三束光線兩兩垂直的調整方法

2023-06-17 20:52:11 1

專利名稱：三束光線兩兩垂直的調整方法
技術領域：
本發明屬於光電檢測技術領域，特別涉及一種三束光線兩兩垂直的高精度調整。
背景技術：
目前，一臺典型的三軸加工中心，共有21項幾何誤差參數，分別是每個坐標軸的6 個誤差分量，加上3個坐標軸之間的垂直度誤差。目前檢測數控工具機最常用的手段是雷射 幹涉儀。但是雷射幹涉儀是單參數測量，每次安裝調整隻能測量一種誤差分量，而每個測量 過程又需要使用不同類型的測量附件和重新調整儀器，所以工具機整體檢測費時費力，其檢 測代價很高。

發明內容
本發明提供了一種具有通用性的三束光線兩兩垂直的調整方法，調整方便，調整 精度聞。一種三束光線兩兩垂直的調整方法，包括以下步驟(1)由雷射器發出的準直雷射，經過第一偏振分光器得到第一垂直線偏振光和第 一平行線偏振光，所述的第一垂直線偏振光透過第一、/4波片變成第一圓偏振光，第一 入/4波片的快軸與第一垂直線偏振光的偏振方向的夾角為45° ；所述的第一平行線偏振光 透過第二 X/波片變成第二圓偏振光，第二 X/4波片的快軸與第一平行線偏振光的偏振方 向的夾角為45° ；所述第二圓偏振光經過第二偏振分光器得到第二垂直線偏振光和第二平 行線偏振光，所述第二平行線偏振光經第一二維可調小平面反射鏡反射後得到第三出射光 束，採用光線平行調整的方法進行調整，使得第一圓偏振光、第二垂直線偏振光和第三出射 光束為三束相互平行的光線，所述的三束相互平行的光線的平行誤差在0. 2弧秒以下；其 中，第一圓偏振光為第一束平行光線，第二垂直線偏振光為第二束平行光線，第三出射光束 為第三束平行光線；本發明中的光線平行調整的方法為由匡翠方等發明人提出的名稱為「一種光線平 行調整的裝置與方法」的中國專利申請(申請號為CN200810057053. 1，
公開日為2008年8 月6日)所公開的平行光線調整的方法；(2)用擋光紙板遮住第三束平行光線，在第一束和第二束平行光線的光路中，放置 帶有二維微調裝置的第一平面反射鏡和帶有二維微調裝置的第二平面反射鏡，使得第一束 平行光線經第一和第二平面反射鏡兩次反射後沿第二束平行光線的出射光路逆向返回，並 經過第一偏振分光器90°反射，透過透鏡入射到角度探測器上，同樣，也使得第二束平行光 線經第一和第二平面反射鏡兩次反射後沿第一束平行光線的出射光路逆向返回，並透過至 第一偏振分光器和透鏡入射到角度探測器上；其中，所述的第一和第二平面反射鏡的夾角 粗調為近似90° (90° 士3° )；(3)細調第一和第二平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度 探測器上的讀數；重複細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的
4讀數相同，此時，第一和第二平面反射鏡呈90°拼接； (4)將第一和第二平面反射鏡固定後整體旋轉，增加帶有二維微調裝置的第三平 面反射鏡，使第三和第一平面反射鏡取代步驟(2)中的第一和第二平面反射鏡，置於第一 束和第二束平行光線的光路中，細調第三和第一平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二 束平行光線在角度探測器上的讀數；重複細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線 在角度探測器上的讀數相同，此時，第三和第一平面反射鏡呈90°拼接；將第三平面反射 鏡與第一和第二平面反射鏡固定在一起；(5)將固定好的第一、第二和第三平面反射鏡整體旋轉，使第三平面反射鏡和第二 平面反射鏡取代步驟(2)中的第一和第二平面反射鏡，置於第一束和第二束平行光線的光 路中，微調第三和第二平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度探測器 上的讀數；重複細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數相 同，此時，第二和第三平面反射鏡呈90°拼接；至此，第一、第二和第三平面反射鏡兩兩相互垂直構成一空心角錐稜鏡；(6)撤走遮住第三束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第一束和第二束平 行光線，旋轉調整所述空心角錐稜鏡的位置，使得第三束平行光線直接入射到所述空心角 錐稜鏡的第一平面反射鏡上，第三束平行光線與其入射的平面反射鏡的夾角粗調為近似 90° (90° 士3° )；整體旋轉微調所述空心角錐稜鏡的位置，使得第三束平行光線被所述 空心角錐稜鏡的第一平面反射鏡反射後，再次被第一二維可調小平面反射鏡反射，透射經 過第二偏振分光器和第二 λ /4波片後，再經第一偏振分光鏡反射，經透鏡匯聚後，在角度 探測器上的讀數為0 ；(7)撤走遮住第二束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第一束和第三束平行 光線，在第二束平行光線的光路上增加第二二維可調小平面反射鏡，第二束平行光線經過 第二二維可調小平面反射鏡反射後的光線為第四束光線，其中第二二維可調小平面反射鏡 與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角近似為90° (90° 士3° )，第二二維可調小 平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第二平面反射鏡的夾角近似為45° (45° 士2° )；細調 第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角以及第二二維 可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第二平面反射鏡的夾角，使得第四束光線經過所 述空心角錐稜鏡的第二平面反射鏡逆向反射，再通過第二二維可調小平面反射鏡反射後的 光線經第二偏振分光器反射，透過第二 λ/4波片，再經第一偏振分光器反射後的光線，經 透鏡匯聚在角度探測器上的讀數也為0 ；(8)撤走遮住第一束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第二束和第三束平行 光線，在第二束平行光線的光路上增加第三二維可調小平面反射鏡，第一束平行光線經過 第三二維可調小平面反射鏡反射後的光線為第五束光線，其中第三二維可調小平面反射鏡 與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角近似為45° (45° 士2° )，第三二維可調小 平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第一平面反射鏡的夾角近似為45° (45° 士2° )；細調 第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角以及第三二維 可調平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第一平面反射鏡的夾角，使得第五束光線入射到所 述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡上，第五束光線被第三二維可調小平面反射鏡反射後的 光線經過第一 λ/4波片後，經第一偏振分光器透射後的光線，經透鏡匯聚在角度探測器上的讀數也為0 ；(9)撤去空心角錐稜鏡和擋光紙板，第四束光線、第三束平行光線和第五束光線兩
兩相互垂直。所述的第一、第二和第三平面反射鏡為高精度平面反射鏡，所述的第一、第二和第 三平面反射鏡的面形精度的均方根值(RMS)為0. Oil X，PV值為0. 071 X，A = 632. 8nm, 表面粗糙度均方根值(RMS)達0. 75nm。在本發明的三束光線兩兩垂直的調整方法中，所述的角度探測器由正透鏡和位 於其焦點上的探測器組成。其中，所述的正透鏡也可以是透鏡組，此時探測器應該位於透 鏡組的有效焦平面上，所述的探測器可以是四象限探測器(QPD Quadrant Photoelectric Detector)、位置敏感探測器(PSD position Sensitive Detector)或電荷耦合器件(CCD Charge Couple Device)。本發明的三束光線兩兩垂直的調整方法，不需通過精確的角度調整至90°，而是 通過判斷這三束光線在角度探測器上的讀數的異同，從而避免角度測量誤差。利用本發明的調整方法得到的三束兩兩垂直的光線，再結合雷射多自由度同時測 量技術可以用來測量三軸數控工具機的18或者21項誤差，不但能保證調整精度在1弧秒以 下，而且調整方便。相對於現有技術，本發明具有以下有益的技術效果1)調整方法簡單，成本較低；2)調整精度高，採取三束平行誤差在0.2弧秒以下的平行光線，可調整出垂直度 誤差在0. 2弧秒以下的三束兩兩垂直光線。


圖1為本發明中空心角錐稜鏡裝置調整的原理示意圖；圖2為本發明中調整得到的空心角錐稜鏡的形狀；圖3為本發明的三束光線兩兩垂直的調整方法的原理示意圖。
具體實施例方式下面結合實施例和附圖來詳細說明本發明，但本發明並不僅限於此。圖1為本發明中空心角錐稜鏡裝置調整的原理示意圖。利用匡翠方等發明人提出的名稱為「一種光線平行調整的裝置與方法」的中國專 利申請(申請號為CN200810057053. 1，
公開日為2008年8月6日)所公開的平行光線調整 的方法，產生兩束平行誤差在0. 2弧秒以下的平行光線R1、R2。具體過程簡述如下準直激 光器1發出的準直雷射通過第一偏振分光器2分為兩束偏振方向相互垂直的光線S波(反 射光線R1』)和P波(透射光線R2』)。反射光線R1』通過第一入/4波片5變成圓偏振光 R1，透射光線R2』經過第二 X/4波片6後變成圓偏光，再經過第一二維可調小平面反射鏡 7轉折光路後為光線R2，通過調整第一二維可調小平面反射鏡7的位置，使得平行光線R1、 R2的平行誤差在0.2弧秒以下。其中第一 X/4波片5的快軸與S波的偏振方向的夾角為 45°，第二入/4波片6的快軸與P波的偏振方向的夾角也為45°。在平行光線R1、R2的光路中，放置帶有二維微調裝置14的第一高精度平面反射鏡8和帶有二維微調裝置15的第二高精度平面反射鏡9，粗調第一高精度平面反射鏡8和第二高精度平面反射鏡9的夾角近似為90° (士3° )，使得光線Rl經過第一高精度平面反 射鏡8反射，再經過第二高精度平面反射鏡9轉折光路後，通過二維可調小平面反射鏡7反 射，再經過第二 λ/4波片6後，圓偏光變成線偏振光，偏振方向不改變。平行光線R2經過 第二高精度平面反射鏡9反射，再通過第一高精度平面反射鏡8反射後，經過第一 λ /4波 片5後，圓偏振光變成線偏振光，偏振方向不變。因此，原來經過第一偏振分光器2反射的 光線再次通過第一偏振分光器2時依然被反射，原來經過第一偏振分光器2透射的光線再 次通過第一偏振分光器2時依然透射，記下兩路光線經過透鏡3匯聚後在角度探測器4上 的讀數。通過調節第一高精度平面反射鏡8上的二維微調裝置14和第二高精度平面反射 鏡9上的二維微調裝置15來微調第一高精度平面反射鏡8和第二高精度平面反射鏡9的 夾角，直至兩束光線經透鏡3匯聚後，在角度探測器4上的讀數相同時，認為第一高精度平 面反射鏡8和第二高精度平面反射鏡9垂直，並將這兩塊高精度平面反射鏡拼接固定。增加帶有二維微調裝置16的第三高精度平面反射鏡10，其中第三高精度平面反 射鏡10和第一高精度平面反射鏡8的夾角粗調為近似90° (士3° )後固定。整體旋轉第 一、第二和第三高精度平面反射鏡8、9、10，使第三和第一高精度平面反射鏡10、8放置在前 述的第一和第二高精度平面反射鏡8和9的位置，利用前述方法再次進行調整，直至兩束光 線經透鏡3匯聚後，在角度探測器4上的讀數相同時，認為第一高精度平面反射鏡8和第三 高精度平面反射鏡10垂直。為提高精度，可重複進行調整，如可再將第三和第二高精度平面反射鏡10、9放置 在前述的第一和第二高精度平面反射鏡8、9的位置，利用前述方法再次進行調整，直至兩 束光線經透鏡3匯聚後，在角度探測器4上的讀數相同時，認為第二高精度平面反射鏡9和 第三高精度平面反射鏡10垂直。至此，第一、第二和第三高精度平面反射鏡8、9、10兩兩相互垂直，構成如圖2所示 的空心角錐稜鏡，完成空心角錐稜鏡的調整。圖3為本發明的三束光線兩兩垂直的調整方法的原理示意圖。如圖3所示，一種三束光線兩兩垂直的調整方法，包括第一步利用匡翠方等發明人提出的名稱為「一種光線平行調整的裝置與方法」的 中國專利申請(申請號為CN200810057053. 1，
公開日為2008年8月6日)所公開的平行光 線調整的方法，產生三束平行誤差在0. 2弧秒以下的平行光線rl、r2、r3。該三束平行光線 產生的過程簡述如下準直雷射器1發出的準直雷射經過第一偏振分光器2分為兩束偏振方向相互垂直 的光線S波和P波，即第一垂直線偏振光(反射光線)和第一平行線偏振光(透射光線)，第 一垂直線偏振光透過第一 λ/4波片5變成第一圓偏振光(第一束平行光線rl)，第一 λ/4 波片5的快軸與第一垂直線偏振光的偏振方向的夾角為45° ；第一平行線偏振光透過第二 λ /4波片6變成第二圓偏振光，第二 λ /4波片6的快軸與第一平行線偏振光的偏振方向的 夾角為45° ；第二圓偏振光經過第二偏振分光器13得到第二垂直線偏振光(第二束平行光線 r2)和第二平行線偏振光，第二平行線偏振光經第一二維可調小平面反射鏡7反射後得到 第三出射光束(第三束平行光線r3)，調整第一二維可調小平面反射鏡7的位置，使得第一圓偏振光(第一束平行光線rl)、第二垂直線偏振光(第二束平行光線r2)和第三出射光束 (第三束平行光線r3)為三束平行誤差在0. 2弧秒以下的相互平行的光線。第二步利用如圖1所示方法調整得到的如圖2所示的空心角錐稜鏡實現三束平 行光線兩兩垂直的調整，具體過程如下撤走遮住第三束平行光線r3的擋光紙板，用擋光紙板遮住第一束和第二束平行 光線rl、r2，旋轉調整所述空心角錐稜鏡的位置，使得第三束平行光線r3入射到前面調整 的空心角錐稜鏡的第一高精度平面反射鏡8上，其中第一高精度平面反射鏡8與第三束平 行光線r3的夾角粗調近似為90° (90° 士3° )；整體旋轉微調空心角錐稜鏡的位置，使得 第三束平行光線r3被第一高精度平面反射鏡8反射後，再次被第一二維可調小平面反射鏡 7反射，透射經過第二偏振分光器13和第二 λ /4波片6後，變成線偏振光S波，再經第一偏 振分光器2反射，經凸透鏡3匯聚後，在角度探測器4上的讀數為0。撤走遮住第二束平行光線r2的擋光紙板，用擋光紙板擋住光線第一束和第三束 平行光線rl和r3，在第二束平行光線r2的光路上放置第二二維可調小平面反射鏡11，第 二束平行光線r2經過第二二維可調小平面反射鏡11反射後的光 線為第四束光線r4，其中 第二二維可調小平面反射鏡11與第三高精度平面反射鏡10的夾角近似為90° (士3° )， 第二二維可調小平面反射鏡11與第二高精度平面反射鏡9的夾角近似為45° (士2° )；細 調第二二維可調小平面反射鏡U與第三高精度平面反射鏡10的夾角以及第二二維可調小 平面反射鏡U與與第二高精度平面反射鏡9的夾角，使得第四束光線r4經過第二高精度 平面反射鏡9反射，再通過第二二維可調小平面反射鏡11反射後的光線經第二偏振分光器 13反射，透過第二 λ /4波片6，再經第一偏振分光器2反射後的光線，經透鏡3匯聚在角度 探測器4上的讀數也為0，則認為第二束平行光線r2經第二二維可調小平面反射鏡11反射 後的第四束光線r4和第三束平行光線r3相互垂直。撤走遮住第一束平行光線rl的擋光紙板，用擋光紙板擋住第二束和第三束平行 光線r2和r3，在第一束平行光線rl的光路上放置第三二維可調小平面反射鏡12，第一束 平行光線rl經過第三二維可調小平面反射鏡12反射後的光線為第五束光線r5，其中第 三二維可調小平面反射鏡12與第三高精度平面反射鏡10的夾角近似為45° (士2° )，第 三二維可調小平面反射鏡12與第一高精度平面反射鏡8的夾角近似為45° (士 2° )。細 調第三二維可調小平面反射鏡12與第三高精度平面反射鏡10的夾角以及第三二維可調小 平面反射鏡12與第一高精度平面反射鏡8的夾角，使得第五束光線入射到第三高精度平面 反射鏡10上，第五束光線r5被第三二維可調小平面反射鏡12反射後的光線經過第一 λ /4 波片5後，經第一偏振分光器2透射後的光線，經透鏡3匯聚在角度探測器4上的讀數也為 0，則認為第一束平行光線rl經過第三二維可調小平面反射鏡12反射後的第五束光線r5 和r3相互垂直。撤去空心角錐稜鏡和擋光紙板，由於第四束光線r4和第三束平行光線r3垂直，第 五束光線r5和第三束平行光線r3垂直，此時可認為三束光線r3、r4、r5兩兩相互垂直。利用該調整方法得到的三束兩兩垂直的光線，再結合雷射多自由度同時測量技術 可以用來測量三軸數控工具機的18或者21項誤差，不但能保證調整精度在1弧秒以下，而且 調整方便。其中，第一、第二和第三高精度平面反射鏡8、9、10的面形精度的均方根值為0. Oil X，PV值為0.071 X，A = 632.8nm，表面粗糙度均方根值達0. 75nm。角度探測器4 由透鏡組和位於其有效焦平面焦點上的探測器組成，探測器為四象限探測器。
權利要求
一種三束光線兩兩垂直的調整方法，其特徵在於，包括以下步驟(1)由雷射器發出的準直雷射，經過第一偏振分光器得到第一垂直線偏振光和第一平行線偏振光，所述的第一垂直線偏振光透過第一λ/4波片變成第一圓偏振光，第一λ/4波片的快軸與第一垂直線偏振光的偏振方向的夾角為45°；所述的第一平行線偏振光透過第二λ/4波片變成第二圓偏振光，第二λ/4波片的快軸與第一平行線偏振光的偏振方向的夾角為45°；所述第二圓偏振光經過第二偏振分光器得到第二垂直線偏振光和第二平行線偏振光，所述第二平行線偏振光經第一二維可調小平面反射鏡反射後得到第三出射光束，採用光線平行調整的方法進行調整，使得第一圓偏振光、第二垂直線偏振光和第三出射光束為三束平行誤差在0.2弧秒以下的相互平行的光線；其中，第一圓偏振光為第一束平行光線，第二垂直線偏振光為第二束平行光線，第三出射光束為第三束平行光線；(2)用擋光紙板遮住第三束平行光線，在第一束和第二束平行光線的光路中，放置帶有二維微調裝置的第一平面反射鏡和帶有二維微調裝置的第二平面反射鏡，使得第一束平行光線經第一和第二平面反射鏡兩次反射後沿第二束平行光線的出射光路逆向返回，並經過第一偏振分光器90°反射，透過透鏡入射到角度探測器上；同樣，也使得第二束平行光線經第二和第一平面反射鏡兩次反射後沿第一束平行光線的出射光路逆向返回，並透過第一偏振分光器和透鏡入射到角度探測器上；其中，所述的第一和第二平面反射鏡的夾角粗調為近似90°；(3)細調第一和第二平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數；重複細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數相同，此時，第一和第二平面反射鏡呈90°拼接；(4)將第一和第二平面反射鏡固定後整體旋轉，增加帶有二維微調裝置的第三平面反射鏡，使第三和第一平面反射鏡取代步驟(2)中的第一和第二平面反射鏡，置於第一束和第二束平行光線的光路中，細調第三和第一平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數；重複細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數相同，此時，第三和第一平面反射鏡呈90°拼接；將第三平面反射鏡與第一和第二平面反射鏡固定在一起；(5)將固定好的第一、第二和第三平面反射鏡整體旋轉，使第三平面反射鏡和第二平面反射鏡取代步驟(2)中的第一和第二平面反射鏡，置於第一束和第二束平行光線的光路中，微調第三和第二平面反射鏡的夾角，記錄下第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數；重複細調操作若干次，直至第一束和第二束平行光線在角度探測器上的讀數相同，此時，第二和第三平面反射鏡呈90°拼接；至此，第一、第二和第三平面反射鏡兩兩相互垂直構成一空心角錐稜鏡；(6)撤走遮住第三束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第一束和第二束平行光線，旋轉調整所述空心角錐稜鏡的位置，使得第三束平行光線直接入射到所述空心角錐稜鏡的第一平面反射鏡上，第三束平行光線與其入射的平面反射鏡的夾角粗調為近似90°；整體旋轉微調所述空心角錐稜鏡的位置，使得第三束平行光線被所述空心角錐稜鏡的第一平面反射鏡反射後，再次被第一二維可調小平面反射鏡反射，透射經過第二偏振分光器和第二λ/4波片後，再經第一偏振分光鏡反射，經透鏡匯聚後，在角度探測器上的讀數為0；(7)撤走遮住第二束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第一束和第三束平行光線，在第二束平行光線的光路上增加第二二維可調小平面反射鏡，第二束平行光線經過第二二維可調小平面反射鏡反射後的光線為第四束光線，其中第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角近似為90°，第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第二平面反射鏡的夾角近似為45°；細調第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角以及第二二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第二平面反射鏡的夾角，使得第四束光線經過所述空心角錐稜鏡的第二平面反射鏡逆向反射，再通過第二二維可調小平面反射鏡反射後的光線經第二偏振分光器反射，透過第二λ/4波片，再經第一偏振分光器反射後的光線，經透鏡匯聚在角度探測器上的讀數也為0；(8)撤走遮住第一束平行光線的擋光紙板，用擋光紙板遮住第二束和第三束平行光線，在第一束平行光線的光路上增加第三二維可調小平面反射鏡，第一束平行光線經過第三二維可調小平面反射鏡反射後的光線為第五束光線，其中第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角近似為45°，第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第一平面反射鏡的夾角近似為45°；細調第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡的夾角以及第三二維可調小平面反射鏡與所述空心角錐稜鏡的第一平面反射鏡的夾角，使得第五束光線入射到所述空心角錐稜鏡的第三平面反射鏡上逆向反射後，被第三二維可調小平面反射鏡反射後的光線經過第一λ/4波片後，經第一偏振分光器透射後的光線，經透鏡匯聚在角度探測器上的讀數也為0；(9)撤去空心角錐稜鏡和擋光紙板，第四束光線、第三束平行光線和第五束光線兩兩相互垂直。
2.如權利要求1所述的三束光線兩兩垂直的調整方法，其特徵在於所述的第一、第二 和第三平面反射鏡為高精度平面反射鏡。
3.如權利要求1或2所述的三束光線兩兩垂直的調整方法，其特徵在於所述的第一、 第二和第三平面反射鏡的面形精度的均方根值為0. 011人，PV值為0. 071人，人=632. 8nm, 表面粗糙度的均方根值為0. 75nm。
4.如權利要求1所述的三束光線兩兩垂直的調整方法，其特徵在於所述的角度探測 器由正透鏡和位於其焦點上的探測器組成。
5.如權利要求4所述的三束光線兩兩垂直的調整方法，其特徵在於所述的正透鏡為 透鏡組，所述的探測器位於所述的透鏡組的有效焦面上。
6.如權利要求4或5所述的三束光線兩兩垂直的調整方法，其特徵在於所述的探測 器為四象限探測器、位置敏感探測器或電荷耦合器件。
全文摘要
本發明公開了一種具有通用性的三束光線兩兩垂直的調整方法，先由準直雷射產生三束平行誤差在0.2弧秒以下的相互平行的光線，調整設置在三束平行光線光路中三個帶有二維微調裝置的平面反射鏡的位置，直至三束平行光線在角度探測器上的讀數相同，使得三個平面反射鏡兩兩垂直，構成空心角錐稜鏡；然後結合調整空心角錐稜鏡的整體位置和設置在三束平行光線的光路中的兩個二維可調小平面反射鏡的位置，使得其中兩束平行光線經這兩個二維可調小平面反射鏡反射的光線和第三束平行光線在角度探測器上的讀數為0，得到三束兩兩垂直的光線。本發明的調整方法不需要通過精確的角度調整至90°，避免角度測量誤差，調整方便，精度高，優於0.2弧秒。
文檔編號G01B11/26GK101872074SQ20101020234
公開日2010年10月27日 申請日期2010年6月13日 優先權日2010年6月13日
發明者劉旭, 匡翠方, 王婷婷, 郝翔 申請人:浙江大學