金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法

2023-06-17 23:48:21

專利名稱：金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法
技術領域：
本方法涉及一種配合物的解配方法，尤其涉及金屬有機物與乙醚配合物的解配方法。
背景技術：
化合物半導體超薄型膜材料是製備新型光電半導體化合物材料的基礎源材料，廣泛應用於金屬有機化學氣相沉積工藝和金屬有機 分子束外延(簡稱M0MBE)等技術中。三甲基鎵、三甲基鋁、三甲基銦(MO源)是製造光電化合物半導體材料的主要金屬源。儘管業界對製備MO源有一定研究，但是MO源的純度是其高品質的關鍵。由此在提純的方法上有待於改進。

發明內容
鑑於現有技術的不足，本發明提供了一種金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其能簡化工藝且易於控制。為了實現本發明的目的，本發明提供一種金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，包括步驟步驟一將原料置於充滿惰性氣體的解配釜中，所述原料含有MO源與乙醚的配合物；在攪拌條件下將選自胺類化合物或高聚醚的配體物加入解配釜中；加入配體物之後，發生置換反應，以獲得配體物與MO源配合物；將解配釜置換反應形成的乙醚蒸出並冷凝回收；步驟二 將解配釜中未反應的MO源與乙醚的配合物蒸發並冷凝回收；步驟三將解配釜中的配體物與MO源配合物進行解配，解配後得到的配體物留在解配釜中，MO源以氣態形式溢出，且冷凝回收；步驟四將解配後的留在解配釜中的配體物進行蒸發並冷凝回收。本發明的有益效果如下。本發明提供的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其能簡化工藝且易於控制，原料易得且回收率高，產品純度高，非常適合大規模工業化生產。
具體實施例方式首先說明根據本發明的金屬有機物與乙醚配合物的解配方法。根據本發明的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，包括步驟步驟一將原料置於充滿惰性氣體的解配釜中，所述原料含有MO源與乙醚的配合物；在攪拌條件下將選自胺類化合物或高聚醚的配體物加入解配釜中；加入配體物之後，發生置換反應，以獲得配體物與MO源配合物；將解配釜置換反應形成的乙醚蒸出並冷凝回收；步驟二 將解配釜中未反應的MO源與乙醚的配合物蒸發並冷凝回收；步驟三將解配釜中的配體物與MO源配合物進行解配，解配後得到的配體物留在解配釜中，MO源以氣態形式溢出，且冷凝回收；步驟四將解配後的留在解配釜中的配體物進行蒸發並冷凝回收。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，所述惰性氣體為氮氣、氬氣或氦氣。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，所述MO源為三甲基鎵或三甲基鋁或三甲基銦；所述胺類化合物為三正丁胺、乙二胺、二異丙胺；所述高聚醚為聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O) nCH3，n=3 8)。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，還包括中間步驟在步驟二之後且在步驟三之前，將解配釜中未反應的配體物蒸發且冷凝回收。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，還包括步驟在步驟四之後，重複步驟三和步驟四至少一次。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，在步驟一中，將解配釜置換反應形成的乙醚蒸出時溫度為5(T80°C且壓力為常壓、或者溫度為5(T80°C下且真空度為50 70KPa。 在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，在步驟二中，將解配釜中未反應的MO源與乙醚的配合物蒸發時溫度為6(T80°C、真空度為0.8 3KPa。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，在步驟三中，將解配釜中的配體物與MO源配合物進行解配時溫度為13(Tl7(TC、真空度為7 20KPa。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，在步驟四中，將解配後的留在解配釜中的配體物進行蒸發時溫度為6(T90°C、真空度為
0.7 lKPa。在根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法中，優選地，在所述中間步驟中，將解配釜中未反應的配體物蒸發時溫度為80°C、真空度為0. 7KPa。其次說明根據本發明所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法的實施例。實施例I往充滿氮氣的解配釜中加入1470g乙醚與三甲基鎵的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1620g三正丁胺,升溫至70°C,抽真空減壓至60KPa,蒸發冷凝回收到270g乙醚；將解配釜升溫至80°C，抽真空減壓至lKPa，蒸發冷凝回收到300g乙醚與三甲基鎵的配合物；將解配釜升溫至150°C，抽真空至為20KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到600g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸發冷凝回收到IOOOg三正丁胺；將解配釜升溫至150°C，抽真空至20KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到240g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸發冷凝回收到600g三正丁胺。實施例2往充滿氮氣的解配釜中加入1470g乙醚與三甲基鎵的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1620g乙二胺，升溫至70°C，常壓下蒸發冷凝回收到220g乙醚；將解配釜升溫至80°C，抽真空減壓至lKPa，蒸發冷凝回收到330g乙醚與三甲基鎵的配合物；
將解配釜升溫至150°C，抽真空至20KPa，三甲基鎵解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到590g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至0. 8KPa，蒸發冷凝回收IOOOg乙二胺；將解配釜升溫至150°C，抽真空至為20KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到200g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸發冷凝回收到600g乙二胺。實施例3往充滿氬氣的解配釜中加入1250g乙醚與三甲基鋁的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1600g三正丁胺，升溫至80°C，常壓下蒸發冷凝回收到300g乙醚； 將解配釜保持在80°C，抽真空減壓至2KPa並蒸發冷凝回收到260g乙醚與三甲基鋁的配合物；將解配釜升溫至160°C，抽真空至為15KPa，三甲基鋁經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到460g三甲基鋁；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸發冷凝回收到IlOOg三正丁胺；將解配釜升溫至170°C，抽真空至為lOKPa，三甲基鋁經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到200g三甲基鋁；將解配釜的溫度降至70°C，抽真空至0. 8KPa，蒸發冷凝回收到450g三正丁胺。實施例4往充滿氦氣的解配釜中加入1530g乙醚與三甲基銦的配合物，在攪拌條件下，逐步加入ISOOg三正丁胺，升溫至50°C，常壓下蒸發回收300g乙醚後；將解配釜升溫至80°C，抽真空減壓至lKPa，蒸發冷凝回收到300g乙醚與三甲基銦的配合物；將解配釜的溫度保持在80°C，抽真空至0. 7KPa，蒸發回收230g三正丁胺。將解配釜升溫至160°C，抽真空至為15KPa，三甲基銦經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到600g三甲基銦；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至0. 9KPa，蒸發冷凝回收到920g三正丁胺；將解配釜升溫至170°C，抽真空至為lOKPa，三甲基銦經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到130g三甲基銦；將解配釜的溫度降至60°C，抽真空至I. OKPa,蒸發冷凝回收到620g三正丁胺。實施例5往充滿氬氣的解配釜中加入1470g乙醚與三甲基鎵的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1700g乙二胺,升溫至80°C,抽真空減壓至60KPa,蒸發冷凝回收到270g乙醚；將解配釜保持在80°C，抽真空減壓至3KPa，蒸發冷凝回收到280g乙醚與三甲基鎵的配合物；將解配釜升溫至150°C，抽真空至為20KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到530g三甲基鎵；將解配爸的溫度降至60°C,抽真空至IKPa,蒸發冷凝回收到IlOOg乙二胺；將解配釜升溫至150°C，抽真空至為20KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到180g三甲基鎵；
將解配爸的溫度降至70°C,抽真空至0. 7KPa,蒸發冷凝回收到580g乙二胺。實施例6往充滿氦氣的解配釜中加入1470g乙醚與三甲基鎵的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1700g 二異丙胺,升溫至50°C,抽真空減壓至60KPa,蒸發冷凝回收到250g乙醚；將解配釜升溫至60°C，抽真空減壓至3KPa，蒸發回收到300g乙醚與三甲基鎵的配合物；將解配釜升溫至130°C，抽真空至為20KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到450g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至60°C，抽真空至lKPa，蒸發冷凝回收到1120g 二異丙胺；將解配釜升溫至140°C，抽真空至為lOKPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到190g三甲基鎵；·將解配爸的溫度降至70°C,抽真空至0. 7KPa,蒸發冷凝回收到540g 二異丙胺。實施例7往充滿氮氣的解配釜中加入1470g乙醚與三甲基鎵的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3,n=4),升溫至60°C，抽真空減壓至70KPa，蒸發冷凝回收到280g乙醚；將解配爸升溫至70°C,抽真空減壓至0. 8KPa,蒸發冷凝回收到300g乙醚與三甲基鎵的配合物；將解配釜升溫至130°C，抽真空至為12KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到530g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至90°C，抽真空至0. 8KPa，蒸發冷凝回收到1200g聚乙二醇二甲醚；將解配釜升溫至130°C，抽真空至為lOKPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到210g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至60°C，抽真空至lKPa，蒸發冷凝回收到480g聚乙二醇二甲醚。實施例8往充滿氮氣的解配釜中加入1500g乙醚與三甲基銦的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3，n=3)，升溫至60°C，抽真空減壓至70KPa，蒸發冷凝回收到260g乙醚；將解配釜升溫至70°C，抽真空減壓至0. 8KPa，蒸發冷凝回收到280g乙醚與三甲基銦的配合物；將解配釜升溫至130°C，抽真空至為12KPa，三甲基銦經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到540g三甲基銦；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至lKPa，蒸發冷凝回收到1180g聚乙二醇二甲醚；將解配釜升溫至130°C，抽真空至為8KPa，三甲基銦經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到230g三甲基銦；將解配釜的溫度降至60°C，抽真空至0. 7KPa，蒸發冷凝回收到500g聚乙二醇二甲醚。實施例9往充滿氮氣的解配釜中加入1470g乙醚與三甲基鎵的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3，n=8)，升溫至60°C，抽真空減壓至50KPa，蒸發冷凝回收到260g乙醚；將解配釜保持在60°C，抽真空減壓至lKPa，蒸發冷凝回收到300g乙醚與三甲基鎵的配合物；將解配釜升溫至130°C，抽真空至為15KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到530g三甲基鎵；
將解配釜的溫度降至70°C，抽真空至lKPa，蒸發冷凝回收到1150g聚乙二醇二甲醚；將解配釜升溫至130°C，抽真空至為8KPa，三甲基鎵經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到220g三甲基鎵；將解配釜的溫度降至60°C，抽真空至0. 8KPa，蒸發冷凝回收到520g聚乙二醇二甲醚。實施例10往充滿氮氣的解配釜中加入1500g乙醚與三甲基鋁的配合物，在攪拌條件下，逐步加入1700g聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O)nCH3,n=4),升溫至60°C，抽真空減壓至60KPa，蒸發冷凝回收到270g乙醚；將解配爸升溫至80°C,抽真空減壓至0. 9KPa,蒸發冷凝回收到300g乙醚與三甲基鋁的配合物；將解配釜升溫至140°C，抽真空至為lOKPa，三甲基鋁經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到520g三甲基鋁；將解配釜的溫度降至80°C，抽真空至lKPa，蒸發冷凝回收到1150g聚乙二醇二甲醚；將解配釜升溫至140°C，抽真空至為7KPa，三甲基鋁經解配後以氣態形式溢出並在收集罐中冷凝收集到210g三甲基鋁；將解配釜的溫度降至60°C，抽真空至0. 7KPa，蒸發冷凝回收到480g聚乙二醇二甲醚。最後說明實施例1-10的檢測結果。通過ICP-0ES，核磁共振檢測出MO源的收率。表I給出了實施例1_10的檢測結果。表I實施例1-10的檢測結果
權利要求
1.一種金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，包括步驟 步驟一將原料置於充滿惰性氣體的解配釜中，所述原料含有MO源與乙醚的配合物；在攪拌條件下將選自胺類化合物或高聚醚的配體物加入解配釜中；加入配體物之後，發生置換反應，以獲得配體物與MO源配合物；將解配釜置換反應形成的乙醚蒸出並冷凝回收； 步驟二 將解配釜中未反應的MO源與乙醚的配合物蒸發並冷凝回收； 步驟三將解配釜中的配體物與MO源配合物進行解配，解配後得到的配體物留在解配釜中，MO源以氣態形式溢出，且冷凝回收； 步驟四將解配後的留在解配釜中的配體物進行蒸發並冷凝回收。
2.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於，所述惰性氣體為氮氣、氬氣或氦氣。
3.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於， 所述MO源為三甲基鎵或三甲基鋁或三甲基銦； 所述胺類化合物為三正丁胺、乙二胺、二異丙胺； 所述高聚醚為聚乙二醇二甲醚(CH3O (CH2CH2O) nCH3，n=3^8)。
4.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於，還包括中間步驟在步驟二之後且在步驟三之前，將解配釜中未反應的配體物蒸發且冷凝回收。
5.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於，還包括步驟在步驟四之後，重複步驟三和步驟四至少一次。
6.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於，在步驟一中，將解配釜置換反應形成的乙醚蒸出時溫度為5(T80°C且壓力為常壓、或者溫度為5(T80°C下且真空度為50 70KPa。
7.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於，在步驟二中，將解配釜中未反應的MO源與乙醚的配合物蒸發時溫度為6(T80°C、真空度為0.8 3KPa。
8.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於，在步驟三中，將解配釜中的配體物與MO源配合物進行解配時溫度為13(Tl70°C、真空度為7 20KPa。
9.根據權利要求I所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，在步驟四中，將解配後的留在解配釜中的配體物進行蒸發時溫度為6(T90°C、真空度為0. 7 lKPa。
10.根據權利要求5所述的金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，其特徵在於，在所述中間步驟中，將解配釜中未反應的配體物蒸發時溫度為80°C、真空度為0. 7KPa。
全文摘要
本發明提供一種金屬有機化合物與乙醚配合物的解配方法，包括步驟將原料置於充滿惰性氣體的解配釜中，所述原料含有MO源與乙醚的配合物；在攪拌條件下將選自胺類化合物或高聚醚的配體物加入解配釜中；加入配體物之後，發生置換反應，以獲得配體物與MO源配合物；將解配釜置換反應形成的乙醚蒸出並冷凝回收；將解配釜中未反應的MO源與乙醚的配合物蒸發並冷凝回收；將解配釜中的配體物與MO源配合物進行解配，解配後得到的配體物留在解配釜中，MO源以氣態形式溢出，且冷凝回收；將解配後的留在解配釜中的配體物進行蒸發並冷凝回收。所述解配方法能簡化工藝且易於控制，原料易得且回收率高，產品純度高，非常適合大規模工業化生產。
文檔編號C07C43/06GK102718784SQ20121023265
公開日2012年10月10日 申請日期2012年7月5日 優先權日2012年7月5日
發明者劉留, 朱世會, 朱世明, 朱劉 申請人:廣東先導稀材股份有限公司