具有探針框架的檢測設備的製作方法

2023-05-28 21:35:46

專利名稱：具有探針框架的檢測設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及TFT-LCD (薄膜電晶體液晶顯示器)陣列基板檢測技術，特別涉及一種具有探針框架的檢測設備，該檢測設備用於檢測TFT-LCD陣列基板。
背景技術：
在薄膜電晶體液晶顯示裝置(ThinFilm Transistor Liquid crystal Display,以下簡稱TFT-IXD)製造工藝中，陣列電路的形成是基礎環節。陣列電路是通過半導體中常用的掩膜-曝光工藝在基板上形成的，在陣列電路中加入信號，以驅動表面的液晶，形成顯示矩陣。由於陣列電路的優劣直接決定了 TFT-LCD裝置的品質，因此對陣列電路的檢測就成為TFT-IXD製造流程中的重要工序。陣列電路的檢測主要是通過陣列測試機臺(Array tester)來實現。檢測過程中，測試信號通過探針框架(Probe Frame)上的探針(pin)加載到陣列電路中。探針框架內部的電路將信號輸入端和安裝在探針框架(Probe Frame)上固定位置的探針連接在一起，檢測時探針頭與陣列基板上的pad(面板檢測信號輸入端)一一對應接觸。在實際應用中，由於TFT-LCD的陣列電路的設計多樣性，探針框架的設計也就多種多樣，探針的分布可以為左右排列方式、上下排列方式，特殊地，某些探針框架中央部位也存在橫梁或豎梁，上面安裝有一定數量的探針，以滿足測試不同電路的需要。上述每一個探針即是一個用於為陣列基板上某一固定接入點提供檢測信號的信號提供單元。實際測試時，上述探針與陣列基板相接觸，探針本身是具有彈性的可伸縮裝置，在一定的外部壓力和自身的彈力共同作用下實現接觸。探針在使用過程中由於氧化、磨損、或折斷等原因，當需要更換探針時，需要讓設備關機，更換後再復機整個過程花費了大量時間，尤其是真空機臺設備，從開腔到復機量產至少要花費幾個小時，大大影響了設備的工作效率。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種具有探針框架的檢測設備。本實用新型的具有探針框架的檢測設備可以減少為更換探針而關機的次數，提高設備的工作效率。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，所述檢測設備用於檢測陣列基板，所述探針框架包括架體以及用於為所述陣列基板上一接入點提供檢測信號的信號提供單元，所述架體上設置有可旋轉裝置，所述信號提供單元包括多個與信號源電連接的探針，所述多個探針中的一部分安裝於所述可旋轉裝置上並處於工作位置為所述陣列基板提供檢測信號，所述多個探針中的另一部分安裝於所述可旋轉裝置上並可以通過所述可旋轉裝置的旋轉，旋轉至所述工作位置為所述陣列基板提供檢測信號。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述可旋轉裝置為可旋轉設置於所述架體上的轉軸，所述轉軸平行於所述架體與所述待檢測陣列基板結合的結合面，所述多個探針垂直於所述轉軸的中心軸線並沿所述轉軸的軸周向分布設置於所述轉軸上。[0009]本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述探針沿所述轉軸周向均勻分布設置於所述轉軸上。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述多個探針通過旋轉座體固定於所述轉軸上，所述旋轉座體固定套置於所述轉軸上，所述探針可插拔的設置於所述旋轉座體上。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述探針通過所述旋轉座體與所述信號源電連接，所述探針與所述旋轉座體電連接，所述旋轉座體包括信號端，所述信號端與所述信號源通過電刷電連接。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述信號端套置於所述轉軸上，與所述信號端保持接觸的所述電刷通過電刷支架固定於所述架體上，所述信號源與所述電刷電連接。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述旋轉座體為立方體狀，所述旋 轉座體的四個側面上分別設置有一所述探針。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述探針框架還包括用於為所述轉軸提供旋轉動力的電機，所述電機的輸出軸與所述轉軸的一端連接。本實用新型的具有探針框架的檢測設備，其中，所述探針框架還包括用於控制所述轉軸旋轉的控制器，所述控制器與所述電機電連接。當本實用新型的檢測設備中的探針框架中的探針在使用過程中不能工作時，不需要讓設備關機，只需通過人力或電機帶動可旋轉裝置旋轉，即可很方便的輪換探針，保證設備繼續工作。由此本實用新型的具有探針框架的檢測設備可以減少為更換探針而關機的次數，大幅提高設備的工作效率。

圖I為本實用新型的檢測設備中的探針框架的結構示意圖的俯視圖；圖2為圖I的A-A剖視圖；圖3為圖I的B-B剖視圖；圖4為圖3的C-C剖面圖。
具體實施方式
本實用新型的檢測設備中的探針框架將傳統插入式更換探針的方式用旋轉探針的方式代替，有效的減少了關機更換探針的次數，尤其對真空檢測機臺效果顯著，有效提高設備的生產效率。如圖I、圖2、圖3、圖4所示，TFT-IXD基板檢測設備用於檢測陣列基板。本實用新型的具有探針框架的TFT-LCD基板檢測設備中的探針框架，包括架體I以及安裝於架體I上用於為陣列基板上一接入點提供檢測信號的信號提供單元20。其中，信號提供單元20有多個，每個信號提供單元20為陣列基板上某一固定接入點提供檢測信號。架體I上設置有可旋轉裝置。每個信號提供單元20包括多個與信號源8電連接的探針2，多個探針2中的一部分安裝於上述可旋轉裝置上並處於工作位置(圖2中E位置)為陣列基板提供檢測信號，多個探針2中的另一部分安裝於上述可旋轉裝置上並可以通過上述可旋轉裝置的旋轉，旋轉至上述工作位置為陣列基板提供檢測信號。當本實用新型的具有探針框架的檢測設備工作時，架體與待檢測陣列基板結合，安裝於上述可旋轉裝置上並處於工作位置的探針向上伸出並與陣列基板相接觸，為其提供檢測信號。當這部分探針在使用過程中由於氧化、磨損、或折斷等原因不能工作時，不需要讓設備關機，只需通過人力或電機帶動上述可旋轉裝置旋轉，安裝於上述可旋轉裝置上的另一部分探針即可以旋轉至工作位置為陣列基板提供檢測信號。具體來說，本實施例中，上述可旋轉裝置為可旋轉設置於架體I上的轉軸3，架體I包括多個豎直設置的立板10，轉軸3可旋轉的設置與相對的立板10之間。轉軸3平行於架體I與待檢測陣列基板結合的結合面9，即轉軸3平行於架體I的上表面。多個探針2垂直於轉軸3的中心軸線並沿轉軸3的軸周向分布設置於轉軸3上。這樣當轉軸3旋轉，一部分探針2即可旋轉至工作位置(即圖2中E位置)，並垂直於結合面9，同時垂直於待檢測陣列基板。當架體I與待檢測陣列基板結合，工作位置的探針2與待檢測陣列基板垂直接觸，為其提供檢測信號。當這部分探針不能工作時，通過人 力或電機帶動轉軸3旋轉，安裝於轉軸3上的另一部分探針(即圖2中F位置、H位置或G位置的探針2)，都可以旋轉至工作位置為陣列基板提供檢測信號。為避免電信號外洩，轉軸3採用絕緣材料製成。本實施例中，本實用新型的具有探針框架的檢測設備的探針框架還包括用於為轉軸3提供動力的電機4，電機4的輸出軸與轉軸3的一端連接。電機4可以固定於架體I的立板10上。本實施例中，本實用新型的具有探針框架的檢測設備的探針框架還包括用於控制轉軸3旋轉的控制器(圖中未示出)，上述控制器與電機4電連接，用以控制轉軸3的旋轉角度。本實施例中，多個信號提供單元20安裝於同一轉軸3上，這樣當某一個信號提供單元上的處於工作位置的探針不能工作時，轉軸3上其他信號提供單元上的處於工作位置的探針也要隨之轉動。作為本實施例的改進，每一轉軸上可以只安裝一個信號提供單元，一個信號提供單元輪換探針時，其他信號提供單元不必隨之旋轉。為使轉軸3受力平衡，本實施例中，探針2沿轉軸3的周向均勻分布設置於轉軸3上。為方便轉軸3上探針2的維修、更換，本實施例中，探針2通過旋轉座體5固定於轉軸3上。旋轉座體5固定套置於轉軸3上，探針2可插拔的設置於旋轉座體5上。為保證在轉軸3的旋轉過程中，探針2始終與信號源8電連接，本實施例中，探針2通過旋轉座體5與信號源8電連接，探針2與旋轉座體5電連接，旋轉座體5包括套置於轉軸3上的信號端51，信號端51與信號源8通過電刷6電連接。本實施例中，與信號端51保持接觸的電刷6通過電刷支架7固定於架體2上，信號源8與電刷6電連接。具體來說，電刷6 —端與信號端51保持接觸，另一端固定於電刷支架7上。電刷支架7固定於架體I上。本實施例中，旋轉座體5為立方體狀。旋轉座體5的四個側面上分別垂直設置有一個探針2，四個探針2中，彼此相鄰的探針2的夾角成90度。[0036]在本實用新型的其他實施例中，旋轉座體5可以為橫截面為正八邊形的塊體。旋轉座體5的八個側面上分別垂直設置有一個探針2，八個探針2中，彼此相鄰的探針2的夾角成45度。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技 術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種具有探針框架的檢測設備，所述檢測設備用於檢測陣列基板，所述探針框架包括架體以及用於為所述陣列基板上一接入點提供檢測信號的信號提供單元，其特徵在於，所述架體上設置有可旋轉裝置，所述信號提供單元包括多個與信號源電連接的探針，所述多個探針中的一部分安裝於所述可旋轉裝置上並處於工作位置為所述陣列基板提供檢測信號，所述多個探針中的另一部分安裝於所述可旋轉裝置上並可以通過所述可旋轉裝置的旋轉，旋轉至所述工作位置為所述陣列基板提供檢測信號。
2.根據權利要求I所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述可旋轉裝置為可旋轉設置於所述架體上的轉軸，所述轉軸平行於所述架體與所述待檢測陣列基板結合的結合面，所述多個探針垂直於所述轉軸的中心軸線並沿所述轉軸的軸周向分布設置於所述轉軸上。
3.根據權利要求2所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述探針沿所述轉軸周向均勻分布設置於所述轉軸上。
4.根據權利要求2所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述多個探針通過旋轉座體固定於所述轉軸上，所述旋轉座體固定套置於所述轉軸上，所述探針可插拔的設置於所述旋轉座體上。
5.根據權利要求4所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述探針通過所述旋轉座體與所述信號源電連接，所述探針與所述旋轉座體電連接，所述旋轉座體包括信號端，所述信號端與所述信號源通過電刷電連接。
6.根據權利要求5所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述信號端套置於所述轉軸上，與所述信號端保持接觸的所述電刷通過電刷支架固定於所述架體上，所述信號源與所述電刷電連接。
7.根據權利要求6所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述旋轉座體為立方體狀，所述旋轉座體的四個側面上分別設置有一所述探針。
8.根據權利要求2所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述探針框架還包括用於為所述轉軸提供旋轉動力的電機，所述電機的輸出軸與所述轉軸的一端連接。
9.根據權利要求8所述的具有探針框架的檢測設備，其特徵在於，所述探針框架還包括用於控制所述轉軸旋轉的控制器，所述控制器與所述電機電連接。
專利摘要本實用新型提供的具有探針框架的檢測設備，檢測設備用於檢測陣列基板，探針框架包括架體以及用於為所述陣列基板上一接入點提供檢測信號的信號提供單元，架體上設置有可旋轉裝置，信號提供單元包括多個與信號源電連接的探針，多個探針中的一部分安裝於可旋轉裝置上並處於工作位置為陣列基板提供檢測信號，多個探針中的另一部分安裝於可旋轉裝置上並可以通過可旋轉裝置的旋轉，旋轉至工作位置為陣列基板提供檢測信號。本實用新型的檢測設備，用於檢測陣列電路，可以減少為更換探針而關機的次數，提高設備的工作效率。
文檔編號G01R31/28GK202486284SQ20122011776
公開日2012年10月10日 申請日期2012年3月26日 優先權日2012年3月26日
發明者何歡, 孟慶超, 楊瀟宇, 羅強強 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司