電暈放電低溫等離子體處理裝置的製作方法
2023-08-12 22:23:16
專利名稱：電暈放電低溫等離子體處理裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種電暈放電裝置，尤其涉及一種用於處理氣體的電暈放電低溫等離子體處理裝置。
背景技術：
低溫等離子體處理技術是一種很受關注的新興處理技術，其中電暈放電低溫等離子體由於技術簡單、設備造價低、等離子體電離度高、能耗低的優點，在材料表面處理、靜電除塵、工業廢氣處理等行業有很好的應用前景。電暈放電的形態和強度受電極形式的影響很大，放電電極尖端曲率半徑越小，其起暈電壓越低。現有電暈放電低溫等離子體放電裝置的電極形式多採用平行板式電極、 線-板式電極、線-筒式電極、針-板式電極等形式、多針式電極等，這些裝置雖然可實現電暈放電，並產生低溫等離子體，但其輸出功率、電暈強度均有待提升，電場分布的均勻度也有待改良。
實用新型內容本實用新型的目的在於提出一種電場強度高、輸出功率大、電場均勻的電暈放電低溫等離子體處理裝置，從而克服現有技術中的不足。為實現上述發明目的，本實用新型採用了如下技術方案一種電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，其特徵在於，它包括同心設置的圓管狀內電極和外電極，且所述內電極與外電極之間設有環形間隙，同時，所述內電極外壁上還設有複數個尖齒，所述尖齒沿內電極徑向呈輻射形均勻分布。優選的，所述內電極包括金屬內管和由金屬薄片形成的齒條，所述齒條包括一基板和與基板垂直的複數個尖齒，所述齒條纏繞設置在金屬內管上，且所述基板與內管外壁共形貼合。尤為優選的，所述齒條等間距螺旋纏繞在內電極外壁上，形成尖齒呈輻射狀等間距分布的結構。所述內電極和外電極分別固定於內電極支架和外電極支架上，且所述內電極支架和外電極支架之間設置絕緣構件。所述內電極和外電極分別與高壓電源的兩極電性連接。所述高壓電源為高壓直流電源、高壓脈衝電源或者高壓交流電源。與現有技術相比，本實用新型的優點在於由於採用多個曲率半徑極小的金屬尖端作為電暈放電電極，提高了放電強度，增加了電場中的電離度，且由於內、外電極是同軸安裝，因而電極間距一致，電場分布均勻，與採用平行板式電極、線筒式電極的放電裝置相比，輸出功率、電暈強度都得到了很大提升。
[0013]圖1為本實用新型一較佳實施例中電暈放電低溫等離子體處理裝置的結構示意圖；圖2為圖1所示電暈放電低溫等離子體處理裝置的應用狀態示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖及一較佳實施例對本實用新型的技術方案做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。參閱圖1，本實施例中的電暈放電低溫等離子體處理裝置包括同心設置的內電極和外電極，且內電極和外電極之間設有環形間隙。其中，內電極由內電極圓管1和纏繞在內電極圓管上的齒條2組成，外電極3亦為圓筒狀結構。前述齒條2是將金屬薄片加工成長條狀齒條，然後將齒尖與基板折彎成相互垂直的形態，折彎後的齒條等間距螺旋共形纏繞在內電極圓管上，形成齒尖呈輻射狀等間距分布的結構。此處的共形纏繞是指基板與內電極圓管外壁緊密貼合，且兩者弧度保持基本一致。前述齒尖應具有儘可能小曲率半徑的尖端，以大幅度降低起暈電壓，提高放電強度，增加電場中的電離度。參閱圖2，在應用本實施例的電暈放電低溫等離子體處理裝置工作時，該內、外電極分別通過內電極支架4和外電極支架7固定，並使內、外電極同軸布置，內、外電極支架間通過絕緣材料5、6產生電氣絕緣。將內、外電極分別通過導體與高壓電源的兩極電性相連，通過高壓電源在內外電極之間施加大於起暈電壓的高壓電，金屬齒條的尖端隨之產生電暈放電，隨著電壓的提高， 從內、外電極之間的環形間隙流過的氣體進一步電離，形成低溫等離子體。本實施例由於採用多個曲率半徑極小的金屬尖端作為電暈放電電極，提高了放電強度，增加了電場中的電離度，且由於內、外電極是同軸安裝，因而電極間距一致，電場分布均勻，其較之現有的採用平行板式電極、線筒式電極的放電裝置相比，在輸出功率、電暈強度等方面均得到了很大提升。儘管本實用新型的實施方案已公開如上，但其並不僅僅限於說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用於各種適合本實用新型的領域，對於熟悉本領域的人員而言， 可容易地實現另外的修改，因此在不背離權利要求及等同範圍所限定的一般概念下，本實用新型並不限於特定的細節和這裡示出與描述的圖例。
權利要求1.一種電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，其特徵在於，它包括同心設置的圓管狀內電極和外電極，且所述內電極與外電極之間設有環形間隙，同時，所述內電極外壁上還設有複數個尖齒，所述尖齒沿內電極徑向呈輻射形均勻分布。
2.根據權利要求1所述的電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，其特徵在於，所述內電極包括金屬內管和由金屬薄片形成的齒條，所述齒條包括一基板和與基板垂直的複數個尖齒，所述齒條纏繞設置在金屬內管上，且所述基板與內管外壁共形貼合。
3.根據權利要求2所述的電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，其特徵在於，所述齒條等間距螺旋纏繞在內電極外壁上，形成尖齒呈輻射狀等間距分布的結構。
4.根據權利要求1所述的電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，其特徵在於，所述內電極和外電極分別固定於內電極支架和外電極支架上，且所述內電極支架和外電極支架之間設置絕緣構件。
5.根據權利要求1或4所述的電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，其特徵在於，所述內電極和外電極分別與高壓電源的兩極電性連接。
6.根據權利要求5所述的電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，其特徵在於，所述高壓電源為高壓直流電源、高壓脈衝電源或者高壓交流電源。
專利摘要本實用新型公開了一種電暈放電低溫等離子體氣體處理裝置，它包括同心設置的圓管狀內電極和外電極，且所述內電極與外電極之間設有環形間隙，同時，所述內電極外壁上還設有複數個尖齒，所述尖齒沿內電極徑向呈輻射形均勻分布。通過高壓電源在內、外電極之間施加高壓電，尖齒的尖端隨之產生電暈放電，隨著電壓的提高，內、外電極之間的氣體進一步電離，形成低溫等離子體。本實用新型由於採用多個曲率半徑極小的金屬尖端作為電暈放電電極，提高了放電強度，增加了電場中的電離度，且由於內、外電極是同心安裝，因而電極間距一致，電場分布均勻，其較之現有採用平行板式電極、線筒式電極的放電裝置，在輸出功率、電暈強度等方面均都得到了很大提升。
文檔編號H05H1/24GK202206642SQ20112033085
公開日2012年4月25日 申請日期2011年9月6日 優先權日2011年9月6日
發明者蔣建平 申請人:蔣建平