閘閥以及使用該閘閥的基板處理裝置的製作方法

2023-05-29 02:56:01

專利名稱：閘閥以及使用該閘閥的基板處理裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及用於開閉基板的搬出搬入口的閘閥和使用該閘閥的基 板處理裝置。
背景技術：
在對半導體晶片等的基板或液晶基板等的FPD (Flat Panel Display:平板顯示器)基板進行例如蝕刻、成膜等規定處理的基板處 理裝置中，具有用於移送基板的基板搬出搬入口，並具有多個在關閉 基板搬出搬入口的狀態下內部形成真空氣氛的腔室。作為這樣的腔室， 例如可以例舉有在真空氣氛下進行基板的處理的工藝處理室(包括反 應容器)、在真空氣氛下搬送基板的搬送室、以及在真空氣氛和大氣壓 氣氛之間交換基板的負載鎖定室等。
閘闊一般是如上所述當關閉時將構成真空氣氛的腔室以氣密狀態 遮蔽，當打開時能夠移送基板的真空閥，用於開閉腔室的基板搬出搬 入口，或者將相鄰的腔室間彼此隔開。
具體而言，閘閥具有長條的板狀閥體，該閥體橫向形成較長以能 夠閉塞用於以水平姿勢將基板搬出搬入的基板搬出搬入口，通過氣缸 或油壓缸等致動器來驅動閥體，以開閉基板搬出搬入口。這種情況下， 將閥體從基板搬送時不成為障礙的位置(例如基板搬出搬入口的下方 位置)移動到基板搬出搬入口，為了密封基板搬出搬入口而以規定的 按壓力將閥體壓附在基板搬出搬入口而將其閉塞，從而關閉基板搬出 搬入口。
作為這樣的閘閥，例如在專利文獻1中記載有這樣的結構，在設 於腔室的側壁上的框體內設置通過油壓缸升降的板狀的閘門基座，將 閘門基座和閥體的兩端通過連杆轉動自由地連接，構成平行曲軸機構。 據此，若驅動油壓缸而使閥體與閘門基座一起上升，則閥體與框體的 頂板抵接，而被頂板限制，被向前方壓出。由此，僅通過驅動升降用的油壓缸，即能夠按壓地閉塞基板搬出搬入口。
但是，在專利文獻1那樣的結構中，除了閥體外還必須使與其同 樣大小的閘門基座也升降，因此僅此部分就必須增大油壓缸的作動力。 而且，由於僅通過升降用的油壓缸除了要進行閥體的升降動作外，還 要進行按壓閥體來關閉基板搬出搬入口的動作，所以為了確保對於密 封基板搬出搬入口所必要的閥體的按壓力，需要作動力更大的油壓缸。
有關這一點，例如，如專利文獻2、 3所示，將閥體本身設置成可 自由升降，與閥體升降用的氣缸分開地還設有從閥體的背面以開閉用 的氣缸的動作力按壓閥體來進行閉塞的構件。據此，驅動升降用的氣 缸，使閥體上升後，僅驅動開閉用的氣缸，就能夠將閥體壓附在基板 搬出搬入口而將其閉塞，所以能夠減輕閥體升降用的氣缸的負擔。
專利文獻l:日本特開平5 —196150號公報 專利文獻2:日本特開2004—316916號公報 專利文獻3:日本特開2005 — 76845號公報
然而，通過驅動如上述那樣的與升降用的氣缸分開設置的開閉用 的氣缸，將閥體壓附在基板搬出搬入口的結構中，在該狀態下為了保 持閥體，開閉用的氣缸的作動力也是必要的。因此，為了以將閥體壓 附在基板搬出搬入口上進行閉塞的狀態對其進行保持，需要持續使開 閉用的氣缸工作。這一點與專利文獻1記載的結構是同樣的，為了以 將閥體壓附在基板搬出搬入口上的狀態將其保持，需要使油壓缸持續 工作。
這樣，若例如油壓缸或氣缸等致動器出現故障或發生停電等而使 致動器的作動力消失，或者由於作動介質(作動氣體、作動油等)的 洩漏等使致動器的作動力降低，則通過腔室內側和外側的壓力差會使 閥體打開。

發明內容
因此，本發明是鑑於上述問題而完成的，其目的在於提供一種閘 閥及使用該閘閥的基板處理裝置，即使沒有驅動閥體的致動器等的驅 動機構的作動力，也能夠將閥體以按壓在基板搬出搬入口上的狀態保 持。為了解決上述問題，根據本發明的某一觀點，本發明提供一種閘 閥，其用於開閉設於腔室的側壁上的基板搬出搬入口，其特徵在於， 包括以包圍所述基板搬出搬入口方式設置在所述腔室的側壁上的框 體；升降自由地設置在所述框體內並開閉所述基板搬出搬入口的閥體; 在與所述基板搬出搬入口相對的位置和從所述基板搬出搬入口退避的 位置之間使所述閥體升降的升降驅動機構；和在與所述基板搬出搬入 口相對的位置和按壓地閉塞所述基板搬出搬入口的位置之間使所述閥 體進退的由凸輪機構構成的開閉驅動機構，所述凸輪機構具有長條 部件，其沿所述閥體的整個長度方向配置在所述閥體的背面側，並自 由可動地支撐在所述框體上；和凸輪。其伴隨所述長條部件的動作而 按壓驅動所述閥體，並使從所述基板搬出搬入口側反壓所述閥體被的 力作用在所述長條部件上，從而在所述閉塞位置按壓保持所述闊體。 這種情況下，凸輪例如可以是板狀凸輪，另外也可以是旋轉凸輪。
為了解決上述問題，根據本發明的另一觀點，本發明提供一種基 板處理裝置，其將基板搬送至多個腔室，並對基板進行規定的處理， 其特徵在於，所述各腔室具有用於幵閉設於其側壁上的基板搬出搬入 口的閘閥，所述閘閥包括以包圍所述基板搬出搬入口方式設置在所 述腔室的側壁上的框體；升降自由地設置在所述框體內並開閉所述基 板搬出搬入口的閥體；在與所述基板搬出搬入口相對的位置和從所述 基板搬出搬入口退避的位置之間使所述閥體升降的升降驅動機構；和 在與所述基板搬出搬入口相對的位置和按壓地閉塞所述基板搬出搬入 口的位置之間使所述閥體進退的由凸輪機構構成的開閉驅動機構，所 述凸輪機構具有凸輪，該凸輪通過沿所述閥體的整個長度方向配置在 所述閥體的背面側並支撐在所述框體上的長條部件驅動，從該長條部 件按壓驅動所述閥體，並使從所述基板搬出搬入口側反壓所述閥體的 力作用在所述長條部件上，從而在所述閉塞位置壓靠保持所述閥體。 另外，上述腔室是進行基板的處理的處理室、與該處理室連接的搬送 室、與該搬送室連接的負載鎖定室。
根據這樣的本發明，由闊體閉塞基板搬出搬入口時，由升降驅動 機構使閥體上升到與基板搬出搬入口相對的位置後，由開閉驅動機構 使長條部件可動，從而伴隨長條部件的動作，由凸輪機構的凸輪按壓驅動閥體。由此，闊體前進而按壓地閉塞基板搬出搬入口，使從基板 搬出搬入口側反壓閥體的力作用在長條部件上，從而能夠將閥體保持 在該閉塞位置上。由此，例如即使沒有驅動長條部件的致動器的作動 力，也能夠將閥體在壓附在基板搬出搬入口上的狀態下將其保持，所 以不會出現現有那樣閥體被打開的情況。
另外，上述凸輪例如由板狀凸輪構成，所示凸輪機構例如可以具 有驅動機構，其使滑動自由地支撐在所述框體上的所述長條部件向 與所述閥體的進退方向垂直的方向滑動；和閥體驅動用輥，其與設於 所述長條部件和所述閥體之間的所述板狀凸輪的凸輪面抵接地驅動所 述閥體，使所述長條部件的滑動動作轉換為所述閥體的進退動作。這 種情況下，所述板狀凸輪優選具有第一凸輪面，其通過使所述長條 部件在一個方向上滑動，從而與所述閥體驅動用輥抵接，使該閥體驅 動用輥向關閉所述閥體的方向前進，移動到按壓地閉塞所述基板搬出 搬入口的位置；第二凸輪面，其通過使從所述基板搬出搬入口側反壓 所述閥體的力作用在所述長條部件上，從而在所述閉塞位置保持所述 閥體。
根據這樣的本發明，由閥體閉塞基板搬出搬入口時，由升降驅動 機構使閥體上升到與基板搬出搬入口相對的位置後，使長條部件向一 個方向滑動，從而閥體驅動用輥一邊接觸第一凸輪面一邊使閥體前進， 按壓地閉塞基板搬出搬入口。並且，通過進一步使長條部件滑動，從 而由第二凸輪面通過閥體驅動用輥使閥體以按壓地閉塞基板搬出搬入 口的狀態而被保持。這時，例如即使沒有驅動長條部件的致動器的作 動力，閥體也能夠通過長條部件承接從基板搬出搬入口側反壓的力而 被保持。
也可以使上述板狀凸輪設於所述長條部件的闊體側，所述閥體驅 動用輥設置在所述閥體上，以使得當所述閥體位於與所述基板搬出搬 入口相對的位置上時與所述長條部件相對。另外，也可以使上述板狀 凸輪設置在所述閥體的長條部件側，所述閥體驅動用輥設置在所述長 條部件上，以使得當所述閥體位於與所述基板搬出搬入口相對的位置 上時與所述閥體相對。這樣，通過配置板狀凸輪和閥體驅動用輥，從 而能夠通過滑動長條部件而按壓驅動閥體。另外，優選上述閥體驅動用輥沿著所述閥體的長度方向配置多 個，並且所述板狀凸輪只設置有與所述閥體驅動用輥對應的數量，通 過使所述長條部件滑動， 一併驅動全部所述閥體驅動用輥而使所述閥 體進退，並且能夠通過全部所述閥體驅動用輥一邊按壓所述閥體一邊 將所述閥體保持在所述閉塞位置。據此，由於能夠根據閥體的長度方 向的尺寸來改變閥體驅動用輥的數量，所以即使閥體的尺寸大，也能 夠以對於密封所需充分的按壓力按壓保持該閥體。
另外，也可以設置從所述長條部件的背面側支撐所述長條部件以 使所述長條部件承接從所述閥體作用的力(所述閥體被從所述基板搬 出搬入口側壓回的力)的支撐部件。這樣，通過從長條部件的背面側 支撐長條部件，從而在從閥體作用的力的方向的相反側進行支撐，所 以長條部件能夠更強力地接住從閥體受到的力。由此，能夠在更強力 地按壓閥體的狀態下保持闊體。
這種情況下，所述支撐部件可以由設於所述框體的背板或其他腔 室的側壁上的支撐輥構成，也可以由設於所述長條部件上的支撐輥構 成。另外，當所述支撐部件由支撐輥構成的情況下，優選所述支撐輥 配置成當所述閥體位於按壓地閉塞所述基板搬出搬入口的位置上時與 所述板狀凸輪以及所述閥體驅動用輥隔著所述長條部件並排在直線 上。據此，從閥體承接的力經由閥體驅動用輥和板狀凸輪傳遞給長條 部件，該力能夠由位於該直線上的相反側的支撐輥而經由長條部件承 接，所以長條部件能夠更強力地接住從閥體作用的力。由此，能夠以 更強力地按壓閥體的狀態保持該閥體。
另外，優選所述升降驅動機構由通過使活塞杆伸縮而使閥體鉛直 升降的致動器構成，所述活塞杆的前端經由相對於該活塞杆使所述閥 體在所述進退方向自由滑動的閥體滑動機構而從所述閥體的下方支撐 所述閥體。通過這樣的閥體滑動機構的作用，能夠與致動器的升降驅 動獨立地在進退方向上開閉驅動閥體。因此，關於升降用的致動器， 只要固定在規定位置即足夠，所以能夠極其簡單地形成機構。
為了解決上述問題，根據本發明的另一觀點，本發明提供一種閘 閥，其用於開閉設於腔室的側壁上的基板搬出搬入口，其特徵在於， 包括以包圍所述基板搬出搬入口的方式設置在所述腔室的側壁上的框體；升降自由地設置在所述框體內並開閉所述基板搬出搬入口的閥 體；在與所述基板搬出搬入口相對的位置和從所述基板搬出搬入口退 避的位置之間使所述閥體升降的升降驅動機構；和在與所述基板搬出 搬入口相對的位置和按壓地閉塞所述基板搬出搬入口的位置之間使所 述閥體進退的由凸輪機構構成的開閉驅動機構，所述凸輪機構具有 長條部件，其沿所述閥體的整個長度方向配置在所述閥體的背面側， 並自由可動地支撐在所述框體上；凸輪，其伴隨所述長條部件的動作 而按壓驅動所述閥體並使從所述基板搬出搬入口側反壓所述閥體的力 作用在所述長條部件上，從而在所述閉塞位置壓靠保持所述閥體；驅 動機構，其使滑動自由地支撐在所述框體上的所述長條部件向與所述 閥體的進退方向垂直的方向滑動；閥體驅動用輥，其與設於所述長條 部件和所述閥體之間的所述板狀凸輪的凸輪面抵接地驅動所述閥體； 和框架，其以包圍所述閥體驅動用輥和所述板狀凸輪的方式設置，使 所述長條部件的滑動動作轉換為所述閥體的進退動作。
這種情況下，優選所述框架從所述閥體的背面側隔開間隙地設置 在所述框體的背板上或其他腔室的側壁上，所述閥體驅動用輥旋轉自 由地安裝在設於所述框架內的支撐體上，所述支撐體具有向所述閥體 的背面側突出的突起部，該支撐體滑動自由地構成，以使所述突起部 與所述閥體驅動用輥的動作對應地此從形成於所述框架上的孔突出或 沒入，通過所述突起部從所述閥體的背面側開閉驅動所述閥體。
根據這樣的本發明，由閥體閉塞基板搬出搬入口時，由升降驅動 機構使閥體上升到與基板搬出搬入口相對的位置後，由開閉驅動機構 使長條部件可動，從而伴隨長條部件的動作，閥體驅動用輥抵接板狀 凸輪的凸輪面，按壓驅動閥體。由此，閥體前進，並按壓地閉塞基板 搬出搬入口，從基板搬出搬入口側反壓閥體的力作用在長條部件上， 從而能夠將閥體保持在該閉塞位置上。由此，例如，即使沒有驅動長 條部件的致動器的作動力，也能夠使閥體在壓附在基板搬出搬入口上 的狀態下被保持，所以不會出現現有那樣閥體被打開的情況。另外， 通過設置包圍閥體驅動用輥和板狀凸輪的框架，從而閥體驅動用輥和 板狀凸輪的接觸能夠在框架內進行，所以即使因閥體驅動用輥和板狀 凸輪的接觸而產生粉粒，也能夠防止該粉粒向框架外飛散。另外，也可以在所述框架內設置從所述長條部件的背面側支撐所 述長條部件以使所述長條部件承接從所述閥體作用的力的支撐部件。 該支撐部件例如由設於所述框架內的支撐輥構成。據此，長條部件和 從背面支撐其的支撐部件的接觸也在框架內進行，所以即使因此而產 生粉粒，也能夠防止該粉粒向框架外飛散。
根據本發明，能夠提供一種閘閥及使用該閘閥的基板處理裝置， 即使沒有驅動閥體的致動器等的驅動機構的作動力，也能夠使閥體以 壓附在基板搬出搬入口上的狀態被保持。


圖1A是表示本發明的實施方式的閘閥的概略結構的橫向剖面圖，
其為閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖1B是表示該實施方式的閘閥的概略結構的橫向剖面圖，其為閥 體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖2A是表示該實施方式的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為閥 體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖2B是表示該實施方式的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為閥 體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖2C是表示該實施例的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為閥體 位於退避位置時的圖。
圖3A是表示該實施方式的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為閥 體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖3B是表示該實施方式的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為閥 體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖3C是表示該實施例的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為閥體 位於退避位置時的圖。
圖4A是表示該實施方式的閘閥的主要部分的動作的立體圖，其為 閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖4B是表示該實施方式的閘閥的主要部分的動作的立體圖，其為 閥體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖4C是表示該實施例的閘閥的主要部分的動作的立體圖，其為閥體位於退避位置時的圖。
圖5A是表示該實施方式的閥體滑動機構的結構例的縱向剖面圖， 其為閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖5B是表示該實施方式的閥體滑動機構的結構例的縱向剖面圖，
其為閥體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖6A是用於說明該實施方式的凸輪機構的動作的橫向剖面圖，其 為閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖6B是用於說明該實施方式的凸輪機構的動作的橫向剖面圖，其 為閥體位於朝向基板搬出搬入口開始移動的位置時的圖。
圖6C是用於說明該實施方式的凸輪機構的動作的橫向剖面圖，其 為閥體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖7A是表示本發明的實施方式的閘閥的第一變形例的概略結構 的橫向剖面圖，其為閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖7B是表示第一變形例的閘閥的概略結構的橫向剖面圖，其為閥 體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口時的圖。
圖8A是表示本發明的實施方式的閘閥的第二變形例的概略結構 的橫向剖面圖，其為閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖8B是表示第二變形例的閘閥的概略結構的橫剖面圖，其為閥體 位於一邊靠壓基板搬出搬入口一邊閉塞基板搬出搬入口時的圖。
圖9A是表示本發明的實施方式的閘閥的第三變形例的概略結構 的橫剖面圖，其為閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖9B是表示第三變形例的閘閥的概略結構的橫剖面圖，其為閥體 位於一邊靠壓基板搬出搬入口一邊閉塞基板搬出搬入口時的圖。
圖10A是用於說明本發明的閘閥的第四變形例的概略結構的局部 放大圖，其為閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖10B是表示第四變形例的閘閥的概略結構的局部放大圖，其為 閥體位於朝向基板搬出搬入口開始移動的位置時的圖。
圖IOC是表示第四變形例的閘閥的概略結構的局部放大圖，其為 閥體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖IIA是表示第四變形例的閘閥的概略結構的橫向剖面圖，其為 閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。圖11B是表示第四變形例的閘閥的概略結構的橫向剖面圖，其為 閥體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖12A是表示第四變形例的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為
閥體位於與基板搬出搬入口相對的位置時的圖。
圖12B是表示第四變形例的閘閥的概略結構的縱向剖面圖，其為 閥體位於按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置時的圖。
圖13是用於說明適用該實施方式的閘閥的基板處理裝置的概略結 構的圖。
圖14是用於說明該實施方式的閘閥的第一適用例的剖面圖。 圖15是用於說明該實施方式的閘閥的第二適用例的剖面圖。 圖16是用於說明該實施方式的閘閥的第三適用例的剖面圖。 符號說明
100:腔室 110:側壁
112:基板搬出搬入口 114:邊框 200:閘閥 202:框體
202a:背板 202b、 202c:側板 202d:頂板 202e:底板 203:開口部 204a:貫通孔 210:閥體
212:閥體支撐板 212a:插入孔 220:導軌 222:滑塊 224:導引棒 224a:止擋部件226:施力部件 230:升降驅動機構 232:升降用的致動器
252:開閉用的致動器
234:活塞杆
235:縮徑部
236:頭部
240:閥體滑動機構
242:框部
242a:插入孔
243:聯結部件
244:導引體
245:轉動部件
246:凹部
250:開閉驅動機構
252:致動器
254:活塞杆
256:支撐部件
260:凸輪機構
261:長條部件
262:棒狀部件
263:襯套
264:相連部件
270:板狀凸輪
272:斜面
274:平面
276:擋板
280:閥體驅動用輥
282:支撐體 282a:突起部 284:輥290:支撐輥
292:支撐體
294:輯
300:框架
302:導引棒
303、304、 306:孔
400:FPD基板處理裝置
410:共用搬送室
420A、 420B、 420C:處理室430:負載鎖定室
具體實施例方式
以下，參照附圖詳細說明本發明的最佳實施方式。另外，在本說 明書和附圖中，關於實質上具有相同的功能結構的結構要素，使用相 同的附圖標記，從而省略重複說明。
(閘閥)
首先，參照

本發明的實施方式的閘閥。圖1A、圖1B、 圖2A 圖2C、圖3A 圖3C、圖4A 圖4C是用於說明本實施方式 的閘閥的結構的圖。本實施方式中，如圖1A、圖1B所示，例舉了閘 閥200的示例，該閘閥200具有能夠開閉腔室100的基板搬出搬入口 112的尺寸的閥體210，升降驅動和進退驅動該閥體210，來開閉基板 搬出搬入口 112。
圖1A、圖1B是由通過基板搬出搬入口的中央附近的水平面剖開 時從上方看閘閥的剖面圖。圖2A、圖2B、圖2C是從與腔室的側壁平 行的鉛直面剖開閘閥時從背面看閘閥的剖面圖，其為圖1A所示的A— A剖面圖。圖3A、圖3B、圖3C是從與腔室的側壁垂直的鉛直面剖開 閘閥時從側面看閘閥的剖面圖，其為圖2B所示的B—B剖面圖。圖4A、 圖4B、圖4C是用於說明閘閥的主要部分的動作的立體圖。
圖1A、圖2A、圖3A、圖4A表示閥體位於與基板搬出搬入口相 對的位置的狀態，圖1B、圖2B、圖3B、圖4B表示閥體位於按壓地 閉塞基板搬出搬入口 112的位置的狀態。圖2C、圖3C、圖4C表示閥體位於從基板搬出搬入口待避的位置的狀態。
設置有本實施方式的閘閥200的腔室100是構成為真空氣氛的能
夠密閉的任意的室(包括容器)，例如對FPD基板等進行蝕刻、成膜等
規定處理的基板處理裝置的處理室、搬送室、負載鎖定室等。
腔室100例如圖2C、圖3C、圖4C所示，靠近側壁110的上側形 成有在水平方向上橫向較長地延伸的基板搬出搬入口 112，能夠經由該 基板搬出搬入口 112而將例如FPD基板等基板通過未圖示的搬送臂等 搬出搬入。
在此，在腔室100的側壁110上安裝有包圍基板搬出搬入口 112 周邊的邊框114。由此，即使例如對基板搬出搬入口 112搬出搬入玻璃 基板等基板時產生基板裂紋或錯位，也能夠保護側壁iio使其不受傷。 不設置邊框114的情況下，若基板搬出搬入口 112附近的側壁110受 傷，則即使由閥體210閉塞基板搬出搬入口 112，該傷損也會成為縫隙 而不能夠保持密閉狀態。這種情況下，必須更換構成腔室100的側壁 IIO的容器本身。
相對於此，在側壁110上設置邊框114的情況下，即使當產生基 板裂紋等時邊框114上受傷，也能夠防止側壁110直接受傷。這種情 況下，就算邊框114受傷，也只需要更換邊框114即可，所以不需要 更換腔室100容器本身，所以維修也變得簡單，能夠延長腔室100的 壽命。
閘閥200設於形成有這樣的腔室100的基板搬出搬入口 112的側 壁110上，通過使閥體210升降、進退，從而開閉基板搬出搬入口 112。 閥體210形成為能夠閉塞基板搬出搬入口 112的尺寸。並且，當關閉 基板搬出搬入口 112時按壓地閉塞基板搬出搬入口 112。具體而言，一 邊使閥體210抵靠基板搬出搬入口 112周圍的壁面， 一邊閉塞而密封 基板搬出搬入口 112。
例如在側壁110上設置邊框114的情況下，將閥體210壓附在邊 框114的表面(閥體抵接面)上而閉塞基板搬出搬入口 112。這種情況 下，為了提高密封效果，優選在與閥體210接觸的邊框114的表面上 以包圍基板搬出搬入口 112方式設置0型圈等密封部件(未圖示)。
另夕卜，也不是必須設置邊框114。在不設置邊框114的情況下，將閥體210直接壓附在側壁110的表面(閥體抵接面)上而閉塞基板搬
出搬入口 112。這種情況下，優選在與閥體210接觸的側壁110的表面 上以包圍基板搬出搬入口 112方式設置0型圈等密封部件。另外，密 封部件也可以代替設置在基板搬出搬入口 112周圍的壁面(側壁110 的表面或邊框114的表面)上，而設置在與該壁面接觸的閥體210的 表面上以包圍基板搬出搬入口 112。 (閘閥的具體結構例)
接著，說明閘閥200的具體結構例。如圖1A、圖2A、圖3A所示， 閘閥200具有以至少包圍基板搬出搬入口 112的方式設置在腔室100 的側壁110上的大致箱狀的框體(外殼)202。框體202具有與側壁110 平行面對的背板202a，並且具有側板202b、 202c、頂板202d、底板 202e，通過這些來覆蓋側壁110。在框體202的背板202a上，為了使 經由基板搬出搬入口 112出入的基板通過，而在與基板搬出搬入口 112 相對的位置上形成與基板搬出搬入口 112同樣形狀的開口部203。
閥體210在框體202內相對於基板搬出搬入口 112而沿後述的升 降導引部件升降自由地被支撐，並且沿著後述的開閉導引部件在開閉 基板搬出搬入口 112的方向上進退自由地被支撐。閘閥200具有沿著 升降導引部件使闊體210在與基板搬出搬入口 112相對的位置(規定 的上升位置)和從基板搬出搬入口 112退避的位置(規定的下降位置) 之間升降的升降驅動機構230、和通過凸輪機構260而使閥體210在與 基板搬出搬入口 112相對的位置和按壓地閉塞基板搬出搬入口 112的 位置之間進退的開閉驅動機構250。
閥體210的升降導引部件和開閉導引部件例如構成如下。在此的 升降導引部件導引閥體210鉛直升降，開閉導引部件導引閥體210水 平進退地進行開閉。具體而言，例如圖1A、圖2A所示，在腔室100 的側壁IIO上設有在基板搬出搬入口 112的左右配置並鉛直延伸的一 對導軌220。導軌220上分別設置能夠沿著它們滑動的滑塊222。各滑 塊222上分別設有從其背面向閥體210的水平進退方向突出的導引棒 (支撐棒)224。各導引棒224滑動自由地遊嵌於在閥體210的左右從 端部向外側突出設置的閥體支撐板212的插入孔212a中。
根據這樣的結構，閥體210通過使滑塊222沿著導軌220移動而沿鉛直方向自由升降。另外，閥體210沿著導引棒224在開閉基板搬 出搬入口 112的方向上水平地自由推進。這樣的升降導引部件和開閉 導引部件的結構不限於上述那樣。
在上述的導引棒224上，在閥體支撐板212和滑塊222之間插入 施力部件(例如盤簧)226。該施力部件226向與將閥體210壓附在基 板搬出搬入口 112上的方向相反的方向(打開方向)上施力。另外， 在導引棒224上，於其前端設置止擋部件224a，以使閥體支撐板212 不從導引棒224脫落。另外，止擋部件224a例如也可以形成導引棒224 的前端比插入孔212a擴徑的結構，另外，也可以由止擋環等其他部件 獨立構成。
另外，通過該止擋部件224a限制閥體210不從基板搬出搬入口 112 離開規定間隔以上。即，閥體210通過施力部件226的施加力而由被 支撐在由止擋部件224a止擋的位置(最遠離基板搬出搬入口 112的位 置)，所以能夠以總是與基板搬出搬入口 112離開規定間隔的狀態使其 升降。據此，能夠使閥體210總是上升到基板搬出搬入口 112和凸輪 機構260間的相同位置。
另外，上述的施力部件226也有這樣的作用，即當通過後述的凸 輪機構260的作用而使閥體驅動用輥280抵接凸輪面(斜面272、平面 274)進行驅動時，以閥體驅動用輥280不從凸輪面(斜面272、平面 274)離開的方式施力。由此，能夠沿著凸輪面(斜面272、平面274) 驅動閥體驅動用輥280，所以能夠使閥體210的動作穩定，並且能夠可 靠地開閉驅動閥體210。 (升降驅動機構)
接著，參照

升降驅動機構230的具體結構例。升降驅動 機構230在與基板搬出搬入口 112相對的位置(例如圖2A、圖3A所 示的位置)和從基板搬出搬入口 112退避的位置(例如圖2C、圖3C 所示的位置)之間使閥體210沿著導軌220升降。
具體而言，如圖2A、圖2C (或圖3A、圖3C)所示，升降驅動機 構230由能夠直線運動的致動器232構成。作為這樣的致動器232，例 舉通過使活塞杆234伸縮而能夠直線運動的氣缸或油壓缸等，但是不 限定於這些。在此，以致動器232由氣缸構成的情況為例。具體而言，致動器232以使活塞杆234從形成在底板202e上並氣 密地設置的貫通孔204a插入框體202內的方式安裝在框體202的底板 202e上。並且，利用活塞杆234的前端從下方支撐閥體210，從而使 致動器232以規定行程升降移動(上下驅動)活塞杆234，由此能夠使 閥體210沿著導軌220在鉛直方向升降移動。另外，在一邊保持框體 202內的氣密狀態一邊使活塞杆234伸縮的情況下，經由未圖示的襯套 而將活塞杆234插入貫通孔204a內。
活塞杆234的前端經由設於閥體210的下面的中央部位的閥體滑 動機構240而支撐閥體210。該閥體滑動機構240能夠相對於活塞杆 234支撐閥體210使其在進退方向(開閉方向)自由移動。
這樣的閥體滑動機構240的結構例示於圖5A、圖5B。如圖5A所 示，閥體滑動機構240在閥體210的下面通過螺栓等聯結部件243安 裝有框部242。在框部242的底部上形成插入活塞杆234的前端的插入 孔242a。
在框部242內設有能夠相對於活塞杆234的前端使閥體210在進 退方向相對移動的導引體244。具體地，設於導引體244的上面的多個 轉動部件245與閥體210的下面接觸而轉動自由地支撐閥體210。另外， 作為轉動部件245可以是球部件，也可以是圓柱部件。
在導引體244的下面例如形成凹坑(，'夕'y )等凹部246，在該凹 部246上抵接活塞杆234的前端。具體地，活塞杆234的前端其上面 經由縮徑部235連接設置有曲面的頭部236，該頭部236進入導引體 244的凹部246。由此，導引體244由活塞杆234的前端支撐。
通過形成這樣的結構，閥體210經由導引體244而由活塞杆234 的前端支撐，閥體210通過活塞杆234的前端經由導引體244而能夠 在進退方向(開閉方向)移動。例如閥體210當位於與基板搬出搬入 口 112相對的位置時，即使從圖5A所示的位置前進到圖5B所示的位 置，閥體210也能夠一邊由活塞杆234支撐， 一邊在導引體244上移 動，所以能夠不用使活塞杆234和導引體244進退，而僅使閥體210 在水平方向移動。
通過這樣的閥體滑動機構240的作用，能夠使閥體210與致動器 232的升降驅動獨立地在進退方向上開閉驅動。因此，關於升降用的致動器232，只要固定在規定位置上就足夠，所以能夠使結構極其簡單地
構成。即，不需要當進退驅動閥體210時致動器232自身也要能夠進 行進退驅動這樣的機構等複雜的結構。
另外，構成闊體滑動機構240的各部分的尺寸(例如框部242、插 入孔242a的大小、導引體244或轉動部件245的大小等)優選根據閥 體210的水平方向的移動量決定。另外，在圖5A、圖5B中，說明了 在活塞杆234上形成縮徑部235的情況，但是也可以不形成縮徑部235。 如圖5A、圖5所示形成縮徑部235，配置活塞杆234而使縮徑部235 的位置與插入孔242a的位置重合，從而能夠移動閥體210直至插入孔 242a的內側邊部進入縮徑部235，所以能夠以與此對應的量減小插入 孔242a，並且能夠增長閥體210的行程。 (開閉驅動機構)
接著，參照

開閉驅動機構250。開閉驅動機構250由凸輪 機構260構成，該凸輪機構260在與基板搬出搬入口 112相對的位置 (圖1A、圖2A、圖3A所示的位置)和按壓地閉塞基板搬出搬入口 112的位置(圖1B、圖2B、圖3B所示的位置)之間使閥體210沿著 導引棒224在開閉方向進退。本實施方式的凸輪機構260以所謂直行 凸輪機構構成的情況為例。在此，使安裝有板狀的凸輪270的長條部 件261沿著閥體210在與進退方向垂直的方向滑動，在板狀凸輪270 的斜面272上使閥體210在進退方向移動，並且在板狀凸輪270的平 面274上能夠在使閥體210壓附在基板搬出搬入口 112上的狀態下將 其保持。
驅動長條部件261的驅動機構由使長條部件261滑動的能夠直線 運動的例如氣缸或油壓缸等致動器252構成。在此，作為致動器252 以使活塞杆254伸縮的能夠直線運動的氣缸構成的情況為例。另外， 致動器252並不限定於此。
更詳細地說明這樣的凸輪機構260。例如圖1A、圖1B所示，長 條部件261至少比閥體的長度方向的長度形成得長，其沿著閥體210 的長度方向靠近框體202的背板202a配置。長條部件261和基板搬出 搬入口 112之間分開成閥體210升降時能夠不幹涉地插入的程度。
本實施方式的長條部件261構成為，分別在框體202的開口部203的上側和下側上各配置一個的棒狀部件262能夠一體滑動。由此，搬
送基板時能夠防止基板或搬送臂與凸輪機構260幹涉，並且使閥體210 開閉動作時能夠不使閥體210傾斜地相對基板搬出搬入口 112水平進 退。
具體而言，各棒狀部件262的端部分別從側板202b、 202c突出， 在側板202b、 202c與各棒狀部件262接觸的接觸部分分別安裝有例如 由樹脂構成的襯套263而能夠氣密滑動。另外，各棒狀部件262的端 部中例如從側板202c突出的端部分別由板狀的相連部件264固定而一 體化。該相連部件264上安裝致動器252的活塞杆254的前端。由此， 僅通過由一個致動器252來使該活塞杆254伸縮而能夠使各棒狀部件 262 —體且同時滑動。這種情況下，致動器252例如經由支撐部件256 安裝在側板202c的外側。
長條部件261的各棒狀部件262通過從框體202的背板202a的內 面突出設置的多個支撐輥290而被從框體202的背板202a轉動自由地 支撐。在圖1A、圖1B中，支撐輥290以在各棒狀部件262上分別以 一定間隔各設置四個的情況為例，但是支撐輥290的數量和配置位置 不限定於此，也可以是各設置一個，也可以各設置5個以上(例如8 個)。另外，長條部件261由一個棒狀部件構成的情況下，支撐輥290 可以設置一個，也可以設置多個。可以根據閥體210的長度方向的長 度和重量等調整支撐輥290的數量和位置。例如可以是閥體210的長 度方向的長度越長則越增加支撐輥290的數量，越短則越減少支撐輥 290的數量。另外，在此的各棒狀部件262以形成為板狀的情況為例， 但是未必限定於此，也可以例如是方筒狀。另外也可以是圓柱狀或圓 筒狀。
支撐輥290由與各棒狀部件262的背面抵接而能夠轉動的輥294 和安裝在背板202a的內面並轉動自由地支撐該輥294的支撐體292構 成。另外，在各棒狀部件262的背面在與輥294抵接的抵接部位上設 置擋板276，保護各棒狀部件262的表面並且使輥294在擋板276的面 上轉動，從而使長條部件261的動作更順暢。包含這樣的各棒狀部件 262的長條部件261、擋板276、輥294可以分別由相同材料構成，也 可以由不同材料構成。例如，長條部件261由不鏽鋼(註冊商標)構成，擋板276和輥294由樹脂構成。
另一方面，如圖1A、圖1B、圖2C、圖4C所示，在閥體210上 在其上面和下面分別設置多個閥體驅動用輥280。各閥體驅動用輥280 從閥體210的背面向長條部件261側突出而當滑動長條部件261時與 各板狀凸輪270抵接。各閥體驅動用輥280與支撐輥290設置為相同 數量。並且，當閥體210位於與基板搬出搬入口 112相對的位置時， 各閥體驅動用輥280隔著長條部件261的各棒狀部件262與各支撐輥 290相對而配置在閥體210上。閥體驅動用輥280由與板狀凸輪270 抵接而能夠轉動的輥284和安裝在閥體210上並轉動自由地支撐該輥 284的支撐體282構成。
在長條部件261的各棒狀部件262上在其閥體210 —側設置多個 用於分別抵接多個閥體驅動用輥280而對其進行驅動的多個板狀凸輪 270。板狀凸輪270具有作為第一凸輪面的斜面272和作為第二凸輪面 的平面274，該斜面272通過使長條部件261向一個方向滑動，與閥體 驅動用輥280抵接而使該閥體驅動用輥280在關閉閥體210的方向上 前進，使其移動到按壓地閉塞基板搬出搬入口 112的位置，該平面274 使閥體210被從基板搬出搬入口 112側壓回的力經由閥體驅動用輥280 和支撐輥290而由框體202的背板202a承接，從而將閥體210保持在 閉塞位置。
板狀凸輪270的斜面272由以沿著長條部件261的滑動方向從長 條部件261起厚度逐漸增加(閥體驅動用輥280逐漸前進或後退)的 方式傾斜的斜面構成，板狀凸輪270的平面274由在第一凸輪面的增 大到最厚的部位(閥體210按壓地閉塞基板搬出搬入口 112的位置) 以該厚度連續的平面構成。
板狀凸輪270的斜面272形成能夠驅動閥體驅動用輥280的斜面， 而使當長條部件261在牽引方向上滑動時閥體210逐漸前進而按壓基 板搬出搬入口 112。這種情況下例如圖1A所示，板狀凸輪270的斜面 272構成為從板狀凸輪270的平面274向致動器252側逐漸降低高度的 斜面。
另外，板狀凸輪270的斜面272不限於上述的結構，也可以形成 為能夠驅動閥體驅動用輥280的斜面以使長條部件261向壓出方向渭'動時閥體210逐漸前進而按壓基板搬出搬入口 112。這種情況下，雖然
未圖示，板狀凸輪270的斜面272構成為從板狀凸輪270的平面274 向致動器252的相反側逐漸降低高度的斜面。這種情況下，當長條部 件261向壓出方向滑動時閥體驅動用輥280抵接斜面272而移動，所 以這時長條部件261從閥體驅動用輥280經由斜面272承接的力起到 作為壓縮力的作用。因此，根據長條部件261承接的力的大小，長條 部件261有可能會彎曲，所以需要設計長條部件261的形狀和材質來 使長條部件261不彎曲。
相對於此，若為圖1A所示的斜面272，則長條部件261在牽引方 向滑動時閥體驅動用輥280抵接斜面272而移動，所以這時閥體驅動 用輥280從斜面272承接的力起到作為長條部件261的牽引力的作用， 不起到作為壓縮力的作用，所以沒有長條部件261彎曲的擔心。
根據這樣的凸輪機構260，則如圖1A、圖3A所示，當閥體210 位於與基板搬出搬入口 112相對的位置時，使致動器252驅動而使活 塞杆254收縮，從而使長條部件261在牽引方向(圖1A所示的箭頭方 向)上滑動。於是，各閥體驅動用輥280 —齊抵接各板狀凸輪270的 斜面272，沿著斜面272而在與長條部件261的滑動方向垂直的方向(閥 體210朝向基板搬出搬入口 112前進的方向)移動。由此，閥體210 經由這些各閥體驅動用輥280而向關閉基板搬出搬入口 112的方向前 進移動，抵接並逐漸壓附在基板搬出搬入口 112上。
之後，進而牽引長條部件261，則各閥體驅動用輥280 —齊搭在各 板狀凸輪270的平面274上。由此，如圖1B、圖3B所示，閥體210 以壓附在基板搬出搬入口 112上的狀態被保持。
這樣，閥體210壓附基板搬出搬入口 112時閥體210被從基板搬 出搬入口側壓回的力(反作用的力)能夠經由閥體驅動用輥280和支 撐輥290而由框體202的背板202a承接。由此，能夠在閉塞位置保持 閥體210。因此，各閥體驅動用輥280搭在平面274上的狀態下，即使 不事先保持致動器252的作動力，也能夠將閥體210牢固地保持在壓 附於基板搬出搬入口 112上的閉塞位置上。
參照附圖詳細說明像這樣在閉塞位置保持閥體210時的凸輪機構 260和閥體210的動作。圖6A 圖6C是著眼於一個板狀凸輪270來說明凸輪機構260和閥體210的動作的放大圖。首先，閥體210沿著 導軌220從下方的退避位置上升到與基板搬出搬入口 112相對的位置， 則如圖6A所示。這時，長條部件261位於初始位置，閥體驅動用輥 280還未抵接板狀凸輪270的斜面272。
接著，通過致動器252的作動力而使長條部件261在圖示箭頭方 向被牽引，則如圖6B所示，閥體驅動用輥280抵接板狀凸輪270的斜 面272，之後進一步沿著斜面272移動。這時，閥體驅動用輥280被施 力部件226向與斜面272抵接的方向施力，所以能夠不離開斜面272 而可靠地沿著斜面272移動。由此，閥體210向關閉基板搬出搬入口 112的方向移動，抵接基板搬出搬入口 112的周圍的壁面(在此為邊框 114的壁面)，則進一步一邊按壓該壁面一邊閉塞基板搬出搬入口 112。
從該狀態進一步牽引長條部件261，則如圖6C所示，閥體驅動用 輥280搭在板狀凸輪270的平面274上。由此，閥體210以一邊按壓 基板搬出搬入口 112的周圍的壁面一邊閉塞基板搬出搬入口 112的狀 態被保持。
這樣，根據本實施方式，閥體210通過板狀凸輪270的楔形作用， 而將閥體210壓附在基板搬出搬入口 112周圍的壁面上時，從該壁面 壓回的力經由閥體驅動用輥280和支撐輥290而被框體202的背板202a 承接，從而閥體210在按壓基板搬出搬入口 112的狀態下被機械地保 持在基板搬出搬入口 112和框體202的背板202a之間。這種情況下， 如圖6C所示，當閥體210位於閉塞位置時，各支撐輥290被配置成與 各板狀凸輪270的平面274和各閥體驅動用輥280隔著長條部件261 而並排在直線上。這樣，從閥體210承接的力經由各閥體驅動用輥280 和各板狀凸輪270而傳遞給長條部件261，該力經由長條部件261直接 作用在位於該直線上的相反側的各支撐輥290上，所以長條部件261 能夠進一步強力地承受從閥體210作用的力。由此，能夠在進一步強 力地按壓閥體210的狀態下將閥體210保持在閉塞位置上。因此，即 使不事先保持致動器252的作動力，也能夠將閥體210牢固地保持在 壓附於基板搬出搬入口 112上的閉塞位置上。
這樣，根據本實施方式的閘閥，不需要如以往那樣事先通過致動 器252的作動力來壓附闊體210。另外，閥體210能夠根據從框體202的背板202a承接的力和從基板搬出搬入口 112承接的力的大小，使摩 擦力作用以超過閥體210的重力，所以即使不使升降用的致動器232 動作，也能夠支撐閥體210不落下。
因此，例如即使因致動器232、 252的故障或供給電力的切斷而使 致動器232、 252不能動作，也不會使閥體210打開。另外，關於致動 器232、 252，沒必要採用現有的那樣充分按壓閥體210程度的大型設 備。例如關於致動器252，採用至少能夠從板狀凸輪270的斜面272 使閥體驅動用輥280移動到平面274的程度的小型設備就足夠了。另 外，關於致動器232，採用至少能夠使閥體210抵抗其重力而升降的程 度的小型設備就足夠了。因此，能夠使閘閥整體小型化。由此，能夠 大幅度削減製造成本。
另外，閥體210自身也能夠小型輕量化，所以關於致動器232、252， 也能夠使用進一步小型的設備。另外，如圖6A所示，使閥體210升降 時，閥體210和閥體驅動用輥280能夠分別從基板搬出搬入口 112和 板狀凸輪270離開規定距離的狀態下移動，所以能夠防止閥體210升 降時撞擊基板搬出搬入口 112和板狀凸輪270而出現破損等。另外， 為了將閥體210保持在閉塞狀態而不需要致動器232、 252的動作力， 所以例如由氣缸構成致動器232、 252的情況下，能夠大幅度削減作為 其動作媒介的空氣的消耗量。
(閘閥的動作)
接著，參照

本實施方式的閘閥的一系列的動作。在此， 閥體210當位於圖3C、圖4C所示的基板搬出搬入口 112的下方的退 避位置的時為闊體210的原位置。
首先，說明從閥體210位於退避位置時開始到驅動到按壓地閉塞 基板搬出搬入口 112的位置時的一連串的動作。從圖3C、圖4C所示 的下方的退避位置到圖3A、圖4A所示的上方的與基板搬出搬入口 112 相對的位置，使致動器232動作，使活塞杆234伸長，從而能夠使閥 體210沿著導軌220上升。
接著，使致動器252動作，使活塞杆254縮短，從而使長條部件 261沿牽引方向滑動，使閥體210沿關閉基板搬出搬入口 112的方向前 進。由此，如圖3B、圖4B所示閥體210關閉基板搬出搬入口 112，並且以一定的按壓力按壓地閉塞基板搬出搬入口 112，進一步在該狀態下 進行保持。這樣，基板搬出搬入口 112被閥體210閉塞且密封，所以
之後例如能夠以規定的真空壓力對腔室100減壓，同時實行基板的處 理。這時，如上所述閥體210通過凸輪機構260的楔形作用而被機械 地保持在框體202的背板202a和基板搬出搬入口 112之間。
接著，說明打開基板搬出搬入口 112時的一連串的動作。使致動 器252從圖3B、圖4B所示位置動作，而使活塞杆254伸長，從而使 長條部件261沿壓出方向滑動，使閥體210沿打開基板搬出搬入口 112 的方向後退。由此，返回圖3A、圖4A所示的位置。
接著，從圖3A、圖4A所示的上方的與基板搬出搬入口 112相對 的位置向圖3C、圖4C所示的下方的退避位置，使致動器232動作， 而使活塞杆234縮短，從而使閥體210沿著導軌220下降。由此，基 板搬出搬入口 112開放，閥體210返回初始位置，所以能夠對腔室IOO 進行基板的搬出搬入。
上述實施方式中，通過框體202的側板202b、 202c滑動自由地支 撐長條部件261，並且進一步由支撐輥290從長條部件261的背面側支 撐該長條部件261而使長條部件261接住從閥體210承接的力。這樣， 不僅從框體202的側板202b、 202c，還從背面側由支撐輥290支撐長 條部件261，從而能夠在從閥體210作用的力的方向的相反側進行支 撐，所以能夠更強力地接受從閥體210作用的力(閥體210被從基板 搬出搬入口 112壓回的力)。由此，能夠在更強力地按壓閥體210的狀 態下將閥體210保持在閉塞位置上。另外，也可以沒必要設置支撐輥 290，而僅由框體202的側板202b、 202c滑動自由地支撐長條部件261 。
另外，支撐輥290的配置不限於圖1A、圖1B所示的結構。艮口， 在圖1A、圖1B所示的凸輪機構260中，說明了支撐輥290設置在框 體202的背板202a上的情況，但是不限於此，也可以是支撐輥290設 置在長條部件261上。
具體地例如圖7A、圖7B所示的第一變形例，也可以設置成使支 撐輥290從長條部件261向框體202的背板202a突出，在該背板202a 上轉動自由。另外，擋板276也可以設置在背板202a中與支撐輥290 的抵接部位上。這樣配置，支撐輥290也能夠從長條部件261背面側支撐長條部件261而使長條部件261接住從閥體210作用的力。這種 情況下，優選各支撐輥290配置成，當閥體210位於閉塞位置上時， 與各板狀凸輪270的平面274和各閥體驅動用輥280隔著長條部件261 而並排在直線上。
根據這樣的結構，如圖7A所示在閥體210位於與基板搬出搬入口 112相對的位置上的狀態下，通過將長條部件261沿圖示箭頭方向牽引， 從而使閥體210前進。通過進一步將長條部件261沿圖示箭頭方向牽 弓l ，從而如圖7B所示閥體驅動用輥280搭在板狀凸輪270的平面274 上。由此，閥體210在一邊按壓基板搬出搬入口 112的周圍的壁面一 邊閉塞基板搬出搬入口 112的狀態下被保持。
這時，如圖7B所示，各支撐輥290與各板狀凸輪270的平面274 和各閥體驅動用輥280隔著長條部件261而並排在直線上。通過這樣 配置各支撐輥290，從而與圖1B所示的情況同樣地能夠在進一步更強 力地按壓閥體210的狀態下將閥體210保持在閉塞位置上。
另外，上述實施方式中，說明了作為從長條部件261背面側支撐 該長條部件261的支撐部件使用了支撐輥290的情況，但是只要能夠 滑動自由地支撐長條部件261，則不限於支撐輥290。
另外，上述實施方式中，如圖1A、圖1B所示，例舉了各板狀凸 輪270設於長條部件261的閥體210側，各閥體驅動用輥280以當閥 體210位於與基板搬出搬入口 112相對的位置上時而與長條部件261 相對的方式設置在閥體120上的情況進行說明，但是不限於此。
例如，圖8A、圖8B所示的第二實施例，也可以將板狀凸輪270 設置在閥體210的長條部件261偵U，閥體驅動用輥280以當閥體210 位於與基板搬出搬入口 112相對的位置上時與閥體120相對的方式設 置在長條部件261上。這種情況下，優選各支撐輥290被配置成當閥 體210位於閉塞位置上時與各板狀凸輪270的平面274和各閥體驅動 用輥280隔著長條部件261而並排在直線上。
根據這樣的結構，如圖8A所示在閥體210位於與基板搬出搬入口 112相對的位置上的狀態下，沿圖示箭頭方向牽引長條部件261，從而 使閥體210前進。進一步沿圖示箭頭方向牽引長條部件261，從而如圖 8B所示閥體驅動用輥280搭在板狀凸輪270的平面274上。由此，閥體210在一邊靠壓基板搬出搬入口 112的周圍的壁面一邊閉塞基板搬
出搬入口 112的狀態下被保持。
這時，如圖8B所示，各支撐輥290與各板狀凸輪270的平面274 和各閥體驅動用輥280隔著長條部件261而並排在直線上。通過這樣 配置各支撐輥290,從而與圖1B所示的情況同樣地能夠在進一步更強 力地按壓閥體210的狀態下將閥體210保持在閉塞位置上。另外這種 情況下，例如圖9A、圖9B所示的第三變形例，在長條部件261上不 僅可以設置各閥體驅動用輥280，也可以設置各支撐輥290。這種情況 下，各支撐輥290優選配置成隔著長條部件261與各閥體驅動用輥280 並排在直線上。
根據這樣的結構，如圖9A所示在閥體210位於與基板搬出搬入口 112相對的位置上的狀態下，通過沿圖示箭頭方向牽引長條部件261從 而使閥體210前進。進一步沿圖示箭頭方向牽引長條部件261，從而如 圖9B所示閥體驅動用輥280搭在板狀凸輪270的平面274上。由此， 閥體210在一邊按壓基板搬出搬入口 112周圍的壁面一邊閉塞基板搬 出搬入口 112的狀態下被保持。
這吋，如圖9B所示，各支撐輥290與各板狀凸輪270的平面274 以及各閥體驅動用輥280隔著長條部件261而並排在直線上。通過這 樣配置各支撐輥290，從而與圖1B所示的情況同樣地能夠在進一步更 強力地按壓閥體210的狀態下將閥體210保持在閉塞位置上。
其中，在上述實施方式中，驅動長條部件261而開閉閥體210時， 閥體驅動用輥280和板狀凸輪270 —邊承接來自閥體210的力一邊相 互接觸，所以由於受到的力的大小和閥體驅動用輥280與板狀凸輪270 的材質，它們接觸可能會產生粉粒，向周邊飛散。在支撐輥290和與 其接觸的擋板276之間也可能會同樣地出現粉粒。因此例如圖IOA、 圖IIA、圖12A所示的第四變形例，也可以將各閥體驅動用輥280和 各支撐輥290分別由構成為能夠將長條部件261與板狀凸輪270及擋 板276 —起插入的框架300包圍。
參照圖10A 圖IOC、圖IIA、圖IIB、圖12A、圖12B更具體地 說明這樣的第四實施例的閘閥。圖10A 圖IOC是著眼於一個板狀凸 輪270來說明凸輪機構260和閥體210的動作的放大圖。圖IIA、圖IIB是表示第四實施例的閘閥整體的概略結構的橫向剖面圖，圖12A、
圖12B是其縱向剖面圖。圖11A、圖12A是閥體210位於與基板搬出 搬入口 112相對的位置上時的圖，圖IIB、圖12B是闊體210位於按 壓地閉塞基板搬出搬入口 112時的圖。
如圖10A所示，第四變形例的閥體驅動用輥280和支撐輥290設 於大致箱狀的框架300內。框架300以與闊體210之間隔開空隙的方 式安裝在背板202a上。長條部件261與板狀凸輪270及擋板276 —起 插入形成在框架300的兩端部上的孔303、304中，在閥體驅動用輥280 和支撐輥290之間滑動。
支撐輥290構成為將輥294旋轉自由地安裝在固定於框架300內 的背板202a側的支撐體292上。相對於此，閥體驅動用輥280構成為 將輥284旋轉自由地安裝在支撐體282上，該支撐體282滑動自由地 安裝在框架300內的閥體210偵ij。
艮口，第四變形例中的支撐體282滑動自由地支撐在一對導引棒302 上、該一對導引棒302安裝在框架300內的闊體210偵ij。在這裡的支 撐體282具有向閥體210側(輥284的相反側)突出的突起部282a， 通過支撐體282前後滑動，從而該突起部282a從形成於框架300上的 孔306突出和沒入其中。
據此，通過輥284與板狀凸輪270接觸地轉動，從而支撐體282 向閥體210側前進。由此，自突起部282a不從框架300突出的圖IOA、 圖11A、圖12A所示的狀態開始，變為突起部282a從框架300突出的 圖IOC、圖IIB、圖12B所示的狀態，能夠按壓閥體210進行閉塞。 這樣，在第四實施例中，突起部282a接觸閥體210在進退方向上進行 開閉驅動。另外，支撐體282也可以通過設於框架300內的未圖示的 盤簧或板簧等施力部件向背板202a側施力。據此，能夠通過施力部件 的施加力來使支撐體282後退。
參照圖10A 圖10C更詳細地說明這樣的結構的第四變形例的動 作。首先，閥體210沿著導軌220從下方的退避位置上升到與基板搬 出搬入口 112相對的位置，則如圖10A所示。這時，長條部件261位 於初始位置，閥體驅動用輥280未抵接板狀凸輪270的斜面272，突起 部282a也未從框架300突出。接著，通過致動器252的作動力將長條部件261沿圖示箭頭方向 牽引，則如圖10B所示閥體驅動用輥280抵接板狀凸輪270的斜面272， 之後進一步沿著斜面272移動。由此，突起部282a也從框架300突出 而抵接閥體210，進而按壓閥體210而沿關閉基板搬出搬入口 112的方 向上移動。並且，如果閥體210抵接基板搬出搬入口 112周圍的壁面 (在此為邊框114的壁面)，則進一步一邊按壓該壁面一邊閉塞基板搬 出搬入口 112。
從該狀態進一步牽引長條部件261，則如圖IOC所示閥體驅動用 輥280搭在板狀凸輪270的平面274上。由此，闊體210在一邊靠壓 基板搬出搬入口 112周圍的壁面一邊閉塞基板搬出搬入口 112的狀態 下被保持。
這樣，根據第四實施例，與上述實施方式中或其他實施例同樣， 閥體210按壓基板搬出搬入口 112時從基板搬出搬入口側反壓閥體210 的力(反作用的力)也能夠經由突起部282a、閥體驅動用輥280、支 撐輥290而由框體202的背板202a承接。由此，能夠將閥體210保持 在閉塞位置。因此，在各閥體驅動用輥280搭在平面274上的狀態下， 即使不事先保持致動器252的作動力，也能夠持將閥體210牢固地保 在按壓基板搬出搬入口 112狀態的閉塞位置上。
另外，根據第四實施例，閥體驅動用輥280和板狀凸輪270的接 觸、支撐輥290和擋板276的接觸在各自的框架300內進行，所以就 算因它們的接觸產生粉粒，也能夠防止其向框架300外飛散。 (閘閥的適用例)
接著，參照

上述的本發明的各實施方式中的閘閥的具體 適用例。在此，例舉適用於多腔室型的FPD基板處理裝置的情況的具 體示例。圖13是表示FPD基板處理裝置的概略結構的方塊圖。圖13 所示的FPD基板處理裝置400具有共用搬送室410，該共用搬送室410 收容具有搬送基板的搬送臂的搬送機器人(未圖示)，其周圍設置多個 處理室420A、 420B、 420C和負載鎖定室430。這些共用搬送室410、 各處理室420A、 420B、 420C、負載鎖定室430分別構成上述那樣的真 空氣氛的能夠密閉的腔室。
在圖13所示的FPD基板處理裝置400中，共用搬送室410和其周圍的各處理室420A、 420B、 420C、負載鎖定室430分別經由本實施方 式中的閘閥200連接。另外，在用於從負載鎖定室430的大氣壓側的 搬送臂搬出搬入基板的基板搬出搬入口上也設置閘閥200。
另外，如在各處理室420A、 420B、 420C和共用搬送室410之間、 在負載鎖定室430和共用搬送室410之間等那樣、在構成真空氣氛的 兩個腔室間設置閘閥200的情況下，例如圖14所示，也可以以使閘閥 200的開口部203配置在其他腔室100的基板搬出搬入口 112的位置上 的方式將其他腔室100的側壁110安裝在閘閥200的框體202的背板 202a上。
另外，在兩個腔室100間設置閘閥200的情況下例如圖15所示， 框體202也可以由省略其背板202a而在圖2A中所示的側壁202b、 202c、頂板202d、底部202e將各腔室IOO之間包圍。這種情況下，各 支撐輥290如圖15所示也可以設於其他腔室100的側壁110上，另外， 雖然未圖示，也可以將各支撐輥2卯設於長條部件261上，將擋板設 於其他腔室100的側壁110上。
另外，除此之外，例如圖16所示也可以以如下的方式安裝各框體 202的背板202a，即將閘閥200分別設於各腔室100的側壁110上， 在一個的閘閥200的開口部203的位置上配置另一個閘閥200的開口 部203。
以上，參照添加

了本發明的最佳實施方式，但是自然本 發明不限於上述的例子。本領域技術人員自然能夠在權利要求的範圍 所記載的範圍內，想到各種變形例或修正例，這些當然也屬於本發明 的技術範疇。
例如在上述實施方式中，說明了使按壓驅動或按壓保持閥體的凸 輪由板狀凸輪構成情況，但是不限於此，也可以由旋轉凸輪構成。這 種情況下，例如長條部件旋轉自由地支撐在框體上，在長條部件上固 定旋轉凸輪。並且，也可以通過使長條部件旋轉，從而驅動旋轉凸輪， 而由該旋轉凸輪的凸輪面按壓驅動或按壓保持閥體。
產業上的可利用性
本發明能夠適用於開閉腔室的基板搬出搬入口的閘閥和使用其的 基板處理裝置。
權利要求
1.一種閘閥，其用於開閉設於腔室的側壁上的基板搬出搬入口，其特徵在於，包括以包圍所述基板搬出搬入口的方式設置在所述腔室的側壁上的框體；升降自由地設置在所述框體內並開閉所述基板搬出搬入口的閥體；在與所述基板搬出搬入口相對的位置和從所述基板搬出搬入口退避的位置之間使所述閥體升降的升降驅動機構；和在與所述基板搬出搬入口相對的位置和按壓地閉塞所述基板搬出搬入口的位置之間使所述閥體進退的由凸輪機構構成的開閉驅動機構，所述凸輪機構具有長條部件，其沿所述閥體的整個長度方向配置在所述閥體的背面側並自由可動地支撐在所述框體上；和凸輪，其伴隨所述長條部件的動作而按壓驅動所述閥體，並通過使從所述基板搬出搬入口側反壓所述閥體的力作用在所述長條部件，在所述閉塞位置按壓保持所述閥體。
2. 如權利要求l所述的閘閥，其特徵在於所述凸輪為板狀凸輪，所述凸輪機構具有驅動機構，其滑動自由地支撐在所述框體上， 所述長條部件向與所述閥體的進退方向垂直的方向滑動；和閥體驅動 用輥，其與設於所述長條部件和所述閥體之間的所述板狀凸輪的凸輪 面接觸並驅動所述閥體，將所述長條部件的滑動動作轉換為所述閥體 的進退動作。
3. 如權利要求2所述的閘閥，其特徵在於-所述板狀凸輪具有第一凸輪面，其通過使所述長條部件向一個 方向滑動，與所述閥體驅動用輥抵接並使該閥體驅動用輥向關閉所述 閥體的方向前進，移動到按壓地閉塞所述基板搬出搬入口的位置；第二凸輪面，其通過使從所述基板搬出搬入口側反壓所述閥體的力作用 在所述長條部件上，在所述閉塞位置保持所述閥體。
4. 如權利要求2所述的閘閥，其特徵在於 所述板狀凸輪設於所述長條部件的閥體側，所述閥體驅動用輥設置在所述閥體上，以使當所述閥體位於與所 述基板搬出搬入口相對的位置上時與所述長條部件相對。
5. 如權利要求2所述的閘閥，其特徵在於-所述板狀凸輪設置在所述閥體的長條部件側，所述閥體驅動用輥設置在所述長條部件上，以使當所述閥體位於 與所述基板搬出搬入口相對的位置上時與所述閥體相對。
6. 如權利要求2所述的閘閥，其特徵在於所述閥體驅動用輥沿著所述閥體的長邊方向配置多個，並且所述 板狀凸輪只設置有與所述閥體驅動用輥對應的數量，通過使所述長條部件滑動， 一併驅動全部所述閥體驅動用輥使所 述閥體進退，並且能夠通過全部所述閥體驅動用輥一邊按壓所述閥體 一邊將所述閥體保持在所述閉塞位置。
7. 如權利要求2所述的閘閥，其特徵在於設置有支撐部件，該支撐部件從所述長條部件的背面側支撐所述 長條部件，以使所述長條部件承接從所述閥體作用的力。
8. 如權利要求7所述的閘閥，其特徵在於-所述支撐部件由設於所述框體的背板或其他腔室的側壁上的支撐輥構成。
9. 如權利要求7所述的閘閥，其特徵在於所述支撐部件由設於所述長條部件上的支撐輥構成。
10. 如權利要求7所述的閘閥，其特徵在於所述支撐部件由支撐輥構成，所述支撐輥配置成當所述閥體位於按壓地閉塞所述基板搬出搬入 口的位置上時與所述板狀凸輪以及所述闊體驅動用輥隔著所述長條部 件並排在直線上。
11. 如權利要求l所述的閘閥，其特徵在於所述升降驅動機構由通過使活塞杆伸縮而使閥體鉛直升降的致動 器構成，所述活塞杆的前端通過相對於該活塞杆使所述閥體在所述迸退方 向自由滑動的閥體滑動機構，從所述閥體的下方支撐所述閥體。
12. —種基板處理裝置，其將基板搬送至多個腔室，並對基板進 行規定的處理，其特徵在於所述各腔室具有用於開閉設於其側壁上的基板搬出搬入口的閘閥，所述閘閥包括以包圍所述基板搬出搬入口的方式設置在所述腔 室的側壁上的框體；升降自由地設置在所述框體內並開閉所述基板搬 出搬入口的閥體；在與所述基板搬出搬入口相對的位置和從所述基板 搬出搬入口退避的位置之間使所述闊體升降的升降驅動機構；和在與 所述基板搬出搬入口相對的位置和按壓地閉塞所述基板搬出搬入口的 位置之間使所述閥體進退的由凸輪機構構成的開閉驅動機構，所述凸輪機構具有凸輪，該凸輪通過沿所述閥體的整個長度方向 配置在所述閥體的背面側並支撐在所述框體上的長條部件驅動，從該 長條部件按壓驅動所述閥體，並使從所述基板搬出搬入口側反壓所述 閥體的力作用在所述長條部件上，從而在所述閉塞位置按壓保持所述 閥體。
13. 如權利要求12所述的基板處理裝置，其特徵在於 所述腔室是進行基板的處理的處理室、與該處理室連接的搬送室、與該搬送室連接的負載鎖定室。
14. 一種閘閥，其用於開閉設於腔室的側壁上的基板搬出搬入口， 其特徵在於，具有以包圍所述基板搬出搬入口方式設置在所述腔室的側壁上的框體；升降自由地設置在所述框體內並開閉所述基板搬出搬入口的閥體；在與所述基板搬出搬入口相對的位置和從所述基板搬出搬入口退避的位置之間使所述閥體升降的升降驅動機構；和在與所述基板搬出搬入口相對的位置和按壓地閉塞所述基板搬出 搬入口的位置之間使所述閥體進退的由凸輪機構構成的開閉驅動機 構，所述凸輪機構具有長條部件，其沿所述閥體的整個長度方向配 置在所述閥體的背面側，並自由可動地支撐在所述框體上；凸輪，其 伴隨所述長條部件的動作而按壓驅動所述閥體，並使從所述基板搬出 搬入口側反壓所述閥體被的力作用在所述長條部件上，從而在所述閉 塞位置壓靠保持所述閥體；驅動機構，其使滑動自由地支撐在所述框 體上的所述長條部件向與所述閥體的進退方向垂直的方向滑動；閥體 驅動用輥，其與設於所述長條部件和所述閥體之間的所述板狀凸輪的 凸輪面抵接地驅動所述閥體；和框架，其以包圍所述閥體驅動用輥和 所述板狀凸輪的方式設置，使所述長條部件的滑動動作轉換為所述閥 體的進退動作。
15.如權利要求14所述的閘閥，其特徵在於所述框架從所述閥體的背面側隔開間隙地設置在所述框體的背板 或其他腔室的側壁上，所述閥體驅動用輥旋轉自由地安裝在設於所述框架內的支撐體上，所述支撐體具有向所述閥體的背面側突出的突起部，該支撐體滑 動自由地構成，以使所述突起部與所述閥體驅動用輥的動作對應，從 形成於所述框架上的孔突出和沒入，通過所述突起部從所述閥體的背面側開閉驅動所述閥體。
16、如權利要求15所述的閘閥，其特徵在於在所述框架內設置有支撐部件，該支撐部件從所述長條部件的背 面側支撐所述長條部件，以使所述長條部件承接從所述閥體作用的力。
17.如權利要求16所述的閘閥，其特徵在於 所述支撐部件由設於所述框架內的支撐輥構成。
全文摘要
本發明提供一種閘閥及使用該閘閥的基板處理裝置，其能夠在沒有致動器的工作力的情況下，將閥體保持在按壓於基板搬出搬入口的狀態。閘閥(200)構成為通過凸輪機構(260)使閥體(210)進退來開閉基板搬出搬入口(112)。凸輪機構例如具有在與閥體的進退方向垂直的方向上自由滑動的長條部件(261)、與從框體的背板支撐長條部件的支撐輥(290)相對地設置在閥體(210)上的閥體驅動用輥(280)、設於長條部件的閥體驅動用輥側的板狀凸輪(270)，使長條部件向一個方向滑動而向經由閥體驅動用輥來關閉閥體的方向上前進，在按壓地閉塞基板搬出搬入口的位置上，使從基板搬出搬入口側反壓的力作用在長條部件，從而將閥體保持在閉塞位置上。
文檔編號F16K27/00GK101408249SQ20081016730
公開日2009年4月15日 申請日期2008年10月10日 優先權日2007年10月10日
發明者若森勤 申請人:東京毅力科創株式會社