體 3、位於該處理腔體2內部的水平且相互平行的多塊電極板4、用於將電壓施加於電極板4 的電源7(例如射頻電源)以及用於冷卻電連接於電源7的輸出終端14的輸出終端冷卻系 統，所述電極板4包括了相間分布的正極板5和負極板6，所述輸出終端14位於處理腔體2內，且位於底層電極板6的下方。該輸出終端14為鋁合金等金屬製成的盒體，其內部呈空 心狀態，採用這種材料和結構，其冷卻速度更快。各塊電極板4通過支撐座19支撐在殼體 3的內底面上。所述輸出終端冷卻系統包括了用於容納導熱油或導熱水等導熱流體的導熱流體 容器10、溫度傳感器11、流體泵12、冷卻壓縮機13、入流管8和回流管9，其中，導熱流體容 器10用於儲存導熱流體，溫度傳感器11設置在該導熱流體容器10上，導熱流體容器10通 過冷卻壓縮機13與流體泵12相連通，也就是說，冷卻壓縮機13連接於導熱流體容器10與 流體泵12之間，用於調節從導熱流體容器10輸出的導熱流體的溫度，使其保持在預設的溫 度(例如室溫)。流體泵12的作用是使導熱流體在該冷卻系統內循環流動並經過輸出終端 14。入流管8的入口端連接於流體泵12，回流管9的出口端連接於導熱流體容器10。入流 管8和回流管9可以為銅管。所述輸出終端14設有入口管16和出口管17，入口管16的出口端161和出口管17 的入口端171分別通過密封管接頭固定連接於輸出終端14的底面，這樣連接更穩固。入口 管16的入口端162通過連通管接頭18連接於入流管8的出口端，出口管17的出口端172 通過該連通管接頭18連接於回流管9的入口端。電源7通過金屬支架20及入流管8和回流管9與輸出終端14形成電連接，輸出 終端14左右兩側通過鋁棒15等導體與各正極板5形成電連接，輸出終端14與鋁棒15之 間焊接固定。流體泵12可使輸出終端冷卻系統內的導熱流體循環流動，冷卻壓縮機13可將導 熱流體冷卻到預設溫度。從導熱流體容器10流出來的導熱流體經過冷卻壓縮機13冷卻到 預設溫度後，由流體泵12泵入到入流管8和入口管16，流經輸出終端14內部並與輸出終端 14進行熱交換後，再由出口管17和回流管9流回到導熱流體容器10，如此循環。上述輸出 終端冷卻系統可以通過單片機或PLC控制器等控制單元來進行控制當導熱流體容器10內 導熱流體的實際溫度超過設定溫度時，溫度傳感器11會將信號傳給控制單元，控制單元會 命令冷卻壓縮機13實施冷卻。當電源7工作時，在其輸出終端14會產生大量的熱量，上述輸出終端冷卻系統可 以使冷卻至預設溫度(例如常溫)的導熱流體循環流經輸出終端14，使輸出終端14的溫度 降低，以延長電源7使用壽命，並保證了整個處理腔體2內的溫度不受其影響，從而提高了 產品處理均勻性，改善了處理效果。
權利要求等離子處理設備，包括具有處理腔體的殼體、位於所述處理腔體內的電極板以及用於將電壓施加於所述電極板的電源，所述電源具有與其形成電連接的輸出終端，其特徵在於所述等離子處理設備還包括了用於冷卻所述輸出終端的輸出終端冷卻系統，該系統包括儲存導熱流體的導熱流體容器、連接所述導熱流體容器與所述輸出終端的管道、使所述導熱流體循環流經所述輸出終端的流體泵以及使所述導熱流體保持在預設溫度的流體溫度調節器。
2.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特徵在於所述管道包括了入流管和回 流管，所述入流管的入口端連接於所述流體泵，所述回流管的出口端連接於所述導熱流體 容器，所述流體泵與所述導熱流體容器相連通。
3.根據權利要求2所述的等離子處理設備，其特徵在於所述輸出終端設有入口管和 出口管，所述入口管的出口端和所述出口管的入口端分別通過密封管接頭固定連接於所述 輸出終端，所述入口管的入口端通過一連通管接頭連接於所述入流管的出口端，所述出口 管的出口端通過所述連通管接頭連接於所述回流管的入口端。
4.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特徵在於所述流體溫度調節器為一冷 卻壓縮機，該冷卻壓縮機連接於所述導熱流體容器與所述流體泵之間。
5.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特徵在於所述導熱流體為導熱油或導 熱水。
6.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特徵在於所述導熱流體容器上設有溫 度傳感器。
7.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特徵在於所述電極板包括了水平且相 互平行的多塊正極板和多塊負極板，其中所述正極板和負極板相間分布。
8.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特徵在於所述輸出終端位於所述處理 腔體內，且位於底層電極板的下方。
9.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特徵在於所述電源通過一金屬支架及 所述管道與所述輸出終端形成電連接，所述輸出終端通過導體與所述電極板形成電連接。
10.根據權利要求9所述的等離子處理設備，其特徵在於所述輸出終端為鋁合金盒 體，所述管道為銅管。
專利摘要本實用新型提供了一種等離子處理設備，包括具有處理腔體的殼體、位於處理腔體內的電極板以及用於將電壓施加於電極板的電源，電源具有與其形成電連接的輸出終端，此外，該等離子處理設備還包括了輸出終端冷卻系統，該系統包括儲存導熱流體的導熱流體容器、連接導熱流體容器與輸出終端的管道、使導熱流體循環流經輸出終端的流體泵以及使導熱流體保持在預設溫度的流體溫度調節器。本實用新型通過輸出終端冷卻系統使電源輸出終端的溫度保持在預設溫度，從而延長了電源的使用壽命，且解決了因電源輸出而產生高溫的問題，間接保證了處理腔體內溫度的恆定，提高了產品處理均勻性，改善了處理效果。
文檔編號H05H1/24GK201754646SQ20102023438
公開日2011年3月2日 申請日期2010年6月23日 優先權日2010年6月23日
發明者丁雪苗 申請人:珠海彼得氏等離子科技有限公司