十字型放電管的加工製作方法

2023-06-01 22:59:11

十字型放電管的加工製作方法
【專利摘要】本發明涉及雷射器內元器件的加工工藝，本發明提供了一種十字型放電管的加工製作方法，包括下料、預處理、固定、焊接、剪裁、修形、倒角、退火處理、直線度矯形等多個步驟得到十字型放電管。本發明所提供的十字型放電管的加工製作方法，通過模具、工裝夾具等外界輔助方式的介入，在局部環節減少玻璃加工對人工因素的依賴，從而提高玻璃加工量產的品質；並且提供的工藝方法所製作的十字型放電管能夠符合現在大功率雷射器內對十字型放電管的焊接部位的位置尺寸精度控制在±0.5mm以內，安裝尺寸的精度一般控制在±0.5mm以內，直線度控制在0.3mm以下等技術要求，從而推動大功率氣體雷射器的發展。
【專利說明】十字型放電管的加工製作方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及雷射器內元器件的加工工藝，尤其是涉及一種十字型放電管的加工製作方法。
【背景技術】
[0002]雷射器是利用受激輻射原理使光在某些受激發的物質中放大或振蕩發射的器件。而氣體雷射器是利用氣體或蒸氣作為工作物質產生雷射的器件。它由放電管內的激活氣體、一對反射鏡構成的諧振腔和激勵源等三個主要部分組成。
[0003]當前大功率氣體雷射器在切割、焊接、熔覆等行業領域有著廣泛的用途，國內外加工市場對於大功率氣體雷射器的需求逐年呈上升趨勢。在大批進口的大功率氣體雷射器湧入市場的同時，國產大功率氣體雷射器也逐漸開始崛起，其加工和使用性能已慢慢接近國外高水平的大功率氣體雷射器。
[0004]隨著對國外技術的消化和吸收，國產雷射器也開始發展有著自己特點的核心技術，雷射器諧振腔十字型放電管就是其中之一。但此种放電管為玻璃製品，玻璃製品是一種通過加熱使玻璃材料軟化，再通過人工調整達到所需形狀的產品。這種加工方式需要在高溫下通過人工的經驗判斷玻璃材料軟化的程度，並根據玻璃材料軟化程度的不同人工調整出不同的形狀來滿足零件外形尺寸的需求。因此決定了傳統的玻璃加工(包括國外在內)均為手工加工，玻璃製品的零件加工精度很難保證，手工製品又使得量產的放電管品質無法保持一致性和可重複性。傳統的玻璃製品通過手工加工之後的外形尺寸的加工精度一般控制在± 2mm，這種加工精度無法滿足十字型放電管對外形尺寸的加工精度必須控制在±0.5mm以內的使用要求；另外，手工製品又使得量產的放電管質量無法保持一致性和可重複性。這種現象導致了雷射器諧振腔十字型放電管這種新的核心技術無法大批量的複製和量產。

【發明內容】

[0005]本發明所要解決的技術問題在於克服現有技術之缺陷，提供一種十字型放電管的加工製作方法，採用該加工製作工藝可以批量複製生產放電管，並且控制其的加工尺寸精度在±0.5mm以內。
[0006]為解決上述技術問題，本發明的技術方案是:提供一種十字型放電管的加工製作方法，包括以下工藝步驟:
[0007]下料:提供第一玻璃管、第二玻璃管和第三玻璃管；
[0008]固定:採用工裝夾具將所述第一玻璃管水平固定，所述第二玻璃管垂直固定於所述第一玻璃管上方，所述第三玻璃管垂直固定於所述第一玻璃管下方，並使所述第二玻璃管與所述第三玻璃管設於同一直線上；
[0009]焊接:分別將所述第二玻璃管和所述第三玻璃管焊接於所述第一玻璃管上以形成十字型玻璃管；[0010]剪裁:對所述十字型玻璃管進行尺寸剪裁得到十字型放電管。
[0011]具體地，所述第一玻璃管、所述第二玻璃管以及所述第三玻璃管均採用耐1000°C以上高溫的玻璃管材。
[0012]進一步地,所述玻璃管材為石英玻璃管。
[0013]進一步地，在所述第一玻璃管與所述第二玻璃管的連接處以及所述第一玻璃管與所述第三玻璃管的連接處設置焊接部位，然後在所述下料步驟與所述固定步驟之間，對所述焊接部位進行加熱然後利用模具使所述焊接部位得到模具的形狀。
[0014]具體地，於所述剪裁步驟之後，對所述密封段進行修形，將所述十字型放電管置於i00(Ti50(rc下，對所述第一玻璃管的兩端、所述第二玻璃管的上端以及第三玻璃管的下端外形尺寸進行調整以達到安裝尺寸的精度要求。
[0015]進一步地，於所述修形步驟之後，對所述第一玻璃管兩端的管口、所述第二玻璃管上端的管口以及第三玻璃管下端的管口進行倒角。
[0016]進一步地，於所述倒角步驟之後，再對所述十字型放電管進行退火處理，所述退火處理時的溫度控制在90(Tl200°C。
[0017]進一步地，於對所述管口倒角步驟之後，再將所述十字型放電管置於90(Tl20(rC下，對所述十字型放電管的整體直線度進行矯形。
[0018]進一步地，對所述十字型放電管進行直線度矯形之前，對所述十字型放電管進行篩選，選出有缺陷的十字型放電管。
[0019]進一步地，將所述有缺陷的十字型放電管置於110(Tl30(rC中進行灼燒以消除所述有缺陷的十字型放電管的缺陷。
[0020]本發明的有益效果在於:本發明提供一種十字型放電管的加工製作方法，在下料過程中，將第一玻璃管、第二玻璃管以及第三玻璃管的尺寸留出足夠的加工餘量，然後再固定三個玻璃管，且在固定時引入工裝夾具，通過工裝夾具固定三個玻璃管的相對位置，不僅提高了十字型放電管的位置尺寸精度，還對十字型放電管的重複性一致性批量化生產提供了技術支持；並且在十字型玻璃管的焊接過程中，由於十字型玻璃管材局部受熱軟化，造成十字型玻璃管的外形尺寸發生變化，因此必須在焊接完成之後對十字型玻璃管進行裁剪以達到設計時產品的外形尺寸；本發明提供的十字型放電管的加工製作方法使得雷射器諧振腔十字型放電管這種新的核心技術可以得到大批量的複製和量產，從而推動大功率氣體雷射器的發展。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是本發明一較佳實施例的工藝流程圖；
[0022]圖2是本發明工藝流程中預處理時的第一玻璃管與模具的結構示意圖；
[0023]圖3是本發明工藝流程中焊接時的工裝夾具與十字型玻璃管的結構示意圖；
[0024]圖4是本發明工藝流程中剪裁時的十字型玻璃管的結構示意圖；
[0025]圖5是本發明工藝流程中修形時的十字型放電管的結構示意圖；
[0026]圖6是本發明工藝流程中倒角時的十字型放電管的結構示意圖；
[0027]圖中:1十字型放電管、
[0028]11第一玻璃管[0029]111第一玻璃管與第二玻璃管的連接處
[0030]112第一玻璃管與第三玻璃管的連接處
[0031]113第一玻璃管的左密封段
[0032]114第一玻璃管的右密封段
[0033]115第一玻璃管的左管口
[0034]116第一玻璃管的右管口
[0035]12第二玻璃管
[0036]121第二玻璃管的上密封段
[0037]122第二玻璃管的上管口
[0038]13第三玻璃管
[0039]131第三玻璃管的下密封段
[0040]132第二玻璃管的下管口
[0041]2模具
[0042]21模具與第一玻璃管的接觸面
[0043]3工裝夾具
[0044]31第一固定端
[0045]32第二固定端
[0046]33第三固定端
[0047]34第四固定端。
【具體實施方式】
[0048]為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，並不用於限定本發明。
[0049]參見圖1，為本發明所提供的十字型放電管的加工製作方法的工藝流程圖。
[0050]具體包括以下工藝步驟:
[0051]下料:提供第一玻璃管11、第二玻璃管12和第三玻璃管13三根玻璃管材；在下料時，提供的三根玻璃管材尺寸較實際產品的外觀尺寸大，留出足夠的加工餘量。這麼做，一方面是因為在後續加工過程中需要對三根管材固定，需要預留加工的固定位；另一方面是因為玻璃管材在加工過程中遇到熱環境會發生局部形變，嚴重時形變達到5~10mm，需要預留出可能會伸縮的尺寸範圍，保證後續加工過後，還能夠得到產品需要的尺寸。
[0052]固定:請參見圖3，對第一玻璃管11、第二玻璃管12和第三玻璃管13進行固定。傳統的加工方式採用人工擺放第二玻璃管12以及第三玻璃管13的位置，且完全由人工將第二玻璃管12和第三玻璃管13對接到第一玻璃管11上，這種方式固定的尺寸對接精度僅為±2_，根本無法滿足大功率雷射器諧振腔十字型放電管對對接精度的需求。因此，本發明中提供了一種工裝夾具，如圖3所示。夾具設有一個固定板3，於固定板3上分別設有4個固定端。第一固定端31和第二固定端32用於固定第一玻璃管11，將第一玻璃管11水平固定於固定板3上；然後第三固定端33固定第二玻璃管12的上端，第二玻璃管12的下端與第一玻璃管11對接，且第三固定端33使得第二玻璃管12垂直固定於第一玻璃管11的上方；第四固定端34固定第三玻璃管13的下端，第三玻璃管13的上端與第一玻璃管11對接，且第四固定端34使得第三玻璃管13垂直固定於第一玻璃管11的下方。該工裝夾具不僅能夠保證第二玻璃管12與第三玻璃管13設有同一直線上，還可以保證第二玻璃管12與第三玻璃管13焊接部位的位置尺寸精度可以控制在±0.5mm以內。該位置尺寸精度才能夠滿足大功率雷射器諧振腔十字型放電管對對接精度的需求。引入了工裝夾具的使用，不僅提高了十字型放電管的位置尺寸精度，還對十字型放電管能夠重複性一致性的批量化生產提供了技術支持。
[0053]焊接:對固定好的第一玻璃管11、第二玻璃管12和第三玻璃管13進行焊接。分別將固定好的第二玻璃管12的下端焊接到固定好的第一玻璃管11的上方，將固定好的第三玻璃管13的上端焊接到固定好的第一玻璃管11的下方，以形成一個十字型玻璃管。由於引入了工裝夾具3的使用，使得此焊接過程避免了因人工擺放而焊接的隨機性，有效的將第二玻璃管12和第三玻璃管13的相對位置固定焊接。[0054]剪裁:請參見圖4，對所述十字型玻璃管進行尺寸剪裁得到所述十字型放電管。由於在上述焊接過程中，十字型玻璃管的第一玻璃管11與第二玻璃管12的焊接處以及第一玻璃管11與第三玻璃管13的焊接處受到焊接時產生的高溫熱量作用，使得焊接處局部受熱軟化，造成十字型玻璃管的外形尺寸發生變化，這種尺寸變化使得十字型玻璃管無法滿足大功率雷射器諧振腔的安裝使用。並且由於該十字型放電管實際應用於不同的雷射器諧振腔，或者不同安裝位置的十字型放電管，所需要的外形尺寸也不同。因此必須在焊接完成之後對十字型玻璃管進行裁剪，保證裁剪後的十字型玻璃管的外形尺寸公差在±0.5mm以內。在經過冷加工裁剪之後的十字型玻璃管，其外形尺寸達到設計時產品的外形尺寸以得到滿足大功率雷射器諧振腔安裝使用的十字型放電管I。
[0055]通過本發明所提供的上述製作方法製成的十字型放電管能夠滿足雷射器諧振腔安裝使用的十字型放電管，能夠將雷射器諧振腔內的十字型放大管進行大批量的複製和生產，從而推動大功率氣體雷射器的發展。
[0056]具體地，在本發明中所提及的第一玻璃管11、第二玻璃管12以及第三玻璃管13均採用耐1000°c以上高溫的玻璃管材。因為十字型放電管I是放置於雷射器諧振腔內使用。而大功率的雷射器諧振腔的工作環境比較苛刻，一般3000W~10000W的大功率雷射器其壓力範圍在-0.8~-1.6個標準大氣壓(即真空負壓)且溫度在38(T640°C之間。因此在大功率雷射器的諧振腔內使用的十字型放電管I必須能夠耐溫高壓。作為優選地，採用石英玻璃管作為十字型放電管的材料最為合適。只有石英玻璃管才能滿足大功率雷射器的要求。如果採用例如硼矽玻璃或者添加不同比例石英成分的各種規格硼矽玻璃為十字型放電管的原材料則會出現管壁龜裂現象。從而無法保證十字型放電管於諧振腔內的長時間持續性使用。
[0057]具體地，在第一玻璃管11與第二玻璃管12的連接處111以及第一玻璃管11上與第三玻璃管13的連接處112設置為焊接部位，然後在上述下料步驟與固定步驟之間，對焊接部位111 (112)進行預處理，即對焊接部位111 (112)進行加熱，然後利用模具2使焊接部位111 (112)得到模具2的形狀。預處理之後的第一玻璃管11如圖2所示，而由於石英玻璃管材質的特性，其在95(T140(TC的溫度範圍內開始軟化，而軟化的程度由於材料的品質不同會有一定的差異。在預處理之前，第一玻璃管11為一直筒形長條玻璃管材，然後對該焊接部位111 (112)進行加熱，其加熱溫度控制在90(Tl50(TC之間，當該焊接部位111(112)軟化之後，在焊接部位111 (112)放上模具2夾持，使得焊接部位111 (112)得到如圖2所示的形狀。在本實施例中，模具2與第一玻璃管11的接觸面21為一曲面，使得焊接部位111(112)形成一個向外拱起的曲面。當然由於十字型放電管I的具體結構略有不同，模具2的尺寸以及形狀可能各不相同，不僅限於本實施例中模具2的接觸面21為曲面的結構。由於該焊接部位111 (112)作為整個十字型放電管的中間連接部分，其外觀形狀不僅起到連接的作用，同時還要兼顧未來放電管工作環境中，管內氣體的流動情況及管內陽極放電的工作需求。因此對焊接部位111 (112)進行預處理，通過模具2保證其焊接部位111(112)的外形尺寸，使需要加工的焊接部位111 (112)變形達到設計預期的形狀，可以有效的避免玻璃手工加工的不一致性，為後續焊接時的對接以及十字型放電管I的可重複性製作、批量化生產提供了可靠的保證。
[0058]具體地，請參見圖5，由於本發明所提供的製作方法生產的十字型放電管I是應用於大功率雷射器的諧振腔內，因此必須滿足其壓力範圍在-0.8^-1.6個標準大氣壓(即真空負壓)的要求。因此設定第一玻璃管11的左端113和右端114、第二玻璃管12的上端121以及第三玻璃管13的下端131為十字型放電管I的密封段，需要在高真空度的工作環境中使用。而玻璃管材的外形尺寸精度較差，一般管徑尺寸控制在±0.5_以內的成品率較低，因此於上述剪裁步驟之後，必須對第一玻璃管11的左端113和右端114、第二玻璃管12的上端121以及第三玻璃管13的下端131進行修形。即將裁剪後的十字型放電管I置於高溫下，高溫一般控制在1000-1500?，使第一玻璃管11和第二玻璃管12以及第三玻璃管13的管壁局部軟化，然後通過人工針對性的對第一玻璃管11的左密封段113和右密封段114、第二玻璃管12的上密封段121以及第三玻璃管13的下密封段131的外形尺寸進行調整以達到安裝尺寸的精度要求。安裝尺寸的精度一般控制在±0.5_以內。在石英玻璃管材的軟化過程中，不同細微的材質變化及不同溫度下的材質軟化程度不同，而此處修形的主要目的是將十字型 放電管I的外形尺寸精度調整到設計時需要的安裝尺寸精度。如果此時外形尺寸差異大的話，管材需要軟化程度就較大，這樣可以獲得較大程度的變形量；反之亦然。由於以上狀況都是隨機出現的，因此需要人工根據實際情況，現場臨時靈活應對處理，即通過人工的針對性調整以確保十字型放電管I在實際安裝後滿足大功率雷射器諧振腔內十字型放電管的密封使用要求。
[0059]正是由於十字型放電管I是應用於大功率雷射器的諧振腔內，必須滿足其壓力範圍在-0.8~-1.6個標準大氣壓(即真空負壓)的要求。因此，在第一玻璃管11左端管口115和右端管口 116、第二玻璃管上端管口 122以及第三玻璃管下端管口 132必須使用O型橡膠圈。而玻璃管材的特性，使得其管口容易出現尖角，容易對O型橡膠圈造成損傷。因此於上述修形步驟之後，對第一玻璃管11的左端管口 115和右端管口 116、第二玻璃管12的上端管口 122以及第三玻璃管13的下端管口 132進行倒角，倒角採用冷加工處理方式，例如磨砂打磨等切削性質的加工進行倒角。而進行倒角之後，容易在管口出現外觀尖角以及管材內部應力積累等不良的缺陷。因此於上述倒角之後，再對所述十字型放電管I進行退火處理。而此退火處理時的溫度控制在90(Tl200°C，使得第一玻璃管11的左端管口 115和右端管口 116、第二玻璃管12的上端管口 122以及第三玻璃管13的下端管口 132部位局部軟化。經過退火處理的十字型放電管1，其管口尖角部位局部軟化，在材料自身張力的作用下，出現圓角的自然變化，並且因為退火處理，可以將石英玻璃管材中因上述冷加工方式產生的應力有效的釋放出來，這樣可以避免零件因材料內部應力產生變形或者龜裂的現象。經過退火處理之後的十字型放電管I能夠在大功率雷射器的實際工作中增加管口局部受熱的受熱面積，較好的提高其抵抗高溫熱變形的能力，從而有效的避免了石英玻璃管材的應力龜裂的問題。
[0060]最後，在對管口倒角之後，再對十字型放電管I進行直線度矯形。即將十字型放電管I置於高溫下，高溫控制在900-1200?之間，而具體溫度受到其直線度偏差的影響，需要通過人工針對性調節。對十字型放電管I的整體直線度進行矯形使其滿足大功率雷射器對十字型放電管的要求。而該十字型放電管I由於經過上述多步驟中的高溫處理，會產生微量的變形，因此需要重新對其整體直線度進行矯正。而該十字型放電管I的內部管徑大小以及軸向方向的直線度將會直接影響十字型放電管I的工作效果，因此必須將其直線度控制在0.3mm以下。
[0061]具體地，在對十字型放電管I進行直線度矯形之前，必須先對十字型放電管I進行篩選，該篩選過程由人工逐一查看。由於石英玻璃管材的材料因素，管材內部會有不同程度的雜質，而該雜質在上述高溫加工過程中產生熱量形變，使得管材上出現類似氣泡、氣線、銀紋或者細小裂紋等不同程度的缺陷。又或者，在上述多個加工過程中，由於人工手法的熟練程度不同，在管材的表面產生碰傷、劃傷等不同程度的缺陷。而這些缺陷都是隨機出現在每個加工的十字型放電管I上的。必須通過人工對加工後的十字型放電管I進行逐一檢查。如果不存在缺陷的十字型放電管I可以進行最後的直線度矯形過程。而將存在上述缺陷的十字型放電管I 一一選出，形成有缺陷的十字型放電管。
[0062]再針對有缺陷的十字型放電管進行消除缺陷處理。即將其置於高溫中進行灼燒。該高溫控制在110(T130(TC之間，具體的溫度由於其缺陷的原因以及缺陷的程度不同，需要有人工進行調節。而有缺陷的十字型放電管I在高溫灼燒過程中，其局部管壁，特別是有缺陷的管壁上容易軟化，通過其石英玻璃管材的特質，其管壁在軟化過程中，自身材質在自由張力的作用下自行釋放，從而起到弱化氣泡、氣線、銀紋或者細小裂紋以及碰傷、劃傷的劃痕的作用，提高整個十字型放電管I零 件表面的光潔度。由人工針對性的控制灼燒時間以消除十字型放電管上的缺陷，能夠大幅度降低放電管在放電過程中的故障率。在經過消除缺陷處理之後的十字型放電管I再對其進行最後的直線度矯正處理。
[0063]經過上述方法製作的十字型放電管，通過引入模具2對焊接部位預處理；引入工裝夾具3對第一玻璃管11、第二玻璃管12以及第三玻璃管13進行固定使其能夠滿足位置尺寸精度控制在±0.5mm以內；並且對密封段進行修形,使其安裝尺寸精度控制在±0.5mm以內；再對其管口進行倒角以及退火處理，使其管口能夠適應O型橡膠密封圈的使用且增加其局部受熱面積防止應力龜裂的現象；並且對存在外觀缺陷的進行消除缺陷處理，以大幅度降低放電管在工作過程中的故障率；最後進行直線度矯正以保障其在大功率雷射器諧振腔內使用的工作效果。因此，本發明所提供的工藝製作方法中，通過模具2、工裝夾具3等外界輔助方式的介入，在局部環節減少玻璃加工對人工因素的依賴，從而提高玻璃加工量產的品質。並且本發明所提供的工藝方法所製作的十字型放電管能夠符合現在大功率雷射器內對十字型放電管的技術要求，因此本發明也可以為如何應用傳統玻璃加工製作高精度的雷射行業用的零件，提供一種可行有效的操作方式和方法。為大功率雷射器諧振腔提供滿足其技術要求的十字型放電管，從而推動大功率氣體雷射器的發展。
[0064]以上僅為本發明的較佳實施例而已，並不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發明 的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，包括以下工藝步驟: 下料:提供第一玻璃管、第二玻璃管和第三玻璃管； 固定:採用工裝夾具將所述第一玻璃管水平固定，所述第二玻璃管垂直固定於所述第一玻璃管上方，所述第三玻璃管垂直固定於所述第一玻璃管下方，並使所述第二玻璃管與所述第三玻璃管設於同一直線上； 焊接:分別將所述第二玻璃管和所述第三玻璃管焊接於所述第一玻璃管上以形成十字型玻璃管； 剪裁:對所述十字型玻璃管進行尺寸剪裁得到十字型放電管。
2.如權利要求1所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，所述第一玻璃管、所述第二玻璃管以及所述第三玻璃管均採用耐1000°C以上高溫的玻璃管材。
3.如權利要求2所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，所述玻璃管材為石英玻璃管。
4.如權利要求3所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，在所述第一玻璃管與所述第二玻璃管的連接處以及所述第一玻璃管與所述第三玻璃管的連接處設置焊接部位，然後在所述下料步驟與所述固定步驟之間，對所述焊接部位進行加熱然後利用模具使所述焊接部位得到模具的形狀。
5.如權利要求1-4任一項所述的一種十字型放電管的加工製作方法,其特徵在於,於所述剪裁步驟之後，對所述密封段進行修形，將所述十字型放電管置於ioo(Ti5(Krc下，對所述第一玻璃管的兩端、所述第二玻璃管的上端以及第三玻璃管的下端外形尺寸進行調整以達到安裝尺寸的精度要求。
6.如權利要求5所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，於所述修形步驟之後，對所述第一玻璃管兩端的管口、所述第二玻璃管上端的管口以及第三玻璃管下端的管口進行倒角。
7.如權利要求6所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，於所述倒角步驟之後，再對所述十字型放電管進行退火處理，所述退火處理時的溫度控制在900~1200。。。
8.如權利要求6所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，於對所述管口倒角步驟之後，再將所述十字型放電管置於90(Tl20(rC下，對所述十字型放電管的整體直線度進行矯形。
9.如權利要求8所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，對所述十字型放電管進行直線度矯形之前，對所述十字型放電管進行篩選，選出有缺陷的十字型放電管。
10.如權利要求9所述的一種十字型放電管的加工製作方法，其特徵在於，將所述有缺陷的十字型放電管置於110(T130( TC中進行灼燒以消除所述有缺陷的十字型放電管的缺陷。
【文檔編號】C03B23/207GK103880274SQ201210562558
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2012年12月21日 優先權日:2012年12月21日
【發明者】陳永興, 何自權, 黎鵬, 盧洪湖, 彭金明, 陳燚, 高雲峰 申請人:深圳市大族雷射科技股份有限公司