晶圓電鍍夾具的製作方法
2023-06-12 05:01:16 2
專利名稱：晶圓電鍍夾具的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體器件製造技術領域，更具體地說，涉及一種晶圓電鍍夾具。
背景技術：
在半導體器件製造過程中，器件上的金屬凸塊被作為接觸點來連接各條線路、各個驅動IC或柔性線路板(FPC)。所述金屬凸塊的形成過程包括沉積金屬薄膜、光刻、刻蝕、 電鍍等工藝步驟。其中，電鍍過程的好壞直接影響最終形成的金屬凸塊的品質。在電鍍工藝過程中，常需要將晶圓放置於晶圓電鍍夾具上，晶圓電鍍夾具上設置有多個導電彈片，這些導電彈片與晶圓電鍍夾具上的晶圓相接觸。又因為導電彈片可通過與其相連的導線與外部電源相連，因此，晶圓電鍍夾具上的晶圓在電鍍工藝中可與外部電源相連，進而通過電鍍液的分解可在其表面形成所需鍍層。由於晶圓電鍍夾具上的晶圓與導電彈片之間為電連接，故兩者之間接觸是否良好直接影響晶圓上鍍層的品質，進而影響後續所形成的金屬凸塊的品質。參考圖1，圖1為現有的晶圓電鍍夾具上導電彈片的側面結構示意圖，當將晶圓置於晶圓電鍍夾具上後，晶圓側邊將與導電彈片的側面1相接觸，且接觸點靠近導電彈片側面1和側面2所構成的拐角3 位置處，由於晶圓側邊呈圓弧狀結構，故晶圓與導電彈片之間的接觸僅為線接觸。在電鍍工藝過程中，由於導電彈片使用時間較長或電鍍液的振動等因素，常使得導電彈片發生鬆動， 這就使得晶圓與導電彈片之間極易發生接觸不良現象，進而影響電鍍效果。
實用新型內容有鑑於此，本實用新型提供一種晶圓電鍍夾具，該晶圓電鍍夾具能使得晶圓與導電彈片之間具有良好的接觸，進而保證電鍍工藝的正常進行。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案一種晶圓電鍍夾具，該晶圓電鍍夾具包括晶圓電鍍夾具側板和位於其上的導電彈片；其中，所述導電彈片包括依次相連的固定面、側面、底面、接觸面和延伸面；所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結構。優選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述外凸的弧面結構的弧度為120°。優選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述外凸的弧面結構的半徑為0. 3mm。優選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述接觸面與延伸面之間的夾角為120°。優選的，上述晶圓電鍍夾具中，所述導電彈片為不鏽鋼導電彈片。從上述技術方案可以看出，本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，其上的導電彈片包括依次相連的固定面、側面、底面、接觸面和延伸面；其中，所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結構。當將晶圓置於晶圓電鍍夾具上後，晶圓的側邊與導電彈片的接觸面相接觸，晶圓的上表面被導電彈片上接觸面與延伸面連接處所形成的外凸的弧面結構所壓住，這就使得晶圓的上表面與導電彈片上的弧面結構相接觸，從而極大地增加了晶圓與導電彈片的接觸面積。因此，本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，通過改變導電彈片上接觸面與延伸面連接處的形狀，可極大地增加導電彈片與晶圓的接觸面積，從而在電鍍過程中保證導電彈片與晶圓之間具有良好的接觸，為後續在晶圓上形成質量較高的鍍層提供了保證。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現有的晶圓電鍍夾具上導電彈片的側面結構示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的一種晶圓電鍍夾具上導電彈片的側面結構示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的一種晶圓電鍍夾具上導電彈片的俯視圖；圖4為本實用新型實施例提供的一種晶圓電鍍夾具上導電彈片的正視圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。電鍍工藝中所用的晶圓電鍍夾具一般包括晶圓電鍍夾具中板；位於晶圓電鍍夾具中板上的晶圓電鍍夾具側板；位於晶圓電鍍夾具側板上的多個(一般為6個)導電彈片和多個(一般為2個)上蓋定位銷。所述導電彈片上連接導線，導電彈片可通過所述導線與外部電源相連，當將晶圓置於所述晶圓電鍍夾具側板上時，晶圓側邊將與導電彈片相接觸， 故所述晶圓可通過導電彈片與外部電源相連；當將晶圓置於所述晶圓電鍍夾具側板上後， 所述上蓋定位銷起到定位電鍍夾具上蓋的作用。當然，所述晶圓電鍍夾具側板上還設置有晶圓缺口(Notch)定位銷。參考圖2、圖3和圖4，圖2為本實用新型實施例所提供的一種晶圓電鍍夾具上導電彈片的側面結構示意圖，圖3和圖4分別為圖2中導電彈片的俯視圖和正視圖。本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，其上的導電彈片包括依次相連的固定面11、側面12、底面13、 接觸面14和延伸面15 ；其中，所述接觸面14與延伸面15的連接處16呈外凸的弧面結構 16。導電彈片的固定面11上設置有兩個定位孔11a，在所述定位孔Ila內安裝定位銷即可將導電彈片固定在晶圓電鍍夾具側板上。導電彈片上的接觸面14即是當將晶圓置於所述晶圓電鍍夾具側板上後，晶圓側邊所接觸到導電彈片上的面，且晶圓側邊與導電彈片相接觸的位置靠近接觸面14與延伸面15的連接處16。本實用新型中由於將導電彈片上接觸面14與延伸面15的連接處16設置成具有一定弧度的外凸的弧面結構16，因此，當將晶圓置於所述晶圓電鍍夾具側板上後，所述具有一定弧度的外凸的弧面結構16可將晶圓電鍍夾具側板上的晶圓壓住，這一方面可起到固定晶圓的作用，另一方面，由於所述外凸的弧面結構16和晶圓上表面相接觸，故可使所述導電彈片和晶圓充分接觸，從而增大了導電彈片和晶圓的接觸面積，避免電鍍工藝過程中導電彈片和晶圓之間出現接觸不良的現象。本實用新型實施例中設置導電彈片上外凸的弧面結構16的弧度為120°、半徑為 0. 3mm ；設置導電彈片上接觸面14與延伸面15之間的夾角為120°。本實用新型實施例所提供的晶圓電鍍夾角，其上的導電彈片的材質為不鏽鋼材料。現有技術中的導電彈片一般為銅材料，由於銅的抗氧化性能較差，而氧化後的銅的導電性變差，這將直接影響電鍍工藝中鍍層的品質；為了使導電彈片正常工作，因此，必須及時更換氧化了的導電彈片，故採用銅材質製作的導電彈片的使用壽命較短。本實用新型實施例中採用了不鏽鋼材質來製作導電彈片，而不鏽鋼材質的抗氧化性能較強，故不鏽鋼的導電彈片能防止短時間內表面被氧化，進而可延長導電彈片的使用時間。由上可知，本實用新型實施例所提供的晶圓電鍍夾具，通過設置導電彈片上接觸面與延伸面連接處呈外凸的弧面結構，這使得當將晶圓置於所述晶圓電鍍夾具上後，晶圓與導電彈片之間的接觸不僅包括晶圓側邊與導電彈片的接觸面的接觸，而且還包括晶圓上表面與導電彈片上外凸的弧面結構的接觸，因此，相對現有技術來說，本實用新型所提供的晶圓電鍍夾具，極大地增大了導電彈片與晶圓的接觸面積，避免導電彈片與晶圓之間出現接觸不良的現象，使晶圓在電鍍工藝過程中具有良好的導電性，為後續在晶圓上形成良好的鍍層奠定基礎，也為後續形成品質良好的金屬凸塊提供了有力保證。除此之外，本實用新型實施例中設置晶圓電鍍夾具上導電彈片的材料為不鏽鋼， 採用抗氧化性能較強的不鏽鋼代替傳統工藝中易於被氧化的銅材料，這樣可以增加所述導電彈片的使用壽命，避免了經常更換導電彈片而導致成本較高的問題。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求1.一種晶圓電鍍夾具，包括晶圓電鍍夾具側板和位於其上的導電彈片，其特徵在於， 所述導電彈片包括依次相連的固定面、側面、底面、接觸面和延伸面；其中，所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結構。
2.根據權利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特徵在於，所述外凸的弧面結構的弧度為 120°。
3.根據權利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特徵在於，所述外凸的弧面結構的半徑為 0. 3mmο
4.根據權利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特徵在於，所述接觸面與延伸面之間的夾角為120°。
5.根據權利要求1所述的晶圓電鍍夾具，其特徵在於，所述導電彈片為不鏽鋼導電彈片。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓電鍍夾具，該晶圓電鍍夾具包括晶圓電鍍夾具側板和位於其上的導電彈片；其中，所述導電彈片包括依次相連的固定面、側面、底面、接觸面和延伸面；所述接觸面與延伸面的連接處呈外凸的弧面結構。本實用新型所提供的晶圓導電夾具，通過設置導電彈片上接觸面與延伸面的連接處為外凸的弧面結構，進而可增大導電彈片與晶圓之間的接觸面積，避免導電彈片與晶圓之間出現接觸不良的現象，增強了晶圓的導電性，為後續形成品質良好的鍍層及金屬凸塊提供了有力保證。
文檔編號C25D17/06GK202072785SQ20112010891
公開日2011年12月14日 申請日期2011年4月14日 優先權日2011年4月14日
發明者劉建煒, 謝浩 申請人:頎中科技(蘇州)有限公司