快速閃光退火爐的六氣互鎖控制系統的製作方法
2023-06-12 13:34:51
專利名稱：快速閃光退火爐的六氣互鎖控制系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種控制方式，特別地涉及一種用於快速閃光退火爐中控制氣體的互
鎖控制方式，當快速閃光退火爐的工藝氣體需要切換時，必須要嚴格控制氣體之間的互鎖， 屬於半導體設備領域。
背景技術：
快速閃光退火爐的退火速度很快，作為離子注入後晶片退火的重要設備，現在離 子注入的粒子種類很多，快速閃光退火爐的工藝氣體很多，每種工藝氣體之間需要互鎖，本 發明專利採用光電隔離將控制電路與氣路驅動電路隔離，減少電磁閥門等執行件的操作帶 來的幹擾，採用多觸點繼電器，控制觸點間的通斷來實現氣路間互鎖，該設備工藝氣體系統 可以同氮氣(N2)，氧氣(02)，氨氣(NH3)，氯化氫(HCL)，氬氣(AR)和合成氣體。如果互鎖 沒有設計的好，有可能會使工藝氣體混合，為了解決這些問題，必須對快速退火爐的氣路互 鎖，否則會引起工藝氣體的混淆。
發明內容
本發明即是針對上述現有技術中的缺點而提出的一種工作可靠，原理簡單的互鎖 控制系統，該控制過程簡單，原理清晰。
本發明專利採用如下技術方案來實現光電隔離將控制電路與氣路驅動電路隔 離，減少電磁閥門等執行件的操作帶來的幹擾，採用多觸點繼電器，控制觸點間的通斷來實 現氣路間互鎖，具體原理見圖1。
本發明具有如下顯著優點 1.系統復位時，六種氣體的氣路全部鎖定在關閉狀態；
2.氬氣(AR)，氬氫混合氣(AR/H2)不能同時開；
3.氯化氫(HCL)，氨氣(NH3)不能同時打開；
4.氨氣(NH3)，氧氣(02)不能同時打開;
5.氧氣(02)，氬氫混合氣(AR/H2)不能同時開；
6.氨氣(NH3)，氬氫混合氣(AR/H2)不能同時開。
圖1為本發明的六路氣體互鎖的電氣原理圖。
具體實施例方式
快速閃光退火爐的工藝氣體很多，每種工藝氣體之間需要互鎖，本發明專利採用 光電隔離將控制電路與氣路驅動電路隔離，減少電磁閥門等執行件的操作帶來的幹擾，採 用多觸點繼電器，控制觸點間的通斷來實現氣路間互鎖，六氣路互鎖如圖1所示，現在以02 為例說明互鎖的方式。
如果要通工藝氣體02，則發一個低電平的指令到光電隔離晶片U1的7腳，使光電 隔離晶片U1的第四通道導通，使U1的9腳輸出高電平，則非門晶片U5G的12腳輸出為低 電平，這樣繼電器K14A的線苞得電，導致K14A的常開觸點9腳和10腳閉合，使串在12VDC 迴路的控制02電磁閥K1的線苞得電，具體導通的是通過K21的常閉9腳和8腳，K15的常 閉9腳和8腳，導通繼電器K14A的常開9腳和10腳，K2的常閉9腳和8腳，K13的常閉9 腳和8腳，K24的常閉9腳和8腳，K12的常閉9腳和8腳，Kl的常閉9腳和8腳，Kll的常 閉9腳和8腳到12VDC電源的地端。其餘的氣體的控制方式和02的控制方式一樣，在這裡 就不一一說明。 本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而 言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利 的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
一種工藝氣體的互鎖控制方式，本發明是對快速閃光退火爐的輸送工藝氣體控制方式的改進，在設計中，採用光電隔離將控制電路與氣路驅動電路隔離，減少電磁閥門等執行件的操作帶來的幹擾，採用多觸點繼電器，控制繼電器觸點之間的通斷來實現氣路間的互鎖，其特徵在於(1).系統復位時，六種氣體的氣路全部鎖定在關閉狀態；(2).氬氣(AR)，氬氫混合氣(AR/H2)不能同時開；(3).氯化氫(HCL)，氨氣(NH3)不能同時打開；(4).氨氣(NH3)，氧氣(O2)不能同時打開；(5).氧氣(O2)，氬氫混合氣(AR/H2)不能同時開；(6).氨氣(NH3)，氬氫混合氣(AR/H2)不能同時開。
全文摘要
本發明公開了一種電氣控制中六路氣路互鎖控制方式，該方式可以對六種氣體的流量進行微量調節控制，並可對各氣體流量進行反饋檢測實行閉環控制，精確控制氣體流量，還有很強的氣路互鎖功能，嚴防不能混合的氣體同時進氣。提高了工藝氣體的互鎖等級，保證不會使工藝氣體混淆，提高了快速閃光退火爐的可靠性。
文檔編號H01L21/324GK101764043SQ20081023889
公開日2010年6月30日 申請日期2008年12月4日 優先權日2008年12月4日
發明者彭彬, 戴習毛, 金則軍 申請人:北京中科信電子裝備有限公司