萬業企業2023（萬業企業深度報告）

2023-04-14 17:43:11 1

公司看點：1. 凱世通實現離子注入機集成電路、光伏及AMOLED全領域覆蓋，首批商業化設備已經逐步順利交貨，今年上半年在手訂單超7.5億元，推動1-N的有效產品轉化和市場轉化，無國內競爭對手，處於寡頭地位，後期該部分業績有望提速上升。

2. 嘉芯半導體的產品規劃思路清晰，前道設備多樣化產能建設，打造前道一體化設備交付方案，覆蓋刻蝕機、薄膜沉積設備、快速熱處理設備等，成立後在手訂單超3.4億元，知名專家行業資源加持，市場前景明朗。

3. 浙江鐠芯（Compart Systems），主攻流量控制領域精密零組件，產品覆蓋半導體設備的流量控制零部件、組件、密封件、氣棒總成、質量流量控制器（MFC）等，擁有多年供應全球龍頭半導體設備廠的成熟經驗，助力國內半導體設備廠商快速推進核心零組件國產化。

4. 半導體行業的投資金額將不會受到國際經濟形勢和大國關係的影響，其發展將作為獨立於世界經濟與貿易發展的特殊發展路徑。國內半導體設備和材料的發展將與新能源汽車的發展一樣，是穩步上升且不可阻擋的歷史大勢。

第一部分：萬業企業在半導體產業布局的基本情況

集微網報導，上海萬業企業股份有限公司（證券簡稱：萬業企業，證券代碼：600641）成立於1991年10月，是一家具有新興產業基因的高科技上市公司，公司聚焦集成電路設備國產化的發展機會，致力於實現關鍵製程設備及支撐設備本地化研發製造，為汽車晶片、功率晶片、邏輯晶片等集成電路晶圓製造廠提供成套的前道設備解決方案。萬業企業起初由上海市陸家嘴金融貿易區開發公司、上海市投資信託公司、中國人民建設銀行上海市信託投資公司、中海上海房地產開發總公司四家公司共同發起組建。2015年，浦科投資做為萬業企業第一大股東，為公司制定了新的戰略目標，而後投入到事關國家戰略的集成電路行業，對若干裝備和材料龍頭進行戰略投資，執行「外延併購 產業整合」的半導體產業定位，為中國集成電路產業鏈的發展而打造成為最完整的裝備材料平臺公司之一。（浦科投資為我國頂級的科技創投勢力之一，曾投資過多家半導體優質企業，包括先進半導體、中微、盛美、瀾起、芯源微等，並對展訊通信和銳迪科發出收購要約，成功要約收購瀾起科技，收購香港先進半導體等。）

圖1：萬業企業發展歷程

圖2：萬業企業與控股股東之間的產權及控制關係

近些年來，萬業企業從原本的房地產業務加速轉型集成電路核心裝備平臺型公司，完成集成電路前道設備領域以及半導體設備零部件布局。公司在房地產領域主要從事住宅地產的開發，業務範圍主要集中在上海、蘇州、無錫等長三角區域，主要產品有高層公寓、多層洋房和別墅等；公司集成電路核心裝備布局主要有三塊：一是子公司凱世通的離子注入機，主要負責研發、生產、銷售國際領先的集成電路、光伏及AMOLED領域的中高端離子注入機，技術行業內領先；二是公司於2021年攜手寧波芯恩成立的嘉芯半導體，打造刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等3-4種主製程核心設備以及多種支撐設備；三是公司於2020年12月牽頭境內外投資人收購的全球領先的半導體設備流量控制領域零部件提供商——浙江鐠芯（Compart Systems）。考慮到萬業企業戰略重心主要集中在集成電路領域，下面將著重介紹這三家半導體公司的基本情況。

圖3：萬業企業在半導體領域控股或參股公司情況

第二部分 萬業企業在集成電路核心裝備布局

1. 凱世通：研發團隊經驗豐富，離子注入機實現28nm-7nm的全技術覆蓋

2009年凱世通創業伊始，公司最先切入的是離子注入機的零部件、減速器、減速結構、離子源等領域，後來於2012年開發出首臺光伏離子注入機。目前凱世通所涉及的設備業務是以離子束技術為核心的集研發、製造於一體的高科技項目，主要任務是研發、生產、銷售國際領先的高端離子注入機，重點應用於半導體集成電路、光伏太陽能電池和AMOLED顯示屏等領域，營業收入包括自產離子注入機、離子注入平臺、離子注入機耗材備件以及產品、服務定製與再製造業務。

離子注入是通過對半導體材料表面進行多種元素的摻雜，從而改變其特性的工藝製程，在集成電路（IC）工業中得到廣泛的應用。作為摻雜製程的核心裝備—離子注入機，是先進IC生產線上最關鍵的工具之一，佔晶圓廠設備總投資的10%。但是IC離子注入機昂貴的造價和龐大的佔地面積，使得離子注入技術在光伏產業上還未普及應用。凱世通根據太陽能電池工藝的實際情況和需求，為光伏產業量身訂製了大束流離子注入機。

目前凱世通的技術能力，已經能夠滿足國內晶圓代工廠所有技術節點的離子注入機需求，尤其是覆蓋28nm節點，具有重要的意義。凱世通以離子束技術為核心，持續加大低能大束流離子注入、高能離子注入產品的開發投入，先進位程需要低能大束流，特殊工藝需高能注入機。目前不僅可覆蓋含 28 納米的主流成熟半導體工藝製程；同時著力研製超越 14 納米製程的 FinFET集成電路離子注入機。隨著集成電路晶片工藝製程不斷微縮，針對國內外客戶先進工藝晶片製造的離子注入需求，凱世通選擇「領先一步」的產品定位策略，在「10nm及以下三維器件結構FinFET集成電路離子注入機研發與產業化」科技項目支持下，開發面向前沿工藝的離子注入機，並建立相應的研發平臺、核心關鍵技術及工藝的研究參數資料庫和性能檢測規範標準。

光伏離子注入機方面，凱世通開發了新一代 iPV6000 光伏離子注入機產品，該機產能較前一代 iPV3000光伏離子注入機基礎上再提升 50%。現已完成 iPV6000 產品的驗證工作，這將進一步提升凱世通在光伏離子注入機市場的競爭力。

圖4：萬業旗下凱世通三類產品線

2. 嘉芯半導體：前道設備多樣化產能建設，估算達產年產值達2500臺設備

作為萬業企業打造半導體前道設備集團最重要的「N」，嘉芯半導體待達產後年產2500臺/套集成電路設備，所涉及產品範圍將覆蓋刻蝕機、快速熱處理、薄膜沉積、尾氣處理等多品類8/12英寸半導體設備，可自主研發和製造刻蝕、薄膜沉積等多類產品，致力於實現關鍵製程設備及支撐設備本土化研發製造，為汽車晶片、功率晶片、邏輯晶片等晶圓製造廠提供成套設備解決方案。

自2021年四季度運營後，嘉芯半導體快速實現營業收入的突破，累計新增訂單金額超人民幣3.4億元，旗下的嘉芯閎揚和嘉芯迦能成功中標設備數量已超20臺，品類包括刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理（RTP）等核心前道設備。

3. Compart Systems：外延併購提升核心競爭力，打造國產設備零部件的完整生態

2020年12月22日，萬業企業發布公告稱，公司領頭境內外財團收購全球領先的半導體設備的流量控制零部件及解決方案提供商Compart Systems。此次收購交易基準價格為3.98億美元，完成交割後萬業企業成為第一大股東。

Compart Systems是全球領先的流量控制系統領域的零部件及組件供應商，也是全球少數可完成該領域零組件精密加工全部環節的公司，現由浙江鐠芯和鐠芯控股作為其持股主體。其主要產品包括BTP（Built To Print）組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，產品用於集成電路製造工藝中氧化/擴散、蝕刻和沉積等設備所需的精確氣體輸送系統，同時是全球少數可提供氣體流量控制器（MFC）組裝的公司。在半導體設備製造中，關鍵的零部件大致可分為5個類別，包括真空泵，RF電源，矽片傳送，氣體與液體控制等，Compart就是其中最為核心的流量控制系統供應商之一。Compart Systems也可為工業、航空航天、石油天然氣領域客戶提供包括高精度金屬加工部件、流量控制傳感器、控制閥組件等產品。

目前，Compart Systems總部位於新加坡，在中國深圳和馬來西亞庫林分別設立工廠，全球擁有約1400名員工，其靈活的產能布局和全球化的銷售體系為客戶提供了多樣的交貨渠道選擇，Compart Systems的客戶主要為知名的設備製造商和領先的工業企業集團等。收購完成後，Compart Systems國內市場開拓持續推進，將助力國內半導體設備廠商快速推進關鍵核心零組件的國產化進程。2022年5月，大基金二期向浙江鐠芯增資3.5億元。

第三部分 萬業企業半導體業務開展情況

2021年，萬業企業整體實現營業收入8.80億元；實現歸屬於上市公司股東的淨利潤3.77億元，同比增加19.42%；集成電路設備收入1.23億元，同比增長464.83%。2022上半年，集成電路設備製造業務收入同比增長150.86%，2022年初至今在手訂單近11億元。公司半導體收入快速成長，在手訂單飽滿，公司營收以及訂單有望迎來持續高增長。

圖5：萬業企業2018-2022H1營收基本情況（萬元）

2018年-2020年，凱世通實現營業收入1.08億元、0.83億元、0.21億元，呈現大幅下降的趨勢，主要原因是凱世通處於產品戰略轉型升級推動階段，團隊集中力量進行集成電路離子注入機的研發製造。 凱世通在 2021 年上半年轉虧為盈，實現營收和淨利潤分別為 0.35 億元、200 萬元，主要因為2021 年上半年凱世通在設備驗證、產品交付和訂單籤署等工作都取得顯著進展，其自主研發的首臺低能大束流離子注入機完成設備驗證工作並確認銷售收入。

2022年上半年，凱世通設備產品的綜合表現持續提升，獲得了客戶的重複採購和批量訂單。

2022年Q1，凱世通獲得一家重要客戶的批量訂單，包含12英寸低能大束流離子注入機和低能大束流超低溫離子注入機，並與一家集成電路製造廠籤訂了1臺低能大束流離子注入機訂單。2022年Q2，凱世通獲得第三家集成電路製造工廠的3臺低能大束流離子注入機訂單。

2022年至今，萬業企業獲得集成電路設備在手訂單近11億元，其中凱世通H1獲得3家客戶多臺離子注入機在手訂單超7.5億元，業務正式進入放量期。截至目前，凱世通研發製造的多款IC離子注入機設備，包含低能大束流離子注入機、低能大束流重金屬離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機和高能離子注入機，均已相繼通過12英寸主流晶圓廠客戶的驗證及驗收。

嘉芯半導體自2021Q4正式運營後，截止21年底已取得相關設備產品的銷售收入突破。2022年7月以來嘉芯半導體獲得成熟晶圓廠的特色工藝產線多款設備訂單，包括快速熱處理（RTP）設備、氮化矽等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側牆等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設備及二氧化矽等離子薄膜沉積等多種設備，嘉芯閎揚和嘉芯迦能均為嘉芯半導體控股子公司，近期中標多款設備，標誌著嘉芯半導體已經步入快速發展期，公司從離子注入機順利往更多前道設備品類拓展，半導體裝備平臺逐步完善。

2021年浙江鐠芯（Compart Systems的收購主體）實現營業收入9.2億元，淨利潤為1.01億元。2017-2019 年，Compart Systems 實現營業收入 9637、8227、7571 萬美元。公司致力於持續開拓國內市場，其相關產品進入另一全球頂級半導體設備公司的供應鏈，並有望於今年下半年釋放更多訂單。2022年上半年，公司參股公司浙江鐠芯營業收入為5.04億元，同比增長13.83%。

第四部分：萬業企業設備產品市場

根據本土主流12英寸晶圓廠最新統計數據透露，預計現有規劃的本土晶圓產線擴產資本開支中，離子注入機佔晶圓加工設備的比重已近10%，價值比重不斷攀升。目前離子注入機的市場份額高度集中，主要被國外公司壟斷。美國應用材料公司、Axcelis佔據全球大部分IC離子注入機的市場份額，其中美國應用材料公司佔50%以上，Axcelis的主要產品高能離子注入機市佔率為55%。

圖6: 世界離子注入機行業領先企業圖示

凱世通主要專注於低能大束流離子注入機和高能離子注入機，這兩類離子注入機分別能覆蓋離子注入機全球整體市場需求的 61%和 18%（數據來源：Gartner）。目前公司已經具備了不遜色於進口設備的能力，其中公司的低能大束流離子注入機所覆蓋的特徵線寬、注入能量、注入劑量、最大產能等指標與國外主流同類產品已經基本相同，並且注入束流為國外主流產品的將近兩倍。

目前，萬業企業旗下凱世通的離子注入機已供貨國內主流的12英寸晶圓廠並成為其戰略供應商。在凱世通產能完全釋放的前提下，受益於國內主流客戶認可的批量採購戰略供應商認可度，同時受益於與全球知名半導體產業專家良好的合作夥伴關係，萬業將在半導體前道設備國產化的浪潮之下，在離子注入機方面形成國內一枝獨秀的行業格局，其未來3-5年在離子注入機訂單的成長空間將會來自中芯國際、積塔半導體、華虹半導體、士蘭微、華潤微、長江存儲、長鑫存儲、粵芯等廠商的產能擴張。

嘉芯半導體總投資約20億元，預計後續訂單體量還將逐漸穩定增長。根據公司和嘉善縣西塘鎮人民政府籤訂的投資協議，未來將達年產2500臺/套設備,新設備佔到95%以上。目前，嘉芯半導體運營情況良好，自去年成立後即租用廠房進行設備的研發和製造，預計隨著項目廠房及人才逐步到位，將更好賦能公司構建「1 N」產業鏈模式。根據目前嘉興半導體中標情況來看，嘉芯半導體設備正在完成多個設備品類打入國內主流晶圓廠供應鏈的突破，夯實了「1 N」戰略落地，持續滿足本土晶圓廠的高需求，公司有望成為國內未來前道核心設備產品最為豐富的平臺之一。同時，2021年公司競得浙江省嘉善縣109畝國有建設用地使用權，目前嘉芯半導體研發及製造基地正在建造中。

浙江鐠芯（Compart Systems） 是半導體設備流量控制領域的零部件及解決方案龍頭企業。由於在集成電路領域中化學氣體產品存在其特殊性，集成電路設備中氧化/擴散、蝕刻和沉積工藝需要用到精確的氣體輸送系統，因此對氣體的純淨及安全性要求極高，任何故障都會導致不可估量的損失，只有使用經特殊處理的材料和零件，才能保證氣體傳輸系統的穩定，保證生產過程的純淨度與安全性，以確保工藝純度和提高安全性。在全球行業地位方面，Compart Systems 的 K1S 及 C-Seal 產品位居氣體傳輸系統表面貼裝行業的龍頭地位，並且擁有下一代產品 iBlock 及 Ultra-Seal 生產專利，引領行業向革新性的技術前沿發展。

從國內市場來看，大陸晶圓產能擴張速度快於全球平均水平。根據 IC Insights 數據，截止2020年12月，中國大陸晶圓產能為318萬片/月（折合8寸），在全球佔比為15.3%，隨著半導體製造矽晶圓產能持續向中國轉移，預計到2025年產能佔比將增加至18%，國內晶圓產能的快速增長將帶動國產設備需求大增，萬業企業的裝備平臺化布局有望受益於行業景氣上行。

（校對/鄧秋賢）