異種粘性帶的張貼方法和使用該方法的接合方法及其裝置的製作方法
2023-07-17 22:58:56 2
專利名稱：異種粘性帶的張貼方法和使用該方法的接合方法及其裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及在顯示板等襯底上張貼異種各向異性導電帶等粘性帶的異種粘性帶的張貼方法和使用該方法的接合方法及其裝置。
背景技術：
作為在顯示板等襯底上安裝電子部件的方法，已知使用各向異性導電帶等粘性帶的方法。從張貼在襯底電極上的規定位置的粘性帶上對電子部件進行對準並將其裝載後，進行規定時間的加壓和加熱，使粘性帶硬化，從而將電子部件固定於襯底，同時還使電子部件的接合用電極與襯底的電極導通。以基帶的一個面貼有帶狀粘性材料的疊層帶的形態提供粘性帶。通過按規定尺寸切斷連續的粘接帶，並在襯底的規定位置對該切斷的粘性帶進行加壓和加熱，實施粘性帶對襯底的張貼。
近年來，便攜電話和便攜終端PDA(個人數字助理機)等小型設備中，雖然裝載液晶板作為顯示板，但要求小型且重量輕。因此，在液晶玻璃襯底安裝面裝型電子部件、LSI(大規模集成電路)和能利用小殼體內的空間的重量輕的FPC(柔性印刷電路)。作為這種用粘性帶將不同的安裝部件安裝到液晶玻璃襯底的裝置，已知日本特開2001-358177公報記載的安裝裝置和安裝方法。
專利文獻1那樣對玻璃襯底安裝片狀部件和FPC時，玻璃襯底上張貼的粘性帶，其張貼方法有將覆蓋安裝片狀部件和FPC的整個區域的單一粘性帶一起張貼到玻璃襯底的方法(參考圖7的(a))和根據片狀部件安裝部位和FPC安裝部位各自的區域將不同的粘性帶張貼到玻璃襯底的方法(參考圖7的(b))的方法。圖7的(c)示出在玻璃襯底安裝片狀部件和FPC的狀態。
將粘性帶張貼成圖7的(a)那樣覆蓋安裝電子部件的整個區域時，粘性帶的特性相同，所以要按適合各電子部件的接合條件進行安裝，則條件的設定極為困難。
這裡，接合條件是指通過使粘性帶硬化將電子部件固定於襯底，且同時使電子部件的接合用電極與襯底的電極導通用的加壓、加熱、熱壓接時間的條件。
而且，為了滿足兩個構件的接合條件，將能使用的粘性帶的種類限定為特殊種類，因此不能使用以往用作片狀部件專用或FPC專用的粘性帶。尤其在將FPC熱壓接到玻璃襯底時，考慮對粘性帶加熱時的溫度造成的膜伸長等損壞，希望用較低的溫度、較長的時間(例如粘性帶部溫度160℃、10秒左右)使粘性帶硬化。另一方面，安裝片狀部件時，從縮短生產節拍時間考慮，希望進行比FPC加熱條件高溫且時間短的加熱(例如粘性帶部溫度210℃、5秒)，使粘性帶硬化。
因此，能用同樣的粘性帶熱壓接片狀部件和FPC兩者而質量沒有問題的條件極難設定。又，一起張貼覆蓋整個區域的粘性帶時，由於無用的部分粘性帶多，材料費高，或由於粘性帶未硬化的部分多，發生腐蝕的可能性高，存在質量上的問題。
如圖7的(b)那樣在每一安裝的電子部件的區域張貼異種粘性帶時，能使用對各部件最佳的粘性帶特性。為了進行這種張貼，可考慮並排配置各1捲圖1的(a)所示那樣的2種粘性帶並移動1個定位臺從而依次張貼的方法。然而，圖1(a)的裝置對每一不同的粘性帶依次進行張貼動作為連續動作，所以有生產節拍時間長的問題和定位臺的行程長、裝置大型化等問題。
也可考慮利用圖1的(b)所示的並行配置2卷一種粘性帶的第1粘性帶張貼單元1和並行配置2卷另一種粘性帶的第2粘性帶張貼單元2同時張貼2種不同粘性帶的方法。然而，雖然生產節拍時間能縮短，但有設備費用高的問題和裝置大型化等問題。
又，為了提高粘性帶張貼位置精度，通常在張貼粘性帶前進行襯底位置對準，但這時的動作連續，所以存在生產節拍時間長的問題。
發明內容
本發明的目的在於提供一種能生產節拍時間短而且高精度地對玻璃襯底將片狀部件用和FPC用這2種粘性帶張貼在各自的區域，並同時能消除裝置大型化且設備費用低廉的異種粘性帶的張貼方法和使用該方法的鍵合方法及其裝置。
為了到達此目的，本發明採用如下組成。
一種異種粘性帶的張貼方法，利用包含從第1移載單元接收玻璃襯底的位置、對接收的玻璃襯底張貼粘性帶的位置、具有在將張貼粘性帶的玻璃襯底轉交給第2移載單元的位置上移動自如的1組的第1和第2吸附臺的第1活動臺、以及具有將供給的第1粘性帶和第2粘性帶以熱壓接方式貼在玻璃襯底的第1頭和第2頭的粘性帶張貼單元的異種粘性帶張貼裝置將所述不同的第1和第2粘性帶張貼在玻璃襯底，其中，所述方法包含下列過程由所述第1移載單元將玻璃襯底移載到所述第1活動臺的第1吸附臺的步驟；將玻璃襯底移載到所述第1吸附臺後，將所述第1活動臺移動到第1粘性帶的張貼位置的步驟；在處於所述張貼位置的玻璃襯底上用第1頭張貼第1粘性帶的步驟；將張貼所述第1粘性帶的玻璃襯底從第1吸附臺對準位置地移載到第1吸附臺，且同時將處於接收玻璃襯底的位置的下一玻璃襯底從所述第1移載單元移載到第1吸附臺的步驟；移動所述第1活動臺，以便使兩塊玻璃襯底位於所述第1和第2粘性帶的張貼位置的步驟；對所述各玻璃襯底同時進行用第1頭的第1粘性帶的張貼和用第2頭的第2粘性帶的張貼的步驟；將兩塊張貼粘性帶的玻璃襯底從所述第2吸附臺移載到第2移載單元的步驟。
根據本發明的異種粘性帶的張貼方法，第1移載單元將玻璃襯底移載到第1活動臺的第1吸附臺，在玻璃襯底張貼第1粘性帶後，將玻璃襯底從第1活動臺的第1吸附臺移載到第2吸附臺。這時，對準移載位置(使其偏置)。與此分別或同時將下一玻璃襯底從第1移載單元移載到第1活動臺的第1吸附臺。因而，能縮短張貼不同種類的粘性帶的生產節拍時間。又，通過使第2吸附臺的玻璃襯底的位置偏離第1吸附臺地進行移載，能同時張貼張貼位置不同的第1粘性帶和第2粘性帶，所以能以最小空間和最低費用大幅度縮短生產節拍時間，提高生產效率。
此組成在僅張貼1種粘性帶的情況下，原樣用作為普通進行的張貼方法的從襯底供給單元同時移載2塊玻璃襯底並同時張貼2塊粘性帶的方法的裝置組成，僅改變軟體就能應對。因而，通過對動作模式選擇數據，哪一種都能應對。
此方法中，最好包含在將玻璃襯底移載到所述吸附臺的步驟前，從玻璃襯底輸送用的託盤取出玻璃襯底並往暫置臺輸送的期間識別玻璃襯底上帶有的對準標記的位置的步驟；根據所述對準標記的位置的識別結果，校正玻璃襯底的位置並將玻璃襯底轉交給所述暫置臺的步驟；以及由所述第1移載單元，將移載到所述暫置臺的玻璃襯底輸送到轉交給所述粘性帶張貼單元的位置的步驟。
根據此方法，從託盤送來的玻璃襯底在移載到暫置臺之前進行對位。即，能在第1粘性帶和第2粘性帶的張貼前不進行玻璃襯底對準地實施張貼作業，所以能縮短生產節拍時間。
又，為了達到上述目的，本發明採用如下的組成。
一種鍵合方法，是利用上述異種粘性帶的張貼方法在玻璃襯底上安裝LSI和柔性印刷電路的鍵合方法，所述方法包含下列過程在張貼在玻璃襯底的第1和第2粘性帶的一方安裝LSI，並且在另一方安裝柔性印刷電路的步驟；壓接安裝在所述玻璃襯底上的LSI和柔性印刷電路的步驟。
根據此方法，能縮短安裝材料和形狀不同的LSI和柔性印刷電路(下文適當稱為「FPC」)的生產節拍時間。
又，為了達到上述目的，本發明採用如下的組成。
一種粘性帶張貼裝置，包含從第1移載單元接收玻璃襯底的位置、對接收的玻璃襯底張貼粘性帶的位置、具有在將張貼粘性帶的玻璃襯底轉交給第2移載單元的位置上移動自如的1組的第1和第2吸附臺的第1活動臺、以及具有將供給的第1粘性帶和第2粘性帶以熱壓接方式貼在玻璃襯底的第1頭和第2頭的粘性帶張貼單元，將不同的第1和第2粘性帶張貼到玻璃襯底，其中，所述裝置組成如下由所述第1移載單元將玻璃襯底移載到所述第1活動臺的第1吸附臺後，將所述第1活動臺移動到第1粘性帶的張貼位置；用第1頭在處於所述張貼位置的玻璃襯底上張貼第1粘性帶；將張貼所述第1粘性帶的玻璃襯底對準位置地從第1吸附臺移載到第2吸附臺，同時還將處於接收玻璃襯底的位置的下一玻璃襯底從所述第1移載單元移載到第1吸附臺；使所述第1活動臺移動，以便兩塊玻璃襯底位於所述第1和第2粘性帶的張貼位置；對所述各玻璃襯底同時進行用第1頭的第1粘性帶的張貼和用第2頭的第2粘性帶的張貼；將兩塊張貼粘性帶的玻璃襯底從所述第2吸附臺移動到第2移載單元。
此組成中，還包含從玻璃襯底輸送用的託盤取出玻璃襯底並輸送到暫置臺的輸送單元、以及檢測出設置在所述玻璃襯底的對準標記的位置檢測單元，其中構成將玻璃襯底移載到所述第1吸附臺之前，一面用所述輸送單元從託盤將玻璃襯底輸送到暫置臺，一面用所述位置檢測單元檢測出該玻璃襯底帶有的對準標記的位置，根據其結果校正玻璃襯底的位置，並將玻璃襯底轉交給所述暫置臺後，由所述第1移載單元將移載到所述暫置臺的玻璃襯底輸送到轉交給所述粘性帶張貼單元的位置。
根據此組成，能較佳實現第1和第2方法的發明。
又，為了達到上述目的，本發明採用如下的組成。
一種鍵合裝置，是包含上述發明並且在玻璃襯底上安裝LSI和柔性印刷電路的鍵合裝置，所述裝置包含在玻璃襯底上張貼的第1和第2粘性帶的一方安裝LSI，並且在另一方安裝柔性印刷電路的安裝單元、以及壓接安裝在所述玻璃襯底的LSI和柔性印刷電路的壓接單元。
根據此組成，能較佳實現第3方法的發明。
又，為了達到上述目的，本發明採用如下的組成。
一種異種粘性帶張貼裝置，將不同種類的粘性帶張貼到玻璃襯底，其中該裝置包含下列組成單元襯底供給單元，該襯底供給單元具有將玻璃襯底從託盤輸送到暫置臺的輸送單元、以及檢測出設置在玻璃襯底的對準標記的位置檢測單元；第1活動臺，該第1活動臺包含在活動臺和該可旋轉連接該活動臺的縱向旋轉軸的臂的兩端具有吸附臺、並構成以根據所述位置檢測單元的檢測結果進行對位的方式保持玻璃襯底、而且使兩個吸附臺穿過送入送出位置和粘性帶張貼位置移動，以便在張貼位置將不同種類的粘性帶張貼到玻璃襯底的粘性帶張貼單元；將玻璃襯底從所述暫置臺移載到第1活動臺的第1移載單元；對每一所述粘性帶張貼部分壓接不同的安裝構件的壓接單元；根據所述位置檢測單元的檢測結果，進行玻璃襯底校準且同時穿過送入送出位置和壓接單元的壓接位置移動的第2活動臺；將第1活動臺上已張貼粘性帶的玻璃襯底移載到第2活動臺的第2移載單元；將壓接安裝構件的玻璃襯底輸送到下一工序的第3移載單元，其中構成重複進行上述各處理將所述第1移載單元輸送的未處理玻璃襯底在轉交位置移載到一吸附臺進行對位，並使第1活動臺移動到粘性帶張貼位置，在玻璃襯底的規定位置張貼粘性帶；
張貼結束後，使臂旋轉，將該玻璃襯底移動到不同的粘性帶的張貼位置，同時還將第1移載單元送來的未處理玻璃襯底移載到另一吸附嘴進行對位後，使兩個吸附嘴移動到粘性帶張貼位置；利用粘性帶張貼單元在兩塊玻璃襯底上張貼粘性帶；張貼完後，使臂旋轉，用第2移載單元將張貼2種粘性帶的玻璃襯底移載到第2活動臺；又使臂旋轉，將第1移載單元送來的未處理玻璃襯底移載到送出玻璃襯底的吸附臺進行對準，同時還進行張貼1種粘性帶的玻璃襯底的對準後，將兩個吸附臺移動到粘性帶張貼位置，由粘性帶張貼單元在兩塊玻璃襯底上張貼粘性帶。
根據此組成，能一面使第1活動臺上的臂圍繞縱向旋轉軸旋轉，一面對玻璃襯底的粘性帶張貼部分依次張貼規定的粘性帶。而且，能用第2移載單元使張貼2種粘性帶的玻璃襯底移載到第2活動臺，同時還將未處理的玻璃襯底移載到移動後釋放的吸附臺，使已張貼1種粘性帶的玻璃襯底和未處理的玻璃襯底各自同時移動到粘性帶張貼位置。因此，與上述第1發明裝置相比，能減少玻璃襯底的轉交次數，所以可謀求提高作業效率。
此組成最好又能將吸附臺沿臂的縱向移動，同時還能以可圍繞對臂垂直的縱軸旋轉的方式將其保持，又，吸附臺構成能沿對臂水平正交的軸前後移動。根據此組成，能在水平平面上前後左右移動吸附臺，所以能高精度進行對準粘性帶張貼位置的微調。
又，為了達到上述目的，本發明採用如下的組成。
一種鍵合裝置，在包含上述方法的發明的玻璃襯底上安裝LSI和柔性印刷電路，其中，所述裝置包含在所述玻璃襯底上張貼的第1和第2粘性帶的一方安裝LSI，並且在另一方安裝柔性印刷電路的安裝單元、以及壓接安裝在所述玻璃襯底的LSI和柔性印刷電路的壓接單元。
根據此組成，能縮短安裝材料和形狀不同的LSI和FPC的生產節拍時間。
為了說明發明，附圖示出當前認為較佳的若干方式，但要理解本發明不受圖中所示組成和方法的限定。
圖1是說明已有裝置的粘性帶張貼動作的圖。
圖2是一本發明實施方式的安裝裝置的立體圖。
圖3是示出襯底供給單元的動作的流程圖。
圖4是示出第1移載單元6的動作的流程圖。
圖5是示出第1活動臺17A的動作的流程圖。
圖6是示出第2移載單元21的動作的流程圖。
圖7是示出粘性帶張貼位置的動作的說明圖。
圖8是說明第1移載單元6的停止位置A、第1活動臺17A的停止位置H和第2移載單元21的調整位置E的圖。
圖9是說明第1移載單元6的調整位置B和第1活動臺17A的調整位置F的圖。
圖10是說明第1移載單元6的調整位置C和第1活動臺17A的調整位置F的圖。
圖11是說明第1移載單元6的調整位置C和第1活動臺17A的調整位置G的圖。
圖12是說明第2移載單元21的調整位置D和第1活動臺17A的調整位置I的圖。
圖13～圖22是說明變換例裝置的粘性帶張貼動作的圖。
具體實施例方式
下面，參照
一本發明實施例。
接著，參照
本發明實施方式。
圖2是內含一本發明實施方式的粘性帶張貼單元3的鍵合裝置(下文適當稱為「安裝裝置」)的立體圖。
圖2的Y方向前側具有移載玻璃襯底9(下文簡稱為「襯底」)的第1～第4移載單元6、21、33、34。
用第1移載單元6進行襯底9從襯底供給單元2到粘性帶張貼單元3的移載、以及襯底9從第1活動臺17A的第1吸附臺17a到第2吸附臺17b的移載和對位(下文適當稱為「偏置移載」)。用第2移載單元21進行襯底9從粘性帶張貼單元3到暫置臺4的移載。
襯底供給單元2包含按一定間隔排列配置安裝作為安裝構件的片狀部件7和FPC8前的多塊襯底9的託盤10、將託盤10上的襯底9輸送到暫置臺11輸送單元12、以及識別用於將襯底9準直載置在暫置臺11的襯底9對準標記位置的攝像機13。輸送單元12構成在水平2軸(X、Y)方向、上下(Z)方向和旋轉(θ)方向移動自如。暫置臺11具有吸附並保持襯底9的第1吸附部11a和第2吸附部11b。攝像機13相當於本發明的位置檢測單元。
第1移載單元6具有配置在裝置基座1的縱嚮導軌14A、沿該導軌14A運行的第1移載手15A和15B、以及升降自如地安裝在該第1移載手15A和15B而且吸附並保持襯底9的保持板16a、16b，在從襯底供給單元2的暫置臺11接收襯底9的位置與粘性帶張貼單元3的第1活動臺17A的襯底9轉交位置之間移動自如。
第2移載單元21具有配置在裝置基座1的縱向的導軌14b、以及沿該導軌14b運行的第2移載手15C和15D，在粘性帶張貼單元3的第1活動臺17A的襯底9轉交位置與定位壓接單元4的第2活動臺17B的襯底9轉交位置之間移動自如。第1活動臺17A包含第1吸附臺17a和第2吸附臺17b。第2活動臺17B包含吸附臺17c。
第1移載手15A、15B轉交襯底9的帶來的在導軌14a上的停止位置包含如圖7所示那樣第1移載手15A、15B的保持板16a、16b從襯底供給單元2的暫置臺11接收襯底9的位置A、圖9和圖10所示的第1移載手15A、15B的保持板16a、16b將襯底9轉交給第1活動臺17A的第1吸附臺17a、第2吸附臺17b的位置C、以及圖8所示的第1移載手15B的保持板16b從第1活動臺17A的第1吸附臺17a接收襯底9的位置B。
第2移載手15C、15D在導軌14B上停止的位置包含圖11所示的第2移載手15C從第1活動臺17A的第2吸附臺17b接收襯底9的位置D、以及圖8所示的將襯底9轉交給第2移載手15C將定位壓接單元4的第2活動臺17B的吸附臺17c的位置E。
此裝置組成在張貼1種粘性帶時，添加下列2個位置。一個是第2移載手15C、15D從第1活動臺17A的第1吸附臺17a和第2吸附臺17b同時接收襯底9的位置，另一個是第2移載手15D將襯底9轉交給定位壓接單元4的第2活動臺17B的吸附臺17c的位置。
第1活動臺17A構成在水平2軸(X、Y)方向和旋轉(θ)方向移動自如。而且，第1活動臺17A的第1吸附臺17a和第2吸附臺17b構成分別在上下(Z)方向移動自如。
第2活動臺17B的吸附臺17c構成在水平2軸(X、Y)方向、旋轉(θ)方向和上下(Z)方向移動自如。將第活動臺17A的第1吸附臺17a與第2吸附臺17b的X方向的間隔設定成與第1移載手15A和15B的保持板16a與16b的間隔或粘性帶張貼單元3的第1頭19a與第2頭b的間隔相同。
第1活動臺17a的停止位置包含圖8和圖9所示的從第1移載手15A、15B的保持板16a、16b接收襯底9的位置F、圖10所示的偏置第1粘性帶18a的張貼位置與第2粘性帶18b的張貼位置的差額的位置G、圖8所示的粘性帶張貼單元3張貼第1粘性帶18a和第2粘性帶18b的位置H、以及圖17所示的將襯底9轉交給第1移載手15C的位置I。圖9的位置F和圖10的位置G為圖7的(b)所示的移動X1、Y1的位置。此移動能在將襯底9從第1移載手15B的保持板16b轉交給第1活動臺A時，由粘性帶張貼單元3對通過控制而連接的第1活動臺17A的第2吸附臺17a和第2吸附臺17b分別吸附並保持的襯底9同時將第1粘性帶18a和第2粘性帶18b張貼在規定的位置。
粘性帶張貼單元3包含在襯底9上張貼片狀部件7用的第1粘性帶18a的第1頭19a和張貼FPC8用的第2粘性帶18b的第2頭19b、以及供給第1粘性帶18a的第1粘性帶供給機構20a和供給第2粘性帶18b的第2粘性帶供給機構20b。圖7的(b)示出張貼第1粘性帶18a的張貼部位22a和張貼第2粘性帶18b的張貼部位22b。
第1粘性帶18a和第2粘性帶18b在基帶的一個面帶狀張貼接合電子部件用的粘接劑。
在第1頭19a和第2頭19b的下方固定設置張貼並加壓粘接劑帶時支撐襯底9用的墊板23。
吸附並保持襯底9，使得片狀部件7用的第1粘性帶18a的張貼部位22a從第1活動臺17A的第1吸附臺17a延伸到前方(Y方向)。同樣，吸附並保持襯底9，使得FPC8用的第2粘性帶18b的張貼部位22b從第1活動臺17A的第2吸附臺17b延伸到前方(Y方向)。
定位壓接單元4具有以水平姿態吸附並保持粘性帶張貼單元3送來的襯底9的第2活動臺17B的吸附臺17c、將片狀部件7和FPC8定位壓接在襯底9上的定位壓接頭25、以及在定位壓接時進行襯底9與片狀部件7和FPC8的對位的上下2個方向具有識別視場的2視場攝像機31。
第2吸附臺17B構成分別在水平2軸(X、Y)方向、上下(Z)方向和旋轉(θ)方向移動自如。定位壓接頭25升降自如，並且在其下端設置吸附並保持片狀部件8的吸附孔，通過未圖示的吸氣管與真空源連通。
用片狀滑塊27進行對定位壓接頭25供給片狀部件7和FPC8。輸送單元32從按一定間隔排列配置多個片狀部件7的晶片託盤28逐個依次取出片狀部件7。將取出的片狀部件7移載到片狀滑塊27。輸送單元32還從按一定間隔排列配置多個FPC8的FPC託盤29逐個依次取出FPC8，將取出的GPC8移載到片狀滑塊27。片狀滑塊27將這些片狀部件7和FPC8沿從定位壓接單元4延伸的導軌30輸送到定位壓接頭25。
第3移載單元33將由定位壓接單元4定位壓接片狀部件7和FPC8的襯底9移載到最終壓接單元5的第3活動臺17D。移載到第3活動臺17D的襯底9往水平2軸(X、Y)方向和上下(Z)方向移動，並且第3頭19c和第4頭19d降落，對其進行加熱和加壓。進行規定時間的加熱和加壓時，第3頭19c和第4頭19d上升，並且第3活動臺17D移動到對第4移載單元34轉交襯底9的位置。第3活動臺17D到達轉交襯底9的位置時，由第4移載單元34將襯底9移載到送出臺35。
接著，用圖3至圖6的動作流程圖說明襯底供給單元2、第1移載單元6、第2移載單元21和第1活動臺17A的動作。圖3是襯底供給單元2的動作流程圖。
首先，由輸送單元12從託盤10取出按一定間隔排列配置在託盤10的襯底9(步驟S01)。輸送單元12將襯底9吸附保持並輸送到暫置臺11的第1吸附部11a。輸送時通過攝像機13的上部，進行攝像機13的襯底對準標記識別(步驟S02)。襯底9到達暫置臺11的第1吸附部11a上時，輸送單元12進行X、Y、θ方向的對準後，將襯底9移載到暫置臺11的第1吸附部11a(步驟S03)。
接著，將襯底9的在位信號TX1送到第1移載單元6(步驟S04)，並等待第1移載單元6的到達信號TX2(步驟S05)。第1移載單元6到達時，第1移載手15A的保持板16a降落，吸附並保持暫置臺11的第1吸附部11a上的襯底9，從而完成轉交(步驟S06)。完成襯底9的轉交時，返回步驟S01。
圖4是第1移載單元6的動作流程圖。
首先，導軌14A上的第1移載單元6移動到襯底9的接收位置，即移動到襯底供給單元2的暫置臺11上的位置A(步驟S11)。到達位置A時，對襯底供給單元2發送到達信號TX2(步驟S12)。確認襯底9的在位信號TX1(步驟S13)後，第1移載手15A的保持板16a降落，吸附並保持襯底9(步驟S14)。
接著，使第1移載手15A的保持板16a上升後，第1移載單元6移動到第1活動臺17A的第1吸附臺17a與第1移載手15A的轉交位置，即位置C(步驟S15)。到達位置C時，對第1活動臺17A發送襯底轉交準備完成信號TX3(步驟S16)。第1活動臺17A到達襯底9的接收位置(即位置F)時(步驟S17)，第1活動臺17A的第1吸附臺17a上升，將第1移載手15A吸附並保持的襯底9移載到第1活動臺17A的第1吸附臺17a(步驟S18)。
接著，第1活動臺17A的第1吸附臺17a降落後，第1移載單元6移動到作為襯底9的接收位置的襯底供給單元2的暫置臺11上的位置A(步驟S19)。到達位置A時，對襯底供給單元2發送到達信號TX2(步驟S20)。確認襯底9的在位信號TX1(步驟S21)後，第1移載手15A的保持板16a降落，吸附並保持襯底9a(襯底9a表示接著輸送來的襯底9)(步驟S22)。
接著，使第1移載手15A的保持板16a的上升後，第1移載單元6移動到第1活動臺17A的第1吸附臺17a與第1移載手15B的轉交位置，即位置B(步驟S23)。到達位置B時對第1活動臺17A發送襯底轉交準備完成信號TX5(步驟S24)。第1活動臺17A到達襯底9的接收位置，即位置F時(步驟S25)，第1活動臺17A的第1吸附臺17a上升，將第1吸附臺17a上吸附並保持的張貼第1粘性帶18a的襯底9吸附並保持在保持板16b，從而得到接收(步驟S26)。
接著，第1活動臺17A的第1吸附臺17a降落後，第1移載單元6移動到第1活動臺17A的第1吸附臺17a與第1移載手15A的轉交位置(即位置C)(步驟S27)。
接著，第1活動臺17A的第1吸附臺17a上升，將下一襯底9a從第1移載手15A移載到第1活動臺17A的第1吸附臺17a(步驟S28)。接著，第1活動臺17A的第1吸附臺17a降落後，對第1活動臺17A發送移臺信號TX6(步驟S29)。
接著，第1活動臺17A移動到位置G，即移動到偏置作為第1粘性帶18a的張貼基準位置與第2粘性帶18b的張貼基準位置在X、Y方向之差的X1、Y1份額的位置(步驟S30)。完成移動到位置G後，第1活動臺17A的第2吸附臺17b上升，將張貼第1粘性帶18a的襯底9從第1移載手15B移載到第1活動臺17A的第2吸附臺17b(步驟S31)。
接著，第1活動臺17A的第2吸附臺17b降落後，第1移載單元6移動到位置A，繼續進行從步驟S19開始的動作。
圖5是說明第1活動臺17A的動作的流程圖。
首先，第1活動臺17A移動到位置F，即從第1移載手15A接收襯底9的位置(步驟S31)。到達位置F時，對第1移載手15A發送第1活動臺17A的到達信號TX8(步驟S32)。確認第1移載手15A的到達信號TX3時(步驟S33)，第1活動臺17A的第1吸附臺17a上升，將襯底9從第1一致時15A轉交給第1活動臺17A的第1吸附臺17a(步驟S34)。
接著，第1吸附臺17a降落後，第1活動臺17A移動到位置H，即粘性帶張貼單元3的第1粘性帶張貼位置(步驟S35)。第1活動臺17A到達位置H時，第1吸附臺17a上保持的襯底9已在襯底供給單元2進行X、Y、θ方向的對準，所以不進行襯底9的對準動作，並且第1吸附臺17a降落，使襯底2保持在墊板23後，使第1頭19a降落，將第1粘性帶18a張貼在襯底9的規定的張貼部位22a(步驟S36)。張貼時間依據第1粘性帶18a的特性進行規定的時間。
襯底9上完成第1粘性帶18a的張貼時，第1活動臺17A移動到位置F，即把張貼第1粘性帶18a的襯底9從第1吸附臺17a轉交給第1移載手15B的位置(步驟S37)。第1活動臺17A到達位置F時，對第1移載手15A發送第1活動臺17A的到達信號TX8(步驟S38)。確認第1移載單元6的到達信號TX5時(步驟S39)，第1吸附臺17a上升，從第1吸附臺17a將襯底9轉交給第1移載手15B(步驟S40)。
接著，第1吸附臺17a降落後，第1移載單元6移動到位置C，即從第1移載手15A將下一襯底9a轉交給第1活動臺17A的第1吸附臺17a的位置(步驟S41)。完成移動到位置C時，第1活動臺17A的第1吸附臺17a上升，將襯底9從第1移載手15A移載到第1吸附臺17a(步驟S42)。
接著，第1吸附臺17a降落後，確認來自第1移載單元6的臺偏置信號TX6時(步驟S43)，第1活動臺17A移動到位置G，即偏置作為第1粘性帶18a的張貼基準位置與第2粘性帶18b的張貼基準位置在X、Y方向之差的X1、Y1份額的位置，並且對第1移載手15A發送偏置完成信號TX7(步驟S44)。完成移動到位置G時，第1活動臺17A的第2吸附臺17b上升，從第1移載手15B接收張貼第1粘性帶18a的襯底9(步驟S45)。完成轉交時，第2吸附臺17a降落後，第1活動臺17A移動到位置H，即粘性帶張貼單元3的第1粘性帶張貼位置(步驟S46)。
接著，第1活動臺17A到達位置H時，第1吸附臺17a和第2吸附臺17b降落，使襯底9a和襯底9保持在墊板23後，同時進行第1頭19a降落並對襯底9a進行將第1粘性帶18a張貼在規定的張貼部位22a的作業和第2頭19b降落並對襯底9將第2粘性帶18b張貼在規定的張貼部位22b的作業(步驟S47)。第1吸附臺17a上保持的下一襯底9a已在襯底供給單元2進行X、Y、θ方向的對準，所以不必在第1吸附臺17a上對準襯底9a。而且，第2吸附臺17b上保持的張貼第1粘性帶的襯底9已偏置作為第1粘性帶18a的張貼基準位置與第2粘性帶18b的張貼基準位置在X、Y方向之差的X1、Y1份額，所以不必進行襯底9的對準動作。張貼時間依據第1粘性帶18a和第2粘性帶18b各自的特性，進行規定的時間。
既完成將第1粘性帶18a張貼在襯底9a、又完成將第2粘性帶18b張貼在襯底9時，第1活動臺17A移動到位置I，即從第1活動臺17A的第2吸附臺17b將襯底9轉交給第2移載單元21的第2移載手15C的位置(步驟S48)。第1活動臺17A到達位置I時，對2移載單元21發送第1活動臺17A的到達信號TX9(步驟S49)。然後，確認第2移載單元21的到達信號TX10時(步驟S50)，第1活動臺17A的第2吸附臺17b上升，將張貼第1粘性帶18a和第2粘性帶18b的襯底9轉交給第2移載單元21的第2移載手15C(步驟S51)。
接著，第1活動臺17A的第2吸附臺17b降落後，第1活動臺17A移動到位置F，即從第1吸附臺17a將張貼第1粘性帶18a的襯底9a轉交給第1移載手15B的位置(步驟S52)後，繼續進行從步驟S38的動作。
圖6是說明第2移載單元21的動作的流程圖。
首先，第2移載單元21移動到位置D，即第1活動臺17A的第2吸附臺17b與第2移載單元21的第2移載手15C交接張貼第1粘性帶18a和第2粘性帶18b的襯底9的位置(步驟S61)。到達位置D時，對第1活動臺17A發送第2移載單元21的到達信號TX10(步驟S62)。確認第1活動臺17A的到達信號TX9時(步驟S64)，第1活動臺17A的第2吸附臺17b上升，從第2吸附臺17b將張貼第1粘性帶18a和第2粘性帶18b的襯底9移載到第2移載手15c(步驟S65)。
接著，第1活動臺17A的第2吸附臺17b降落後，第2移載單元21移動到位置E，即第2移載手15C與定位壓接單元4的第2活動臺17B的吸附臺17c交接襯底9的位置(步驟S66)。到達位置E時，定位壓接單元4的第2活動臺17B的吸附臺17c上升，從第2移載單元21的第2移載手15C接收襯底9(步驟S67)。接著，吸附臺17c降落後，第2移載手15C移動到位置D(步驟S61)，準備交接下一襯底9a。定位壓接單元4啟動對張貼第1粘性帶18a和第2粘性帶18b的襯底9的片狀部件7的對準動作和定位接合以及FPC8的對準動作和定位接合。
這樣，第1活動臺17A的第2吸附臺17b保持的張貼第1粘性帶的襯底9已偏置作為第1粘性帶18a的張貼基準位置與第2粘性帶18b的張貼基準位置在X、Y方向之差的X1、Y1份額，從而可進行2種粘性帶的同時並行張貼動作，能以最小空間和最少設備費用大幅度縮短生產節拍時間。
由於不必每次將第1粘性帶18a和第2粘性帶18b張貼到襯底9都進行粘性帶張貼單元3內的襯底9的對準，能縮短生產節拍時間。而且，原樣用普通進行的將1種粘性帶2塊同時張貼到襯底9的裝置的組成僅改變軟體就能利用選擇數據方便地切換已有的張貼方法和本發明的張貼方法。
本發明能變換成下列方式進行實施。
(1)上述實施例中，構成兩端設置第1和第2吸附臺17a、17b的臂37穿過接收位置/轉交位置(送入送出位置)和粘性帶張貼位置地移動(圖中的XY軸方向)，但也可構成如下。
可構成使兩端的兩個吸附臺17a和17b能圍繞設置在第1活動臺17A的縱向旋轉軸P旋轉地連接，同時還能沿臂37的縱向(X方向)和水平正交方向(Y方向)移動，而且能在臂上(圖中的XY平面上)往θ方向旋轉。
沿圖13至圖22的動作說明圖說明利用這種組成的裝置張貼2種粘性帶的動作。
首先，如圖13所示，使第1移載單元6具有的第1移載手15A或15B的吸附板16a、16b吸附並保持的玻璃襯底9移動到轉交給第1活動臺17A的位置。
轉交玻璃襯底9時，未圖示的控制單元根據攝像機13識別的對準標記的位置信息，進行玻璃襯底9的對準。
一對準結束，即如圖14所示，使第1活動臺17A水平移動，並使玻璃襯底移動到粘性帶張貼單元上的粘性帶張貼位置。
在該張貼位置將粘性帶張貼在玻璃襯底上的片狀部件用的粘性帶張貼部位22a。張貼結束時，如圖15所示，臂37往圖中旋轉軸的右方旋轉。這時，處在臂37的另一端的吸附臺17b移動到作為下一處理對象的未處理的玻璃襯底9的接收位置(送入位置)。
吸附臺17b如圖16所示，在接收位置上往XY方向和θ方向移動，進行接收玻璃襯底9用的對準。完成對準時，將玻璃襯底9轉交給吸附臺17b後，如圖17所示，臂37進行旋轉，使臂37對墊板23平行。
臂37形成平行時，如圖18所示，使吸附臺17a、17b旋轉，以便形成玻璃襯底9張貼粘性帶的頂邊與墊板23對置的位置。這時，使吸附臺17a對臂37的水平正交軸前後移動，進行對準，以便FPC用粘性帶張貼部位22b處在粘性帶張貼位置。
完成兩個吸附臺17a、17b對準時，如圖19所示，將第1活動臺17A進一步水平移動，並將兩塊玻璃襯底9移動到粘性帶張貼位置。在該位置對各玻璃襯底9同時張貼不同種類的粘性帶。
完成粘性帶的張貼時，如圖20所示，臂37進行旋轉。這時，如圖21所示，第1吸附臺17a移動到對第2移載單元21具有的第2移載手15C的轉交位置(送出位置)。這裡，進行玻璃襯底9的對準後，轉交給第2移載手15C然後，如圖22所示，使臂37旋轉，並使第1吸附臺17a移動到接收下一未處理的玻璃襯底9的位置，同時還使第2吸附臺17b移動到張貼下一FPC用粘性帶的單元方。
第1吸附臺17a接收未處理的玻璃襯底9時，重複進行圖13～圖22的處理。
根據此組成，能一面使第1活動臺上的臂37圍繞旋轉軸P旋轉，一面在玻璃襯底9的粘性帶張貼部分依次張貼規定的粘性帶。而且，能使張貼2種粘性帶的玻璃襯底9在第2移載單元21移載到第2活動臺17B，同時還將未處理的玻璃襯底9移載到移動後的第2吸附臺17b，使已張貼一種粘性帶的玻璃襯底9和未處理的玻璃襯底9分別同時移動到粘性帶張貼位置。因此，與上述實施例的裝置相比，能減少玻璃襯底9的轉交次數減少，所以能謀求提高作業效率。
(2)上述實施例的裝置的粘性帶張貼單元3的後續組成單元為以未硬化的狀態將粘性帶粘接在片狀部件7或FPC8等的定位壓接單元4，但取為使粘接劑的聚合完成後將片狀部件7等完全粘固的最終壓接單元也能適用。
本發明能以其它具體方式實施而不脫離其思想或本質，因此表示發明範圍時應參照所附權利要求書，而非上述說明。
權利要求
1.一種異種粘性帶的張貼方法，利用包含從第1移載單元接收玻璃襯底的位置、對接收的玻璃襯底張貼粘性帶的位置、具有在將張貼粘性帶的玻璃襯底轉交給第2移載單元的位置上移動自如的1組的第1和第2吸附臺的第1活動臺、以及具有將供給的第1粘性帶和第2粘性帶以熱壓接方式貼在玻璃襯底的第1頭和第2頭的粘性帶張貼單元的異種粘性帶張貼裝置，將所述不同的第1和第2粘性帶張貼在玻璃襯底，其特徵在於，所述方法包含下列過程由所述第1移載單元將玻璃襯底移載到所述第1活動臺的第1吸附臺的步驟；將玻璃襯底移載到所述第1吸附臺後，將所述第1活動臺移動到第1粘性帶的張貼位置的步驟；在處於所述張貼位置的玻璃襯底上用第1頭張貼第1粘性帶的步驟；將張貼所述第1粘性帶的玻璃襯底從第1吸附臺對準位置地移載到第1吸附臺，且同時將處於接收玻璃襯底的位置的下一玻璃襯底從所述第1移載單元移載到第1吸附臺的步驟；移動所述第1活動臺，以便使兩塊玻璃襯底位於所述第1和第2粘性帶的張貼位置的步驟；對所述各玻璃襯底同時進行用第1頭的第1粘性帶的張貼和用第2頭的第2粘性帶的張貼的步驟；將兩塊張貼粘性帶的玻璃襯底從所述第2吸附臺移載到第2移載單元的步驟。
2.如權利要求1中所述的異種粘性帶的張貼方法，其特徵在於，所述方法還包含下列過程在將玻璃襯底移載到所述吸附臺的步驟前，從玻璃襯底輸送用的託盤取出玻璃襯底並往暫置臺輸送的期間識別玻璃襯底上帶有的對準標記的位置的步驟；根據所述對準標記的位置的識別結果，校正玻璃襯底的位置並將玻璃襯底轉交給所述暫置臺的步驟；由所述第1移載單元，將移載到所述暫置臺的玻璃襯底輸送到轉交給所述粘性帶張貼單元的位置的步驟。
3.一種鍵合方法，其特徵在於，是利用權利要求1所述的異種粘性帶的張貼方法在玻璃襯底上安裝LSI和柔性印刷電路的鍵合方法，所述方法包含下列過程在張貼在玻璃襯底的第1和第2粘性帶的一方安裝LSI，並且在另一方安裝柔性印刷電路的步驟；壓接安裝在所述玻璃襯底上的LSI和柔性印刷電路的步驟。
4.一種粘性帶張貼裝置，包含從第1移載單元接收玻璃襯底的位置、對接收的玻璃襯底張貼粘性帶的位置、具有在將張貼粘性帶的玻璃襯底轉交給第2移載單元的位置上移動自如的1組的第1和第2吸附臺的第1活動臺、以及具有將供給的第1粘性帶和第2粘性帶以熱壓接方式貼在玻璃襯底的第1頭和第2頭的粘性帶張貼單元，將不同的第1和第2粘性帶張貼到玻璃襯底，其特徵在於，所述裝置組成如下由所述第1移載單元將玻璃襯底移載到所述第1活動臺的第1吸附臺後，將所述第1活動臺移動到第1粘性帶的張貼位置；用第1頭在處於所述張貼位置的玻璃襯底上張貼第1粘性帶；將張貼所述第1粘性帶的玻璃襯底對準位置地從第1吸附臺移載到第2吸附臺，同時還將處於接收玻璃襯底的位置的下一玻璃襯底從所述第1移載單元移載到第1吸附臺；使所述第1活動臺移動，以便兩塊玻璃襯底位於所述第1和第2粘性帶的張貼位置；對所述各玻璃襯底同時進行用第1頭的第1粘性帶的張貼和用第2頭的第2粘性帶的張貼；將兩塊張貼粘性帶的玻璃襯底從所述第2吸附臺移動到第2移載單元。
5.如權利要求4中所述的異種粘性帶張貼裝置，其特徵在於，所述裝置還包含下列組成單元從玻璃襯底輸送用的託盤取出玻璃襯底並輸送到暫置臺的輸送單元；檢測出設置在所述玻璃襯底的對準標記的位置檢測單元，其中在構成將玻璃襯底移載到所述第1吸附臺之前，一面用所述輸送單元從託盤將玻璃襯底輸送到暫置臺，一面用所述位置檢測單元檢測出該玻璃襯底帶有的對準標記的位置，根據其結果校正玻璃襯底的位置，並將玻璃襯底轉交給所述暫置臺後，由所述第1移載單元將移載到所述暫置臺的玻璃襯底輸送到轉交給所述粘性帶張貼單元的位置。
6.一種鍵合裝置，其特徵在於，是包含權利要求4中所述的異種粘性帶張貼裝置，並且在玻璃襯底上安裝LSI和柔性印刷電路的鍵合裝置，所述裝置包含下列組成單元在玻璃襯底上張貼的第1和第2粘性帶的一方安裝LSI，並且在另一方安裝柔性印刷電路的安裝單元；壓接安裝在所述玻璃襯底的LSI和柔性印刷電路的壓接單元。
7.一種異種粘性帶張貼裝置，將不同種類的粘性帶張貼到玻璃襯底，其特徵在於，包含下列組成單元襯底供給單元，該襯底供給單元具有將玻璃襯底從託盤輸送到暫置臺的輸送單元、以及檢測出設置在玻璃襯底的對準標記的位置檢測單元；具有第1活動臺的、在張貼位置將不同種類的粘性帶張貼到玻璃襯底的粘性帶張貼單元，所述第1活動臺包含在活動臺和可旋轉地連接該活動臺的縱向旋轉軸的臂的兩端具有吸附臺、並構成以根據所述位置檢測單元的檢測結果進行對準的方式保持玻璃襯底、而且使兩個吸附臺穿過送入送出位置和粘性帶張貼位置地移動；將玻璃襯底從所述暫置臺移載到第1活動臺的第1移載單元；對每一所述粘性帶張貼部分壓接不同的安裝構件的壓接單元；根據所述位置檢測單元的檢測結果，進行玻璃襯底對準且同時穿過送入送出位置和壓接單元的壓接位置移動的第2活動臺；將第1活動臺上已張貼粘性帶的玻璃襯底移載到第2活動臺的第2移載單元；將壓接安裝構件的玻璃襯底輸送到下一工序的第3移載單元，其中構成重複進行下述各處理將所述第1移載單元輸送的未處理玻璃襯底在轉交位置移載到一吸附臺進行對位，並使第1活動臺移動到粘性帶張貼位置，在玻璃襯底的規定位置張貼粘性帶；張貼結束後，使臂旋轉，將該玻璃襯底移動到不同的粘性帶的張貼位置，同時還將第1移載單元送來的未處理玻璃襯底移載到另一吸附臺進行對位後，使兩個吸附臺移動到粘性帶張貼位置；利用粘性帶張貼單元在兩塊玻璃襯底上張貼粘性帶；張貼完後，使臂旋轉，用第2移載單元將張貼2種粘性帶的玻璃襯底移載到第2活動臺；又使臂旋轉，將第1移載單元送來的未處理玻璃襯底移載到送出玻璃襯底的吸附臺，並進行對準，同時還進行張貼1種粘性帶的玻璃襯底的對準後，將兩個吸附臺移動到粘性帶張貼位置；由粘性帶張貼單元在兩塊玻璃襯底上張貼粘性帶。
8.如權利要求7中所述的異種粘性帶張貼裝置，其特徵在於，所述吸附臺構成可沿臂的縱向移動，同時還能以圍繞對臂垂直的軸旋轉的方式將其保持。
9.如權利要求8中所述的異種粘性帶張貼裝置，其特徵在於，所述吸附臺構成可沿對臂水平正交的軸前後移動。
10.一種鍵合裝置，其特徵在於，是包含權利要求7中所述的異種粘性帶張貼裝置，並且在玻璃襯底上安裝LSI和柔性印刷電路的鍵合裝置，所述裝置包含下列組成單元在所述玻璃襯底上張貼的第1和第2粘性帶的一方安裝LSI，並且在另一方安裝柔性印刷電路的安裝單元；壓接安裝在所述玻璃襯底的LSI和柔性印刷電路的壓接單元。
全文摘要
使用包含具有2個移載手的第1移載單元和兩個吸附臺的第1活動臺、將片狀部件用的粘性帶張貼到玻璃襯底後，將第1活動臺的位置僅移動FPC用的粘性帶的張貼位置，並將玻璃襯底移載到第1活動臺，進行2種粘性帶對玻璃襯底同時並行張貼的動作。
文檔編號H01L21/00GK101060772SQ20071010132
公開日2007年10月24日 申請日期2007年4月17日 優先權日2006年4月17日
發明者田村泰司, 奈良場聰, 木下義浩, 大林拓治 申請人:東麗工程株式會社