非點亮檢查裝置的製作方法

2023-06-05 19:57:46 1

專利名稱：非點亮檢查裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種將檢查光照在待檢查面板上而檢測該待檢查面板是否存在灰塵 等異物、氣泡等缺陷的非點亮檢查裝置。
背景技術：
非點亮檢查是一種將背光燈的光照在顯示面板上而檢測該顯示面板是否存在異 物、缺陷的檢查。一般公知上述非點亮檢查。例如有專利文獻1所述的那樣的例子。在通 過使探針與封入有液晶的顯示面板的電極接觸而進行的點亮檢查之前進行該非點亮檢查。 非點亮檢查裝置設在生產線等的輸送機附近而隨時檢查被輸送過來的顯示面板。具體而 言，利用機械手自輸送機吸附顯示面板，然後將顯示面板載置在非點亮檢查裝置上，從而利 用CCD攝像機獲取圖像，進行檢查。但是，在該情況下，檢查耗費時間。因此，最近幾年為了縮短在顯示面板的檢查工 序中的獲取時間(read time)，公開了一種如專利文獻2所述通過將檢查裝置安裝在輸送 裝置上而能夠同時進行非點亮檢查和輸送地實現了增值的檢查裝置。該檢查裝置是如下裝 置，即、利用設在進行輸送移動操作的玻璃板下方的光源將光照射在該玻璃板上、然後利用 設在玻璃板上方的線陣相機(line camera)沿與玻璃板的輸送方向正交的方向進行掃描拍 照、從而根據所獲得的亮部和暗部的明暗信號檢測玻璃板上的缺陷。利用該檢查裝置照射 光，以照亮玻璃板中的非遮光性缺陷而使該非遮光性缺陷形成為亮部、使光被玻璃板中的 遮光性異物遮擋而使該遮光性異物形成為暗部，從而識別遮光性異物缺陷。專利文獻1 日本特開2008-20588號公報專利文獻2 日本特開平11-337504號公報但是，在一直自配置在輸送裝置下表面側的背光燈向安裝在輸送裝置上表面側的 C⑶攝像機照射光時，會產生模糊(smear)、出現圖像散亂現象(blooming)，從而無法判斷 面板是否存在缺陷。另外，由於無法控制背光燈的照射範圍，因此在改變顯示面板的尺寸而檢查較小 的面板時等情況下，會發生漏光，從而如上所述會產生模糊、出現圖像散亂現象，無法判斷 面板是否存在缺陷。

發明內容
本發明是鑑於上述問題而做成的，目的在於提供一種無論待檢查面板是多大尺寸 以及待檢查面板的其他條件如何、都能準確地判斷待檢查面板是否存在缺陷的非點亮檢查
直ο本發明的非點亮檢查裝置用於對待檢查面板進行非點亮檢查，其特徵在於，該非 點亮檢查裝置包括線陣相機，其與用於輸送上述待檢查面板的輸送裝置面對地設置、用於 獲取被該輸送裝置輸送的上述待檢查面板的圖像；背光燈，其以與上述線陣相機之間夾設 有上述輸送裝置的狀態與上述線陣相機面對地配置、且能將光照射在上述待檢查面板上；
3探測面板用傳感器(panel sensor)，其在上述線陣相機的上遊側檢測被上述輸送裝置輸送 過來的上述待檢查面板的位置；光控制板，其控制自上述背光燈射出的光，以使該光高效率 地射入上述線陣相機；控制部，其在經過了從利用該探測面板用傳感器檢測到上述待檢查 面板的位置到該待檢查面板進入到上述線陣相機的視場中為止的設定時間之後點亮上述 背光燈。該非點亮檢查裝置能夠抑制產生模糊、出現圖像散亂現象等，從而能夠進行準確 的檢查。此外，該非點亮檢查裝置還能調節背光燈的光的照射範圍從而能夠抑制在進行非 點亮檢查時發生誤判斷。


圖1是表示用於輸送待檢查面板的輸送裝置的俯視圖。圖2是表示本發明的第1實施方式的非點亮檢查裝置的概略側視圖。圖3是表示本發明的第1實施方式的非點亮檢查裝置的概略主視圖。圖4是表示本發明的第1實施方式的非點亮檢查裝置的遮光板的俯視圖。圖5是表示本發明的第2實施方式的非點亮檢查裝置的概略主視圖。圖6是表示本發明的第2實施方式的非點亮檢查裝置的光控制板的俯視圖。圖7是表示本發明的第3實施方式的非點亮檢查裝置的概略側視圖。圖8是表示本發明的變形例的俯視圖。
具體實施例方式下面，參照

本發明的實施方式的非點亮檢查裝置。本發明的非點亮檢查 裝置是一種改進後的檢查裝置，其能夠防止在待檢查面板未處於背光燈與檢查用攝像機之 間時背光燈的光直接射入檢查攝像機而導致無法判斷待檢查面板的缺陷，並且能夠抑制在 待檢查面板的尺寸變化時發生誤判斷。第1實施方式本實施方式的非點亮檢查裝置被組裝在用於輸送待檢查面板的輸送裝置上。輸送 裝置是設在待檢查面板的生產線等上的一般裝置。圖1表示該輸送裝置的一例。圖1中的 輸送裝置11是利用被驅動軸12支承的傳送輥(conveyer roller) 13輸送待檢查面板2的 裝置。該輸送裝置11將設在待檢查面板的生產線等上的多個處理裝置分別連接起來。輸送裝置11在2個側壁部14之間分別安裝有空出恆定間隔地配置的多個驅動軸 12。在各驅動軸12上安裝有多個傳送輥13。驅動軸12與未圖示的皮帶等相連結而被施加 動力，從而能夠使傳送輥13旋轉。通過使各驅動軸12上的傳送輥13分別被驅動旋轉，能 以恆定的速度輸送待檢查面板2。另外，待檢查面板2由用於構成上層的液晶部3、和用於 構成下層的下表面偏振片4構成。非點亮檢查裝置21是用於使被上述輸送裝置11輸送的待檢查面板2保持輸送狀 態而持續被輸送地對該待檢查面板2進行檢查的裝置。如圖2、圖3所示，非點亮檢查裝置 21由線陣相機22、背光燈31、遮光板15、探測面板用傳感器24和控制部25構成。線陣相機22是用於獲取被輸送裝置11輸送的待檢查面板2的圖像的裝置。線陣 相機22由一維攝像機構成，且能夠沿與待檢查面板2的輸送方向正交的方向(橫向)進行掃描。以使線陣相機22面朝被輸送裝置11輸送的待檢查面板2的狀態，將該線陣相機22 配置在該待檢查面板2的一側(上側)，從而拍攝透過待檢查面板2的光。具體而言，將形 成為拱形(arch)的攝像機框架23分別安裝在輸送裝置11的2個側壁部14上，從而將該 攝像機框架23架設在輸送裝置11的上側。由此，沿與待檢查面板2的輸送方向正交的橫 向配置攝像機框架23。然後，將多個線陣相機22排列配置在攝像機框架23上。由此能夠 沿橫向排列各線陣相機22且覆蓋待檢查面板2的整個寬度。然後，利用輸送裝置11在各線陣相機22的正下方輸送待檢查面板2，從而這些線 陣相機22能夠掃描待檢查面板2的整個表面。背光燈31是用於從待檢查面板2的下側向該待檢查面板2照射光而檢測待檢查 面板2上的缺陷、異物等的照明部件。以在背光燈31與線陣相機22的中間夾設有輸送裝 置11的狀態與線陣相機22面對地配置背光燈31。S卩、將背光燈31配置在被輸送裝置11 輸送的待檢查面板2的另一側(下側)且與上述線陣相機22相對的位置(線陣相機22的 正下方的位置)上。沿與待檢查面板2的輸送方向正交的方向且與上述線陣相機22的掃 描方向匹配地配置該背光燈31。背光燈31由直線狀的發光體構成，且只照射線陣相機22 的掃描區域。遮光板15是用於控制自背光燈31射出的光而使該光高效率地射入上述線陣相機 22的光控制板。具體而言，遮光板15使自背光燈31射出的光照射在上述線陣相機22的整 個視場(掃描區域)內而不照射除該視場之外的地方。將遮光板15配置在各線陣相機22 與背光燈31之間。具體而言，將遮光板15配置在各線陣相機22與背光燈31之間且配置 在傳送輥13與背光燈31之間。如圖4所示，遮光板15由光不能通過的板材構成，且在該遮光板15的中央部設有 能使光通過的狹縫16。該狹縫16使來自背光燈31的光自待檢查面板2的下側聚攏而只 照射在上述線陣相機22的整個視場內。該狹縫16形成為具有能夠使來自背光燈31的光 自待檢查面板2的下側照射在整個視場內的尺寸的長槽狀。狹縫16的長度與待檢查面板 2的寬度基本相同。至少是比待檢查面板2的液晶部3寬的寬度。可以比下表面偏振片4 的寬度窄。在遮光板15的端部與狹縫16的端部之間的寬度形成為遮光寬度。另外，將狹 縫16的寬度設為能供各線陣相機22掃描的寬度。即、使狹縫16具有一定程度的寬度。遮光板15形成為能夠替換成與待檢查面板2的尺寸等條件相符的遮光板15的構 造。具體而言，利用螺絲等安裝配件將遮光板15能裝卸地安裝在輸送裝置11的側壁部14 上。在側壁部14上開設有能供更換遮光板15的開口(未圖示)。與照射在待檢查面板2 上的背光燈的光的寬度等條件相符地替換具有不同的狹縫16的遮光板15，從而改變背光 燈的光所透過的範圍。將遮光板15插入並固定在上述開口中。作為遮光板15的固定方 法，可以利用安裝配件牢固地固定遮光板15，也可以利用摩擦板等支承該遮光板15以使其 不會偏離。探測面板用傳感器24是用於在線陣相機22的上遊側檢測被輸送裝置11輸送過 來的待檢查面板2的位置的傳感器。如圖2所示，探測面板用傳感器24用於檢測待檢查面 板2正在接近各線陣相機22附近的這一情況。探測面板用傳感器24配置在背光燈31以 及遮光板15的附近。使用接近傳感器等能以非接觸方式檢測到待檢查面板2的存在的傳 感器為探測面板用傳感器24。探測面板用傳感器24配置在待檢查面板2的輸送方向上的
5上遊側附近，用於檢測被輸送過來的待檢查面板2接近到跟前位置的這一情況。將利用該 探測面板用傳感器24檢測到的待檢查面板2的上述位置情況作為觸發信號(trigger)而 點亮背光燈31。這是為了解決模糊的產生、圖像散亂現象的出現等問題。由於自背光燈31 直接射入線陣相機22的光、和在檢查待檢查面板2時射入線陣相機22的光在亮度上存在 大的差別，所以若一直點亮著背光燈31，則有時會產生模糊、出現圖像散亂現象。因此，利 用探測面板用傳感器24檢測待檢查面板2的通過情況，只在該待檢查面板2經過線陣相機 22正下方時點亮背光燈31。即、進行控制使背光燈31通常處於熄滅狀態、只在待檢查面板 2經過線陣相機22的正下方時點亮背光燈31。準確限定探測面板用傳感器24的設置位置。這是為了在利用探測面板用傳感器 24檢測到待檢查面板2的位置之後，準確限定直到待檢查面板2的前端進入線陣相機22的 正下方視場為止的時間、並準確限定直到待檢查面板2的後端經過線陣相機22的正下方視 場為止的時間。即、準確限定探測面板用傳感器24的設置位置是為了在待檢查面板2即將 進入線陣相機22的視場之時點亮背光燈31，且在待檢查面板2經過了線陣相機22的視場 之後隨即熄滅背光燈31。此時，還要考慮到背光燈31的點亮響應時間來設定探測面板用傳 感器24的位置。因此，由於根據從探測面板用傳感器24的設置位置到線陣相機22的視場 的距離、和待檢查面板2的輸送速度能夠得知待檢查面板2到達上述視場的時間(從檢測 到待檢查面板2的位置時直到進入線陣相機22的視場中的時間)，所以進行控制，使得在 即將經過待檢查面板2的前端到達上述視場的時間之時點亮背光燈31、且在經過了待檢查 面板2的後端到達上述視場的時間後隨即熄滅背光燈31。此時，由傳感器檢測待檢查面板 是否存在於視場中，且還要考慮到背光燈31點亮或熄滅的響應時間地設定時間。由控制部 25進行上述控制。另外，也可以將探測面板用傳感器24安裝在通過預先算出根據待檢查面板2的輸 送速度和背光燈31的響應時間得出的距離d(參照圖2)而限定的設置位置上。另外，根據 待檢查面板2的尺寸不同，輸送速度有時不是恆定的，因此也可以安裝用於使探測面板用 傳感器24沿待檢查面板2的輸送方向移動的移動機構，從而能夠調整探測面板用傳感器24 的位置。此外，還可以沿橫向設置多個探測面板用傳感器24而能夠在多個位置上檢測待檢 查面板2。控制部25是用於進行圖像處理和點亮控制的裝置。具體而言，控制部25使探測 面板用傳感器24檢測待檢查面板2的位置，從而在經過了上述設定時間之後點亮以及熄滅 背光燈31。控制部25分別與探測面板用傳感器24、背光燈31、線陣相機22相連接(在圖 2、圖3中為了方便圖示而只表示出控制部25與線陣相機22相連接，但控制部25是與上述 構件全部相連接的)而控制它們。具體而言，控制部25是根據來自探測面板用傳感器24 的檢測信號而控制背光燈31的點亮、熄滅、並且獲取來自線陣相機22的圖像信息而進行圖 像處理的裝置。監控器26與該控制部25相連接。監控器26放映出線陣相機2的圖像以 供操作者進行確認等。上述那樣構成的非點亮檢查裝置21起到下述作用。在開始進行非點亮檢查時同時開啟線陣相機22而使探測面板用傳感器24進行工 作。然後，在探測面板用傳感器24檢測到被輸送裝置11輸送過來的待檢查面板2的前端 時，將該檢測信號發送給控制部25。
控制部25在從接收到來自探測面板用傳感器24的檢測信號之時起經過了設定時 間之後點亮背光燈31，從而在被檢測面板2的前端即將進入線陣相機22的視場之時或在待 檢查面板2的下表面偏振片4進入線陣相機22的視場、液晶部3即將進入該視場之時照射 整個視場。即、利用遮光板15的狹縫16隻照射線陣相機22的視場的區域。然後，控制部25在距離接收到來自探測面板用傳感器24的不存在待檢查面板2 的信號(待檢查面板2經過了線陣相機22的視場的信號)之時起經過了設定時間之後，熄 滅背光燈31。即、在待檢查面板2的後端離開線陣相機4的視場後隨即熄滅背光燈31、或 在待檢查面板2的液晶部3離開視場而下表面偏振片4還在視場中的時刻熄滅背光燈31， 從而能夠防止背光燈31的光直接輸入線陣相機22中。然後，控制部25對由線陣相機22獲取的圖像進行處理而查看亮度與其他部分不 同的點、線等。例如在常白(normallywhite)的情況下查看變成黑影的點、線等、在常黑 (normallyblack)的情況下查看發亮的點、線等。若沒有上述點、線等則判斷為合格，若有上 述點、線等則判斷為殘次，且對殘次的待檢查面板2進行去除等處理。如上所述，通過在最佳時間控制背光燈31點亮/熄滅，能夠抑制產生模糊、出現圖 像散亂現象，從而能夠提高檢查精度。此外，通過利用遮光板15調節背光燈的光的照射範圍而能夠防止背光燈的光直 接射入線陣相機22，因此能夠抑制在進行非點亮檢查時發生誤判斷。另外，由於線陣相機22由一維攝像機構成、背光燈31由直線狀的發光體構成，因 此相比以往的利用二維攝像機構成面狀的發光體的情況，本發明能夠大幅縮減成本。第2實施方式接下來，說明本發明的第2實施方式。本實施方式的非點亮檢查裝置的整體結構 與上述第1實施方式的非點亮檢查裝置相同，因此對於相同的構件標註相同的附圖標記而 省略說明。本實施方式的裝置還能應用在改變了待檢查面板2的面板尺寸的情況中。當在背 光燈31的光的照射範圍恆定的情況下改變待檢查面板2的面板尺寸時，自背光燈31射出 的光不是自待檢查面板2溢出、就是無法照射整個待檢查面板2。為了解決該問題而使用遮 光板15』。該遮光板15』是一種控制自上述背光燈31射出的光而使該光高效率地射入上述 線陣相機22的光控制板。遮光板15』由2張遮光板構成。即、如圖5、圖6所示，遮光板15』由分開在左右兩 側的2張遮光板構成、並且以使各遮光板能滑動的方式支承該各遮光板，通過調整各遮光 板的間隔(狹縫)16』而使上述背光燈31的光的寬度與新的待檢查面板的尺寸相符。在各遮光板15』上設有長孔17。設在側壁部14上的螺絲等安裝器具(未圖示) 貫穿地設在長孔17中，從而利用該安裝器具保持遮光板15』。通過使遮光板15』沿長孔17 滑動而能夠任意放大或縮小遮光寬度，從而能夠與面板尺寸的變化對應地調節遮光寬度。 遮光板15』的滑動機構中安裝有電動機那樣的驅動裝置，從而在面板尺寸變化時輸入數據 以調節遮光寬度，但也可以在面板尺寸變化時手動調節遮光寬度。非點亮檢查裝置在待檢查面板經過檢查裝置21時利用線陣相機22依次獲取待檢 查面板的圖像，然後利用控制部25根據該圖像數據判斷該待檢查面板是合格品還是殘次 品。如果在被檢測面板中混入有灰塵、氣泡，則背光燈的光會發生漫反射而透過偏振片，因此能夠辨別灰塵、氣泡。由此，本實施方式能夠起到與上述第1實施方式相同的作用、效果。第3實施方式接下來，說明本發明的第3實施方式。本實施方式的非點亮檢查裝置的整體結構 與上述第1實施方式的非點亮檢查裝置相同，因此對於相同的構件標註相同的附圖標記而 省略說明。本實施方式的非點亮檢查裝置具有偏振片。圖7表示對不具有偏振片4的待檢查面板2』進行非點亮檢查的實施例。在檢查 不具有偏振片4的待檢查面板2』時，自背光燈射出的光全都透過待檢查面板2』，從而存在 因高亮度的光射入線陣相機22而無法判斷該待檢查面板2』是合格品還是殘次品的問題。 因此，在本實施方式中設有光控制板4』。該光控制板4』是控制自上述背光燈31射出的光 而使該光高效率地射入上述線陣相機22的板材。上述光控制板4』由兩張偏振片構成。上述偏振片由1/4波片構成。使這兩張1/4 波片的偏振方向彼此錯開90°地配置該1/4波片。使一方的1/4波片面對上述線陣相機 22、且使另一方的1/4波片面對上述背光燈31地分別配置上述1/4波片。由此，通常利用一方的1/4波片和另一方的1/4波片阻擋自背光燈31射出的光， 而使線陣相機22拍攝的圖像變暗。在待檢查面板2』上存在異物的情況下，受到背光燈31側的1/4波片的作用而發 生了直線偏振的光因為異物的存在而發生漫反射，從而透過線陣相機22側的1/4波片。由 此，線陣相機22能在通常的圖像中檢測到點狀或線狀的光。由此，本實施方式的非點亮檢查裝置能夠抑制產生模糊、出現圖像散亂現象，從而 能夠提高檢查精度。此外，由於背光燈31的光不會直接射入線陣相機22，因此能夠抑制在 進行非點亮檢查時發生誤判斷。變形例在上述各實施方式中，設有2個線陣相機22，但由於待檢查面板2具有各種尺寸， 因此也可以與待檢查面板2的尺寸相符地設置1個或3個以上的線陣相機22。在該情況下 同樣能夠起到與上述各實施方式相同的作用、效果。在上述各實施方式中，利用攝像機框架23等將非點亮檢查裝置21 —體地組裝在 輸送裝置11上，但也可以將非點亮檢查裝置21作為獨立構件而適當地組裝在已有的輸送 裝置11上。例如，也可以使攝像機框架23等安裝器具具有能安裝在輸送裝置11上或自輸 送裝置11上拆下的結構，然後將該安裝器具組裝在已有的輸送裝置11上。也可以將安裝 器具形成為U字形而自輸送裝置11的側面將該安裝器具插入安裝在輸送裝置11上。在上述第1實施方式中，將遮光板15的狹縫16設定為恆定的長度，但遮光板15 也可以是能伸縮的結構，從而能夠調整狹縫16的長度。具體而言，如圖8所示，遮光板41 由滑動板片42和滑動支承片43構成。利用在第1實施方式的遮光板15的中央附近切割 該遮光板15而成的一方的片構成滑動板片42。以在第1實施方式的遮光板15的中央附近 切割了該遮光板15的狀態在該遮光板15的兩端部設置供上述滑動板片42的兩端部嵌合 的支承筒部44，從而構成滑動支承片43。由此，滑動板片42的兩端部與滑動支承片43的 各支承筒部44嵌合地進行滑動，從而調整狹縫45的長度。即、也可以能夠與待檢查面板2 的寬度尺寸相符地調節狹縫的長度，從而使上述背光燈31的光與上述待檢查面板2的寬度
8尺寸相符。在該情況下同樣能夠起到與上述各實施方式相同的作用、效果。另外，在上述各實施方式中，分別獨立地設置遮光板15和光控制板4』，但也可以 重疊地設置它們。另外，也可以設置用於支承上述第2實施方式中的2張遮光板的遮光寬度調節機 構。可以利用分別支承上述各遮光板而使該遮光板移動的由直動式電動機等構成的直動機 構構成該遮光寬度調節機構，從而操作者能夠一邊看著監控器26 —邊準確調節遮光板的 間隔，以使其與待檢查面板2的寬度相符。在上述各實施方式中，將上述探測面板用傳感器24固定在攝像機框架23上，但探 測面板用傳感器24也可以是能夠利用直動機構沿與待檢查面板2的輸送方向正交的方向 滑動的方式安裝在攝像機框架23上。另外，直動機構既可以是自動式機構，也可以是手動 式機構。本發明並不限定於上述各實施方式，只要不脫離本發明的主旨，就能進行各種變 更。特別是，能對遮光板的形狀、配置方式、移動機構等進行各種改進。上述第3實施方式所檢查的待檢查面板2』以處於設置偏振片4之前的階段的面 板為對象，作為最終的面板，有隻在待檢查面板2』的下側表面設有偏振片4的面板、只在待 檢查面板2』的上側表面設有偏振片4的面板、或在待檢查面板2』的上下兩側表面均設有 偏振片4的面板。工業實用件本發明的非點亮檢查裝置能夠用在對檢查光可透過的面板的檢查操作中，該面板 可以是需要檢測在該面板的內部、表面上是否存在灰塵等異物、氣泡等缺陷的所有面板。
權利要求
一種非點亮檢查裝置，其用於對待檢查面板進行非點亮檢查，其特徵在於，該裝置包括線陣相機，其與用於輸送上述待檢查面板的輸送裝置面對地設置、且用於獲取被該輸送裝置輸送的上述待檢查面板的圖像；背光燈，其以與上述線陣相機之間夾設有上述輸送裝置的狀態與上述線陣相機面對地配置、且能將光照射在上述待檢查面板上；探測面板用傳感器，其在上述線陣相機的上遊側檢測被上述輸送裝置輸送過來的上述待檢查面板的位置；光控制板，其控制自上述背光燈射出的光，以使該光高效率地射入上述線陣相機；控制部，其在經過了從利用該探測面板用傳感器檢測到上述待檢查面板的位置到該待檢查面板進入到上述線陣相機的視場中為止的設定時間之後點亮上述背光燈。
2.根據權利要求1所述的非點亮檢查裝置，其特徵在於， 上述光控制板由具有能供光透過的狹縫的遮光板構成；該遮光板的狹縫的寬度能夠調節，以使該狹縫的寬度與上述待檢查面板的寬度尺寸相 符，從而使上述背光燈的光與上述待檢查面板的寬度尺寸相符。
3.根據權利要求1所述的非點亮檢查裝置，其特徵在於，上述光控制板由分開在左右兩側的2張遮光板構成，且各遮光板被支承為被支承為可 滑動的狀態，通過調節各遮光板的間隔，能使上述背光燈的光的寬度與上述待檢查面板的 尺寸相符。
4.根據權利要求2所述的非點亮檢查裝置，其特徵在於， 能伸縮地構成上述遮光板，從而能夠調整上述狹縫的長度。
5.根據權利要求3所述的非點亮檢查裝置，其特徵在於， 上述2張遮光板被遮光寬度調節機構支承；該遮光寬度調節機構由分別支承上述各遮光板而使該遮光板移動的直動機構構成。
6.根據權利要求2所述的非點亮檢查裝置，其特徵在於，上述遮光板被安裝為能裝卸的狀態，且能替換上述遮光板，以使該遮光板與上述待檢 查面板的尺寸等條件相符。
7.根據權利要求1所述的非點亮檢查裝置，其特徵在於，上述探測面板用傳感器被安裝為能沿與待檢查面板的輸送方向正交的方向滑動的狀態。
8.根據權利要求1所述的非點亮檢查裝置，其特徵在於，上述光控制板由彼此的偏振方向錯開的兩張偏振片構成，其中一方的偏振片面對上述 線陣相機，另一方的偏振片面對上述背光燈。
全文摘要
本發明提供一種能夠抑制產生模糊、出現圖像散亂現象等而進行準確的檢查、能夠調節背光燈的光的照射範圍而抑制發生誤判斷的非點亮檢查裝置。該裝置用於對待檢查面板進行非點亮檢查。該裝置包括線陣相機，其與輸送裝置面對地設置、用於獲取被該輸送裝置輸送的上述待檢查面板的圖像；背光燈，其與上述線陣相機面對地配置、且將光照射在上述待檢查面板上；探測面板用傳感器，其在上述線陣相機的上遊側檢測被上述輸送裝置輸送過來的上述待檢查面板的位置；光控制板，其控制自上述背光燈射出的光，以使該光高效率地射入上述線陣相機；控制部，其在經過了到上述待檢查面板進入上述線陣相機的視場中為止的設定時間之後點亮上述背光燈。
文檔編號G01N21/88GK101887026SQ20101017416
公開日2010年11月17日 申請日期2010年5月13日 優先權日2009年5月13日
發明者水野邦廣 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司