一種鋁絲鍵合機z向與轉角運動的結構的製作方法

2023-07-16 13:41:51 2

專利名稱：一種鋁絲鍵合機z向與轉角運動的結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，屬於半導體(集成電路)製造後道裝備鋁絲鍵合機的核心部件Z向和轉角運動的結構。
背景技術：
鋁絲鍵合機在X、Y、Z和旋轉各方向都在作高速運動，而各運動機構又安裝在狹小的空間內，要求在X、Y、Z和旋轉各方向同時作高速運動時，還要確保精度要求，響應時間。特別是如何保證設備在Z向和旋轉向同時做高速運動時的精度十分重要。目前國外設備中，較典型的結構方式為Z向用絲杆或彈片控制，旋轉向的轉角電機固定後，用固定的同步帶直接控制移動的焊頭做轉角運動。這樣導致的問題是同步帶一直處於不同大小和不同方向的拉力狀態下，在長時間的影響下會迅速老化變形，設備精度隨之降低。並且由於處於不確定的位置變化中。在安裝後需要進行標定等處理，導致安裝調試比較麻煩。
發明內容本實用新型的目的在於解決鋁絲鍵合機在X、Y、Ζ、Θ各方向高速運動過程中，在狹小的安裝空間內，是如何保證設備在Z向和Θ向同時做高速運動時的精度。本實用新型採用的技術方案是一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，它包括一個轉角機構和一個Z向運動機構,所述轉角機構米用二個皮帶傳動機構和一個花鍵機構驅動Z向運動軸轉動，所述Z向運動機構採用Z向絲杆驅動Z向運動軸作Z向運動；轉角驅動電機經第一皮帶傳動機構驅動花鍵軸，在花鍵軸上的花鍵軸套經第二皮帶傳動機構驅動Z向運動軸。 所述第一皮帶傳動機構採用第一皮帶輪經第一皮帶驅動與花鍵軸固定連接在一起的第二皮帶輪。所述第二皮帶傳動機構採用第三皮帶輪經第二皮帶驅動第四皮帶輪，第三皮帶輪與花鍵軸上的花鍵軸套固定連接，第四皮帶輪與Z向運動軸固定連接。所述Z向運動軸的上部設有一個推力軸承，下部設有一個直線軸承。所述推力軸承的軸承固定件與Z向絲杆上的絲母固定連接。上述技術方案採用花鍵軸的直線和旋轉特性，把焊頭固定軸與花鍵軸套通過同步帶連接起來，通過高精度伺服電機帶動花鍵軸做轉角運動。本實用新型的有益效果是這種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構包括一個轉角機構和一個Z向運動機構，轉角機構採用二個皮帶傳動機構和一個花鍵機構驅動Z向運動軸轉動，Z向運動機構採用Z向絲杆驅動Z向運動軸作Z向運動；轉角驅動電機經第一皮帶傳動機構驅動花鍵軸，在花鍵軸上的花鍵軸套經第二皮帶傳動機構驅動Z向運動軸。其優點是把Z向運動和轉角運動分離開來，通過花鍵軸的連接，在焊頭做Z向運動過程中通過一種軸承結構帶動花鍵軸套做Z向運動,這樣有效防止了同步帶的受拉變形。當伺服電機帶動花鍵軸旋轉時，通過花鍵軸套把旋轉變化量傳遞到焊頭上。這樣就在兩個運動自由度下，保證了兩個電機的負載較小。並且消除了同步帶在不同位置的長度變化。提高了設備的穩定性和精確度。

圖1是一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構圖。圖中1、轉角驅動電機，2、第一皮帶輪，3、第一皮帶，4、第二皮帶輪，5、花鍵軸，
6、花鍵軸套，7、第三皮帶輪，8、第二皮帶，9、花鍵套支撐組件，10、第四皮帶輪，11，推力軸承，12、軸承固定件，13、直線軸承，14、直線軸承固定件，15、Z向運動軸，16、Z向絲杆，17、固定架，18、絲母，19、第五皮帶輪。
具體實施方式
圖1示出了一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動機構的結構圖。圖中，轉角驅動電機I帶動第一皮帶輪2旋轉，通過第一皮帶3帶動第二皮帶輪4驅動花鍵軸5做旋轉運動，其中花鍵軸套6可在花鍵軸5上做直線運動，但不能隨意旋轉。當花鍵軸5轉動時，花鍵軸套6隨之旋轉。通過第三皮帶輪7、第二皮帶8和第四皮帶輪10組成的傳動機構帶動Z向運動軸15在推力軸承11中旋轉。同時，Z向驅動電機(圖中未示出)經第五皮帶輪19驅動Z向絲杆16，Z向絲杆16經絲母18帶動軸承固定件12作Z向運動，推力軸承11的軸承固定件(12)與Z向絲杆16上的絲母18固定連接。由於推力軸承11固定在軸承固定件12中，這樣可以使得Z向絲杆16的運動帶動推力軸承11做直線運動,驅動了 Z向運動軸15在直線軸承固定件14中作Z向運動。花鍵套支撐組件9固定在軸承固定件12上，而花鍵套支撐組件9的Z向運動又帶動了花鍵軸套6做Z向運動。這樣通過花鍵軸和推力軸承的運動特性，達到Z向和轉角向作耦合運動，並且第二皮帶8在運動中不變形，確保設備的精度和穩定性。
權利要求1.一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，它包括一個轉角機構和一個Z向運動機構，其特徵在於所述轉角機構採用二個皮帶傳動機構和一個花鍵機構驅動Z向運動軸(15)轉動，所述Z向運動機構採用Z向絲杆(16)驅動Z向運動軸(15)作Z向運動；轉角驅動電機(I)經第一皮帶傳動機構驅動花鍵軸(5)，在花鍵軸(5)上的花鍵軸套￠)經第二皮帶傳動機構驅動Z向運動軸(15)。
2.根據權利要求1所述的一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，其特徵在於所述第一皮帶傳動機構採用第一皮帶輪(2)經第一皮帶(3)驅動與花鍵軸(5)固定連接在一起的第二皮帶輪(4)。
3.根據權利要求1所述的一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，其特徵在於所述第二皮帶傳動機構採用第三皮帶輪(7)經第二皮帶(8)驅動第四皮帶輪(10)，第三皮帶輪(7)與花鍵軸(5)上的花鍵軸套(6)固定連接，第四皮帶輪(10)與Z向運動軸(15)固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，其特徵在於所述Z向運動軸(15)的上部設有一個推力軸承(11)，下部設有一個直線軸承(13)。
5.根據權利要求4所述的一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，其特徵在於所述推力軸承(11)的軸承固定件(12)與Z向絲杆(16)上的絲母(18)固定連接。
專利摘要一種鋁絲鍵合機Z向與轉角運動的結構，屬於半導體集成電路製造設備結構。包括一個轉角機構和一個Z向運動機構，轉角機構採用二個皮帶傳動機構和一個花鍵機構驅動Z向運動軸轉動，Z向運動機構採用Z向絲杆驅動Z向運動軸作Z向運動。其優點是把Z向運動和轉角運動分離開來，通過花鍵軸的連接，在焊頭做Z向運動過程中通過一種軸承結構帶動花鍵軸套做Z向運動，這樣有效防止了同步帶的受拉變形。當伺服電機帶動花鍵軸旋轉時，通過花鍵軸套把旋轉變化量傳遞到焊頭上。這樣就在兩個運動自由度下，保證了兩個電機的負載較小。並且消除了同步帶在不同位置的長度變化。提高了設備的穩定性和精確度。
文檔編號B23K37/02GK202894635SQ20122061215
公開日2013年4月24日 申請日期2012年11月19日 優先權日2012年11月19日
發明者潘寶剛 申請人:大連佳峰電子有限公司