一種玻璃二次強化用蝕刻液及其製備方法和應用的製作方法

2023-07-13 10:25:21 1

一種玻璃二次強化用蝕刻液及其製備方法和應用的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液及其製備方法和應用，OGS玻璃二次強化用蝕刻液按照質量百分含量，其組成為：氫氟酸水溶液1～20％、氟化氨5～20％、輔助酸液10～50％、乙二胺四乙酸0.5～10％、餘量為水。該OGS玻璃二次強化用蝕刻液，具有下述優點：蝕刻液揮發少、毒性小，蝕刻液利用率高，蝕刻速率快而穩定，廢液產生量少，且處理較為簡單，處理成本也可降低，蝕刻效果更佳等。
【專利說明】一種玻璃二次強化用蝕刻液及其製備方法和應用
【技術領域】
[0001]本發明涉及OGS觸控螢幕的化學蝕刻【技術領域】，具體涉及一種能有效提升OGS玻璃強度和良率的化學蝕刻液及其製備方法和應用。
【背景技術】
[0002]OGS (One Glass Solution，即一體化觸控)玻璃二次強化工藝是手機或平板電腦觸控螢幕生產中的必要工藝。OGS為了達到強度需求，必須採用強化玻璃如Corning fit,Gorilla等當作母基板材質，玻璃母基板進行金屬線鍍膜和ΒΜ/ΙΤ0製程，再經過切割和研磨精雕，製成小基板。由於玻璃切割與加工的製程會產生細微裂痕問題，故玻璃端面的修複製程在觸控面板製程中具有重要的作用。對玻璃邊緣的細微裂痕的修整通常使用兩種方法:一種是物理拋光方法，用拋光粉進行拋光研磨，這種方法時間長，且產品良率低?』另一種方法為化學蝕刻法，該方法時間短，所使用的設備投入小，產品良率高，且減薄液的成分簡單，所用原料為工業中常用的酸性物質，成本低廉。
[0003]其中化學蝕刻是OGS玻璃化學二次強化中的重要工序，其機理是採用氫氟酸溶液與玻璃基材邊緣發生反應，使OGS玻璃產品邊緣的微裂紋消失，從而達到提高玻璃強度的目的。對化學蝕刻而言，要提升產品的蝕刻良率與產能將取決於五大因素:
[0004]I)玻璃的材質；
[0005]2)化學混酸種類與比例；
[0006]3)化學混酸pH值；
[0007]4)蝕刻製程溫度；
[0008]5)蝕刻製程時間；
[0009]6)蝕刻槽體的流場設計。
[0010]從上述中可看到因素2)和3)對OGS玻璃的品質有重大影響。
[0011]目前，大多生產廠家用化學方法進行二次強化時所採用的減薄液，基本都以氫氟酸為主要成分，還有一些廠家會輔助加入其它強酸。當蝕刻液中存在氫氟酸時會存在以下問題:①氫氟酸的毒性大、容易揮發，尤其是在配置時需要採用較高溫度和濃度，不僅生產過程中危險性高，而且會對環境造成巨大汙染；②蝕刻產生的副產物容易吸附在玻璃、設備和管道表面，造成玻璃四周邊緣處理效果差、管道阻塞等問題，影響到良品率；③生產過程中蝕刻速率不穩定且利用率相對較低，從而導致廢液處理量大，處理成本高。
[0012]另外，在一定的工藝條件下，當酸性過強時，導致OGS玻璃過蝕造成邊緣不齊或鋸齒等現象造成強度降低或ITO電路被腐蝕、邊緣BM脫落造成外觀不良等問題；而酸性過弱，又會導致化學蝕刻不足則裂痕無法消除，無法達到機械抗壓力增加的目的。因此，蝕刻液的種類和酸值， 將直接影響OGS玻璃的化學蝕刻良率和蝕刻後玻璃的強度。

【發明內容】

[0013]本發明所要解決的技術問題是:提供一種能有效克服現有技術中採用單一氫氟酸蝕刻液帶來的缺陷的OGS玻璃二次強化用蝕刻液。
[0014]為解決上述技術問題，本發明所採用的技術方案為:一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量，其組成為:質量百分濃度30~40%的氫氟酸水溶液I~20%、氟化氨5~20%、輔助酸液10~50%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
[0015]所述的輔助酸液為硝酸水溶液，硫酸水溶液，鹽酸水溶液，硝酸水溶液與硫酸水溶液形成的混合酸，硫酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸，硝酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸或硝酸水溶液與硫酸水溶液和鹽酸水溶液形成的混合酸；
[0016]所述的硝酸水溶液質量百分濃度為30~55%，所述的硫酸水溶液質量百分濃度為45~60%，所述的鹽酸水溶液質量百分濃度為36~37%。
[0017]所述的輔助酸液為硝酸水溶液與硫酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量，其組成為:氫氟酸水溶液I~20%、氟化氨5~20%、硫酸水溶液5~25%、硝酸水溶液5~25%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
[0018]所述的輔助酸液為硫酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量，其組成為:氫氟酸溶液I~20%、氟化氨5~20%、硫酸水溶液5~25%、鹽酸水溶液5~25%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
[0019]所述的輔助酸液為硝酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量，其組成為:氫氟酸溶液I~20%、氟化氨5~20%、硝酸水溶液8~25%、鹽酸水溶液10~25%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
[0020]所述的輔助酸液為硝酸水溶液與硫酸水溶液和鹽酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量，其組成為:氫氟酸溶液I~20%、氟化氨5~20%、硝酸水溶液3~10%、鹽酸水溶液3~10%、硫酸水溶液5~15%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
[0021]所述的氟化銨的結構式為NH4F。
[0022]本發明公開的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，使用氫氟酸溶液和氟化銨的混合液緩衝氫氟酸。在二次強化工藝中，已知在加入有緩衝氫氟酸的蝕刻槽中浸潰OGS玻璃基板進行蝕刻，隨著蝕刻的進行，由蝕刻液成分的蒸發造成蝕刻液組成隨時間發生變化，對蝕刻速率產生重大影響。因此，隨著時間延長不得不交換全部蝕刻液，在處理的效率和資源的有效利用的方面存在問題。
[0023]緩衝氫氟酸中的氟化銨、銨離子和氫氟酸的解離由以下的⑴式到⑷式表示:
[0024]
NH4F -? NH: + F—( 1)
[0025]
NH: NH3 + H+、2)
[0026]
HF < ^ H+ + F( 3)
[0027]
HF + F HF2( 4)[0028]OGS玻璃二次強化用蝕刻液組成的緩衝氫氟酸，其作用的基本原理是:在一定工藝條件下，根據(2)式，隨著氨蒸發，在液體中產生質子or)。由於低濃度的氫氟酸是弱酸，因此一旦產生H+，則與由(I)式產生的氟化物離子(F_)反應，根據(3)式產生氟化氫(HF)。產生的HF再與F_反應，產生作為矽氧化膜的蝕刻原料的HF2'因此，這種蝕刻液組成的緩衝氫氟酸，蝕刻液組成變化較慢，OGS玻璃的蝕刻速率穩定，蝕刻液能得到有效的利用。
[0029]另外，由於蝕刻液中氟化氨的加入，可以有效的降低蝕刻液的揮發性和毒性。
[0030]本發明公開的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，採用氫氟酸、氟化銨、強酸和水作為基本成分，並加入金屬鰲合劑乙二胺四乙酸(Ethylene Diamine Tetraacetic Acid,簡稱EDTA)。由於氟化銨具有不易揮發、毒性小的特點；EDTA的特點是能夠與蝕刻時產生的金屬離子形成螯合物，更加容易被水溶解且具有很強的生物可分解性，該蝕刻液是一種安全、穩定、高效的蝕刻液，能夠很好的解決蝕刻過程中產生的難溶性副產物問題，同時也提高了蝕刻速率和蝕刻效果。本發明提供的玻璃基板減薄用蝕刻液，能夠對平板顯示玻璃基板進行安全、穩定、高效的減薄蝕刻，並能夠很好的解決蝕刻過程中產生的難溶性副產物問題，具有重要的應用價值。
[0031]本發明所要解決的第二個技術問題是:提供一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液的制
備方法。
[0032]為解決第二個技術問題，本發明採用的技術方案是:一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液的製備方法，其步驟為:按質量比將氫氟酸溶液、氟化銨、輔助酸液、乙二胺四乙酸和水在25~32 °C混合均勻，得OGS玻璃二次強化用蝕刻液。
[0033]本發明所要解決的第三技術問題是:提供一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液對平板顯示玻璃基板進行蝕刻的方法。
[0034]為解決第三個技術問題，本發明採用的技術方案是:一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液進行蝕刻的方法，其步驟包括:將正面和背面貼附了耐酸膜的OGS玻璃片置入裝有所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻槽內蝕刻5~12min，蝕刻槽的溫度為25~32°C ；蝕刻過程中對蝕刻酸液進行鼓泡，鼓泡量為80-120L/min。
[0035]本發明提供了一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液，具有以下優點:
[0036]1)蝕刻液揮發少、毒性小:本發明的蝕刻液採用了其他毒性較小的酸類和氟化氨來配合氫氟酸發揮作用，使得氫氟酸的濃度和用量大幅度降低，且硫酸、硝酸、鹽酸等酸類相對氫氟酸的毒性和揮發性均會小很多，顯著提高了蝕刻液的安全性和環保性。
[0037]2)蝕刻液利用率高，蝕刻速率快而穩定:由於本發明蝕刻液的揮發少,再加上氟化氨和輔助酸液對氫氟酸的輔助作用，使得蝕刻液的利用率有了顯著提高，大大延長了蝕刻液的作用壽命；同時本發明蝕刻液相對於單一氫氟酸或其他蝕刻液，在蝕刻液中加入強酸，一方面由於H+的增加使得與玻璃主要成分SiO2發生反應的活性最高的成分HF2_絡合離子增加，另一方面也由於H+對玻璃蝕刻反應有一定的催化作用，再加上其他酸類中諸如N03_，SO42' Cl—的引入部分改變了反應的生成物(單一氫氟酸反應生成物多為氟化物、氟矽酸鹽類等難溶物)，使得反應生成物更容易從玻璃表面去除；並且由於其他酸類的加入，使得氫氟酸的濃度和用量大幅度降低，蝕刻速率對氫氟酸濃度的敏感性也明顯降低，可保持相對穩定的蝕刻速率。
[0038]3)由於本發明蝕刻液的利用率的提高，因此廢液產生量顯著減少，且處理較為簡單，處理成本也可降低。
[0039]4)蝕刻效果更佳:由於其他酸類的加入，改變了玻璃蝕刻後的生成物性質，生成的鹽類粘性較小，容易從玻璃表面去除，同時配合特殊的蝕刻液循環和流動系統，極大地改善了蝕刻後OGS玻璃產品邊緣的修整效果，良品率明顯提高。
【具體實施方式】
[0040]為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合實施案例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，並不用於限定本發明。下述實施例中所述方法如無特別說明，均為常規方法。
[0041]實施例1
[0042]將如下質量百分比的各組分在室溫下25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為45~60%的硫酸水溶液20%、EDTA1%、水44%。
[0043]對該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能按照下述方法進行測定:
[0044]將配置好的蝕刻酸液盛入蝕刻槽，再將正面和背面貼附了耐酸膜的OGS玻璃片(3.97寸、厚度為1.0mm的OGS玻璃10CPS)置入裝有蝕刻酸液的蝕刻槽內蝕刻lOmin，蝕刻時將蝕刻槽的溫度控制在 30°C，OGS玻璃片豎立放入蝕刻籃子中，然後完全浸泡蝕刻槽內；蝕刻過程中對蝕刻酸液進行鼓泡，鼓泡量為100L/min。
[0045]在蝕刻過程中對蝕刻量進行精確控制，有利進一步提高蝕刻良率。本實施例中，將對OGS玻璃單邊的蝕刻量控制在0.15mm,經四桿靜壓強度測試IOCPS的強度有8PCS分別為 480MPa、497MPa、502MPa、478MPa、490MPa、482MPa、501MPa、510MPa，其中 IPCS 為 400MPa，另IPCS為380MPa ;根據強度大於450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為80%。
[0046]實施例2
[0047]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為45~60%的硫酸水溶液30%、EDTA1%、水34%。
[0048]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，僅將OGS玻璃單邊的蝕刻量控制改為0.20mm，經過四桿靜壓強度測試IOCPS的強度有9PCS 分別為 476MPa、480MPa、486MPa、497MPa、501MPa、508MPa、488MPa、480MPa、500MPa、其中ICPS為400MPa，根據強度大於450MPa外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為90%。
[0049]實施例3
[0050]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為30~55%的硝酸水溶液30%、EDTA1%、水34%。
[0051 ] 按照與實施例2完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試IOCPS的強度有IOPCS分別為453MPa、483MPa、477MPa、488MPa、490MPa、487MPa、477MPa、492MPa、501MPa 和 451MPa ;根據強度大於 450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為100%。
[0052]實施例4
[0053]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為36~37%的鹽酸水溶液30%、EDTA1%、水34%。
[0054]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試10CPS的強度有9PCS分別為482MPa、477MPa、454MPa、490MPa、488MPa、467MPa、472MPa、469MPa、499MPa、其中 ICPS 為 415MPa ;根據強度大於450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為90%。
[0055]實施例5
[0056]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的平板玻璃減薄用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為45~60%的硫酸水溶液15%、質量百分濃度為30~55%的硝酸水溶液15%、EDTA1%、水34%。
[0057]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試10CPS的強度有9PCS分別為489MPa、474MPa、482MPa、483MPa、491MPa、489MPa、504MPa、501MPa、501MPa、其中 ICPS 為 390MPa ;根據強度大於450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為90%。
[0058]實施例6
[0059]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為45~60%的硫酸水溶液15%、質量百分濃度為36~37%的鹽酸水溶液15%、EDTA1%、水34%。
[0060]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試10CPS的強度有8PCS分別為469MPa、488MPa、475MPa、480MPa、482MPa、479MPa、491MPa、480MPa、499MPa、其中 ICPS 為 436MPa，另 ICPS 為 450MPa ；根據強度大於450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為80%。
[0061]實施例7
[0062]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為30~55%的硝酸水溶液15%、質量百分濃度為36~37%的鹽酸水溶液15%、EDTA1%、水34%。
[0063]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試10CPS的強度有9PCS分別為501MPa、468MPa、497MPa、471MPa、482MPa、491MPa、488MPa、474MPa、499MPa、其中 ICPS 為 423MPa ;根據強度大於450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為90%。
[0064]實施例8
[0065]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為45~60%的硫酸水溶液10%、質量百分濃度為36~37%的鹽酸水溶液10%、質量百分濃度為30~55%的硝酸水溶液10%、EDTA1%、水34%。將上述比例的各種物質在室溫下攪拌均勻就可以得到蝕刻液。
[0066]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試10CPS的強度有9PCS分別為503MPa、498MPa、501MPa、476MPa、488MPa、479MPa、497MPa、459MPa、492MPa、其中 ICPS 為 438MPa ;根據強度大於450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為90%。
[0067]實施例9
[0068]將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百 分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為45~60%的硫酸水溶液20%、質量百分濃度為30~55%的硝酸水溶液20%、EDTA2%、水23%。
[0069]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試10CPS的強度分別為488MPa、473MPa、469MPa、486MPa、491MPa、482MPa、487MPa、479MPa、491MPa、483MPa ;根據強度大於 450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為100%。
[0070]實施例10
[0071 ] 將如下質量百分比的各組分在25~32°C攪拌均勻，得到本發明提供的OGS玻璃二次強化用蝕刻液:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液10%、氟化銨25%、質量百分濃度為45~60%的硫酸水溶液15%、質量百分濃度為30~55%的硝酸水溶液15%、質量百分濃度為36~37%的鹽酸水溶液15%、EDTA2%、水18%。
[0072]按照與實施例1完全相同的方法測定該OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻性能，蝕刻完畢後，經過四桿靜壓強度測試10CPS的強度分別為482MPa、497MPa、482MPa、479MPa、480MPa、464MPa、493MPa、488MPa、474MPa、483MPa ;根據強度大於 450MPa、外觀無蝕刻不良、鋸齒、油墨脫落、ITO電路被刻蝕、針孔為良品的判定標準，蝕刻良率為100%。
[0073]上述實施例是本發明的優選實施方案，除此之外，本發明還可以有其他實現方式。也就是說，在沒有脫離本發明構思的前提下，任何顯而易見的替換也應落入本發明的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量，其組成為:質量百分濃度為30~40%的氫氟酸水溶液I~20%、氟化氨5~20%、輔助酸液10~50%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
2.根據權利要求1所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，其特徵在於:所述的輔助酸液為硝酸水溶液，硫酸水溶液，鹽酸水溶液，硝酸水溶液與硫酸水溶液形成的混合酸，硫酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸，硝酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸，或硝酸水溶液與硫酸水溶液和鹽酸水溶液形成的混合酸； 所述的硝酸水溶液質量百分濃度為30~55%，所述的硫酸水溶液質量百分濃度為45~60%，所述的鹽酸水溶液質量百分濃度為36~37%。
3.根據權利要求2所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，其特徵在於:所述的輔助酸液為硝酸水溶液與硫酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量,其組成為:氫氟酸水溶液I~20%、氟化氨5~20%、硫酸水溶液5~25%、硝酸水溶液5~25%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
4.根據權利要求2所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，其特徵在於:所述的輔助酸液為硫酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量,其組成為:氫氟酸溶液I~20%、氟化氨5~20%、硫酸水溶液5~25%、鹽酸水溶液5~25%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
5.根據權利要求2所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，其特徵在於:所述的輔助酸液為硝酸水溶液與鹽酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量,其組成為:氫氟酸溶液I~20%、氟化氨5~20%、硝酸水溶液8~25%、鹽酸水溶液10~25%、乙二 胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
6.根據權利要求2所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，其特徵在於:所述的輔助酸液為硝酸水溶液與硫酸水溶液和鹽酸水溶液形成的混合酸時，所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液，按照質量百分含量，其組成為:氫氟酸溶液I~20%、氟化氨5~20%、硝酸水溶液3~10%、鹽酸水溶液3~10%、硫酸水溶液5~15%、乙二胺四乙酸0.5~10%、餘量為水。
7.一種製備權利要求1至6任一項所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液的方法，其步驟為:按質量比將氫氟酸溶液、氟化銨、輔助酸液、乙二胺四乙酸和水在25~32°C混合均勻，得OGS玻璃二次強化用蝕刻液。
8.一種利用權利要求1至6任一項所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液進行蝕刻的方法，其步驟包括:將正面和背面貼附了耐酸膜的OGS玻璃片置入裝有所述的OGS玻璃二次強化用蝕刻液的蝕刻槽內蝕刻5~12min，蝕刻槽內溫度為25~32°C ;蝕刻過程中對蝕刻酸液進行鼓泡，鼓泡速度為80-120L/min。
【文檔編號】C03C15/00GK103880293SQ201410048922
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2014年2月12日 優先權日:2014年2月12日
【發明者】王偉, 楊政委, 滕祥飛 申請人:惠晶顯示科技（蘇州）有限公司