用於控制測試塊並行性的支持簡化配置的測試系統的製作方法

2023-06-10 00:38:31

用於控制測試塊並行性的支持簡化配置的測試系統的製作方法
【專利摘要】本發明公開了用於配置測試系統的技術，所述技術允許在測試半導體器件的單獨功能部分的過程中的並行度的簡化指定。對於具有多個子流程的測試流程而言，可標識出與每個子流程有關的被接入引腳以定義流程域。可定義站區，每個站區與某個流程域相關聯。可使測試器站與這些流程域專用站區中的每一個相關聯，並且可將獨立操作資源分配到這些測試器站。還可使所述定義的站區的第二部分與測試器站相關聯，但可從多個流程域來接入分配給這些站區的資源。即使並非開發用於並行執行的測試塊也可利用所述流程域專用站區中的資源來並行地執行。通過使用所述站區的第二部分來提供靈活性以共享資源。
【專利說明】用於控制測試塊並行性的支持簡化配置的測試系統
【背景技術】
[0001]測試系統廣泛地用於測試製造過程中多個階段的半導體器件。測試系統包括能夠生成並測量如下信號的部件(稱為資源)，所述信號能夠建立並且測量裝置在各種條件下的工作狀態。資源(例如)可為任意的波形發生器，所述波形發生器能夠被編程以產生所需形狀的波形。另一種類型的資源可捕集模擬信號採樣序列。然而另一種類型的資源可生成或測量直流程電壓或電流程或者數位訊號。通過如下方式來執行測試:控制資源以生成並測量被測器件的多個測試點處的測試信號。
[0002]在執行測試之前，針對正被測試的半導體器件的特定類型來配置測試系統。結合用來配置執行測試的測試系統的配置信息的所述測試，可被視為測試計劃。此配置信息可包括多級映射以使測試器中的一個或多個資源與被測器件上的每個測試點相關聯。例如，測試系統可具有接入點(有時稱為「通道」)，在所述接入點處，將測試系統連接到被測器件的部件可接入去往或來自資源的信號。
[0003]可在一個或多個資源與測試系統的每個「通道」(在此處可接入去往或來自這些資源的信號)之間指定映射。測試系統還可包括接口，所述接口將每個通道映射到有時稱為「引腳」的位置，在所述位置處可建立對於被測器件上的特定測試點的連接。利用這些映射，測試系統可確定控制哪些資源來生成或者測量被測器件的特定測試點處的特定類型的信號。
[0004]測試系統可包括比測試單個被測器件所需的資源更多的資源。為了加快平均測試時間並且因此降低製造半導體器件的成本，測試系統可被編程以並行地測試多個器件。在測試過程中每個器件可被設置在用戶站。為了支持多個器件的測試，一些測試系統支持測試器站。每個測試器站可連接到用戶站，以使得每個測試器站可生成或測量用於被測器件的測試信號。當使用多個測試器站時，每個測試器站可用功能等同的資源構造成，以使得可在每個測試器站生成或測量相同類型的信號，由此來並行地測試連接於用戶站的多個器件。
[0005]在其中支持測試器站的實施例中，用戶輸入可指定用於測試代表性器件將需要的測試程序和資源配置。獨立地，用戶可指定關於用戶站的信息。自動化工具可輔助用戶來確定如何配置測試器資源以具有針對每個用戶站運行的測試程序範例。每個測試程序範例可控制相關聯的測試器站。因此，配置用於測試多個半導體器件的測試系統的另一個方面可能涉及到指定哪些資源來共同形成測試器站。利用此信息，測試系統於是可以針對每個用戶站並行地執行測試程序範例。
[0006]為了支持這種並行測試，測試系統可支持測試器站特定操作。測試系統硬體(例如)可允許將分配給測試器站的資源進行一起控制，以使得測試器站的資源能夠一起啟動或停止。另外，每個測試器站中的資源可獨立於其他測試器站中的資源進行操作。利用這種獨立性，可控制測試系統，以使得與每個用戶站相關聯的資源以根據在該站的測量結果調整的方式工作。因此，可基於在被測器件上執行的測試來動態地控制每個用戶站中的測試執行。例如，測試系統可檢測出與一個用戶站的器件相關聯的錯誤工作狀態。測試系統可將該器件標記為錯誤，同時繼續測試在其他用戶站的器件。即使測試系統停止測試連接到一個用戶站的錯誤器件，對其他器件的這些測試仍可繼續進行。
[0007]隨著半導體器件已變得更加複雜，測試的複雜性也已增加。例如，半導體器件現在可被設計為具有多個「核」，每個核執行一個功能。作為具體例子，半導體器件可具有處理核，所述處理核執行數值計算和控制功能。單獨核可產生音頻輸出，然而另一個核可控制收音機或其他網絡接口。用於此半導體器件的測試程序可形成為多個測試塊。每個測試塊可控制資源以生成並測量用於測試某個核的測試信號。
[0008]一些核可為功能獨立的，以使得用於這些核的測試塊可同時來執行，並且任何一個測試塊均不會干擾其他測試塊的結果。然而，一些測試塊需要在不同的時間來執行，因為器件內的核不能並行地獨立工作或者因為測試系統缺乏足夠的資源來並行地測試所有例的核。
[0009]配置測試系統的另一個方面可能需要指定「流程」。所述流程指示為了測試代表性器件來執行測試塊的順序。在支持多個用戶站的測試系統中，可執行多範例的流程，每個用戶站一個範例。
[0010]當多個測試塊能夠並行地執行時，所述流程可以有多個子流程，其中每個子流程被並行地執行。當使用多個用戶站(其中每個用戶站具有多核器件)時，測試可能在每個用戶站引起流程範例，其中每個流程範例包括多個子流程。

【發明內容】

[0011]通過限定流程域，可以在對於具有多個功能區的半導體器件測試的執行方面提供改進，每個流程域包括在測試半導體器件的某個區域時接入的引腳。測試器站(被組織成站區)可用於按照下述方式來分配用於測試流程域的資源，所述方式允許功能區測試中的任何合適的並行度，甚至當測試程序並非專門準備用於並行執行時亦是如此。這種並行性可允許多個功能區的並行測試、或串行測試、或任何合適的並行和串行測試的混合。
[0012]還可提供簡單的機構來配置測試系統以用於執行與半導體器件的不同功能部分相關聯的測試塊。測試塊可在指定的並行度下來執行，所述並行度可在測試塊形成後指定。
[0013]在一個方面，本發明涉及一種操作測試系統以測試具有多個核的器件的方法。每個核可以有多個引腳，所述測試系統可具有多個測試器站，並且每個測試器站可具有硬體資源。可根據如下方法來測試半導體器件，所述方法包括通過將多個測試器站中的每一個映射到所述多個核中的相關核來配置所述測試系統以使得每個測試器站的所述硬體資源被配置成可接入所述相關核的引腳；以及執行具有多個測試塊的測試流程，其中每個測試塊通過控制相關測試器站中的硬體資源來測試所述多個核中的核，所述測試塊中的一些被並行地執行。
[0014]在另一方面，本發明涉及操作如下類型的測試系統的方法，所述類型的測試系統具有可與多個測試器站中的至少一個測試器站相關聯的資源，其中每個測試器站具有站識別符，以使得與測試器站相關聯的所述測試系統的硬體資源對指向該站的命令進行處理。可根據如下方法來測試半導體器件，所述方法包括配置所述測試系統以測試至少一個包括多個引腳和多個核的半導體元件，其中每個核包括所述多個引腳中的子組。對於所述多個核中的每一個而言，所述配置操作可包括使所述多個測試器站中的某個測試器站與所述核相關聯，以使得與測試器站相關聯的資源在測試過程中接入所述相關核的相應引腳。然後可根據測試流程來執行多個測試塊，所述測試塊中的每一個被配置成測試相應的至少一個相關核。可在多個子流程中並行地執行多個測試塊中的一部分，所述多個測試塊中的每一個控制與相應的至少一個相關核相關聯的測試器站中的資源的操作。
[0015]在另一個方面，可將測試方法中的任何一個用作製造半導體器件的方法的一部分。可基於這種測試的結果來有條件地執行至少一個製造操作。
[0016]在一個方面，本發明涉及至少一個計算機存儲介質，所述至少一個計算機存儲介質包括指令，所述指令當在計算系統上執行時控制所述計算系統以產生用於測試系統的配置，由此來執行用於至少一個被測試器件的測試。所述測試可包括根據指定流程執行的多個測試塊，所述流程包括多個子流程。生成配置可包括接收定義多個流程域的輸入，其中每個流程域代表在所述多個子流程中的相應子流程期間通過一個或多個測試塊的執行而接入的被測試的代表性器件的多個代表性引腳。可定義多個站區，其中每個站區包括至少一個測試器站，並且每個站區與某個流程域相關聯。所述配置可被生成為使得每個站區具有至少一個測試器站，所述至少一個測試器站包括用於在相關流程域的測試塊範例期間接入被測器件的至少一個引腳的資源。
[0017]在另一方面，本發明可涉及對測試系統編程以用於並行測試多個同樣的器件的方法。每個器件可以有多個核，所述多個核中的每一個均具有多個測試點。所述測試系統可以用多個測試器站配置。為了配置測試系統，可接收定義多個流程域的用戶輸入。可通過代表性器件的一組測試點來定義流程域中的每一個，其中每個流程域包括在執行子流程中的測試塊的過程中接入的測試引腳。可定義多個站區，其中每個站區包括至少一個測試器站，並且每個站區與某個流程域相關聯。所述配置可被生成為使得每個站區具有至少一個測試器站，所述至少一個測試器站包括用於在相關流程域的測試塊範例期間接入被測器件的至少一個引腳的資源。
[0018]在另一個方面，本發明可涉及至少一個計算機存儲介質，所述至少一個計算機存儲介質包含計算機可執行指令，所述計算機可執行指令當由至少一個處理器執行時完成包括提供用戶界面的方法。可通過用戶界面來接收測試計劃參數的規定。測試計劃參數可包括至少多個流程域，其中每個流程域標識在測試流程中的一個或多個測試塊的執行期間接入的至少一個被測試器件的一組引腳。可根據測試計劃參數來生成測試系統配置。測試系統配置可包括針對每個流程域而言的測試器站與所述至少一個被測試器件中的每一個的所述引腳組之間的映射。
[0019]上述為由所附權利要求限定的本發明的非限制性內容。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]附圖並非意圖按比例繪製。在附圖中，在多張圖中所示的每個相同或近乎相同的部件由相同的標號表示。為了清晰起見，並非對每張附圖中的每個部件都進行了標記。在圖中:
[0021]圖1為其中可實施本發明的實施例的測試系統的示意圖；
[0022]圖2為具有可根據本發明的一些實施例進行並行測試的具有多個核的半導體器件的不意圖；[0023]圖3A為順序測試流程的示意圖；
[0024]圖3B為具有可並行執行的多個子流程的流程的示意圖；
[0025]圖4為用於並行測試多個半導體器件的測試系統的配置的示意圖，其中每個半導體器件具有多個核；
[0026]圖5為用於並行測試多個半導體器件的測試系統的可供選擇的配置的示意圖，其中每個半導體器件具有多個核；
[0027]圖6為用於並行測試多個半導體器件的測試系統的另一個可供選擇的配置的示意圖，其中每個半導體器件具有多個核；
[0028]圖7為示出具有多個並行執行的子流程的測試流程的執行的流程圖，其中可產生流程專有報警響應；
[0029]圖8為示出具有多個並行執行的子流程的測試流程的執行的流程圖，其中可基於不同子流程中的報警在一個子流程中產生報警響應；
[0030]圖9為示出具有子流程的流程的執行的流程圖，其中站點環路使得子流程能夠在資源約束型測試系統中執行；並且
[0031]圖10為根據本發明的一些實施例的計算系統的示意圖，所述計算系統可被編程以配置或控制測試系統。
【具體實施方式】
[0032]本發明人已經認識到並且理解，儘管並行測試提供優點，但其引入了對測試系統編程和配置的複雜性。本發明人還已經認識到並且理解，開發用於多個器件(每個器件具有多個核)的並行測試的測試塊的複雜性已導致測試器資源的低效利用率。相似地，在配置測試系統以支持同一器件內的多個核的並行測試(無論是否並行地測試多個器件)中的困難已導致測試器資源的低效利用率。
[0033]本發明人還已經認識到並且理解，可通過提供如下測試系統來實現測試器資源的較高效利用率，所述測試系統能夠接收並且應用用戶輸入，所述用戶輸入指示與被測試的代表性器件上的特定核相關聯的引腳組。此處，「核」可以指利用可重用設計產生的半導體器件的一部分。例如，一些半導體器件包括基於商購設計實現的處理器核(其稱為核)。然而，應當理解，本發明並不限於利用商購核設計的多核器件的測試。半導體器件的任何合適的功能部分(無論是否為可重用的或商購的)均可被視為「核」並且可按照本文所述的方式進行測試。
[0034]無論與引腳組相關聯的被測試的半導體器件內的具體結構如何，這些組中的每一個均可限定流程域，所述流程域包括在與子流程相關聯的組中的全部引腳處生成並且測量測試信號時使用的引腳。對於每個用戶站可以存在一個流程域範例。自動化工具可配置測試系統，以提供與多個用戶站中的每一個相關聯的每個流程域範例中的資源。
[0035]這種工具可通過定義多個站區來配置測試系統。每個站區可為具有一個或多個測試器站的組。每個組可與一個或多個流程域相關聯。可將資源分配給站區，以使得與每個站區相關聯的資源可用於測試全部所有用戶站範圍內的每個流程域範例。
[0036]站區的第一部分可為流程域專用站區，以使得第一部分中的每個站區可與一個流程域相關聯。流程域專用站區中的資源用於測試每個相關流程域的範例。在一些實施例中，流程域專用站區與流程域之間可存在一對一關係。
[0037]在一些實施例中，現有測試構造(其並非用來測試獨立子流程)可以被改型以適用於這種測試。這種改型可能需要提供分配資源的機制，所述機制無需在下述測試塊的範例上共享測試和/或裝置狀態信息，所述測試塊在被測試的同一器件中的不同核上並行地執行測試。在支持多於所存在的用戶站的測試器站的測試系統中，可通過將測試器站組分配給每個站區來形成流程域專用站區。每個站區內的測試器站可與不同的流程域範例相關聯。通過將可獨立操作的資源分配給已分到站區的每個測試器站，可並行地執行多個測試塊範例，以使得在每個用戶站內，可對於多個核執行並行測試。
[0038]在一些實施例中，擁有流程域專用站區使測試系統的自動配置成為可能，以支持多個用戶站的每一個中的並行子流程，甚至對於並非專門編碼用於並行測試的測試程序亦是如此。自動化工具(例如)可產生已分配給每個流程域專用站區的資源與每個用戶站中的流程域的相應範例中的每一個之間的映射。在多個用戶站中的每一個內，可並行地執行多個測試塊，甚至不存在用於並行執行的測試塊的特定編碼。
[0039]站區的第二部分可包括並非與流程域呈一對一關係相關聯的站區。站區的此第二部分可包括全局站區。全局站區中的資源可與任何流程域相關聯。取代或附加於從得自站區的第一部分的流程域專用站區分配資源，可從全局站區分配資源。
[0040]全局站區可包括通過硬體部件資源提供的資源，所述資源不支持對於一組可能測試器站的分配，所述可能測試器站等於或大於用於產生全部站區的測試器站數。一些資源(例如)可完全不支持測試器站或者可不支持在每個站區內為流程域的每個範例提供單獨測試器站所需的測試器站數。提供全局站區使這些資源能夠在測試過程中被使用。然而，在一些實施例中，可對這種測試進行編碼以確保相同資源(儘管可在多個流程域中並且可能在相同流程域的多個範例中訪問)不能在同一時間來從不同的流程域或相同流程域的不同範例以不一致的方式進行訪問。作為另外一種選擇或除此之外，全局站區可包括旨在生成或測量可應用到多個流程域的信號的資源。例如，可將提供固定功率電平的資源分配給全局站區，因為所述固定功率電平可應用到正被測試的半導體器件內的多個核上。
[0041]在一些實施例中，全局站區中的資源不與任何流程域專用站區相關聯。可對訪問得自全局站區的資源的測試塊進行編碼或操作，以確保不同的執行測試塊範例在嘗試訪問同一全局資源時不相互幹擾。
[0042]第二部分中的另一個站區可為系統站區。系統站區可包括全部資源，以使得全部此類資源可在流程中被使用。在一些實施例中，系統站區可用於串行測試。
[0043]作為另外一種選擇或除此之外，測試系統可識別測試塊中的命令，所述命令基於每個流程域範例來執行功能。例如，用戶可指定，在檢測到一個根據流程域範例的測試中的錯誤時，此根據流程域範例的測試停止。用戶可指定，當在測試一個流程域範例中遇到錯誤時，其他測試應繼續進行還是停止。測試可在與同一用戶站相關聯的其他流程域範例中繼續進行(例如)以支持對此用戶站的特定被測試器件的框並。
[0044]又如，測試系統可支持逐站操作的報警功能，並且用於對測試系統編程的工具可支持以此方式控制報警的命令。報警信號可如同在常規測試系統中那樣起作用。例如，發出信號以指示測試系統硬體不能達到或保持程序設定的電流程或電壓電平。報警命令(例如)可清除或檢查每個流程域範例的報警。這種能力可提供在測試系統中，所述測試系統具有逐個測試器站地清除和檢查報警的能力。可在流程域範例中即將起始測量之前清除與測試器站(其又與流程域範例相關聯)相關聯的報警。在流程域範例中的測量之後，可隨即檢查與測試器站相關聯的任何報警，以確定報警狀態是否發生於在流程域範例中進行測量期間。當每個測試器站與流程域範例相關聯時，清除和讀取每個測試器站的報警可防止一個流程域範例中的報警幹擾在其他流程域範例中被並行執行測試。
[0045]然而，在某些情況下，可能有利的是根據在第二流程域範例中檢測出的狀態在第一流程域範例中進行測試。因此，本發明的實施例可支持一個流程域範例中的測試塊的條件執行，所述條件執行基於另一個流程域範例中的報警。在一些實施例中，測試系統可將這種條件處理限於如下情況，其中第一和第二流程域範例與正被測試的相同半導體器件相關聯。然而，這種限制並不是對本發明的要求。
[0046]作為另外一種選擇或除此之外，用於共享資源的命令可在站區中的全部測試器站中運用。作為一個例子，測試塊中用於串行化使用並行測試中的測試器資源的指令(有時稱為站點環路)可在站區中的全部測試器站中運用。這樣，站區中的測試器站可利用序列化資源來串行地執行測試操作。
[0047]然而，在一些實施例中，無需對被測器件內的多個子流程的並行測試進行專門編程。可在不考慮其他測試塊範例可在同一用戶站中被並行執行事實的情況下來編寫測試塊。通過經由流程域專用站區來分配獨立的測試器資源，每個測試塊範例可使用不幹擾其他測試塊範例執行的資源來操作，即使這些測試塊並非進行專門編碼以用於這種操作。因此，測試塊的開發可獨立於它們將被執行的順序和組合。在某些情況下，用戶可使用相同的測試塊來在其中測試塊被並行執行的配置與其中測試塊被串行執行的配置之間容易地切換。這種能力(例如)在開發或驗證測試程序時可為有用的，因為其將允許測試工程師快速地識別由並行測試或核引入的錯誤測試結果。
[0048]為了使用這種工具，用戶可直接或間接地提供輸入。可直接通過用戶界面來提供一些用戶輸入。其他用戶輸入可指示用戶選擇，所述用戶選擇又指示適用於配置測試系統的數據。
[0049]用戶輸入可包括以常規方式提供用於配置測試系統來執行測試計劃的輸入。例如，輸入可指定可用的測試系統資源、其中可訪問這些資源的輸入/輸入的測試通道、用戶站的數量、和/或將在每個站點處進行測試的被測試的代表性器件中的引腳的數量。用戶輸入還可指定引腳信息，所述引腳信息為被測試的代表性器件中每個引腳指定用於在測試程序的每個測試塊期間測試該器件所需的資源。此每一引腳信息可包括一起操作的引腳組的指定，並且可包括用於測試該組的定時要求(有時規定為時間域)。可用任何合適的方式來指定每一引腳信息，所述方法包括(例如)本領域中已知的引腳映射，所述引腳映射為每個引腳標識該引腳被分配的組以及引腳的類型。引腳的類型(例如)可指示測試該引腳所需的資源的類型。
[0050]另外，流程信息可(例如)在流程表單中指定用於流程的子流程並且針對每個子流程指定測試塊的執行順序以及每個塊應在哪個特定流程步驟開始執行。然而，還可通過命令(例如可在與總測試計劃相關聯的腳本中捕集的命令)來提供流程信息。腳本(例如)可包括序列命令，所述序列命令針對每個流程步驟來指定哪些測試塊將在此流程步驟中並行執行。[0051]然而，應當理解，一些輸入可來源於其他輸入或不同輸入。作為具體例子，可利用同一自動化工具或者另一自動化工具來確定用戶站的數量，所述另一自動化工具基於可用的測試器資源和執行測試程序所需的測試器資源來計算可並行測試的器件的總數量。又如，可作為輸入來指定或者可自動地獲得到每個用戶站中的具體引腳的測試器資源分配。
[0052]除了用於配置測試系統以執行測試計劃的這些常規輸入之外，用戶可指定一個或多個流程域。可用任何合適的方式來提供此輸入。在一些實施例中，可按照與標識引腳的其他組的方式來執行此輸入，其中流程域充當特定類型的引腳組。例如，用戶可將與每個流程域相關聯的代表性器件的引腳名稱輸入到用戶界面內。作為另外一種選擇，可通過標識電子數據表或其他數據源來提供此輸入，所述其他數據源包括可以從中識別出與每個流程域相關聯的引腳的信息。然而，並不要求每個引腳與某個流程域相關聯。在一些實施例中，例如，用戶可指定一些引腳將進行串行測試(即，不在正測試任何其他流程域期間來進行測試)。
[0053]可直接或間接地提供其他輸入。例如，可提供有關儀器的信息以及這些儀器是否支持用於並行測試的期望水平所需的測試站數。這些輸入可用於將資源分配給全局站區或者使得它們可用於分配到流程域專用站區。
[0054]所述工具可用此信息來確定在執行測試計劃中用於測試系統的適當配置。此配置可確定(例如)在執行測試計劃中將使用的測試器站數以及將分配給每個測試器站的具體資源。可作出這些分配來實現站區並且使站區與適當流程域相關聯。然後可使用此配置信息來配置測試系統，以便根據測試計劃進行測試。
[0055]在一些實施例中，引腳與流程域的關聯可應用到整個測試計劃中。然而，應當理解，在測試計劃的不同流程步驟，測試中可使用不同的引腳組合來作為每個子流程的部分。因此，並不要求子例程存在於在整個流程期間。在測試計劃中的不同時間，子流程和相關流程域、以及測試器資源對於站點的相應分配可以不同。例如，子流程可以僅存在於一個流程步驟期間，以使得測試系統的配置可在每個流程步驟有所改變或者可在測試計劃執行期間的一些較大間隔處有所改變。
[0056]轉到圖1，示出了可利用這種工具配置的示例性測試系統100。然而，應當認識到，提供給測試系統的配置信息可用任何合適的方式來獲得，並且無需由自動化工具來生成。可利用本領域中已知的硬體部件來構造測試系統100。在此例中，測試系統100包括裝入部件的主體,所述部件能夠生成並測量多個測試信號。此處,該主體圖示為測試器120。
[0057]測試器120容納多個部件，所述部件用於在測試程序的控制下來生成並測量測試信號。生成並測量測試信號的部件在此處一般表示為「資源」。在圖1的例子中，示出了資源122A、122B...122N。在一些實施例中，在資源122A、122B...122N中將包括多個類型的資源。每個資源可生成和/或測量用於測試功能中的一個或多個信號。例如，資源可被編程以生成或測量各自代表一系列數字值的一個或多個信號。例如，另一個資源可被編程而生成根據編程模式變化的模擬信號。然而其他資源可捕集由測試器120測量的模擬信號。又如，其他資源可測量射頻信號。
[0058]可由硬體部件(例如，本領域中已知的儀器)來提供資源。例如，可由下述儀器的組合來提供資源:數字儀器、模擬儀器、射頻儀器、以及用於在半導體器件測試期間生成或測量信號的任何其他合適類型的儀器。一些儀器可提供多個類型的資源，以使得在資源和實現它們的硬體部件之間無需存在一對一關係。例如，單個儀器可提供測量直流程電壓或電流程並且還驅動被測器件的一個或多個數字引腳的能力。然而，應當理解，資源的物理實現對於本發明並非至關重要。
[0059]無論測試器120內的資源的數量和類型如何，可通過一個或多個部件(此處示意性地示為信號傳遞接口 126)來將資源連接到被測試的一個或多個半導體器件。可利用本領域中已知的技術來構造這種信號傳遞接口。信號傳遞接口 126可將資源的輸入/輸出埠連接到被測器件的相應引腳。
[0060]並不要求須按一些實施例那樣對多個器件進行並行測試。示出的半導體器件152AU52B…152F被提供用於由測試器120進行測試。被測器件152A、152B...152F可作為一組來處理，因為它們結合於基底150。在圖1的例子中，被測器件152A、152B"?152F被示為封裝件。因此，基底150可為處理接口板或用來保持多個封裝半導體器件的其他固定裝置。在其中半導體器件在其他製造階段進行測試的情況中，可將被測器件聯接於其他類型的基底以方便處理。例如，半導體器件可在作為製造所述器件的半導體晶片接合在一起時測試。在這種情況下，基底150本身可為晶片。
[0061]無論用於保持被測試的多個半導體器件的基底150的類型如何，可通過操作裝置(未示出)來將基底150壓貼在測試器120的一部分上。能夠定位供測試系統測試的半導體器件的操作裝置為本領域已知的，並且可使用任何合適的操作裝置。
[0062]在一些實施例中，基底150可保持比能夠由測試器120 一次測試的半導體器件更多的半導體器件。能夠並行測試的器件的數量限制可由測試器120內的資源(相比於在被測器件上運行測試程序所需的資源)限制而產生。如果基底150保持比能夠由測試器120並行測試的器件更多的器件，則操作裝置(未示出)可在一組器件已被測試之後來重新定位基底150。通過重新定位基底150，可測試更多組半導體器件。儘管本文描述了在一個或多個半導體器件的單個組上執行的測試方法，但應當理解，當可用於測試的半導體器件多於能夠一次測試的半導 體器件時，可通過將另一組器件提供到測試系統並且重複這些測試方法來成組地測試所述器件中的一些或全部。
[0063]在圖1的例子中，三個半導體器件152A、152B、152C被示為同時連接到測試器120。儘管此例在每個組中示出了多個器件，但對於一些複雜的半導體器件而言，提供用於測試的半導體器件的每個組可僅包括單個半導體器件。無論每組內的器件數量如何，可通過測試器120內的資源來並行地測試半導體器件152A、152B、和152C中的每一個，所述資源生成並測量耦接於被測器件的測試信號。在圖1的簡化例子中，單個連接被示為將測試信號耦接在測試器120與器件152AU52B、和152C中的每一個之間。然而，應當理解，可生成或測量數百個或者可能數千個測試信號，以便完整地測試現代半導體器件。為簡化起見，未示出測試器120與正被測試的每個半導體器件之間的許多連接。
[0064]無論被並行測試的半導體器件的數量如何，信號傳遞接口 126可以在資源122A、122B...122N與被並行測試的器件152AU52B、和152C之間耦接被生成或測量的測試信號。可利用本領域中已知的技術來構造這種信號傳遞接口。儘管信號傳遞接口 126在圖1中示意性地示為單個部件，但其可包括多個層，這些層被做成多個單獨元件，所述多個單獨元件被連接成在資源與被測器件之間傳遞信號。這些層(例如)可包括具有由測試器120的結構限定的構造的層，使得可與資源122A、122B、…122N的輸入/輸出埠形成連接。信號傳遞接口 126的另一部分可具有由被測試的半導體器件限定的構造。所述接口的器件專用部分可包括多個探針或其他接觸機構，所述探針或其他接觸機構能夠與被測試的半導體器件上的測試點形成連接。可基於被測器件的設計來配置這些測試點，以與專用測試點對準。
[0065]在測試器專用接口層與器件專用接口層之間，一個或多個布線層可被設置在信號傳遞接口 126內。這些選路層中的一個或多個可被編程，從而作為配置測試系統100以執行測試計劃的一部分，可配置測試器120以使得資源能夠生成或測量將施加到被測器件上的專用測試點的測試信號，所述測試信號可從能夠生成或測量這些測試信號的資源傳送到專用測試點，在所述專用測試點處將施加或測量這些測試信號。
[0066]在圖1的例子中，測試系統100包括控制部件110。控制部件110可為計算機或任何合適類型的處理器，所述處理器可根據測試計劃進行編程以便為測試系統的其他部件產生控制信號。控制部件Iio可利用本領域中已知的技術來控制測試器120內的部件的操作，所述控制部件包括基於資源與信號傳遞接口 126的器件專用側的點之間的所需映射來配置測試器120的部件。例如，控制部件110可為信號傳遞接口 126產生控制信號，以將專用資源連接到被測試的一個或多個器件上的專用測試點。
[0067]另外，控制部件110可控制資源122Α、122Β...122Ν的操作。對資源的控制會牽涉到設定一個或多個操作參數。由控制部件110設定的具體操作參數對於本發明並非至關重要，並且可取決於包括在測試系統100中的資源和/或規定為測試計劃的一部分的測試功能。可利用本領域中已知的技術或者以任何合適的方式來確定這些參數。然而，作為可被控制的參數的類型的例子，控制部件110可指定將由特定資源產生的測試信號的電壓電平。作為另外一種選擇或除此之外，控制部件110可指定一些參數，這些參數控制信號或信號模式被生成的定時。可指定的其他參數包括測試信號的頻率或持續時間。
[0068]指定的具體參數和參數值可取決於將被執行的測試的性質。指定測試器配置的輸入可由任何合適的源提供。在圖1的例子中，響應用戶130的動作來提供指定測試系統配置的輸入。用戶130可表示(例如)測試工程師，所述測試工程師可在半導體器件被設計時開發用於半導體器件的測試。儘管圖1示出了單人用戶，但用戶並非必須為單人。在某些情況下，可通過不同的人們來控制本文所述的處理的不同部分。例如，測試計劃可先前由測試工程師開發並且隨後由操作者在另一時間來執行以測試半導體器件，甚至是可能在不同的位置利用不同的設備來測試正被製造的半導體器件。此外，成組的人可合作以執行本文所述的一些或全部操作，使得「用戶」無需為單人。作為具體例子，本文所述的測試系統操作技術的優點在於其允許與不同核相關聯的測試塊進行獨立開發並且隨後合併成具有不同並行度的多個流程。
[0069]無論與用戶相關聯的數量和工作職能如何，用戶可產生用於測試系統的配置信息以作為測試計劃的一部分並且隨後將配置信息加載到測試系統內以用於執行測試計劃。在此例中，用戶130通過連接於控制部件110的工作站132來提供輸入。在示出的例子中，當用戶130正與工作站132交互時，工作站132被示為連接於控制部件110。然而，應當理解，來自用戶130的輸入無需實時地提供至控制部件110。例如，用戶130可操作工作站132以生成用於配置控制部件110的信息。此配置信息可被保存並且隨後載入控制部件110。此夕卜，指定測試系統配置的輸入並非必須直接響應用戶輸入來提供。例如，可通過執行一個或多個計算機化工具或者以任何其他合適的方式來生成配置信息。[0070]工作站132可為任何合適的計算裝置。例如，工作站132可為臺式計算機或任何計算裝置，它們可被編程以操縱利用本文所述的技術來配置測試系統100的工具。操縱這樣的工具可導致生成配置命令，例如，可被傳送到控制部件110的配置命令140、142、和144。這些配置命令可配置控制部件110，由此來配置資源122A、122B、…122N和信號傳遞接口126，以便一次能測試被測試的一個或多個半導體器件。然而，應當理解，控制部件110可為與工作站132相同的計算裝置。
[0071]操作裝置(未示出)可用相應的配置信息來配置，使得該裝置提供測試器120用來一次測試的半導體器件的數量。在圖1的例子中，測試器120被示為與三個半導體器件(半導體器件152AU52B、和152C)形成連接。這些半導體器件中的每一個均可具有相同的構型並且據稱可安裝在測試系統100的用戶站中。每個用戶站可表示一個場所，在該處被測試的半導體器件提供給測試器120進行測試。
[0072]—般來講，在半導體製造設施中，一次能製造多件相同的半導體器件。因此，多件相同的半導體器件可作為製造過程的一部分來測試。在每個用戶站出現的半導體器件因此可為相同的。
[0073]為了支持同一類型的多個器件的測試，常規的測試系統被用來支持測試器站。在常規測試操縱中，測試系統可被配置為使得測試器站對應於每個用戶站，在所述用戶站提供被測器件以進行測試。為了支持在多個用戶站對器件進行並行測試，測試系統可支持在每個測試器站執行測試程序的範例。這樣，可在多個用戶站中的每個站中並行地運行測試程序的範例。
[0074]圖1示出了可使用測試器站來配置測試系統以便在多個用戶站並行地執行測試範例的方法。如圖所示,資源122A、122B、…122N中的每一個包括可編程硬體，例如，寄存器124A、124B、...124N。寫入寄存器124A、124B、…124N的值指定與每個資源相關聯的一個或多個測試器站。通過將與特定測試器站相關聯的資源映射到特定用戶站，測試系統可用來執行用於被測試的半導體器件的多個測試程序範例。
[0075]可利用本領域中已知的技術來控制測試器站的操作。然而，簡而言之，控制部件110可訪問寫入以用於測試被測試的代表性器件的程序，由此來確定所需的動作，例如，生成或測量將在多個程序步驟中的每一個期間執行的特定信號。控制部件110於是可以將命令發送到測試器120內與多個測試器站相關聯的資源，所述資源被映射到用戶站，在所述用戶站將被測器件提供給測試器120。每個命令可設置資源、控制資源以生成測試信號、控制資源以執行測量或觸發任何其他合適的測試功能。
[0076]可用任何合適的方式來提供此類命令。控制部件將命令提供到資源的具體機制可取決於提供資源的硬體儀器的構造和/或其他因素(包括測試系統的體系結構)。在某些情況下，指向資源的命令可包括具體地標識資源的地址。在其他情況下，控制部件可首先識別命令施用到的測試器站。當隨後發送命令時，已分配給所識別的測試器站的每個資源可響應該命令。
[0077]在某些情況下，可為正在用戶站執行的每個測試程序範例提供資源的單獨拷貝。使用單獨的資源允許每個測試程序範例依照不同的流程，這取決於正在特定用戶站測試的半導體器件的測試結果。 例如，如果因在並行測試的三個半導體器件上執行的測量確定半導體器件中的一者有故障，則用於該半導體器件的測試範例的流程可被改變同時允許測試流程繼續無改變地用於被測試的其他半導體器件。可用任何合適的方式來改變測試流程，包括通過延遲對故障器件的測試來改變。
[0078]然而，用於測試多個用戶站的每個資源並非必須為獨立的。在某些情況下，例如，可將提供充當電源的電壓電平的資源連接到多個用戶站。相似地，可將在全部用戶站中以相同方式操作(無論任何條件處理)的其他資源連接於多於一個的用戶站。
[0079]然而，本發明人已經認識並且理解到，只要可被配置成將資源匹配到用戶站以並行測試多個半導體器件的測試系統有用，則半導體器件測試中的大量優點可通過在其他測試情況中採用這些能力而以很簡單的方式實現。一個此類情況示於圖2中。
[0080]圖2概念性地示出了可通過測試系統進行測試的半導體器件152。半導體器件152可為本領域中已知的半導體器件。在此例中，半導體器件152被示為封裝的半導體器件。然而，如上所述，半導體器件可在其製造的任何合適階段以任何合適的形式進行測試。例如，可將本文所述的技術應用到半導體器件，而半導體晶片的一部分仍為未封裝的。
[0081]無論所測試的半導體器件152的形式如何，半導體器件152可包括多個功能部分、或「核」。在圖2的例子中，裝置152被示為包括核210A、210B、210C、210D、210E、和210F。每個核的具體功能對於本發明並非至關重要，並且核210A、…210F中的每一個均可表不任何合適類型的核(無論是目前已知的還是將來開發的)。
[0082] 申請人:已經認識到並且理解，可在開發用於半導體器件152的測試程序的過程中，通過開發與每個核相關聯的測試塊來實現大量優點。可通過提供可易於編程以執行這些測試塊的半導體器件測試系統來實現其他優點。此外，本發明人已經認識到並且理解，在多種情況下，將為有利的是允許用戶指定用於由這些測試塊組合的測試的流程，而不管測試塊是以串行方式還是以並行方式包括在測試流程中。這種能力(例如)可允許開發半導體器件的實體通過使一個或多個程式設計師個體或程式設計師組獨立地開發測試塊來開發用於半導體器件的測試程序。然後可將這些測試塊組合成測試流程。此外，可改變測試塊的組合以在不同的時間實現不同的目的。`
`[0083]圖3A和3B示出了可利用此方法提供的靈活性的例子。圖3A示出了用於可測試半導體器件152的測試程序的串行流程的例子。在圖3A的流程中，執行多個測試塊310A、310B、310C、310D、310E和310F。在此例中，測試塊310A、…310F各自獨立構建來測試核210A、…210F(圖2)中的某個核。
[0084]如圖3A所示，這些測試塊可被串行地執行，並且可執行於其他測試功能之前和/或之後。在此例中，可在執行設置塊320之後來執行測試塊310A、-310Fo設置塊320可對資源編程，從而為器件通電、擦除或設置器件上的存儲元件、或者以其他方式將器件設置在適於測試的狀態下。示於圖3A中的流程還包括全功能測試塊330。功能測試塊330可指定能夠驗證被測器件的工作(涉及核與核之間的互動)的測試動作。在圖3A所示的流程中，在每個核被串行地測試之後來執行全功能測試塊330。如果一個或多個核被確定有故障，則在測試流程的此處包括全功能測試塊330可消除執行全功能測試的需要。如果全部測試塊310A、…310F均被成功執行從而確認核的運行，則可較簡單地實現用於測試這些核之間的相互作用的塊330中的全功能測試(相比於其中需要對測試塊330編程以考慮各個核中的每一個的可能異常運行狀態的情況而言)。然而，應當理解，功能測試塊330在測試流程內的位置對於本發明並非至關重要。[0085]圖3B示出了可用於執行被測器件152的測試的可供選擇的流程。如同圖3A的測試流程，圖3B的測試流程以設置塊320開始並且以全功能測試塊330結束。然而，不同於圖3A的測試流程，圖3B的測試流程包括多個子流程。
[0086]在圖3B的流程中，子流程被並行地執行。在此例中，示出了四個子流程:子流程35(ν3502、3503、和3504。子流程35(^包括測試塊310A和310F。測試塊310A和310F在子流程35(^中被串行地執行。子流程3502包括測試塊350B。子流程3503包括測試塊310D。子流程3504包括測試塊310E和310C。如圖3B所示，測試塊310E和310C在子流程3504內被串行地執行。
[0087]子流程中的每一個比圖3A的流程具有更短的執行時間。儘管執行相同的測試量，但總測試時間短於圖3A的流程的總測試時間。因此，圖3A可表示在器件開發期間執行的測試。相比之下，圖3B可示出可在器件製造期間執行的測試，其中需要較快的執行時間。在器件和/或測試程序的開發期間，測試工程師可能需要串行地執行測試塊。串行執行(例如)可通過允許測試工程師每次關注於器件的較小部分上而有利於測試程序的開發和/或被測器件的調試。另一方面，在製造操作期間，可能有利的是儘可能快地執行測試程序。因此，在這種情況下，可能有利的是在儘可能多的子流程中來執行測試程序，每個子流程在儘可能短的時間量內來執行。
[0088]將圖3A和3B —並考慮可以看出，重新設置測試塊以在測試過程中提供較高或較低的並行度可能是有用的。圖3B提供了並行測試流程的一個例子。可產生各個子流程中的測試塊的多種其他組合。可以使用的具體組合取決於被測器件的特性和將被正在執行的測試程序訪問的被測器件結構的相互依存這兩者。
[0089]多種因素可能限制並行子流程的數量。一些限制可源於被測器件的構造。在某些情況下，一些測試塊不可並行地執行，因為它們測試的相關核不能被完全獨立地操作。例如，核210A的輸出端可能連接於核210C的輸入端(圖2)。在這種情況下，可能不能在同時確定核210C的輸入端處的測試狀態的同時確定核210A的輸出端處的測試狀態。因此，測試塊3IOA不可與測試塊 3IOC並行地執行。
[0090]圖3B示出了實現這種操作的並行流程。具體地講，首先在子流程350i中執行測試塊310A。儘管在與子流程350i並行執行的子流程3504中執行，但測試塊310C在時間上排序，使得測試塊310C能夠在測試塊310A執行之後被執行。然而，不可能以六個子流程來執行圖3B所示的測試。
[0091]在一些實施例中，可獨立操作的資源的可獲得性可能會限制子流程的數量。例如，數字測試儀器可作為資源提供八個數位訊號。儘管儀器可允許將數值獨立地指定在這些線中的每一者上，但儀器的約束因素可能要求全部八個信號線僅在公共時鐘信號的邊沿上改變狀態。因此，儘管可提供八個數位訊號，但這八個信號不可任意地分配在不同的子流程(其中信號變換為相對於不同時鐘定時的)中。在這種情況下，並行度可受到可用於分配到每個子流程的獨立操作資源的數量的限制。
[0092]可以使用的子流程的數量還可取決於其他因素，例如，測試系統中可用的資源的數量。在一些實施例中，測試系統可被配置為使得被分配用於在每個子流程中執行測試的資源獨立於其他測試流程中的資源。當並行地測試多個器件時，資源利用率可尤其受關注。
[0093]可考慮這些以及可 能的其他約束因素以確定測試流程中的並行子流程的數量。測試工程師或測試系統的其他用戶可用任何合適的方式來確定測試流程中的子流程的數量。同樣，可用任何合適的方式來確定將包括在每個子流程中的特定測試塊。在一些實施例中，已知的仿真工具或其他編程工具可幫助用戶來確定子流程的數量和在每個子流程中執行的測試塊。此類工具(例如)可幫助用戶發現使測試執行時間最短的並行測試流程。然而，構建並行測試流程的具體機制對於本發明並非至關重要，並且任何合適的測試流程均可被執行。
[0094]儘管圖3A和3B各自示出了一個流程範例，但當在多個用戶站並行地測試多個器件時，每個用戶站均可存在單獨的流程範例並且必須為每個流程範例分配資源。
[0095]在圖3B所示的實施例中，將獨立的資源分配給子流程350廣《3504中的每一個。在其中存在與多個用戶站相關聯的多個流程範例的實施例中，也可為每個子流程範例分配獨立的資源。
[0096]因此，測試流程可以呈現不同的並行度。測試流程可以為完全串行的(如圖3Α所示)、或完全並行的(如圖3Β所示)、或部分並行和部分串行的(未示出)，後者牽涉到並行執行多個子流程的周期和執行單個子流程的其他周期。發明人已經認識到並且理解提供如下技術的有益效果:所述技術用於改造(例如)圖1所示的測試系統以這樣的方式運行，所述方式允許用戶容易地配置測試系統來支持任何所需的測試執行並行度。
[0097]圖4示意性地示出了可應用測試系統內的測試器站來配置測試系統以執行具有任何所需並行度的測試流程的方式。圖4示意性地示出了可位於本領域中已知的測試系統內的資源，例如，資源422A、422B、422C、422D、422E、和422F。在圖4所示的情況中，測試系統被配置成在兩個用戶站上執行測試。因此，示出了兩個半導體器件4521和4522。在此例中，被測試的半導體器件各自具有被指定進行獨立測試的六個核。
[0098]核MOA1 JlOB1 JlOC1 JlOE1 JlOD1、和MOF1中的每一個均可具有與其相關聯的測試塊。半導體器件4522中的對應核410A2、410B2、410C2、410D2、410E2、和410F2可類似地與相同測試塊相關聯。然而，在測試器件452i和4522中的每一個的過程中，可執行每個測試塊的不同範例以測試半導體器件ASZ1和4522中的每一個內的核。
`[0099]在圖4所示的例子中，三個子流程被並行地執行。在此例中，在器件ASZ1和4522上執行測試的測試系統的資源已被分配到站區內。站區中的每一個可與測試流程中的子流程相關聯。在此例中，示出了站區430A、430F、和430B。站區430A包括資源422A和422B。如圖示意性所示，資源422A耦接於核MOA1並且資源422B耦接於核410A2。可按照本領域中已知的方式來實現這種耦接，包括通過對信號傳遞接口(例如，信號傳遞接口 126(圖1))內的映射進行編程。在此例中，在三個子流程中的第一子流程期間來測試核MOA1和核410A2。因此，站區430A正提供用於測試第一子流程的每個範例的資源。
[0100]相似地，可將站區430F的資源耦接於每個用戶站有待在第二子流程期間測試的器件的核的範例。在此例中，在第二子流程期間測試的核包括核MOF1和410F2。這些核中的每一個作為第二子流程的單獨範例的部分來進行測試並且可利用測試塊(例如，測試塊310F(圖3A))的單獨範例來進行測試。
[0101]相似地，站區430B包括作為第三子流程的部分來測試核的資源。在此例中，核410B!和410B2在第三子流程的單獨範例中測試。在此例中，核MOB1和410B2表示相同核的不同範例並且可利用相同測試塊的不同範例來進行測試。在此例中，資源422E被示為耦接於核410B1並且資源422F被示為耦接於核410B2。
[0102]應當理解，圖4為測試系統的配置的簡化圖示。例如，在每個資源與有待測試的核之間示出了單個連接。每個核可具有多個測試點，以使得多個信號耦接在一個或多個資源與用於測試的核之間。此外，另外的核(例如41OC1、4lOD1和410E1,410C2,410D2和410E2)未被示為連接到任何資源。對於半導體器件4521和4522的完整測試而言，這些核中的每一個均可類似地耦接於資源以進行測試。
[0103]這些核可基於其中將測試這些核的子流程來耦接於資源，所述資源被分配到站區430A、430F、或430B中的一個或多個。例如，核410Q可以如同與核MOA1相同的子流程的部分那樣被測試。在這種情況下，核410C1和410C2可被耦接於站區430A中的資源。同樣，核41OE1和410E2可在與核41OB1和410B2相同的子流程期間進行測試。因此，儘管未示於圖4中，但核41OE1和41OE2可被耦接於站區430B內的資源。此外，核41OD1和410D2可在與核410F1和410F2相同的子流程期間進行測試。在這種情況下，核41OD1和410D2可被耦接於站區430F中的資源。
[0104]然而，從圖4中的簡化圖示可以看出，每個站區與並行流程的子流程相關聯。本發明人已經認識到並且理解，如概念性地示於圖4中的站區可通過使用由本領域中已知的測試系統支持的測試器站能力來生成。可將不同的測試器站分配給每個站區，即使不同站區中的資源可用於測試同一用戶站中的相同半導體器件的一些部分。以此方式使資源與分配給站區的測試器站相關聯，提供了用於控制資源以在測試流程(不管其子流程數量如何)中運行的機制。
[0105]使測試器資源與測試器站相關聯的能力可進一步地用於使資源與不同的子流程範例相關聯。例如，通過將資源分配到測試器站2和測試器站3來創建站區430A。在此例中，資源(例如，分配給測試器站2的資源422A)可被分配以用於執行作為第一子流程的第一範例的部分的測試塊。資源(例如，分配給測試器站3的資源422B)可被分配以用於執行第一子流程的第二範例中的一個或多個測試塊。
[0106]相似地，資源(例如，分配給測試器站4的資源422C)可被分配以用於執行第二子流程的第一範例中的一個或多個測試塊。資源(例如，分配給測試器站5的資源422D)可被分配以用於執行第二子流程的第二範例中的測試塊。資源(例如，分配給測試器站6的資源422E)可被分配以用於執行第三子流程的第一範例中的測試塊。資源(例如，分配給測試器站7的資源422F)可被分配以用於執行第三子流程的第二範例中的測試塊。
[0107]這樣，測試器站分配用於使不同的資源並且在一些實施例中使獨立的資源與測試流程的不同子流程相關聯。測試器站分配還用於在子流程的範例之間加以區分。利用已知的編程技術，可使獨立資源與每個測試器站相關聯，即使資源可用於測試同一用戶站的器件的一些部分。例如，測試器站2、測試器站4、和測試器站6均被分配用於測試單個用戶站的器件，例如器件452p然而，通過以此方式使用測試器站，將獨立資源分配到不同用戶站的已知測試系統配置技術可得到應用，這將導致獨立測試器資源的分配以在整個測試流程的不同子流程中進行測試。在其中在不同子流程內執行不同測試塊(每個測試塊與不同類型的核相關聯)的實施例中，在不同的測試器站中應用獨立的測試器資源導致分配獨立的測試器資源以用於測試同一被測試半導體器件上的每個核。
[0108]即使在每個測試流程內執行其他測試塊，針對每個子流程使用不同的測試器站可導致被分配獨立測試器資源的不同測試塊的任何並行執行的範例。換句話講，以此方式分配測試器資源確保無論指定用於測試流程的並行度如何，均可利用獨立資源來執行每個測試塊範例，除非具體地編程以共享資源。
[0109]為了使測試器資源能夠以此方式分配，可基於指定流程域的用戶輸入來配置測試系統，所述流程域因此與圖4所示類型的站區相關聯。測試系統於是可以選擇適當站區中的資源以在對應流程域中執行測試功能。
[0110]為了限定流程域，可直接或間接由用戶提供的輸入可指定在子流程期間接入的一組引腳。在其中(用來測試一個或多個核的)一個或多個測試塊在一個子流程中被執行的實施例中，該子流程的流程域可包括與在此子流程期間測試的全部核相關聯的全部引腳。
[0111]在其中在第一子流程期間測試核210A和210C(圖2)的圖4的例子中,可通過用戶輸入指定第一流程域，所述用戶輸入標識用於在被設計為測試核210A和210C的測試塊的執行期間用於測試接入的半導體器件152的引腳。相似地，當在第二子流程期間測試核210B和210E時，可通過標識核210B和210E中在被指定用於測試核210B和210E的測試塊的執行期間接入的引腳來指定第二流程域。相似地，當在第三子流程期間執行被指定用於測試核210D和210F的測試塊時，第三流程域可被規定為對第三流程域求反。
[0112]可相對於被測試的代表性器件或者以任何其他合適的方式來提供在每個流程域中指定引腳的輸入。作為一個例子，本領域已知的是對測試系統編程來指定引腳組。可指定引腳組以用於任何種類的情況，包括將公共定時或其他公共操作應用到該組中的引腳。用於指定這些或其他情況中的引腳組的技術可用於標識形成流程域的引腳組。
[0113]無論標識引腳組的方式如何，一旦為某個代表性器件標識了引腳組，就可在每個站應用這些分組以標識每個流程域的範例。基於這些標識的流程域範例，可使不同的測試器站與每個流程域範例相關聯。在圖4的例子中，單個測試器站與每個流程域範例相關聯。然而，流程域範例並非必須與單個測試器站相關聯。例如，多個測試器站可與每個流程域範例相關聯。無論如何，可通過圖4所示的流程域專用站區來實現測試器站與流程域的關聯。
[0114]這種關聯允許利用已知的半導體測試系統編程技術來將獨立資源自動地選擇用於每個子流程範例，所述半導體測試系統編程技術選擇獨立的資源以用於不同的測試器站。這些能力用於提供如下機制，所述機制用於執行其中多個不同測試塊可並行執行的測試程序，甚至是當測試程序並非被編寫成並行執行時。如圖所示，通過站區控制資源允許進行獨立開發並且允許獨立地操作被並行控制的測試塊。
[0115]在圖4的例子中，與站區430A相關聯的測試塊310A可通過在執行此測試塊時使用已分配到站區430A的站點的資源來作用於第一類型核。按照類似的方式，測試塊310F可通過在執行此測試塊時使用已分配到站區430F的站點的資源來作用於第二類型核。另夕卜，測試塊310B可通過在執行此測試塊時使用已分配到站區430B的站點的資源來作用於
第三類型核。
[0116]如上所述，可實現資源到站區的自動分配，以確保分配到每個站區的資源為獨立的。然而，可存在其中不需要每個子流程範例中的資源的完全獨立性的情況。例如，當測試功能需要核之間的相互作用或者存在不足的資源來執行具有所需的高並行度的測試計劃時，可能需要子流程中的資源之間的一些依賴性。轉到圖5，示出了可供選擇的操作情況，其中站區的第二部分並非與流程域唯一地相關聯。圖5示出了按照圖4配置的具有三個流程域專用站區430A、430F和430B的測試系統。測試系統被配置為使得這些站區中的每一個內的資源被分配用於執行與不同流程域相關聯的測試塊。圖5中的情況與圖4中的情況的不同之處在於圖5所示的測試系統包括並非與流程域唯一相關聯的附加站區。
[0117]資源530A和530B表示全局站區。在此例中，已通過將全局站區中的資源分配到測試器站I來實現全局站區。測試器站I表示並非用於將資源分配給流程域專用站區430A、430F、或430B中的任何一個的測試器站。在圖示實施例中，全局站區中的成員身份由全局流程域的用戶定義來定義。用戶不能使全局流程域與任何子流程相關聯。其用途不言而喻，並且根據定義對於並行子流程而言為全局的。然而，應當理解，在其他實施例中，可用任何其他合適的方式來定義全局站區。
[0118]相比於通過流程域專用站區(例如，430A、430F、和430B)實現的資源分配，全局站區中的資源並非與任何流程域呈一對一關係相關聯。相反，全局站區中的資源(在圖5中由資源530A和530B表示)可從任何流程域進行訪問。可利用常規測試系統編程技術來從執行於流程域中的測試塊訪問這些資源。然而，相比於流程域專用站區430A、430F、和430B中的資源(其可通過有助於測試系統的配置的工具進行分配，以使得無論測試流程的並行度如何均能確保獨立資源)，如果分配給全局站區的資源被不止一個並行執行的測試塊訪問，則可能發生衝突。因此，可編寫一些訪問分配給全局站區的資源的測試程序來消除此類衝突。可根據目前用來給並不實現流程域專用站區的測試系統編程的技術來執行此類衝突消除。
[0119]可出於任何合適的理由將任何合適的資源分配給全局站區。理由可包括(例如)資源功能方面的限制。資源限制的一個例子是，某個資源可能為這樣的儀器的部件，所述儀器不能進行編程以作為測試器站的一部分來工作或者不能進行編程以利用支持全部被用站區的特定數量的被用測試器站來工作。例如，一些測試系統可支持至多512個測試器站，但一些儀器可支持僅32個測試器站。
[0120]可將資源分配給全局站區的另一個原因可為資源的稀缺性，使得為了並行測試合適數量的器件，必須在流程域中共享某些稀缺資源。作為稀缺資源的例子，測試器可裝配有單個儀器以產生射頻信號，所述射頻信號為必需的以用於測試不同用戶站中的一個器件或多個器件上的不同核，從而使得在不同的流程域範例中需要這種資源。在這種情況下，用戶可編寫測試程序以將來自所述儀器的射頻信號在測試過程中的不同時間應用到不同的流程域範例中。
[0121]圖5示出了其中全局站區中的資源被分配給相同測試器站的情況。應當理解，這種站點分配並不是對本發明的要求。在某些情況下，當測試如圖5所示的多個用戶站時，可將全局站區中的資源分配給測試器站，以使得存在適合每個獨特用戶站的獨特測試器站。這種配置可使得用戶站能夠獨立地或者具有某種並行度地被測試。因此，應當理解，圖5為示例性的並且並不限於全局站區的具體實施。
[0122]通過提供流程域專用站區以及全局站區，可在測試系統的編程中實現顯著的靈活性。然而，所述系統可易於配置為利用自動化工具以任何並行度來執行測試程序，所述自動化工具將測試器站分配到流程域專用站區。為了使用全局站區以及流程域專用站區中的資源，用戶可使流程域專用站區中的專用測試器站與流程域範例中的引腳相關聯，以使得流程域專用站區中的獨立操作資源被自動地選擇以接入其對應流程域中的引腳。另外，可使全局站區與包括在測試過程中全局站區中的資源所接入的引腳的任何流程域範例相關聯。
[0123]圖6示出了可在測試系統中實現的以提供更大靈活性的另一種類型的站區。圖6示出，除了流程域專用站區和全局站區之外，測試系統還可用系統站區來配置。在圖6的例子中，系統站區用測試器站O來限定。在圖示實施例中，全部資源均包括在系統站區中並且可通過測試器站O進行訪問。然而，應當理解，系統站區可使用任何合適的標號。作為具體例子，可使系統站區與多個測試器站(例如，標號為零到上限(其可取決於(用戶站數-1))的測試器站)相關聯。提供系統站區是一例這樣的機制，通過該機制可對任何測試塊編碼以訪問系統中的任何資源。例如，在其中測試核MOB1和410B2的串行測試期間，可能有利的是訪問任何數量的資源以作為對核進行測試的一部分。然而，由於在串行流程中在不同測試塊中的資源利用之間不存在衝突風險，則在流程中可在不使用流程域專用站區的情況下來串行地執行測試塊。
[0124]可通過配置一些或全部資源以作為多個測試器站的一部分運行來提供所述實施例中的這種靈活性。例如，在其中系統站區被分配測試器站O的情況下，可將每個資源分配給站點O。可將如下每個測試器資源分配給附加測試器站，所述測試器資源可用作執行與流程域專用站區和/或全局站區相關聯的測試程序的一部分。附加測試器站可表示全局站區或者可表示被分配給流程域專用站區的測試器站。這樣，可在配置資源以執行測試程序中實現顯著的靈活性，同時仍能獲得使用測試器站的有益效果，由此來消除並行測試過程中資源之間的衝突。
[0125]圖7示出了如下測試能力，所述測試能力源於以此方式利用站區來將資源分配到其中測試不同核的不同子流程範例。圖7示出了運行測試系統的方法。所述方法如圖7所示可隨著用戶輸入而起始，所述用戶輸入指示具有定義流程的特定測試程序將被執行。在此例中，將被執行的測試流程包括三個子流程。這些子流程在三個用戶站上來執行。因此，對於每個子流程存在三個範例。
[0126]在此例中，圖7的處理開始於其中測試器被配置用於執行測試的塊710處。此配置可能牽涉到將測試器站映射到每個用戶站中的每個核。在圖1的示例性系統100中，可通過如下方式來實現這種映射:配置信號傳遞接口 126以將已分配給專用測試器站的資源連接到處於使用這些測試器站的流程域中的用戶站的引腳。所述映射可用任何合適的方式實現。然而，在一些實施例中，可基於從計算機化工具提供的配置命令來實現映射，所述計算機化工具利用本文所述的技術來分配資源。
[0127]在圖1的例子中，配置命令可包括配置命令140，所述配置命令140為包括在測試系統內的多個資源中的每一個識別該資源將連接的引腳。這樣的信息可用來控制測試器120的信號傳遞接口部件內的映射。又如，配置命令可指定用於測試程序的流程。配置命令142可提供有關在每個子流程中執行的測試塊的信息。配置命令144可為用於執行測試程序的測試系統120內的每個資源指定測試器站分配。其他信息可指定將哪些測試器站分配給每個子流程的每個範例。此配置信息允許控制部件110利用每個測試塊範例的適當資源來在一個或多個用戶站中執行一個或多個測試塊的一個或多個範例。
[0128]可由用戶提供任何合適的輸入以使所述工具能夠生成配置信息。例如，圖1示出了將輸入提供到工作站132的用戶130，在所述工作站132上生成配置信息的這種工具可以執行。該輸入可以限定流程域。每個流程域可被規定為在測試程序的子流程期間接入的被測試代表性器件的一組引腳。可用任何合適的方式來提供此信息。例如，本領域中已知的是在對測試系統編程時指定引腳組，並且可利用本領域中已知用於指定引腳組的技術來指定流程域。
[0129]可結合流程來指定流程域。流程可用任何合適的方式來指定，例如，電子數據表、測試腳本、或命令行。定義流程的信息可被提供為由用戶輸入的數值。然而，可通過選擇包括此類電子數據表或腳本的文件來提供這種輸入。可直接地或間接地進行這種選擇。作為間接選擇的例子，用戶可打開與測試計劃相關聯的工作區，在所述工作區內已指定流程和測試計劃的可能其他參數。然而，可採用傳送信息的任何合適機制。無論所述流程如何被規定，其可包括有關子流程和將在每個子流程內執行的測試塊的信息。
[0130]可指定其他輸入(其可為本領域中用於配置測試系統的已知類型的輸入)以使所述工具能夠確定映射。例如，在工作站132上執行的工具可獲得這樣的信息，所述信息限定與信號傳遞接口 126(圖1)的器件專用部分有關的每個測試引腳的位置。相似地，可獲得確定哪些測試通道與哪些資源相關聯的信息。另外，在工作站132上執行的工具(例如)可獲得關於保持半導體器件的用戶站數的信息以進行並行測試。
[0131]工具可獲得的其他信息(通過經由工作站132上的用戶界面的直接用戶輸入或者通過訪問有關測試程序的信息的其他源)可包括用於執行每個測試塊的資源需求。
[0132]這種信息、以及常規可保持在任何測試環境中的任何其他合適信息可由工具獲取以生成配置命令，所述配置命令可被提供到測試系統中的控制部件，例如控制部件110(圖1)。這種工具可創建如上所述的站區，包括流程域專用站區、全局站區、和系統站區。所述工具可基於在用戶輸入中指定的流程中的子流程數來確定流程域專用站區的數量。一旦站區數被確定，所述工具就可將測試器站分配給這些站區。
[0133]然後，所述工具可基於將在構成測試程序的測試塊的執行中使用資源的方式來將資源分配給這些測試器站。例如，可將每個資源分配給用於實現系統站區的測試器站。可將在不止一個子流程範例中訪問的資源分配給實現全局站區的測試器站。
[0134]可將用於執行與單獨流程域相關聯的測試塊的其他資源分配給實現與這些流程域相關聯的站區的測試器站。這些資源可被分配成使得分配給不同站區的資源為彼此獨立的。可實現這些分配以達成每個站區中功能上獨立的資源。可通過確保由任何物理部件提供的全部資源被分配給同一站區來實現功能獨立性。然而，如果基礎物理部件支持可獨立操作的多個資源以使得可由這些資源中的一者生成或測量的信號不依賴於其他資源的當前或先前編程，則即使得自相同物理部件的資源被分配給不同的站區也可實現整個站區上的功能獨立性。
[0135]可利用本領域中已知的技術來將資源分配給流程域專用站區，以實現將獨立資源分配給測試系統中的用戶站。然而，所述分配能夠用來實現全部站區上的獨立性，而不是實現所有用戶站上的獨立性。然而，相比於其中將資源分配給每個用戶站執行相同測試功能的常規資源分配任務而言，當上述站區可與不同類型的核的測試相關聯時，分配給站區的資源可在不同的站區執行不同的測試功能。儘管如此，可應用本領域中已知的技術，例如，用於標識哪些資源可獨立操作以及如何選擇資源以實現所需速率或資源利用率的技術。然而，任何合適的技術均可使用。
[0136]在其中使用多個用戶站的情況下，可將資源分配給測試器站以同樣實現在全部用戶站上的獨立性。可利用本領域中已知的技術或者任何其他合適的技術來作出這些分配。無論這些資源分配如何作出，獨立資源可被分配給每個子流程範例，而不管所指定流程的並行度。
[0137]在一些實施例中，分配給流程域專用站區的資源也可在功能上獨立於分配給全局站區的資源。可使用任何合適的機制來實現這種獨立性。例如，資源可首先分配給全局站區，並且隨後可以在將資源分配到流程域專用站區的過程中不予以考慮。作為另外一種選擇，可將流程域專用站區和全局站區一起來考慮以對所有這些站區作出獨立資源分配。
[0138]一旦對站區作出了資源分配，就可隨後將資源分配到已分配給這些站區的測試器站。可將識別正確分配的信息傳送到測試系統。例如，配置命令144顯示被傳送到控制部件110的資源分配。儘管圖1通過顯示將單個資源分配到單個測試器站來示意性地示出這種傳送，但應當理解，可以與典型的測試程序有關地傳送更多信息。例如，可為多個資源中的每一個傳送分配。此外，可將每個資源分配到不止一個測試器站。此外，如果子流程中的不同測試塊的資源需求為不同的，則在一些實施例中，資源分配可包括指示資源分配所達到的子流程部分的信息。
[0139]應當理解，圖1示意性地示出了提供到測試系統內的控制部件的配置命令。然而，配置命令可用任何合適的格式來提供並且可包括取代圖1所示的特定配置命令或除此之外的信息。此外，應當認識到，對於包括能夠生成或測量數百個或可能數千個引腳處的多種測試信號的多個資源的測試系統而言，提供到控制部件的配置信息可反映出對於全部此類元件的配置。
[0140]雖然描述為用單個工具生成配置信息，但應當認識到，被描述為由單個工具執行的功能可由多個工具來執行。在其中根據本發明的一些實施例來準備測試程序以用於在常規執行歸屬於工具的功能的測試系統上執行的實施例中，這些功能可由常規包括在測試系統中的工具來執行。作為一個例子，可使用已知的工具來為信號傳遞接口產生特定的配置命令，以將資源連接到位於用戶站的引腳。此外，在一些實施例中，可在無需計算機化工具輔助的情況下由人類用戶來指定一些或全部配置信息。
[0141]無論生成哪種配置信息或者以何種方式生成此配置信息，控制部件均可用此信息來控制測試系統內的部件，以在適當的時間利用適當的資源來執行子流程範例中的測試塊。在準備執行測試程序的過程中，控制部件可使用此配置信息以將資源映射到引腳。可通過配置測試系統的信號傳遞接口部分內的開關元件或者以任何其他方式來實現這種映射。還可(例如)通過寫入寄存器(例如，124A…124N(圖1))來使資源與測試器站相關聯。
[0142]無論測試系統以何方式進行配置，其一旦被配置用於具有可包括多個子流程的特定流程的測試計劃，測試就可開始。儘管未明確示於圖7中，但此測試可包括設置部分，所述設置部分可(例如)通過執行類似於設置測試塊320 (圖3D)的測試塊來實現。其後，測試可在並行子流程中執行。在圖7的例子中，示出了三個子流程。可針對其中存在將被測試的半導體器件的每個用戶站來執行每個子流程的範例。儘管子流程的並行測試可以在甚至僅單個用戶站被使用時執行而使得每次僅測試單個半導體器件，但圖7示出了三個用戶站的並行測試。因此，子流程A包括子流程範例720A1、720A4、和720A3。子流程B同樣用三個子流程範例來執行0子流程C同樣用三個子流程範例來執行:720C1,720C2、和 720C3。[0143]可根據用於每個子流程的同一測試塊來執行每個子流程中的處理。例如，可通過以相同順序執行同一測試塊來驅動每個子流程範例7204、7204、和720A3中的處理。然而，與在每個子流程範例中測試的不同器件相關聯的條件可導致在每個子流程範例中以不同方式執行的子流程的條件部分。此處，通過使用「報警」來實現條件處理。
[0144]可利用本領域中已知的技術來在測試系統內實施報警。例如，可通過測試系統內的硬體部件來實施報警。所述部件可在測試程序的執行期間過程中檢測條件，並且呈現發出該條件被檢測到的信號的狀態。在一些實施例中，每個報警可在因條件檢測而被觸發時鎖存。檢測到的條件可與超過或低於預設電平的電壓或電流程相關聯。每個報警檢測的具體條件對於本發明並非至關重要，並且在一些實施例中，可針對報警來編程設計條件。
[0145]在常規測試系統中，報警與測試器站相關聯。在常規測試系統中，這種能力使條件與在不同用戶站被並行測試的器件相關聯。此處，基於整個站區中的測試器站分配，報警變為與某個流程域相關聯，以使得可在流程域內執行條件操作且不影響其他流程域，即使流程域正在對同一半導體器件執行測試塊。
[0146]圖7提供了與流程A有關的這種條件處理的例子。圖7示出了可發生在子流程範例(例如，子流程範例720AD內的處理順序。在此例中，處理可開始於塊730處。在塊730處，可清除與特定子流程範例相關聯的報警。如上所述，可將不同的測試器站分配給資源以使特定資源與子流程範例相關聯。這樣，可將影響資源操作的尋址命令指向基於正被執行的總測試程序的特定子流程範例的資源。這樣，將命令發送到資源可導致這些資源執行與被測試的特定半導體器件的特定核的測試唯一相關聯的動作。例如，作為子流程範例7204的一部分的塊730的執行，可清除與正被測試的特定半導體器件中的特定核的測試相關聯的報警。
[0147]類似的命令可在其他子流程範例(例如，子流程範例720A2、和720A3)中執行。然而，在其他子流程範例中，可將命令編址到不同的測試器站，由此使得專用於測試其他半導體器件中的核的測試系統的動作將測試系統聯接於其他用戶站。在此例中，同一子流程中的每個子流程範例測試正被並行測試的不同用戶器件中的同一類型的核。因此，可在同一子流程的每個子流程範例中採用相同的處理步驟，即使該子流程與不同的被測試半導體器件相關聯。
[0148]在此例中，在塊730上執行的命令將報警清除。在此例中，由於報警保持指示條件檢測的輸出狀態直至報警被清除，因此可在將報警用作測試的一部分之前在塊730處清除報警。
[0149]在圖7所示的實施例中，報警與可被分配到特定測試器站的部件相關聯。因此，在塊730處清除報警可能牽涉到清除與已被分配給如下測試器站中的一個或多個的部件相關聯的報警，所述測試器站被分配用於對正在子流程範例7204中測試的一個或多個特定核執行測試。由於測試器站被分配用於實現流程域專用站區，則在塊730處清除的報警與未用於測試子流程A的其他範例或任何其他子流程的測試器站相關聯。這樣，在塊730清除報警可不作用於將在不同子流程的其他子流程範例中執行的測試。由於這些其他子流程範例可與測試同一半導體器件上的其他核相關聯，則在塊730處清除報警無需作用於子流程B或C中的同一器件上的其他核的測試(除非這些其他子流程中的測試程序被專門編寫成使用或依賴於子流程A或子流程範例7204中的報警)。[0150]一旦適當的報警被清除，子流程範例7204內的處理就可因此進到塊732。在塊732處，被分配用於子流程範例7204中的流程域專用處理的一個或多個測試器站中的資源可以被啟動。所啟動的具體資源可取決於正在子流程範例7204中執行的測試塊以及將被生成或測量的測試信號的類型。在塊732處生成和/或測量的具體信號對於本發明並非至關重要，並且啟動操作可能牽涉到啟動資源以執行半導體器件測試領域中已知的測試功倉泛。
[0151]無論啟動的具體資源以及在塊732處生成和/或測量的信號的特性如何，處理均可前進到塊734以確定在塊732處執行的這些測試功能是否已觸發與子流程範例720Ai相關聯的任何報警。在判定塊734處，處理可根據這些測試功能是否已啟動任何報警而形成分支。可用任何合適的方式來執行塊734處的處理，所述方式包括讀取在塊730處清除的報警以確定在塊732處執行的測試功能是否已觸發任何報警。
[0152]如上文結合塊730所述，在塊734處檢查的報警可通過與子流程範例720&唯一相關聯的部件來實現。子流程範例720仏可又與用戶器件上的特定核的測試相關聯。因此可獨立於其他子流程(例如，子流程B和C)中的任何一者的動作來設定報警，在所述其他子流程中可測試同一半導體器件上的其他核。因此，如果在處理734處檢測到報警，則處理可分支到塊740。
[0153]在塊740處，可獲得核專用報警響應。在這種情況下，報警響應可專用於通過執行子流程A中的測試塊來測試的核。例如，在測試一些核期間，過電壓條件可指示顯著問題，因所述顯著問題產生的適當響應可中斷此核的測試。對於其他核而言，指示過電壓條件的報警可指示不可取的、但非損害性的瞬態條件。此類報警的適當響應可繼續在較低速度下進行測試，以確定瞬態過電壓條件是否可通過操作不同條件下的核而得以消除。因此，當子流程範例7204內的處理從判定塊734分支到740 (因檢測到與被分配用於子流程範例7204內的測試的測試器站相關聯的報警)時，報警指示與正在子流程範例7204內執行的測試塊所測試的核相關聯的條件。因此，通過在塊740處執行編程為此測試塊的一部分的報警響應，針對此報警的響 應專用於此已編寫測試塊所針對的核。
[0154]測試塊的開發者可利用這種能力來編寫測試塊中的報警處理代碼，如同測試塊將在不存在並行執行的任何其他測試塊的測試系統上來執行一樣。如果報警出現在此測試塊的執行期間，則將在塊740處來執行報警處理代碼。即使此測試塊與其他測試塊(測試同一半導體器件上的其他核)並行執行，因執行其他測試塊產生的報警在塊740處也將不會導致如下報警處理代碼的執行，所述報警處理代碼已被特別編寫成用於作為測試核A的一部分來處理被檢測的報警。由於報警條件的這種獨立性，所編寫的測試塊(甚至是假定該測試塊將串行執行並且不存在並行執行的其他測試塊的情況)可作為並行流程的一部分來執行且無需專門編寫用於核A的並行執行的測試塊。由於這種能力，測試系統的用戶可以獨立於其中測試塊能夠被結合到並行流程程內的方式開發用於核的測試塊。然而，測試塊的所需操作將在其相關聯的核上執行。
[0155]儘管未明確示於圖7中，但可在流程B和流程C中執行類似的條件處理。因此，可在子流程7208^7208^7208^720(^720?、和720C3中的每一個內執行條件處理。
[0156]條件處理可呈任何合適的形式並且在每個子流程中可以不同。在此例中，當塊740處執行專用於核A的報警響應之後，子流程範例7204內的處理被示為結束。然而，處理並非必須隨著報警條件被檢測到而結束。在某些情況下，報警響應可包括記錄數據、改變測試條件或採取其他動作、並且隨後繼續執行子流程範例7204內的測試。
[0157]反之，如果在判定塊734處未檢測到報警，則處理可前進到判定塊750。如果得知仍存在較多的測試，則子流程範例7204內的處理可從判定塊750返回。可重複清除報警、執行測試功能、隨後檢查報警並且基於是否檢測到報警來採取條件動作的過程，直至對於將在子流程範例7204內測試的核的測試而言不存在任何未完成的測試功能。
[0158]當測試完成時，流程可結束。然而，可在執行與核相關聯的測試塊之後採取任何合適的步驟。例如，與將在同一子流程中測試的另一核相關聯的測試塊可開始執行。作為另外一種選擇或除此之外，在完成子流程範例內的測試時，可啟動涉及多個核之間的相互作用的功能測試。作為未明確示於圖7中的可能變型的另一個例子，在完成聯接於測試系統的每個用戶站的半導體器件的測試時，用戶站的半導體器件可由可隨後進行測試的其他半導體器件來替換。因此，對於多個用戶器件可重複地執行圖7所示的用於流程A的處理。
[0159]圖7示出了其中可關於半導體器件上的核並基於此核測試期間檢測到的報警條件來執行操作的情況。在某些情況下，使特定核的報警條件與關於這些核的測試被指定採取的動作相關聯可有助於識別錯誤或使半導體器件的操作降級的其他缺陷。在某些情況下，在一個核的測試中基於在正被測試的不同半導體器件上的另一個同一類型的核中檢測到的條件來條件動作可有利於錯誤或其他降級操作條件的檢測。在其他情況下，在一個核的測試中基於在同一半導體器件上的另一個核中檢測到的條件來條件動作可有利於錯誤或其他降級操作條件的檢測。本文所述的處理可支持基於其他半導體器件上的同一類型的其他核中的條件或者基於不同半導體器件上的不同類型的其他核中的條件的條件處理。
[0160]圖8提供了可基於如下事件來調節關於一個核的測試的機制的例子，所述事件是結合在同一半導體器件上的另一個不同類型的核中執行測試塊來檢測的。可大致按照如上文結合圖7所述的方式來執行圖8所示的測試。例如，在塊710處，測試系統可被配置成將至少一個測試器站映射到有待測試的每個核。每個核可通過在已被分配測試器站的子流程範例中執行(與此核相關聯的)測試塊來測試。
[0161]如同圖7所示的測試，圖8示出了並行執行的三個核(核A、B、和C)上的測試。每個核的測試在單獨流程域範例中來執行。此外，針對正被並行測試的每個半導體器件提供單獨流程域範例。在此例中，將半導體器件連接到三個用戶站，以使得每個子流程存在三個子流程範例。因此，子流程範例82(^^820^40 820A3執行與核A相關聯的測試塊的單獨範例。子流程範例820B3執行用於測試核B的測試塊的單獨範例。同樣，子流程範例820(^820?、和820C3表示其中執行用於測試核C的測試塊的不同子流程範例。
[0162]可在每個子流程中執行任何具體的測試操作。在此例中，示出了用於測試核A的子流程的具體步驟。在此例中，用於測試核A的測試塊中的處理開始於塊830處。在塊830處，可啟動被分配用於測試核A的一個或多個測試器站中的資源。可用任何合適的方式來啟動這些資源，以執行任何合適的測試功能。在塊830處執行的具體測試功能可取決於正被測試的核的特性，並且可利用本領域中已知的技術或者任何其他合適的方式來限定。
[0163]無論在塊830處執行的具體測試功能如何，處理均可前進到塊832。在塊832處，可檢查可在正被並行測試的一個或多個核中的任何一個的測試過程中發生的報警。可用任何合適的方式來執行這種檢查。例如，可通過讀取與被分配用於測試另一個核的測試器站相關聯的報警來執行這種檢查。可基於作為在塊710處執行的測試系統配置的一部分指定的測試器站信息來執行這種檢查。作為另外一種選擇或除此之外，在塊832處執行的檢查可檢查任何其他測試器站中的報警。可通過檢查作為在塊710處執行的映射的一部分映射的全部測試器站中的報警來執行這種檢查。然而，在支持包括全部資源的系統站區的系統中，可通過檢查與系統站區相關聯的報警來執行任何站點中的報警檢查。在塊832處將被檢查報警的具體測試器站可取決於在流程域範例8204中執行的測試的特性。
[0164]無論在塊832處檢查的測試器站如何，處理可前進到判定塊834。在判定塊834處，處理可根據是否檢測到報警而形成分支。如果檢測到報警，則處理可分支到塊840。在塊840處，可執行對所檢測報警的響應。此響應可以為子流程A中被測試的核所特有。此響應(例如)可在正作為流程域範例8204的一部分執行的測試塊中被編碼。然而，甚至當在執行於流程域範例SZOA1中的測試塊中對此響應編碼時，該測試塊可被編碼以採取特定於生成了報警的測試塊的動作。例如，當在子流程B中檢測到報警條件時，可基於在子流程B中測試的核B的結構或功能來選擇執行於塊840中的功能。
[0165]在塊840處，可隨著報警條件被檢測而執行任何合適的處理。作為一個例子，如果在測試包括存儲器元件的核的過程中，代表瞬態電壓或其他條件的報警可潛在地破壞保存在存儲器中的信息，則塊840處的處理可取決於如下假設:保存在存儲器元件中的數據可出於與核A中的缺陷無關的原因而已被改變。根據此判定(例如)可用所需的數據重新初始化存儲器元件或者可採取任何其他適當的動作。在此例中，一旦採取此動作，子流程A中的處理就可結束。然而，在完成這種處理之後，可採取任何合適的步驟。
[0166]反之，圖8示出如果未檢測到報警，則處理可從判定塊834分支到判定塊850。處理同樣可在判定塊850處根據在子流程內是否仍存在有待執行的更多測試功能來形成分支。如果存在，則處理可返回並進一步執行其他測試功能。如果不存在其他測試功能，則子流程範例8204內的處理可結束。儘管處理被示為在子流程執行後結束，如上文結合圖7所述，但在執行每個測試流程中的測試塊之後可採取任何合適的動作。可執行的動作的例子包括執行功能測試或測試另一組半導體器件。
[0167]在圖8所示的例子中，在子流程A中未清除在塊832檢查到的報警。在某些情況下，報警可在用於使用它們的子流程之前被清除。然而，當開發牽涉到可被並行執行的測試塊之間的相互作用的測試程序時，這些測試塊的開發者可對測試塊編碼以按照任何合適的
方式來相互作用。因此，可在讀取報警的測試塊中和/或與報警相關聯的測試塊中清除報
m
目O
[0168]圖9示出了可通過如下站區分配測試器站來實現的靈活性的另一個例子，其中所述站區的第一部分為流程域專用的並且所述站區的第二部分可能在流程域或流程域範例中共享。圖9示出了具有兩個子流程的測試程序。測試程序被示為執行在如下測試系統上，所述測試系統被配置成並行地測試兩個半導體器件。因此，每個子流程可在兩個範例中來執行，每個範例與測試這兩個半導體器件之一相關聯。在示出的例子中，第一子流程可被配置成執行能夠測試核A的測試塊。第二子流程可被配置成執行用於測試核B的測試塊。
[0169]在示出的情況中，測試程序正在如下測試系統上來執行，所述測試系統具有足夠的資源以將資源分配給其中執行測試塊B的兩個子流程範例。然而，該系統可能資源有限，使得該系統包括僅足以用於測試塊A的某部分的一個範例的資源。[0170]如圖所示，子流程範例WOB1和子流程範例910B2以並行方式執行。在子流程範例QlOB1中的塊912B處啟動資源牽涉到訪問被分配給與子流程範例WOB1相關聯的測試器站的資源。在子流程範例910B2中執行的相應塊可執行與子流程範例WOB1中相同的測試塊來測試核B。因此，可在子流程範例91(?2中執行對應於塊912B中所示功能的功能。然而，當在子流程範例910B2執行這些功能時，可使用分配給不同測試器站的獨立資源來使子流程範例能夠被並行地執行。
[0171]相似地，可通過使用不同的測試器站來分配獨立資源，以允許在子流程A的範例中來訪問獨立資源。然而，在圖9所示的情況中，子流程範例的並行執行在子流程範例的僅一些部分中可以。因此圖9示出，子流程A的子流程範例的一些部分被並行地執行，而使用有限資源的其他部分可被串行地執行。
[0172]在圖9的例子中，子流程範例部分WOA1和910A2被並行地執行。同樣，子流程部分QSOA1和930A2也被並行地執行。然而，子流程部分920Ai和920A2被串行地執行。
[0173]對於並行執行的子流程部分，將得自流程域專用站區的獨立資源用於每個子流程範例中。通過使獨立資源與不同的測試器站相關聯來實現這種獨立性。因此，子流程範例部分^OA1內的塊912A處的處理可能牽涉到訪問被分配到與子流程範例WOA1相關聯的站點的資源。子流程範例部分910^中的相應塊可能牽涉到訪問被分配到與子流程範例910A2相關聯的站點的資源。相似地，在子流程範例部分9304中，塊932的執行可類似地牽涉到訪問被分配到與子流程A的第一子流程範例相關聯的測試器站的資源。在子流程範例部分930A2中執行的相應塊可能牽涉到訪問被分配到與子流程A的第二子流程範例相關聯的站點的資源。因此，對於這些子流程範例，資源可以如子流程B中那樣被訪問，其中全部範例被並行地執行。
[0174]在子流程A中，子流程範例的部分依賴於受限的資源，使得不存在足夠的特定類型的資源以用於子流程A的子流程範例的這些部分的並行執行。然而，可通過串行地執行這些部分來將相同的資源用於子流`程範例部分920Ai和子流程範例部分920A2中。在此例中，在子流程範例920Ai中，執行啟動這些有限資源的塊922A2。在子流程範例920Ai的塊922A中，這些受限的資源可用於測試其上被執行子流程A的第一子流程範例的半導體器件。
[0175]在子流程範例部分920A2中，相同的有限資源可用於在第二半導體器件的相應部分上執行測試，在所述第二半導體器件中子流程A的第二範例在核A上執行測試。可使用任何合適的機制來訪問不同子流程範例部分中的相同資源。例如，可將有限資源分配給多個測試器站。這種分配可源於將有限資源分配給全局站區或者訪問作為系統站區的一部分的資源。然而，可使用任何合適的機制在不同流程域範例中訪問相同的資源。這樣，可將有限資源分配給用於子流程A的每個範例的測試器站。
[0176]無論以何方式來指定有限資源以使得它們可由同一子流程的多個範例訪問，可提供機制來控制測試系統串行地而非並行地執行子流程範例的一些部分。這種機制可包括由對測試系統編程的用戶提供命令或者從任何其他合適源取得命令，這些命令為不同範例指定將被串行執行的測試塊的一些部分。這種命令可以規定，在每個串行執行的範例中一些或全部資源為相同。此類命令可結合到測試塊自身中或者可被規定為使用測試塊的測試程序的一部分。[0177]指定作為使測試程序的一部分串行化的機制的具體例子，已知的是結合其中測試器站與用戶站相關聯以允許並行測試多個半導體器件的測試系統來規定站點環路。站點環路可以指定測試塊的一部分用於串行執行。當測試系統的控制部件(例如，控制部件110(圖1))接收到與測試程序有關的站點環路的指定時，可以首先配置測試系統的資源以用於執行第一範例中的測試塊的指定部分，對於所述指定部分而言測試系統被配置成在第一用戶站來執行。當在第一用戶站執行測試塊的此部分時，控制部件可配置測試系統以用於在下一用戶站執行測試塊的相同部分。控制部件可以此方式來連續地配置測試系統，以在半導體器件正被並行測試的每個用戶站中執行測試塊的此部分。可將相同的資源應用到站點環路的每次連續迭代中。
[0178]可利用已知技術實現的站點環路機制可在按照圖9所示的方式配置的測試系統中進行調整。通過調整站點環路機制，可容易地共享有限資源以測試核的不同範例。因此，測試工程師或測試系統的其他用戶可易於對測試系統編程，以用於共享資源，由此僅通過指定測試塊(被編寫成測試特定核)的一部分來測試某個核的不同範例，如同在站點環路中執行一樣。相比於用於在同一測試塊的範例之間共享有限資源所需的編程而言，以此方式來對測試系統編程可為簡單的。此外，如果在具有多個資源的測試系統執行同一測試程序，則站點環路的指定可被移除或者禁止使用，由此允許每個測試塊範例的所有部分均並行地執行。這樣，可容易地調整測試程序，以用於在具有有限資源的測試系統上執行或者用於在資源不受限的測試系統上較快速地執行。
[0179]站區上的成環操作允許結合測試同一半導體器件上的不同類型的核來串行使用資源。在圖9的例子中，環可以形成在流程A和流程B而不是形成在流程A內的子流程範例上。這樣，在環的第一迭代中，可應用有限資源以測試正被並行執行的每個半導體器件中的核A。在此迭代中，可執行被編寫成測試核A的測試塊中的全部或一部分。在後一迭代中，可執行被編寫成測試核B的測試塊中的全部或一部分。由於這種執行因站點環路的使用而被串行化，因此在站點環路內執行的測試塊的一些部分可共享資源或者說是可訪問並非完全獨立的資源。
[0180]儘管未示於圖9中，但可以使用具體實施中的其他變型或者使用站點環路。例如，應當理解，站點環路可為嵌套的。例如，整個子流程上以及一個或多個子流程內的整個子流程範例上的資源訪問可為串行執行的。因此，應當理解，利用本文所述的測試系統編程技術可以簡易地提供顯著靈活性。
[0181]圖10示出了可執行上述技術的合適的計算系統環境1000的例子。圖10的計算系統可表示測試系統計算機，所述測試系統計算機連接到測試系統並且可用於在執行測試時來控制測試系統。然而，應當理解，可在任何合適的計算系統來執行導致將測試器站分配給流程域範例以及將測試器資源分配給這些測試器站的計算。
[0182]因此，環境1000可表示其中執行本文所述的工具的環境。作為另外一種選擇或除此之外，環境1000可用於部分地或完全地實現測試系統的控制部件。計算系統環境1000僅為合適的計算環境的一個例子，並且並非旨在對於本發明的使用範圍或功能提出任何限制。計算環境1000也不應被理解為對於示例性操作環境1000中所示的任何部件或部件組合有任何依賴或需求。
[0183]本發明可以使用多種其他通用或專用計算系統環境或配置。可適用於本發明的熟知計算系統、環境、和/或配置的例子包括(但不限於)個人計算機、伺服器計算機、手持或膝上型裝置、多處理器系統、基於微處理器的系統、機頂盒、可編程的消費電子產品、網絡個人計算機、小型計算機、大型計算機、包括任何上述系統或裝置的分布式計算環境，等等。
[0184]所述計算環境可執行計算機可執行指令，例如程序模塊。通常，程序模塊包括執行特定任務或實施特定抽象數據類型的例程、程序、對象、組件、數據結構等。本發明也可在分布式計算環境中實施，在所述分布式計算環境中，通過經由通信網絡連接的遠程操作裝置來執行任務。在分布式計算環境中，程序模塊可位於本地和遠程計算機存儲介質(包括存儲設備)中。
[0185]參照圖10，用於實施本發明的示例性系統包括計算機1010形式的通用計算裝置。計算機1010的部件可包括(但不限於)處理單元1020、系統存儲器1030、和系統總線1021，所述系統總線1021將包括系統存儲器的各種系統部件連接到處理單元1020。系統總線1021可為若干類型的總線結構中的任何一種，所述總線結構包括採用多種總線體系結構中的任何一種的存儲器總線或存儲器控制器、外圍總線、和局部總線。以舉例和非限制性的方式，此類體系結構包括工業標準體系結構(ISA)總線、微通道體系結構(MCA)總線、增強型ISA(EISA)總線、視頻電子標準協會(VESA)局部總線、和外圍部件互連(PCI)總線(也稱為夾層(Mezzanine)總線)。
[0186]計算機1010通常包括多種計算機可讀介質。計算機可讀介質可為能夠被計算機1010訪問的任何可用介質並且包括易失性和非易失性介質、可移動和不可移動介質。以舉例和非限制性的方式，計算機可讀介質可包括計算機存儲介質和通信介質。計算機存儲介質包括以用於存儲信息(例如，計算機可讀指令、數據結構、程序模塊、或其他數據)的任何方法或技術實現的易失性和非易失性介質、可移動和不可移動介質。計算機存儲介質包括(但不限於)RAM、ROM、EEPR0M、閃速存儲器或其他存儲器技術、CD-ROM、數字多功能光碟(DVD)或其他光碟存儲器、盒式磁帶、磁帶、磁碟存儲器、或其他磁存儲設備、或者可用於存儲所需信息並且可被計算機1010存取的任何其他介質。通信介質通常將計算機可讀指令、數據結構、程序模塊、或其他數據收錄在調製數據信號(例如，載波)或其他傳輸機制中，並且包括任何信息輸送介質。術語「調製數據信號」是指這樣的信號，所述信號具有其特徵集的一個或多個並且已被改變成使得便於對所述信號中的信息進行編碼。以舉例和非限制性的方式，通信介質包括有線介質(例如，有線網絡或直接有線連接)和無線介質(例如，聲學、射頻、紅外、和其他無線介質)。上述介質中的任何一者的組合也應涵蓋在計算機可讀介質的範圍內。
[0187]系統存儲器1030包括易失性和/或非易失性存儲器(例如只讀存儲器(ROM) 1031和隨機存取存儲器(RAM) 1032)形式的計算機存儲介質。基本輸入/輸出系統1033 (BIOS)通常存儲在R0M1031中，所述基本輸入/輸出系統1033 (BIOS)包括有助於(例如)在啟動期間在計算機1010的部件之間傳送信息的基本例程。RAM1032通常包括可被處理單元1020直接存取和/或當前被處理單元1020操作的數據和/或程序模塊。以舉例和非限制性的方式，圖10示出了作業系統1034、應用程式1035、其他程序模塊1036、和程序數據1037。
[0188]計算機1010還可包括其他可移動/不可移動、易失性/非易失性計算機存儲介質。僅以舉例的方式，圖10示出了讀取或寫入不可移動、非易失性磁介質的硬碟驅動器1041，讀取或寫入可移動、非易失性磁碟1052的磁碟驅動器1051，和讀取或寫入可移動、非易失性光碟1056(例如，⑶ROM或其他光學介質)的光碟驅動器1055。可用於示例性操作環境中的其他可移動/不可移動、易失性/非易失性計算機存儲介質包括(但不限於)盒式磁帶、閃速存儲卡、數字多功能光碟、數字視頻磁帶、固態RAM、固態ROM等等。硬碟驅動器1041通常通過不可移動存儲器接口(例如，接口 1040)連接到系統總線1021，並且磁碟驅動器1051和光碟驅動器1055通常通過可移動存儲器接口(例如，接口 1050)連接到系統總線1021。
[0189]論述於上文中並且示於圖10中的驅動器及其相關聯的計算機存儲介質能夠存儲計算機可讀指令、數據結構、程序模塊、和用於計算機1010的其他數據。在圖10中，例如，硬碟驅動器1041被示為存儲作業系統1044、應用程式1045、其他程序模塊1046、和程序數據1047。應該指出的是，這些部件可與作業系統1034、應用程式1035、其他程序模塊1036、和程序數據1037相同或不同。作業系統1044、應用程式1045、其他程序模塊1046、和程序數據1047在此處以不同的標號給出，從而示出它們至少為不同的拷貝。用戶可通過輸入裝置(例如，鍵盤1062和定點裝置1061(通常稱為滑鼠、跟蹤球、或觸摸板))來將命令和信息輸入到計算機1010內。其他輸入裝置(未示出)可包括話筒、控制杆、遊戲手柄、衛星碟形天線、掃描儀等等。這些和其他輸入裝置通常通過聯接於系統總線的用戶輸入接口 1060來連接到處理單元1020，但可通過其他接口和總線結構(例如，並行埠、遊戲埠、或通用串行總線(USB))進行連接。另外監視器1091和其他類型的顯示裝置經由接口(例如，視頻接口 1090)連接到系統總線1021。除了監視器之外，計算機還可包括可通過外圍輸出接口 1095進行連接的其他外圍輸出裝置，例如，揚聲器1097和印表機1096。
[0190]計算機1010可利用接至一個或多個遠程計算機(例如，遠程計算機1080)的邏輯連接在網絡環境中工作。遠程計算機1080可為個人計算機、伺服器、路由器、網絡個人計算機、對等設備或其他公用網絡節點，並且通常包括上文相對於計算機1010描述的部件中的一些或全部，但僅存儲設備1081已示於圖10中。示於圖10中的邏輯連接包括區域網(LAN) 1071和廣域網(WAN) 1073，但還可包括其他網絡。此類網絡環境常見於辦公室、企業計算機網絡、內聯網、和網際網路中。
[0191]當用於LAN網絡環境中時，計算機1010通過網絡接口或適配器1070連接到LAN1071。當用於WAN網絡環境中時，計算機1010通常包括數據機1072或用於經由WAN1073 (例如，網際網路)建立通信的其他裝置。數據機1072 (其可為內部的或外部的)可經由用戶輸入接口 1060或其他適當的機構連接到系統總線1021。在網絡環境中，相對於計算機1010或其部分示出的程序模塊可存儲在遠程存儲設備中。以舉例和非限制性的方式，圖10示出了存在於存儲設備1081上的遠程應用程式1085。應當理解，示出的網絡連接為示例性的，並且可使用在計算機之間建立通信聯接的其他方式。
[0192]應當理解，上文所述的系統可用於測試半導體器件的方法中。這種測試可包括操作測試系統以測試具有多個核的器件，其中每個核具有多個引腳，並且測試系統具有多個測試器站，每個測試器站具有硬體資源，通過將所述多個測試器站中的每一個映射到所述多個核中的相關核來配置測試系統，使得每個測試器站的硬體資源被配置成可接入相關核的引腳；以及執行具有多個測試塊的測試流程，其中每個測試塊通過控制相關測試器站中的硬體資源來測試所述多個核中的核，所述測試塊中的一些被並行地執行。然而，此類操作可包括不同的或另外的動作，如本文所述。[0193]以上描述本發明的至少一個實施例的多個方面，應當理解本領域的技術人員可易於進行各種改變、修改和改進。
[0194]此類改變、修改和改進旨在作為本公開的一部分，並且被視為落入本發明的精神和範圍內。此外，儘管指示出本發明的優點，但應當理解，並非本發明的每個實施例均將包括每個所述優點。一些實施例可未執行在本文中和在一些情況下有利的任何所述特徵。因此，上述的說明和附圖僅作為舉例的方式。
[0195]如上所述的限定流程域的能力可按照多種方式加以利用。例如，可將從不被並行執行的多個流程域分配給同一站區。之所以作出這樣的分配，是因為就從不被並行執行的流程域而言不需要由多個站區提供的獨立性。這種方法可減少支持性測試器站的所需數量。
[0196]可通過多個方式中的任一種實施本發明的上述實施例。例如，可使用硬體、軟體或它們的組合來實施這些實施例。當通過軟體實施時，該軟體編碼可在任何合適的處理器或處理器集合上執行，不論其是在單個計算機中提供還是分布在多個計算機中。此類處理器可作為集成電路實施，並且在集成電路組件中具有一個或多個處理器。然而，可使用任何合適形式的電路來實現處理器。
[0197]另外，應當理解計算機可實施為多種形式中的任一種，例如機架式計算機、臺式計算機、膝上型計算機或平板計算機。另外，計算機可嵌入通常未被視為計算機但具有合適的處理功能的裝置，包括個人數字助理(PDA)、智慧型電話或任何其他合適的可攜式或固定電子
裝置。
[0198]另外，計算機可具有一個或多個輸入和輸出裝置。此外，這些裝置可用於提供用戶界面。可用於提供用戶界面的輸出裝置的範例包括用於視覺呈現輸出的印表機或顯示屏幕以及用於聽覺呈現輸出的揚聲器或其他發聲裝置。可用於用戶界面的輸入裝置的範例包括鍵盤和諸如滑鼠、觸控式面板和數字面板的指向裝置。又如，計算機可通過語音識別或以其他聽覺形式接收輸入信息。
[0199]此類計算機可用任何合適的形式通過一個或多個網絡互連，包括區域網或廣域網，諸如企業網絡或網際網路。此類網絡可基於任何合適的技術且可根據任何合適的協議運行，並且可包括無線網絡、有線網絡或光纖網絡。
[0200]另外，本文所概述的多種方法或過程可被編碼為可在一個或多個處理器上執行的軟體，該處理器採用多種作業系統或平臺中的任一種。另外，此類軟體可使用多種合適的程式語言和/或編程或腳本工具編寫，也可編譯為可執行的機器語言編碼或在框架或虛擬機上執行的中間編碼。
[0201]在這個方面，本發明可實施為由一個或多個程序編碼的計算機可讀存儲介質(或多個計算機可讀介質)(如，計算機存儲器、一個或多個軟盤，光碟(CD)、光碟、數字視頻光碟(DVD)、磁帶、快閃記憶體、現場可編程門陣列或其他半導體器件中的電路配置、或其他有形的計算機存儲介質)，所述一個或多個程序當在一個或多個計算機或其他處理器上執行時來執行實施本發明上述多種實施例的方法。從上述實例顯而易見的是，計算機可讀存儲介質可將信息保持足夠的時間，以提供非瞬時形式的計算機可執行指令。這種計算機可讀存儲介質可為可轉移的，使得存儲在其上的一個或多個程序能夠被加載到一個或多個不同計算機或其他處理器上以實施本發明上述的多個方面。如本文所用，術語「計算機可讀存儲介質」僅涵蓋可被視為產品(即，製品)或機器的計算機可讀介質。作為另外一種選擇或除此之外，本發明可實施為除計算機可讀存儲介質之外的計算機可讀介質，例如，傳播信號。
[0202]本文所用的術語「程序」或「軟體」在廣義上指任何類型的計算機編碼或者可用於對計算機或其他處理器進行編程以實施本發明上述多個方面的一組計算機可執行指令。另夕卜，應當理解，根據本實施例的一個方面，當被執行時，實施本發明的方法的一個或多個電腦程式不需駐留在單個計算機或處理器上，但是可以模塊化形式分布在多個不同的計算機或處理器中以實施本發明的多個方面。
[0203]計算機可執行指令可以為由一個或多個計算機或其他裝置執行的多種形式，例如程序模塊。通常，程序模塊包括執行特定任務或實施特定抽象數據類型的例程、程序、對象、組件、數據結構等。通常，程序模塊的功能可按需要結合或分布在多個實施例中。
[0204]另外，數據結構可用任何合適的形式存儲在計算機可讀介質中。為了例示簡明起見，數據結構可示為具有通過數據結構中的位置而相關聯的欄位。同樣可通過將計算機可讀介質中表示欄位之間關係的位置分配給欄位作為存儲來實現此類關係。然而，任何合適的機制均可用於在數據結構的欄位中的信息之間建立關聯性，包括通過使用在數據元素之間建立關係的指針、標籤或其他機制。
[0205]可單獨地、結合地或以在上述實施例中未特別討論的各種配置方式使用本發明的多種方面，因此其應用不受限於上述說明所述或附圖中所示的組件的細節和配置。例如，在一個實施例中所述的方面可用任何方式與其他實施例中所述的方面結合。
[0206]另外，本發明可實施為一種方法，並且已提供其示例。作為該方法一部分的操作可用任何合適的方式進行排序。因此，可構建以不同於所示的順序執行操作的實施例，其可包括同時執行一些操作，即使在示例性實施例中示為順序執行的操作。
[0207]在權利要求中使用諸如「第一」、「第二」、「第三」等序數術語修飾權利要求要件，其本身並不意味任何優先權、優先序或一個權利要求部件相對於另一個的順序或執行方法操作的時間順序，而是僅用作將具有某個名稱的一個權利要求要件與另一個具有相同名稱(除了使用的序數術語)的部件加以區分的標籤，以辨別權利要求要件。
[0208]另外，本文所用的短語和術語均是用於說明的目的，並且不應視為限制。本文中所使用的「包括」、「包含」或「具有」、「內含」、「涉及」和它們的變型形式均意味著包含其後所列的項目及其等同物以及額外的項目。
【權利要求】
1.一種操作測試系統以測試具有多個核的器件的方法，每個核具有多個引腳並且所述測試系統具有多個測試器站，每個測試器站具有硬體資源，所述方法包括: 通過將多個測試器站中的每一個映射到所述多個核中的相關核來配置所述測試系統以使得每個測試器站的所述硬體資源被配置成接入所述相關核的引腳；以及 執行具有多個測試塊的測試流程，每個測試塊通過控制相關測試器站中的硬體資源來測試所述多個核中的核，所述測試塊中的一些被並行地執行。
2.根據權利要求1所述的方法，其中: 在所述測試塊中的一些被並行地執行的情況下執行具有所述多個測試塊的所述測試流程包括: 在第一時間，並行地執行所述多個測試塊的第一部分；以及 在第二時間，串行地執行所述多個測試塊的第二部分，以使得在所述測試塊的第二部分的串行執行期間，每次執行單一測試塊。
3.根據權利要求1所述的方法，其中: 所述多個核包括多個類型的核；並且 所述方法還包括將所述測試器站劃分成組，所述組中的每一個被映射到所述多個類型的核中的一個類型。
4.根據權利要求1所述的方法，其中:` 所述多個測試器站包括流程域專用資源、全局資源、和串行資源。
5.一種操作所述類型的測試系統的方法，所述類型的測試系統具有能夠與多個測試器站中的至少一個測試器站相關聯的資源，每個測試器站具有站識別符，以使得與測試器站相關聯的所述測試系統的硬體資源處理指向所述站點的命令，所述方法包括: 配置所述測試系統以測試至少一個包括多個引腳和多個核的半導體元件，每個核包括所述多個引腳的子組，所述配置操作包括:對於所述多個核中的每一個而言，使所述多個測試器站中的某個測試器站與所述核相關聯，以使得與所述測試器站相關聯的資源在測試過程中接入所述相關核的相應引腳；以及 根據測試流程來執行多個測試塊，所述測試塊中的每一個被配置成測試相應的至少一個相關核，所述多個測試塊的一部分在多個子流程中被並行執行，所述多個測試塊中的每一個控制與所述相應的至少一個相關核相關聯的測試器站中的資源的操作。
6.根據權利要求5所述的方法，還包括: 接收定義引腳分組的流程域的用戶輸入，每個流程域包括能夠被測試器站接入的核的所述引腳； 將測試器站分配到所述流程域。
7.根據權利要求5所述的方法，還包括: 通過下述方式來生成用於配置所述測試系統的信息: 在計算裝置處接收標識所述多個引腳組的用戶輸入，每個組指示在所述多個核中的核的測試過程中被接入的引腳；以及 利用所述計算裝置來確定所述多個測試器站中的測試器站對於所標識組的分配。
8.根據權利要求7所述的方法，其中: 在與所標識組相關聯的所述測試器站之間不存在交疊。
9.根據權利要求7所述的方法，其中: 與所標識組中的不同組相關聯的資源為彼此獨立的。
10.根據權利要求7所述的方法，其中執行流程域專用處理。
11.根據權利要求10所述的方法，其中所述流程域專用處理包括站點環路和/或局部報警。
12.根據權利要求7所述的方法，其中: 在執行相關聯測試塊的子流程內接入所標識引腳組中的每一個；並且執行所述多個測試塊包括對於所述測試塊中的每一個，在所述測試塊的控制下接入用於所述相關聯子流程的所述組中的引腳。
13.根 據權利要求12所述的方法，其中: 每個測試塊接入僅一個流程域中的引腳。
14.根據權利要求12所述的方法，其中: 將至少一個核映射到多個測試器站。
15.根據權利要求5所述的方法，其中: 所標識引腳組中的每一個包括流程域。
16.根據權利要求5所述的方法，其中: 所述方法還包括在第一時間接收指定用於並行執行的所述測試塊的部分的輸入；以及 在第二時間接收指定所述多個測試塊的串行執行的用戶輸入；以及 響應於所述用戶輸入來串行地執行所述多個測試塊。
17.根據權利要求5所述的方法，其中: 所述至少一個半導體元件包括多個類似半導體元件，，所述類似半導體元件中的每一個包括類似的多個核，所述多個器件中的每一個上的所述多個核包括多個類型的核；並且所述測試器站被劃分到多個站區內，每個站區與一種類型的核相關聯以使得所述組內的每個測試器站與所述器件組中的器件上的所述類型的核相關聯。
18.根據權利要求17所述的方法，還包括: 基於指定流程域和所述多個類似半導體元件的數量的用戶輸入來自動地確定所述多個站區。
19.根據權利要求17所述的方法，還包括: 基於有關所述流程域和多個類似半導體元件的用戶輸入來自動地確定測試器站與流程域之間的映射。
20.根據權利要求17所述的方法，其中: 根據所述測試流程來執行所述多個測試塊包括在多個測試塊範例中執行第一測試塊，每個測試塊範例測試所述多個半導體元件中的半導體元件的類似核，所述執行操作包括在所述多個測試塊範例的每一個中獨立地執行操作。
21.根據權利要求20所述的方法，其中: 相對於正被指定測試塊測試的所述器件組中的每個器件中的所述多個核中的每一個來獨立地執行操作包括:對於所述組的器件的核而言，基於所述器件內的多個核中的一個或多個上的測試結果來有條件地執行操作。
22.根據權利要求21所述的方法，其中:基於所述器件內的多個核中的一個或多個上的測試結果來有條件地執行操作包括:基於所述器件內的第二核的並行測試結果來在器件的第一核上的測試執行期間採取條件動作。
23.根據權利要求17所述的方法，其中: 所述多個站區包括第一類型的站區，所述第一類型的站區中的每一個與用戶指定流程域呈一對一關係相關聯，所述用戶指定流程域代表在子流程期間接入的多個引腳；並且所述測試器站還被劃分為至少一種另外類型的站區。
24.根據權利要求23所述的方法，其中: 所述至少一個另外類型的站區包括系統站區，所述系統站區具有與其相關聯的可用於執行所述多個測試塊的全部測試器資源。
25.根據權利要求23所述的方法，其中: 所述至少一個另外類型的站區包括全局站區，所述全局站區具有與其相關聯的可用於執行下述多 個測試塊的測試器資源，所述多個測試塊不與所述第一類型的任何站區相關聯。
26.根據權利要求5所述的方法，其中: 指定多個引腳組，每個組對應於在所述多個子流程中的子流程的在測試過程中被接入的引腳； 所述測試器包括硬體部件以獨立地檢測與所述多個引腳組中的每一個相關聯的報警條件； 根據所述測試流程來執行所述多個測試塊包括並行地執行關於所述多個相關聯引腳的組中的第一組的第一子流程中的第一測試塊以及關於所述多個相關聯引腳的組中的第二組的第二子流程中的第二測試塊，所述執行操作包括在所述第一子流程和所述第二子流程中的每一個內獨立地執行操作；以及 獨立地執行操作包括基於與所述第二組相關聯的報警檢測並且獨立於與所述第一組相關聯的報警檢測來執行所述第二測試塊。
27.根據權利要求1所述的方法，還包括: 在測試流程執行期間的第一時間配置所述測試系統以在第一流程域中使用第一資源；以及 在所述測試流程執行期間的第二時間配置所述測試系統以在第二流程域中使用所述第一資源。
28.—種製造至少一個半導體元件的方法，所述方法包括: 根據權利要求5所述的方法來執行所述至少一個半導體元件的測試；以及 基於所述測試的結果來有條件地執行至少一個製造操作。
29.至少一個計算機存儲介質，包括指令，所述指令當在計算系統上執行時控制所述計算系統以產生用於測試系統的配置，由此來執行用於至少一個被測器件的測試，並且所述測試包括根據指定流程執行的多個測試塊，所述流程包括多個子流程，所述配置是根據下述方法生成的，所述方法包括: 接收定義多個流程域的輸入，其中每個流程域代表在所述多個子流程中的相應子流程期間通過一個或多個測試塊的執行而接入的被測試的代表性器件的多個代表性引腳；定義多個站區，每個站區包括至少一個測試器站，並且每個站區與某個流程域相關聯；以及 生成所述配置以使得每個站區具有至少一個測試器站，所述至少一個測試器站包括用於在相關流程域的測試塊範例期間接入被測器件的至少一個引腳的資源。
30.根據權利要求29所述的至少一個計算機存儲介質，其中所述方法還包括: 接收定義所述流程的輸入，所述輸入指定: 測試塊的順序；和/或 測試塊的並行性。
31.根據權利要求29所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 定義所述流程的所述輸入還指定: 從所述流程移除測試塊；以及 將測試塊添加到所述流程。
32.根據權利要求29所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 定義所述流程的所述輸入還指定同步和/或異步模式執行。
33.根據權利要求32所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 所述方法還包括接收定 義用戶站數的輸入；並且 每個站區具有等於所述用戶站數的測試器站數。
34.根據權利要求33所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 所述多個站區中的每一個內的所述資源獨立操作。
35.根據權利要求33所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 生成用於所述測試系統的配置包括生成下述配置信息，所述配置信息被格式化以供測試系統的站點映射器部件使用，以在子流程的相應測試塊的範例的執行期間來使控制資源的請求與被分配給測試器站的測試器資源相關聯，所述測試器站與所述站區相關聯，所述站區與用於所述子流程的所述流程域相關聯。
36.根據權利要求33所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 生成用於所述測試系統的配置包括生成下述配置信息，所述配置信息指定用於多個資源中的每一個的至少一個測試器站。
37.根據權利要求33所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 生成用於所述測試系統的配置包括生成下述配置信息，所述配置信息指定用於多個流程域中的每一個內的多個資源中的每一個的至少一個測試器站。
38.一種對測試系統編程以用於並行測試多個同樣的器件的方法，每個器件具有多個核，所述多個核中的每一個具有多個測試點，並且所述測試系統可以用多個測試器站配置，所述方法包括: 利用至少一個處理器: 接收定義多個流程域的用戶輸入，所述流程域中的每一個由代表性器件的一組測試點定義，每個流程域包括在子流程中的測試塊的執行期間接入的測試引腳； 接收將測試器資源映射到所述測試系統的通道的用戶輸入，所述通道被分配給所述多個流程域中的每一個內的測試點；以及 基於所述用戶輸入來生成測試器站到多個站區的劃分，每個站區對應於流程域並且每個站區包括多個測試器站，每個測試器站被映射到關於所述多個器件之一的所述流程域的範例，所述站區的測試器站共同提供資源以用於在關於所述多個器件的所述流程域的範例上執行測試。
39.根據權利要求38所述的方法，還包括: 接收多個測試塊的指定，每個測試塊與某個流程域相關聯； 基於所述相關流程域來使每個測試塊與站區相關聯；以及 對於每個測試塊，配置所述測試系統以在關於所述多個器件的所述相關流程域範例的每個範例中執行所述測試塊，所述測試系統被配置為利用所述相關聯站區的測試器站來執行所述測試塊。
40.根據權利要求38所述的方法，其中: 所述測試器站的劃分還包括全局站區，所述全局站區允許接入不能通過所述多個站區中的每一個接入的一個或多個測試器資源。
41.根據權利要求40所述的方法，其中: 所述測試器站的劃分還包括系統站區，所述系統站區允許接入能夠通過所述多個站區中的每一個和所述全局站區接入的全部所述測試器資源。
42.至少一個計算機存儲介質，包含計算機可執行指令，所述計算機可執行指令當由至少一個處理器執行時來實施下述方法，所述方法包括: 繪製用戶界面； 通過所述用戶界面來接收測試計劃參數的規定，所述測試計劃參數包括至少多個流程域，每個流程域標識在測試流程中的一個或多個測試塊的執行期間接入的至少一個被測器件的一組引腳；以及 基於所述測試計劃參數來生成測試系統配置，所述測試系統配置包括對於每個流程域而言的測試器站和所述至少一個被測器件中的每一個的所述引腳組之間的映射。
43.根據權利要求42所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 當所述至少一個被測器件包括多個被測器件時，所述測試系統配置包括對於每個流程域而言的多個測試器站中的測試器站與所述至少一個被測器件中的每一個的所述引腳組之間的映射，所述多個測試器站包括測試器資源的類似組合。
44.根據權利要求43所述的至少一個計算機存儲介質，其中: 所述測試系統配置包括對於所述流程域中的至少兩個而言的所述同一測試器資源與所述至少兩個流程域中的每一個內的引腳之間的映射。
【文檔編號】G01R31/28GK103890597SQ201280052741
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2012年10月5日 優先權日:2011年10月25日
【發明者】傑森·D·金, 理察·派伊, 蘭德爾·B·斯廷森, 史蒂文·R·舍克 申請人:泰拉丁公司