基體材料處理裝置和基體材料處理方法與流程

2023-06-12 16:46:41 1

本發明涉及用於對主面供給有處理液的基體材料進行處理的技術。

背景技術：

例如，已知如下技術，即，在製造鋰二次電池時，在向鋁箔等基體材料的一個主面供給電極液等塗敷液後，一邊搬運該基體材料，一邊對該基體材料上的塗敷液進行乾燥。

專利文獻1中公開了如下技術，即，一邊以輥對輥形式搬運基體材料，一邊利用乾燥部對供給至該基體材料的主面的塗敷液進行乾燥。在此，乾燥部包括第一部分和第二部分，所述第一部分在搬運路徑的上遊側向基體材料吹送熱風，所述第二部分在搬運路徑的下遊側向基體材料吹送乾燥空氣。因此，在被搬運的基體材料經過第一部分時，向基體材料吹送熱風，從而在基體材料的主面上促進塗敷液中的溶劑的蒸發。此後，在被搬運的基體材料經過第二部分時，向基體材料吹送乾燥空氣，從而使基體材料的溫度下降。而且，經過了乾燥部的基體材料與周圍的環境接觸來進行冷卻，被卷繞輥回收。

專利文獻1：日本特開2012-202600號公報

通常，經過乾燥部後的基體材料的溫度比常溫高。因此，在位於乾燥部的搬運路徑的下遊側的常溫的輥和比該輥的溫度高的基體材料接觸時，有時因溫度差而使基體材料收縮，從而在該基體材料產生褶皺。

技術實現要素：

本發明是鑑於上述問題而提出的，其目的在於提供一種能夠抑制乾燥後的基體材料中產生的褶皺，以良好的狀態處理基體材料的技術。

為了解決上述問題，第一方式的基體材料處理裝置，具有：搬運部，將主面供給有塗敷液的基體材料，沿著搬運路徑搬運，以及，乾燥部，通過對被上述搬運部搬運的上述基體材料實施包括加熱處理的處理，對供給至上述主面的上述塗敷液進行乾燥；上述搬運部具有：第一搬運構件，沿著上述搬運路徑設置於上述乾燥部的上遊側，且用於搬運上述基體材料，以及，第二搬運構件，沿著上述搬運路徑設置於上述乾燥部的下遊側，且用於隔著氣體層搬運上述基體材料。

第二方式的基體材料處理裝置在第一方式的基體材料處理裝置的基礎上，上述搬運部還具有第三搬運構件，該第三搬運構件沿著上述搬運路徑設置於上述乾燥部的下遊側，且上述第三搬運構件與上述基體材料之間的接觸面積大於上述第二搬運構件與上述基體材料之間的接觸面積；上述第三搬運構件沿著上述搬運路徑位於上述第二搬運構件的下遊側。

第三方式的基體材料處理裝置在第一方式的基體材料處理裝置的基礎上，上述第二搬運構件包括能夠以軸為中心旋轉的輥，該軸與上述主面平行，且沿著與上述基體材料的搬運方向交叉的交叉方向延伸；還包括驅動部，該驅動部以使上述輥的周速大於被上述搬運部搬運的上述基體材料的搬運速度的方式，使上述輥旋轉。

第四方式的基體材料處理裝置在第一方式的基體材料處理裝置的基礎上，上述搬運部包括多個輥，該多個輥能夠在上述乾燥部的下遊側，分別以沿著上述交叉方向延伸的軸為中心進行旋轉來搬運上述基體材料，且在上述搬運路徑的一區間內排列設置；上述一區間的前後的上述搬運路徑的延伸方向的角度差為，將上述多個輥相對於上述基體材料的夾角相加而得到的合計值。

第五方式的基體材料處理裝置在第一方式的基體材料處理裝置的基礎上，上述第二搬運構件包括供氣輥，上述供氣輥能夠以軸為中心進行旋轉，該軸與上述主面平行，且沿著與上述基體材料的搬運方向交叉的交叉方向延伸，該供氣輥具有設置有供氣口的外周部和與該供氣口連接的供氣路徑；還具有氣體供給部，該氣體供給部用於向上述供氣路徑供給氣體。

第六方式的基體材料處理裝置在第五方式的基體材料處理裝置的基礎上，上述氣體的溫度比上述基體材料中的被上述供氣輥搬運的部分的溫度低。

第七方式的基體材料處理裝置在第一至第六方式中任一方式的基體材料處理裝置的基礎上，上述乾燥部在對被上述搬運部搬運的上述基體材料實施上述加熱處理之後實施冷卻處理，從而對供給至上述主面的塗敷液進行乾燥，該冷卻處理是對通過上述加熱處理加熱的上述基體材料進行冷卻的處理。

第八方式的基體材料處理裝置，具有：搬運部，將主面供給有塗敷液的基體材料，沿著搬運路徑搬運，以及，乾燥部，通過對被上述搬運部搬運的上述基體材料實施包括加熱處理的處理，對供給至上述主面的塗敷液進行乾燥；上述搬運部具有輥，該輥沿著上述搬運路徑設置於上述乾燥部的下遊側，能夠以軸為中心進行旋轉，而且該軸與上述主面平行，且沿著與上述基體材料的搬運方向交叉的交叉方向延伸；還包括驅動部，該驅動部以使上述輥的周速大於被上述搬運部搬運的上述基體材料的搬運速度的方式，使上述輥旋轉。

第九方式的基體材料處理方法，包括：乾燥工序，通過對主面供給有塗敷液的基體材料實施包括加熱處理的處理，對供給至上述主面的上述塗敷液進行乾燥；以及，搬運工序，利用搬運構件隔著氣體層搬運實施了上述乾燥工序的處理的上述基體材料。

利用第一方式至第八方式的基體材料處理裝置和第九方式的基體材料處理方法中的任一個，都能夠使用於搬運乾燥後的基體材料的構件和基體材料之間的接觸面積變小，從而能夠抑制褶皺的發生。

附圖說明

圖1是示出基體材料處理裝置1的整體結構的圖。

圖2是示出加熱部42的概略性的內部結構的圖。

圖3是示出第二輥82和第三輥83的周邊部的圖。

圖4是示出第二輥82搬運基體材料5時的情形的圖。

圖5是示出比較例的輥821搬運基體材料5時的情形的圖。

圖6是示出變形例的輥822的圖。

圖7是示出變形例的輥822搬運基體材料5時的情形的圖。

其中，附圖標記說明如下：

1：基體材料處理裝置

5：基體材料

11：塗敷噴嘴

40：乾燥部

41：預熱部

42：加熱部

43：冷卻部

80：搬運部

81：第一輥

82：第二輥

83：第三輥

90：控制部

100、101：氣體層

820：驅動部

821、822；輥

s1：主面

v：搬運速度

v2：周速

具體實施方式

以下，參照附圖，對實施方式進行說明。在附圖中，對具有同樣的結構和功能的部分標註相同的附圖標記，並省略重複說明。需要說明的是，以下實施方式是將本發明具體化的一例，本發明的技術範圍並不限定於此。此外，附圖中，有時放大或簡化示出各部的尺寸、數量。此外，附圖中，有時為了說明方向而標註有xyz正交坐標軸。坐標軸的+z方向為鉛垂上方向，xy平面為水平面。

〈第一實施方式〉

〈1.1基體材料處理裝置1的結構〉

圖1是示出本實施方式的基體材料處理裝置1的整體結構的圖。

基體材料處理裝置1向作為金屬箔的基體材料5的一個主面供給塗敷液後，進行該塗敷液的乾燥處理，從而在基體材料5上形成塗敷膜。由此，例如製造鋰離子二次電池的電極。

基體材料5例如由用作鋰離子二次電池的集電體的材料構成。在基體材料處理裝置1製造鋰離子二次電池的正極的情況下，可以使用鋁箔(al)來作為基體材料5。此外，在基體材料處理裝置1製造鋰離子二次電池的負極的情況下，可以使用銅箔(cu)來作為基體材料5。

基體材料5為長片狀(長帶狀)的金屬箔，對其寬度和厚度並不做特別限定。例如，可以使用寬度為600mm～700mm左右、厚度為10μm～20μm左右的基體材料。在本說明書中，有時特別將基體材料5的兩個主面中的被供給塗敷液的一側的主面稱為主面s1。

基體材料處理裝置1主要包括：搬運部80，沿著搬運路徑搬運基體材料5；塗敷部，包括塗敷噴嘴11；乾燥部40，對被搬運的基體材料5上的塗敷液實施乾燥；以及，控制部90，控制裝置各部。

搬運部80包括：卷出輥88，卷出基體材料5；以及，卷繞輥89，卷繞基體材料5；從卷出輥88朝向向卷繞輥89搬運基體材料5。此外，搬運部80在卷出輥88和卷繞輥89之間具有三個第一輥81、第二輥82、第三輥83及支撐輥87。

在本說明書中，搬運路徑是指，利用搬運部80搬運的基體材料5的通過路徑。有時將搬運路徑中的卷出輥88側稱為搬運上遊側，將搬運路徑中的卷繞輥89側稱為搬運下遊側。此外，搬運方向是指，基體材料5在搬運路徑的某個區間中移動的方向。例如，在卷出輥88和位於搬運上遊側的第一輥81之間的區間，搬運方向為圖1所示的箭頭方向。

搬運部80所具有的各個輥構成為，能夠以與基體材料5的主面s1平行且沿著與基體材料5的搬運方向交叉的交叉方向延伸的軸為中心旋轉。在本實施方式中，交叉方向與y方向一致，但是交叉方向也可以相對於y方向稍微傾斜。

在搬運部80所具有的各個輥中的至少一部分(例如，第二輥、卷出輥88及卷繞輥89)，設置有用於驅動這些輥的驅動部。另一方面，在搬運部80所具有的其他輥(例如，第一輥81和第三輥83)，沒有設置驅動部。因此，上述一部分的輥藉助驅動部的驅動力而進行主動旋轉，從而沿著搬運路徑搬運基體材料5。而且，上述其他輥也藉助與該基體材料5之間的摩擦力進行從動旋轉。通過使搬運部80所具有的各個輥旋轉，使基體材料5沿著搬運路徑向x方向和z方向搬運。

此外，本說明書中，有時對搬運部80所具有的各個搬運構件(在本實施方式為各個輥)概念性地進行區別。

有時將沿著搬運路徑設置於乾燥部40的上遊側且用於搬運基體材料5的構件，稱為第一搬運構件。在本實施方式中，第一輥81、支撐輥87及卷出輥88包含於第一搬運構件。

此外，有時將沿著搬運路徑設置於乾燥部40的下遊側且經由氣體層搬運基體材料5的構件，稱為第二搬運構件。在本實施方式中，第二輥82包含於第二搬運構件。

此外，有時將沿著搬運路徑設置於乾燥部40的下遊側且與基體材料5接觸的接觸面積比第二搬運構件的情況更大的構件，稱為第三搬運構件。在本實施方式中，第三輥83和卷繞輥89包含於第三搬運構件。

塗敷噴嘴11為具有沿著基體材料5的寬度方向(圖1的y軸方向)的狹縫開口的狹縫噴嘴。塗敷噴嘴11從狹縫開口噴出泵單元15所輸送的塗敷液，來向基體材料5的主面供給。

在隔著搬運路徑的塗敷噴嘴11的相反一側，設置有支撐輥87。這樣，能夠向基體材料5中的被支撐輥87支撐的部位供給塗敷液，因此能夠防止因供給塗敷液時的液壓引起的基體材料5的波動。與塗敷噴嘴11向主面供給塗敷液的動作並行地，基體材料5沿著搬運路徑被搬運。由此，在主面s1上塗敷塗敷液的液膜(塗敷膜)。

作為塗敷液，可以使用包含作為電極材料的活性物質的液體(電極漿料)。在利用基體材料處理裝置1製造正極的情況下，作為塗敷液，例如可以使用作為正極活性物質的鈷酸鋰(licoo2)、作為導電助劑的碳(c)、作為粘接劑的聚偏二氟乙烯(pvdf)、作為有機溶劑的n-甲基-2-吡咯烷酮(nmp)的混合液。需要說明的是，塗敷液的具體種類不限於此。例如，也可以使用鎳酸鋰(linio2)、錳酸鋰(limn2o4)、磷酸鐵鋰(lifepo4)作為正極活性物質，來代替鈷酸鋰。

另一方面，在利用基體材料處理裝置1製造負極的情況下，作為塗敷液，例如可以使用作為負極活性物質的石墨(graphite)、作為粘接劑的pvdf、作為有機溶劑的nmp的混合液。需要說明的是，塗敷液的具體種類不限於此。例如，也可以使用硬碳、鈦酸鋰(li4ti5o12)、矽合金、錫合金等作為負極活性物質，來代替石墨。需要說明的是，在正極材料和負極材料這兩者的塗敷液中，在使用苯乙烯-丁二烯橡膠(sbr)代替pvdf來作為粘接劑的情況下，也可以使用水代替nmp來作為溶劑。

乾燥部40沿著搬運路徑串聯有預熱部41、加熱部42及冷卻部43。基體材料5在沿著搬運路徑被搬運的過程中，依次經過預熱部41、加熱部42及冷卻部43的內部。乾燥部40是如下部分，即，對被搬運部80搬運的基體材料5實施包括加熱處理的處理，使供給至主面s1的塗敷液乾燥。

預熱部41、加熱部42及冷卻部43，在腔室內進行供氣和排氣來使塗敷液乾燥這一點是共同的。以下，首先對加熱部42進行詳細說明。之後，對預熱部41和冷卻部43，省略與加熱部42共同的部分來進行說明。

圖2是示出加熱部42的概略的內部結構的xz側視圖。在圖2中，通過箭頭示意性地表示腔室410內的氣流。

在加熱部42的腔室410的內側主要具備氣體供給部45、氣體供給部55、吸氣部46及吸氣部56。

腔室410是在搬運上遊側形成有搬入口411、且在搬運下遊側形成有搬出口412的框體，在圖2中以點劃線表示。搬運路徑是經由搬入口411和搬出口412經過腔室410內的路徑。對於腔室410的長度並不做特別限定，在本實施方式中為3000mm。此外，對於搬入口411和搬出口412的大小也並不做特別限定，但是在本實施方式中，在搬運路徑的上方和下方能夠分別確保大約5mm間隔(即，鉛垂方向的大小大約為10mm)。

在腔室410的內側的搬運路徑的上側，沿著搬運路徑交替地配置有多個(在本實施方式為五個)氣體供給部45和多個(在本實施方式為六個)吸氣部46。在五個氣體供給部45的下方分別設置有整流板47。整流板47為設置成與搬運路徑平行的板狀構件。在整流板47設置有沿著基體材料5的寬度方向(y方向)延伸的狹縫狀的供氣口，該供氣口朝向被搬運的基體材料5的主面s1打開。

氣體供給部45與導風管35連接，將通過導風管35供給的熱風從整流板47的供氣口朝向搬運路徑的基體材料5噴出。導風管35的基端側與氣體供給源34連接，並且導風管35的前端側被分支為五個來分別與氣體供給部45連通連接。在被分支為五個的導風管35分別插入有流量調整閥36。氣體供給源34具備加熱器和送風機，將加熱的空氣作為熱風向氣體供給部45供給。通過對應的各流量調整閥36，對用於向各氣體供給部45供給的熱風的流量單獨地進行調整。而且，通過導風管35向氣體供給部45供給的熱風，從整流板47的供氣口朝向主面s1上的塗敷液的液膜p(塗敷膜)噴出。

此外，針對五個氣體供給部45設置有六個吸氣部46，在x方向相鄰配置的吸氣部46之間設置有氣體供給部45。在各吸氣部46的下面設置有沿著基體材料5的寬度方向延伸的吸氣口。各吸氣口46經由排氣管57與排氣部58連通連接。即，排氣管57的基端側與排氣部58連接，並且排氣管57的前端側被分支為六個來分別與吸氣部46連接。在被分支為六個的排氣管57分別插入有流量調整閥91。排氣部58具備吸引用的鼓風機，經由排氣管57向吸氣部46提供負壓。由此，吸氣部46吸引吸氣口周邊的環境氣體來向排氣管57排出。各吸氣部46吸入的流量被對應的各流量調整閥91單獨地進行調整。

另一方面，在腔室410的內側的搬運路徑的下側，配置有多個(在本實施方式為五個)氣體供給部55和多個(在本實施方式為兩個)吸氣部56。

五個氣體供給部55分別具備朝向上側的省略圖示的多個噴出孔。氣體供給部55經由導風管52與氣體供給源53連通連接。即，導風管52的基端側與氣體供給源53連接，並且導風管52的前端側被分支為五個來分別與氣體供給部55連接。在被分支為五個的導風管52分別插入有流量調整閥54。氣體供給源53具備加熱器和送風機，將加熱的空氣作為熱風向氣體供給部55供給。向各氣體供給部55供給的熱風的流量被對應的各流量調整閥54單獨地進行調整。而且，通過導風管52向氣體供給部55供給的熱風，從噴出孔朝向被搬運的基體材料5的下側主面噴出。

此外，針對五個氣體供給部55設置有兩個吸氣部56。在各吸氣部56的上面設置有沿著基體材料5的寬度方向延伸的吸氣口。各吸氣口56經由排氣管92與排氣部93連通連接。即，排風管92的基端側與排氣部93連接，並且排風管92的前端側被分支為兩個來分別連接在吸氣部56。在被分支為兩個的排風管92分別插入有流量調整閥94。排氣部93具備用於吸引的鼓風機，經由排氣管92向吸氣部56提供負壓。由此，吸氣部56吸引上端的吸氣口周邊的環境氣體來向排氣管92排出。各吸氣部56吸入的流量被對應的各流量調整閥94單獨地進行調整。

氣體供給部45從基體材料5的上方吹送熱風，由此塗敷在基體材料5的主面s1的液膜p被直接加熱。如圖2所示，從氣體供給部45向基體材料5的上面吹送的熱風，沿著x方向在與搬運路徑平行設置的整流板47和基體材料5之間流動，被設置在氣體供給部45的兩側的吸氣部46回收。因為熱風在整流板47和基體材料5之間流動，因此基體材料5上的液膜p會與溼度小的熱風持續接觸，從而高效地對液膜p進行乾燥。此外，氣體供給部55從基體材料5的下方噴吹熱風，由此基體材料5被直接加熱，通過來自該基體材料5的熱傳導，對液膜p進行加熱。從氣體供給部55向基體材料5的下面吹送的熱風被吸氣部56回收。

此外，五個氣體供給部55從基體材料5的下方朝向上方吹送熱風，在發揮間接加熱液膜p的作用之外，還發揮通過熱風的風壓使基體材料5向上浮起的作用。因此，即使在腔室410內沒有設置固有的輥，也能夠抑制基體材料5大幅度地彎曲。

預熱部41設置在加熱部42的搬運上遊側。預熱部41也與加熱部42同樣地，通過向腔室內供給氣體來促進基體材料5上的液膜p的乾燥。在預熱部41中，對基體材料5供給的氣體的溫度例如設定為，比常溫高且比加熱部42供給的熱風的溫度低。此外，作為另一例子，在預熱部41中，如專利文獻1記載那樣，也可以通過紫外線照射加熱基體材料5。無論在哪種情況下，在通過加熱部42加熱基體材料5之前，通過預熱部41預熱基體材料5，從而不僅能夠使基體材料5上的塗敷液的表層乾燥，還能夠使基體材料5的內部乾燥。

冷卻部43設置在加熱部42的搬運下遊側。冷卻部43也與加熱部42同樣地，通過向腔室內供給氣體來促進基體材料5上的液膜p的乾燥。在冷卻部43中，例如向基體材料5供給常溫的乾燥空氣。

通過供給乾燥空氣來對基體材料進行冷卻，但是不必在冷卻部43的內部將基體材料5冷卻至常溫。基體材料5隻要在最終被卷繞輥89回收的時刻為止達到常溫即可，為實現該目的，冷卻部43發揮將基體材料5冷卻至特定溫度(比被加熱部42剛剛加熱後的溫度低、且比常溫高的溫度)的作用。

而且，通過乾燥部40實施了乾燥工序的基體材料5，沿著搬運路徑被設置在乾燥部40的下遊側的第二搬運構件和第三搬運構件搬運(搬運工序)。

具體地，通過乾燥部40的基體材料5，在經由第二輥82和第三輥83搬運後，被卷繞輥89回收。被回收的基體材料5，在被搬運至基體材料處理裝置1的外部的加工處理部(未圖示)，且在該加工處理部被切割成所希望的大小後，加工成電極板。

控制部90控制設置於基體材料處理裝置1的各部的機構，其硬體結構與一般的計算機相同。即，控制部90包括：cpu，進行各種運算處理；rom，作為用於存儲基本程序的讀取專用的存儲器；ram，作為用於存儲各種信息的可自由讀寫的存儲器；以及，磁碟，存儲控制用軟體、數據等。通過使控制部90的cpu執行規定的處理程序，進行基體材料處理裝置1的處理。

〈1.2裝置尺寸和基體材料5中發生褶皺之間的關係〉

在此，整理裝置尺寸和基體材料發生褶皺之間的關係。

如上所述，冷卻器43發揮將基體材料5冷卻至上述特定溫度的作用，而並不發揮將基體材料5冷卻至常溫的作用。當設置為使冷卻部43發揮將基體材料5冷卻至常溫的作用時，搬運方向的冷卻部43的尺寸變大，進而導致基體材料處理裝置1的尺寸變大。

但是，冷卻部43僅將基體材料5冷卻至特定溫度的方式，與冷卻部43將基體材料5冷卻至常溫的其他方式相比，基體材料5更容易發生褶皺。

這基於以下原理。在高溫的基體材料5被冷卻的情況下，因其溫度變化而使收縮力作用於基體材料5。此時，因在基體材料5的延伸方向上被施加搬運部80的張力，因此基體材料5尤其在寬度方向上收縮。例如，在冷卻部43內那樣基體材料5被流動(flow)搬運的情況下，基體材料5因作用於基體材料5的收縮力而彎曲。此時，在之後的工序中施加用於使基體材料5沿著寬度方向拉伸的力時，基體材料5能夠恢復到彎曲之前的狀態。另一方面，作為另一例子，在基體材料5與常溫的輥接觸來被搬運的狀態下，可在作用於輥和基體材料5之間的摩擦力與作用於基體材料5的收縮力抵抗的情況下，在基體材料5產生褶皺。此時，即使在之後的工序中施加用於使基體材料5在寬度方向上拉伸的力，基體材料5也恢復不到彎曲之前的狀態，從而可能在基體材料5上留下摺痕。

這樣，本說明書中，褶皺是指，即使在其發生後在寬度方向上施加張力也難以除去的摺痕。發生褶皺的基體材料5在產品階段成為不良品的情況很多，從成品率的角度來說，需要抑制褶皺的發生。

此外，因冷卻基體材料5而產生的褶皺，容易發生在乾燥部40的搬運下遊側的區間(即，基體材料5被加熱後的區間)中的尤其是上遊側的位置(即，基體材料5剛被加熱後的高溫狀態的位置)。

以下，對根據基體材料搬運處理抑制褶皺發生的技術，進行詳細說明。

〈1.3基體材料搬運處理的詳細說明〉

圖3是示意性地示出第二輥82和第三輥83的周邊部的xz側視圖。圖4是示意性地示出第二輥82搬運基體材料5時的情形的yz側視圖。圖5是示意性地示出比較例的輥821搬運基體材料5時的情形的yz側視圖。

需要說明的是，在圖3中，用箭頭表示基體材料5的搬運方向、第二輥82和第三輥83的旋轉方向。此外，在圖3中，分別用細線示出了用於表現第二輥82和第三輥83相對於基體材料5的夾角(includedangle，抱き角)的扇形區域。

基體材料處理裝置1包括用於使第二輥82旋轉的驅動部820(例如，馬達)。此外，控制部90以使第二輥82的周速v2比基體材料5的搬運速度v大的方式，控制驅動部820。在此，例如將搬運速度v和周速v2之間的關係設定為v＜v2≦1.03v。因此，作為具體例，在搬運速度v為10(m/分)的情況下，滿足10＜v2≦10.3(m/分)。需要說明的是，除了第二輥82以外的各搬運構件的搬運速度(具體為各輥的周速)與基體材料5的搬運速度v大致相同。例如，第三輥83的周速與搬運速度v大致相同。以下，有時將這樣用於使第二輥82相對快速旋轉的控制稱為牽引控制(drawcontrol，ドロ制御)。

由此，在相對快地移動的第二輥82的外周面和相對慢地移動的基體材料5的背面(與主面s1一側相反的一側的面)之間，發生滑動。這樣發生滑動的原因在於，在第二輥82的外周面附近，產生伴隨第二輥82的旋轉而引起的空氣的邊界層，該邊界層向基體材料5施加浮力。結果，如圖4所示，第二輥82隔著氣體層100搬運基體材料5。

另一方面，在如圖5所示的比較例中，假設代替本實施方式的第二輥82，來設置以與搬運速度v相同的周速進行旋轉的輥821的情況。該情況下，在以等速移動的第二輥82的外周面和基體材料5的背面之間難以發生滑動。此外，輥821的周速比第二輥82的周速v2小，因此因邊界層而向基體材料5施加的浮力也成為小的值。結果，在圖5所示的比較例中，與圖4所示的本實施方式的情況相比，在輥821的外周面和基體材料5的背面之間的接觸面積更大的狀態下，輥821搬運基體材料5。

在本實施方式中，隔著氣體層100搬運基體材料5的第二搬運構件(具體為第二輥82)設置於乾燥部40的下遊側。因此，利用乾燥部40的加熱後的基體材料5和常溫的第二輥82之間的接觸面積變小，從而上述摩擦力也變小。結果，能夠抑制基體材料5的褶皺的發生。

進行牽引控制的情況(圖4)與不進行牽引控制的情況(圖5)相比，基體材料5和第二輥82之間的接觸面積變得更小。在本說明書中，將這種基於接觸面積變小而產生的氣體的層稱為氣體層100。因此，氣體層100是，不僅包括在基體材料5的整個背面側形成的層(後述的圖7)，還包括在基體材料5的背面側的一部分形成的層(圖4)的概念。在圖4所示的例子中，氣體層100包括－y側的寬度大的部分和+y側的寬度小的部分。

此外，在本實施方式中，第三搬運構件沿著搬運路徑設置於第二搬運構件的下遊側。由此，能夠在特別容易產生褶皺的位置(基體材料5被加熱後的區間中的基體材料5剛被加熱後的部分)隔著氣體層100搬運基體材料5，從而能夠有效地抑制褶皺的發生。

此外，在本實施方式中，搬運部80包括多個輥(具體為第二輥82和第三輥83)，多個輥(具體為第二輥82和第三輥83)能夠分別通過以向交叉方向延伸的軸為中心進行旋轉來搬運基體材料5，並且在搬運路徑的一區間內排列設置。而且，第二輥82的相對於基體材料5的夾角θ2、第三輥83相對於基體材料5的夾角θ3，分別設為閾值(例如，30度)以下。而且，該一區間前後的搬運路徑延伸方向的角度之差為，第二輥82和第三輥83的各自的夾角的合計值(θ2+θ3)。

如上所述，在高溫的基體材料5被冷卻的情況下，因該溫度變化而引起的收縮力作用於基體材料5，從而容易在基體材料5發生褶皺。在本實施方式中，能夠使在乾燥部40的下遊側排列設置的多個輥分擔夾角，從而能夠使各輥相對於高溫的基體材料5的夾角變小(進而，能夠使高溫的基體材料5和各輥之間的接觸面積變小)，由此抑制褶皺的發生。

此外，在本實施方式中，用於分擔夾角的搬運構件集合中的上遊側的搬運構件(即，搬運溫度最高的基體材料5的構件)為第二搬運構件。因此，能夠在因基體材料5和搬運構件之間的溫度差而容易發生褶皺的位置，隔著氣體層100搬運基體材料5，從而能夠有效地抑制褶皺的發生。此外，在本實施方式中，用於分擔夾角的搬運構件的集合中的下遊側的搬運構件(即，搬運溫度相對低的基體材料5的構件)為第三搬運構件。因此，在基體材料5和搬運構件之間溫度差小的位置，通過第三搬運構件搬運基體材料5，從而即使第三搬運構件沒有隔著氣體層100搬運基體材料5也不容易發生褶皺。

此外，在本實施方式中，第二搬運構件為在搬運方向上向基體材料5施加力的部分。因此，本實施方式與具有浮起支撐部來代替第二輥82的比較例(未圖示)相比，能夠實現裝置尺寸的小型化，其中，上述浮起支撐部向基體材料5的背面側供氣來支撐該基體材料5。若像該比較例那樣，在冷卻部43的下遊側設置浮起支撐部，則等同於擴大冷卻部43的搬運方向的尺寸，從而導致裝置尺寸的大型化。

〈2變形例〉

以上，對本發明的實施方式進行了說明，本發明能夠在不脫離本發明宗旨的範圍內進行上述以外的各種變更。

圖6是示意性地示出變形例的輥822的立體圖。圖7是示意性地示出變形例的輥822搬運基體材料5時的情形的yz側視圖。

輥822包括：本體部823，形成為圓筒狀；外周部824，配置有用於向基體材料5供氣的供氣口；以及，內周部825，具有與外周部824的供氣口連接的開口。需要說明的是，在圖6和圖7中，以點圖案表示了外周部824的多個供氣口和內周部825的多個開口。

因此，在從未圖示的氣體供給部向輥822的筒內空間供給氣體時，該氣體從內周部825的多個開口朝向外周部824的多個供氣口流動，從而從該多個供氣口朝向基體材料5的背面供給氣體。這樣，輥822發揮如下供氣輥的作用，即，該供氣輥具備設置有供氣口的外周部824和與該供氣口連接的供氣路徑。

在本變形例中，在基體材料處理裝置1設置輥822，來代替上述實施方式的第二輥82。更具體地，輥822能夠以如下軸為中心進行旋轉來設置於基體材料處理裝置1，即，所述軸與主面s1平行，且沿著與基體材料5的搬運方向交叉的交叉方向延伸。而且，通過未圖示的驅動部，使輥822向用於搬運基體材料5的方向旋轉。結果，如圖7所示，輥822利用供氣隔著氣體層101搬運基體材料5。該氣體層101不同於上述實施方式的氣體層100，是形成於基體材料5的整個背面側的層。

本變形例中，輥822發揮第二搬運構件的作用，使利用乾燥部40的加熱後的基體材料5和輥822之間的接觸面積減小，從而能夠抑制基體材料5的褶皺的發生。這樣，除上述實施方式的牽引控制之外，能夠將各種機構用作第二搬運構件。此外，也可以將隔著氣體層搬運基體材料5的原理不同的多種第二搬運構件(例如，第二輥82和輥822)進行組合，來設置於基體材料處理裝置1。

此外，在本變形例中，供給的氣體的溫度設定為，比基體材料5中的被輥822搬運的部分的溫度低。此時，配合基體材料5的搬運處理還能夠執行基體材料5的冷卻處理，從而能夠實現裝置的小型化。

此外，在上述實施方式中，對第三搬運構件位於第二搬運構件的搬運下遊側的方式進行了說明，但也可以使第二搬運構件位於第三搬運構件的搬運下遊側。

此外，在上述實施方式中，對搬運部80包括第三輥83且用第二輥82和第三輥83分擔相對於基體材料5的夾角的方式進行了說明，其中，上述第三輥83在搬運路徑的一區間內設置於第二輥82的下遊側，但不限於此。作為通過在乾燥部40的下遊側的一區間內排列設置的多個輥分擔夾角的方式，也可以使用三個以上的輥(例如，一個第二輥82和兩個以上的第三輥83)。此外，也可以將輥以外的多個搬運構件排列設置於乾燥部40的下遊側的一區間內，通過這些搬運構件分擔基體材料5的夾角。此外，也可以不使用這樣的分擔技術。

此外，在上述實施方式中，對於在利用加熱部42對基體材料5實施加熱處理後，實施利用冷卻部43冷卻經過加熱處理被加熱的基體材料5的冷卻處理的方式進行了說明，但不限於此。例如，也可以採用乾燥部40不具有冷卻部43而不實施冷卻處理的方式。

此外，在上述實施方式中，對基體材料5的一個主面s1塗敷塗敷液的方式進行了說明，但也可以採用對基體材料5的兩個主面塗敷塗敷液的方式。

此外，成為乾燥處理對象的液膜p不限於上述實施方式的例(鋰離子二次電池的電極材料膜)。乾燥對象的液膜，例如也可以是太陽電池材料的薄膜、電子材料的保護膜、顏料或粘接劑的液膜等。

此外，對於向基體材料5的主面s1供給塗敷液的供給方式不做特別限定。除了像上述實施方式那樣使用狹縫噴嘴向主面s1供給塗敷液的方式之外，例如也可以採用利用噴射噴嘴向基體材料5的主面s1供給塗敷液的方式(所謂，噴射塗敷)。此外，除了像上述實施方式那樣從一個狹縫開口向主面s1的一個區域供給塗敷液的方式之外，例如還可以採用從在基體材料5的寬度方向上隔開間隔設置的多個狹縫開口向主面s1上的多個區域供給塗敷液的方式(所謂，條狀塗敷)。

此外，關於搬運部80具有的搬運構件的種類、搬運構件的數量和配置，並不限於上述各實施方式的例，可以根據需要適當進行變更。

以上，對實施方式和該變形例的基體材料處理裝置和基體材料處理方法進行了說明，但這些是本發明的優選實施方式的例，不是用於限定本發明的實施範圍的。本發明能夠在本發明的範圍內，對各實施方式自由進行組合，或者對各實施方式的任意構成構件進行變形，或者對各實施方式的任意結構構件進行增減。