工業用機器人的製作方法
2023-08-10 09:23:06 1
本發明涉及對半導體晶片等搬運對象物進行搬運的工業用機器人。
背景技術：
以往，已知有在前開式晶圓盒(英文：frontopenunifiedpod)與半導體晶片處理裝置之間搬運半導體晶片的水平多關節機器人(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1中記載的水平多關節機器人構成裝置前端模塊(英文：equipmentfrontendmodule)的一部分，並配置在裝置前端模塊的框體內部。裝置前端模塊配置在半導體晶片處理裝置的前側，前開式晶圓盒配置在裝置前端模塊的前側。裝置前端模塊的框體形成為細長的長方體的箱狀，該長方體以前後方向作為短邊方向，以左右方向作為長邊方向。
此外，專利文獻1中記載的水平多關節機器人包括：兩隻手，兩隻該手裝載半導體晶片；臂，兩隻手以能轉動的方式與該臂的前端側連接；以及主體部，臂的基端側以能轉動的方式與該主體部連接。臂由第一臂部、第二臂部以及第三臂部構成，上述第一臂部的基端側以能轉動的方式與主體部連接，上述第二臂部的基端側以能轉動的方式與第一臂部的前端側連接，上述第三臂部的基端側以能轉動的方式與第二臂部的前端側連接，並且手以能轉動的方式與上述第三臂部的前端側連接。主體部包括：柱狀構件，臂的基端側(即，第一臂部的基端側)以能轉動的方式與該柱狀構件的上端連接；框體，該框體將柱狀構件保持為能升降；以及升降機構，該升降機構使柱狀構件升降。下降時的柱狀構件收容於框體。在柱狀構件下降時，柱狀構件收容於框體。此外，升降機構收容於框體。即使在柱狀構件上升時，柱狀構件的下端側部分也收容於框體。
框體形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致正方形，框體的前表面和後表面形成為與前後方向正交的平面狀，框體的左右的兩側面形成為與左右方向正交的平面狀。此外，在從上下方向觀察時，柱狀構件落入框體的外形之中。在從上下方向觀察時，柱狀構件配置在框體的左右方向上的中心位置。此外，在從上下方向觀察時，柱狀構件配置在框體的前後方向上的前面側。即，在從上下方向觀察時，與柱狀構件連接的臂的基端側配置在框體的前面側。
專利文獻1中記載的水平多關節機器人配置在裝置前端模塊的框體內部，以使裝置前端模塊的框體內部的前表面與水平多關節機器人的框體的前表面相鄰。即，上述水平多關節機器人配置在裝置前端模塊的框體內部，以使與柱狀構件連接的臂的基端側與裝置前端模塊的框體內部的前表面相鄰。因此，在設置有上述水平多關節機器人的半導體的製造系統中，能確保第一臂部、第二臂部以及第三臂部的長度，並且能防止裝置前端模塊的框體內部的前表面及後表面與臂發生幹涉。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1：日本專利特開2015－36186號公報
技術實現要素：
發明所要解決的技術問題
如上所述，專利文獻1中記載的水平多關節機器人配置在裝置前端模塊的框體內部。在裝置前端模塊的框體內部，有時會拉繞有各種配管或配線。在裝置前端模塊的框體內部，為了確保配管或配線的拉繞空間，優選水平多關節機器人的主體部在前後方向上變薄。
在配置有專利文獻1中記載的水平多關節機器人的裝置前端模塊的框體內部，有時會拉繞有各種配管或配線。然而，為了確保第一臂部、第二臂部以及第三臂部的長度，並且防止裝置前端模塊的框體內部的前表面及後表面與臂發生幹涉，專利文獻1中記載的水平多關節機器人配置在裝置前端模塊的框體內部，以使裝置前端模塊的框體內部的前表面與水平多關節機器人的臂的基端側相鄰，從而使裝置前端模塊的框體內部的前表面與水平多關節機器人的筐體的前表面相鄰。因此，在配置有專利文獻1中記載的水平多關節機器人的裝置前端模塊的框體內部，很難沿著裝置前端模塊的框體內部的前表面拉繞配管或配線，其結果是，配管或配線的拉繞自由度變低。
因而，本發明的技術問題是提供一種能使主體部薄型化的工業用機器人，其中，臂的基端側以能轉動的方式與上述主體部連接。
因而，本發明的技術問題是提供一種工業用機器人，即使以臂的基端側與裝置前端模塊等的框體內部的側面相鄰的方式配置該工業用機器人，也能提高裝置前端模塊等的框體內部的配管或配線的拉繞自由度。
解決技術問題所採用的技術方案
為了解決上述技術問題，本發明的工業用機器人包括：手，該手裝載搬運對象物；臂，手以能轉動的方式與該臂的前端側連接；以及主體部，臂的基端側以能轉動的方式與該主體部連接，主體部包括：升降體，臂的基端側以能轉動的方式與該升降體的上面側連接；框體，該框體將升降體保持為能升降，並且該框體收容有升降體的至少下端側的一部分；以及升降機構，該升降機構使升降體升降，升降機構以在從上下方向觀察時與升降體重疊的方式收容於框體。
在本發明中，例如，框體形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致長方形，該大致長方形以左右方向作為長邊方向，以前後方向作為短邊方向，升降體包括框部，該框部形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致長方形，該大致長方形以左右方向作為長邊方向，以前後方向作為短邊方向，在升降體下降時，該框部收容於框體。
在本發明的工業用機器人中，主體部包括：升降體，臂的基端側以能轉動的方式與該升降體的上面側連接；框體，該框體收容有升降體的至少下端側的一部分；以及升降機構，該升降機構使升降體升降，升降機構以在從上下方向觀察時與升降體重疊的方式收容於框體。因此，在本發明中，例如，與升降機構以在前後方向上與升降體錯開的狀態收容於框體的情況相比較，若將框體形成為從上下方向觀察時的形狀呈以左右方向作為長邊方向並以前後方向作為短邊方向的大致長方形，則能使框體的前後方向上的寬度變窄。即，在本發明中，例如，與升降機構以在前後方向上與升降體錯開的狀態收容於框體的情況相比較，能使主體部的前後方向上的寬度變窄，其結果是，能使主體部薄型化。
在本發明中，優選主體部包括引導機構，該引導機構具有導軌和導塊，該導塊與導軌卡合，該引導機構將升降體朝上下方向引導，導軌和導塊配置在框部的左右方向上的兩外側，並且收容於框體的內部。若如此構成，則能使配置在框部左側的導軌及導塊與配置在框部右側的導軌及導塊間的距離變長。因此，能通過引導機構將升降體朝上下方向順暢地引導。
為了解決上述技術問題，本發明的工業用機器人包括：手，該手裝載搬運對象物；臂，手以能轉動的方式與該臂的前端側連接；以及主體部，臂的基端側以能轉動的方式與該主體部連接，主體部包括：升降體，臂的基端側以能轉動的方式與該升降體的上面側連接；以及框體，該框體將升降體保持為能升降，並且該框體收容有升降體的至少下端側的一部分，升降體在升降體的上端側具有突出部，該突出部朝水平方向的一側突出，臂的基端側配置在突出部的上面側，並以能轉動的方式與突出部連接。
在本發明的工業用機器人中，升降體在升降體的上端側具有突出部，該突出部朝水平方向的一側突出，臂的基端側配置在突出部的上面側，並以能轉動的方式與突出部連接。因此，在本發明中，例如，即使工業用機器人以臂的基端側與裝置前端模塊的框體內部的側面相鄰的方式配置在裝置前端模塊的框體內部，也能利用突出部下側的空間，將配管或配線沿著與臂的基端側相鄰的裝置前端模塊的框體內部的側面拉繞。因此，在本發明中，即使以臂的基端側與裝置前端模塊等的框體內部的側面相鄰的方式配置工業用機器人，也能提高在裝置前端模塊等的框體內部的配管或配線的拉繞自由度。
在本發明中，優選升降體包括：框部，在升降體下降時，該框部收容於框體；以及上端側框部，該上端側框部形成有突出部，框部與上端側框部分體地形成，並且彼此固定。若如此構成，則能將突出部的突出量不同的多種上端側框部固定於通用的框部。因此，即使不改變升降體的整體，也能通過對上端側框部進行更換來改變升降體的突出部的突出量。
在本發明中，例如，框體形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致長方形，該大致長方形以左右方向作為長邊方向，以前後方向作為短邊方向，突出部朝前後方向的一側突出。
在本發明中，優選主體部包括升降機構，該升降機構使升降體升降，升降體包括框部，該框部形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致長方形，該大致長方形以左右方向作為長邊方向，以前後方向作為短邊方向，在升降體下降時，該框部收容於框體，升降機構以在從上下方向觀察時與框部重疊的方式收容於框體。若如此構成，則與升降機構以在前後方向上與框部錯開的狀態收容於框體的情況相比較，能使框體的前後方向上的寬度變窄。其結果是，能使主體部薄型化。
在本發明中，優選主體部包括引導機構，該引導機構具有導軌和導塊，該導塊與導軌卡合，該引導機構將升降體朝上下方向引導，升降體包括框部，該框部形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致長方形，該大致長方形以左右方向作為長邊方向，以前後方向作為短邊方向，在升降體下降時，該框部收容於框體，導軌和導塊配置在框部的左右方向上的兩外側，並且收容於框體的內部。若如此構成，則能使配置在框部左側的導軌及導塊與配置在框部右側的導軌及導塊間的距離變長。因此，能通過引導機構將升降體朝上下方向順暢地引導。
發明效果
如上所述，在本發明的工業用機器人中，能使主體部薄型化，其中，臂的基端側以能轉動的方式與上述主體部連接。
如上所述，在本發明中，即使以臂的基端側與裝置前端模塊等的框體內部的側面相鄰的方式配置工業用機器人，也能提高裝置前端模塊等的框體內部的配管或配線的拉繞自由度。
附圖說明
圖1是本發明實施方式的工業用機器人的立體圖，圖1(a)是表示升降體下降的狀態的圖，圖1(b)是表示升降體上升的狀態的圖。
圖2是圖1所示的工業用機器人的側視圖。
圖3是使用圖1所示的工業用機器人的半導體製造系統的概略俯視圖。
圖4是用於對圖2的e-e截面的結構進行說明的剖視圖。
具體實施方式
以下，參照附圖，對本發明的實施方式進行說明。
(工業用機器人的結構)
圖1是本發明實施方式的工業用機器人1的立體圖，圖1(a)是表示升降體20下降的狀態的圖，圖1(b)是表示升降體20上升的狀態的圖。圖2是圖1所示的工業用機器人1的側視圖。圖3是使用圖1所示的工業用機器人1的半導體製造系統9的概略俯視圖。圖4是用於對圖2的e-e截面的結構進行說明的剖視圖。
本實施方式的工業用機器人1是用於對搬運體對象物即半導體晶片2(參照圖3)進行搬運的水平多關節機器人。上述工業用機器人1包括：兩隻手4、5，兩隻該手4、5裝載半導體晶片2；臂6，兩隻手4、5以能轉動的方式與該臂6的前端側連接，並且該臂6沿水平方向動作；以及主體部7，臂6的基端側以能轉動的方式與該主體部7連接。在以下的說明中，將工業用機器人1稱作「機器人1」，將半導體晶片2稱作「晶片2」。此外，在以下的說明中，以圖1等的與上下方向正交的x方向作為「左右方向」，以圖1等的與上下方向及左右方向正交的y方向作為「前後方向」，並且以x1方向一側作為「右」側，以x2方向一側作為「左」側，以y1方向一側作為「前」側，以y2方向一側作為「後(後面)」側。
如圖3所示，機器人1以組裝於半導體製造系統9的方式進行使用。上述半導體製造系統9包括裝置前端模塊10和半導體晶片處理裝置11，上述半導體晶片處理裝置11對晶片2進行規定處理。裝置前端模塊10配置在半導體晶片處理裝置11的前側。機器人1構成裝置前端模塊10的一部分。此外，裝置前端模塊10包括：多個裝載埠13，多個該裝載埠13對前開式圓晶盒12進行開閉；以及框體14，該框體14收容機器人1。框體14形成為在左右方向上細長的長方體的箱狀。裝載埠13配置在框體14的前側。機器人1配置在框體14的內部，以使臂6的基端側與框體14內部的前側面14a相鄰，從而在前開式圓晶盒12與半導體晶片處理裝置11之間搬運晶片2。
臂6由第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18構成，上述第一臂部16的基端側以能轉動的方式與主體部7連接，上述第二臂部17的基端側以能轉動的方式與第一臂部16的前端側連接，上述第三臂部18的基端側以能轉動的方式與第二臂部17的前端側連接。第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18形成為中空狀。主體部7、第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18在上下方向上從下側以該順序配置。
手4、5形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致y形。手4、5的基端側部分以能轉動的方式與第三臂部18的前端側連接。此外，手4、5配置成在上下方向上重疊。具體而言，手4配置在上側，手5配置在下側。此外，手4、5配置在比第三臂部18靠上側的位置。另外，在圖3中省略了手5的圖示。
主體部7包括：升降體20，臂6的基端側以能轉動的方式與該升降體20的上面側連接；框體21，該框體21將升降體20保持為能升降；升降機構22(參照圖4)，該升降機構22使升降體20相對於框體21升降；以及引導機構23(參照圖4)，該引導機構23將升降體20朝上下方向引導。
框體21形成為扁平的大致長方體的箱狀，從上下方向觀察時的框體21的形狀是大致長方形，該大致長方形以左右方向作為長邊方向，以前後方向作為短邊方向。具體而言，從上下方向觀察時的框體21的形狀呈在左右方向上細長的大致長方形。框體21的前表面和後表面是與前後方向正交的平面，框體21的左右的兩側面是與左右方向正交的平面。此外，框體21的上表面和底面是與上下方向正交的平面。
升降體20包括：框部25，該框部25形成為扁平的大致長方體；以及上端側框部26，該上端側框部26固定在框部25的上端側。框部25與上端側框部26分體地形成，並且彼此固定。具體而言，框部25與上端側框部26通過省略了圖示的螺釘彼此固定。
框部25形成為底面開口的箱狀，從上下方向觀察時的框部25的形狀呈大致長方形，該大致長方形以左右方向作為長邊方向，以前後方向作為短邊方向。具體而言，從上下方向觀察時的框部25的形狀呈在左右方向上細長的大致長方形。框部25的前表面和後表面是與前後方向正交的平面，框部25的左右的兩側面是與左右方向正交的平面。此外，框部25的上表面是與上下方向正交的平面。
上端側框部26形成為大致長方體狀。上述上端側框部26形成為從上下方向觀察時的形狀呈大致長方形，該大致長方形以前後方向作為長邊方向，以左右方向作為短邊方向。此外，上端側框部26形成為中空狀。上端側框部26的左右方向的寬度比框部25的左右方向的寬度窄。上端側框部26包括被固定部26a，該被固定部26a固定於框部25。被固定部26a收容在凹部之中，該凹部形成在框部25上端側的左右方向的中心處。
此外，上端側框部26包括突出部26b，該突出部26b與被固定部26a的前端連接，並且從框部25的前表面朝前側突出。即，升降體20在升降體20的上端側具有朝前側突出的突出部26b，並且升降體20具有形成有突出部26b的上端側框部26。臂6的基端側配置在突出部26b的上面側，並以能轉動的方式與突出部26b連接。即，第一臂部16的基端側配置在突出部26b的上面側，並以能轉動的方式與突出部26b連接。
在升降體20下降時，框部25收容於框體21。具體而言，在升降體20下降至下限位置時(在圖1(a)所示的狀態時)，框部25的整體收容於框體21。即，在升降體20下降至下限位置時，升降體20的除了突出部26b以外的部分收容於框體21。此外，在升降體20從下限位置上升時(在圖1(b)所示的狀態時)，框部25的下端側部分收容於框體21。即，在升降體20從下限位置上升時，升降體20的下端側部分收容於框體21。在框體21的前面部的上端側形成有缺口部21a(參照圖1(b))，在升降體20下降時，該缺口部21a供突出部26b配置。另外，在框體21的上面部形成有缺口部，在升降體20升降時，該缺口部供框部25通過。
升降機構22收容於框體21。如圖4所示，上述升降機構22包括馬達28和滾珠絲槓29。滾珠絲槓29包括：螺紋軸30，該螺紋軸30利用馬達28的動力旋轉；以及螺母31，該螺母31與螺紋軸30卡合。馬達28收容於框體21，並固定於框體21的下端側。此外，馬達28配置在框體21的左右方向上的大致中心位置。螺紋軸30配置成螺紋軸30的軸向與上下方向一致。此外，螺紋軸30配置在比馬達28靠右側的位置。上述螺紋軸30被框體21保持為能旋轉。
螺母31固定於螺母保持構件32。螺母保持構件32固定在框部25的內部。即，螺母31經由螺母保持構件32固定於框部25的內部。在馬達28的輸出軸上固定有帶輪33，在螺紋軸30的下端側固定有帶輪34。在帶輪33與帶輪34上架設有皮帶35。如圖4所示，升降機構22以從上下方向觀察時與升降體20重疊的方式收容於框體21。更具體而言，升降機構22以從上下方向觀察時與框部25重疊的方式收容於框體21。
引導機構23包括導軌38和導塊39，該導塊39與導軌38卡合。導軌38固定在框體21的內部，以使導軌38的長邊方向與上下方向一致。此外，導軌38固定在框體21內部的左右的兩端側。導塊39固定於塊保持構件40。塊保持構件40分別固定於框部25的左右的兩側面。即，導塊39經由塊保持構件40固定於框部25的左右的兩側面，導軌38和導塊39配置在框部25的左右方向上的兩外側。此外，導軌38和導塊39收容於框體21。
在本實施方式中，當馬達28旋轉時，升降體20一邊被引導機構23引導，一邊相對於框體21上下移動。另外，在框部25的內部固定有電纜輸送機(日文：ケーブルベア)(註冊商標)42的一端側，在框體21的內部固定有電纜輸送機(註冊商標)42的另一端側。電纜輸送機(註冊商標)42配置在比馬達28靠左側的位置。
此外，機器人1包括：臂部驅動機構45(參照圖2)，該臂部驅動機構45使第一臂部16和第二臂部17轉動，從而使由第一臂部16和第二臂部17構成的臂6的一部分伸縮；第三臂部驅動機構(省略圖示)，該第三臂部驅動機構使第三臂部18轉動；使手4轉動的手驅動機構(省略圖示)；以及使手5轉動的手驅動機構(省略圖示)。
如圖2所示，臂部驅動機構45包括：馬達46；減速機47，該減速機47用於對馬達46的動力進行減速，並將馬達46的動力傳遞至第一臂部16；以及減速機48，該減速機48用於對馬達46的動力進行減速，並將馬達46的動力傳遞至第二臂部17。馬達46固定在上端側框部26的被固定部26a的下面部。具體而言，馬達46固定在被固定部26a的下面部，以使馬達46的輸出軸配置在被固定部26a的內部，並且馬達46的主體部配置在框部25的內部。
減速機47構成連接第一臂部16與突出部26b的關節部。上述減速機47是中空減速機。減速機47的殼體固定在突出部26b的內部。減速機47的輸出軸的上端面固定在第一臂部16的基端側的下表面。減速機47除了固定在第一臂部16的基端側下表面的輸出軸的上端側的一部分以外，其它部分收容在突出部26b的內部。馬達46與減速機47經由帶輪49、帶輪50以及皮帶51連接，上述帶輪49固定於馬達46的輸出軸，上述帶輪50固定於減速機47的輸入軸，上述皮帶51架設於帶輪49與帶輪50。帶輪49、50和皮帶51收容在上端側框部26的內部。
減速機48構成連接第一臂部16與第二臂部17的關節部。上述減速機48與減速機47同樣是中空減速機。馬達46與減速機48經由帶輪49、50、皮帶51以及配置在第一臂部16內部的帶輪、皮帶(省略圖示)等連接。
第三臂部驅動機構包括馬達和減速機，上述減速機用於對上述馬達的動力進行減速，並將上述馬達的動力傳遞至第三臂部18。第三臂部驅動機構的馬達配置在第二臂部17的內部，第三臂部驅動機構的減速機構成連接第二臂部17與第三臂部18的關節部。手驅動機構包括馬達和減速機，上述減速機用於對上述馬達的動力進行減速，並將上述馬達的動力傳遞至手4、5。手驅動機構的馬達和減速機配置在第三臂部18的內部。此外，手驅動機構的減速機和手4、5經由省略了圖示的帶輪和皮帶連接。
(本實施方式的主要效果)
如以上說明的那樣，在本實施方式中，升降機構22以從上下方向觀察時與收容於框體21的框部25重疊的方式收容於框體21。因此，在本實施方式中，與升降機構22以在前後方向上與框部25錯開的狀態收容於框體21的情況相比較，能使框體21的前後方向上的寬度變窄。即，在本實施方式中，與升降機構22以在前後方向上與框部25錯開的狀態收容於框體21的情況相比較，能使主體部7的前後方向上的寬度變窄，其結果是，能使主體部7薄型化。
在本實施方式中，框部25形成為從上下方向觀察時的形狀呈在左右方向上細長的大致長方形，導軌38和導塊39配置在框部25的左右方向上的兩外側。因此，在本實施方式中，能使配置在框部25左側的導軌38及導塊39與配置在框部25右側的導軌38及導塊39間的距離變長。因此，在本實施方式中，能通過導軌38和導塊39將升降體20朝上下方向順暢地引導。
此外，如以上說明的那樣，在本實施方式中，升降體20在升降體20的上端側具有朝前側突出的突出部26b，臂6的基端側以能轉動的方式與突出部26b連接。因此，在本實施方式中，如圖3所示，即使機器人1以臂6的基端側與裝置前端模塊10的框體14內部的前側面14a相鄰的方式配置在框體14的內部，也能利用突出部26b下側的空間(參照圖2)，將在框體14內部拉繞的配管或配線沿著框體14的前側面15a拉繞。因此，在本實施方式中，即使以臂6的基端側與框體14的前側面14a相鄰的方式配置機器人1，也能提高在框體14內部的配管或配線的拉繞自由度。
在本實施方式中，框部25與上端側框部26分體地形成，並且彼此固定。因此，在本實施方式中，能將突出部26b的突出量不同的多種上端側框部26固定於通用的框部25。因此，在本實施方式中，即使不改變升降體20的整體，也能通過對上端側框部26和皮帶51進行更換來改變升降體20的突出部26b的突出量。
在本實施方式中，升降機構22以從上下方向觀察時與收容於框體21的框部25重疊的方式收容於框體21。因此，在本實施方式中，與升降機構22以在前後方向上與框部25錯開的狀態收容於框體21的情況相比較，能使框體21的前後方向上的寬度變窄，其結果是，能使主體部7薄型化。
在本實施方式中，框部25形成為從上下方向觀察時的形狀呈在左右方向上細長的大致長方形，導軌38和導塊39配置在框部25的左右方向上的兩外側。因此，在本實施方式中，能使配置在框部25左側的導軌38及導塊39與配置在框部25右側的導軌38及導塊39間的距離變長。因此，在本實施方式中，能通過導軌38和導塊39將升降體20朝上下方向順暢地引導。
(其它實施方式)
上述實施方式是本發明的優選實施方式的一例，但並不限定於此，可在不改變本發明思想的範圍內進行各種變形。
在上述實施方式中，突出部26b從框部25的前表面朝前側突出，但突出部26b也可以從框部25的後表面朝後側突出。在該情況下，機器人1以臂6的基端側與裝置前端模塊10的框體14內部的後側面相鄰的方式配置在框體14的內部。此外，在上述實施方式中，框體21和框部25形成為從上下方向觀察時的形狀呈在左右方向上細長的大致長方形，但框體21和框部25例如也可以形成為從上下方向觀察時的形狀呈正方形、除了四邊形以外的多邊形或圓形。
在上述實施方式中，框部25與上端側框部26分體地形成並彼此固定，但框部25與上端側框部26也可以一體地形成。即，突出部26b也可以直接形成於框部25。此外，在上述實施方式中，升降機構22以從上下方向觀察時與收容於框體21的框部25重疊的方式收容於框體21，但升降機構22既可以在前後方向上與框部25錯開的狀態收容於框體21，也可以在左右方向上與框部25錯開的狀態收容於框體21。
在上述實施方式中，在升降體20下降至下限位置時，框部25的整體收容於框體21，但也可以是在升降體20下降至下限位置時，框部25的上端側部分比框體21的上表面朝上側突出。此外，在上述實施方式中，升降體20具有朝前側突出的突出部26b，但升降體20也可以不具有突出部26b。此外，在上述實施方式中，機器人1也可以具有使主體部7升降(具體而言，使框體21升降)的升降機構。即，機器人1也可以具有與日本專利特開2015-36185號公報中公開的升降機構相同的升降機構。
在上述實施方式中，在第三臂部18的前端側安裝有兩隻手4、5，但也可以在第三臂部18的前端側安裝一隻手。此外，在上述實施方式中，臂6由第一臂部16、第二臂部17以及第三臂部18這三個臂部構成，但臂6既可以由兩個臂部構成，也可以由四個以上的臂部構成。此外，在上述實施方式中，機器人1是用於搬運晶片2的機器人，但機器人1也可以是對液晶用的玻璃基板等其它搬運對象物進行搬運的機器人。
(符號說明)
1機器人(工業用機器人)
2晶片(半導體晶片、搬運對象物)
4、5手
6臂
7主體部
20升降體
21框體
22升降機構
23引導機構
25框部
26上端側框部
26b突出部
38導軌
39導塊
x左右方向
y前後方向。